JP2003134792A - 永久磁石形リニアモータ - Google Patents
永久磁石形リニアモータInfo
- Publication number
- JP2003134792A JP2003134792A JP2001323141A JP2001323141A JP2003134792A JP 2003134792 A JP2003134792 A JP 2003134792A JP 2001323141 A JP2001323141 A JP 2001323141A JP 2001323141 A JP2001323141 A JP 2001323141A JP 2003134792 A JP2003134792 A JP 2003134792A
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- linear motor
- magnetic
- permanent magnet
- yokes
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- Prior art date
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- Abandoned
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Abstract
(57)【要約】
【課題】周辺装置や位置検出用の磁気センサなどを誤動
作させたり、加工精度の低下を招くことのないように、
磁束の漏れが小さい永久磁石形リニアモータを提供す
る。 【解決手段】互いに平行させた磁性体で構成した２個一
対のヨーク１、２と、ヨーク１、２上に交互に異極にな
るように複数個の永久磁石３を直線状に配列して構成し
た界磁極４と、界磁極４と磁気的空隙を介して対向する
ようにコイル列５１を配置した電機子５とを備え、界磁
極４と電機子５との何れか一方を相対移動する可能子
に、他方を固定子とする永久磁石形リニアモータにおい
て、互いに対向したヨーク１、２を、その長手方向に向
かって所定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体６で連
結してある。
作させたり、加工精度の低下を招くことのないように、
磁束の漏れが小さい永久磁石形リニアモータを提供す
る。 【解決手段】互いに平行させた磁性体で構成した２個一
対のヨーク１、２と、ヨーク１、２上に交互に異極にな
るように複数個の永久磁石３を直線状に配列して構成し
た界磁極４と、界磁極４と磁気的空隙を介して対向する
ようにコイル列５１を配置した電機子５とを備え、界磁
極４と電機子５との何れか一方を相対移動する可能子
に、他方を固定子とする永久磁石形リニアモータにおい
て、互いに対向したヨーク１、２を、その長手方向に向
かって所定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体６で連
結してある。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
工作機械などのＦＡ機器に使用する永久磁石形リニアモ
ータに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、半導体製造装置あるいは工作機械
などのＦＡ機器においては、送りや加工の高速化・高精
度化を達成できるよう、界磁極を構成する永久磁石と当
該永久磁石の磁極面に磁気的空隙を介して対向したコイ
ル列を配置する電機子を備えた永久磁石形リニアモータ
の利用が図られている。図５は従来の永久磁石形リニア
モータの概観を示した斜視図、図６は図５に示したリニ
アモータのＸ―Ｘ断面に沿う断面図である。１、２はヨ
ーク、３は永久磁石、４は交互に異極になるように複数
個の永久磁石３を直線状に配列して構成した界磁極、５
はコイル列５１を形成した電機子であって、界磁極４の
長手方向に対して相対移動するものである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術の
永久磁石形リニアモータでは、界磁極４からリニアモー
タの外周に漏れる磁束が大きく、リニアモータに近接し
て設けられた周辺装置（不図示）あるいは位置検出用の
磁気センサ（不図示）などに悪影響を及ぼし、誤動作や
加工精度の低下を招く場合があった。本発明は、上記課
題を解決するためになされたものであり、周辺装置や位
置検出用の磁気センサなどを誤動作させたり、加工精度
の低下を招くことのないように、磁束の漏れが小さい永
久磁石形リニアモータを提供することを目的とする。 【０００４】 【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１の発明は互いに平行させた磁性体で構成し
た２個一対のヨークと、前記ヨーク上に交互に異極にな
るように複数個の永久磁石を直線状に配列して構成した
界磁極と、前記界磁極と磁気的空隙を介して対向するよ
うにコイル列を配置した電機子とを備え、前記界磁極と
前記電機子との何れか一方を相対移動する可能子に、他
方を固定子とする永久磁石形リニアモータにおいて、前
記互いに対向したヨークを、その長手方向に向かって所
定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体で連結したもの
である。 【０００５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例における永久磁石
形リニアモータの概観を示した斜視図、図２は図１に示
したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う断面図である。な
お、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては
その説明を省略し、異なるものについて説明する。ま
た、本発明の実施例では、従来技術同様、電機子を可動
子、界磁極を固定子とした例を示している。 本発明が従来技術と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、互いに対向したヨーク１、２を、その長手方
向に向かって所定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体
６で連結した点である。 【０００６】ここで磁性体の作用について説明する。図
３は従来技術のリニアモータにおける磁束の流れを模式
的に説明した図である。ここで、１１は漏れ磁束、８
１、８２はモータ内部を流れる磁束である。図３でヨー
ク１を省略したのは、磁束の流れを分かり易く図示する
ためであり、ヨーク１における磁束の流れはヨーク２に
おける磁束の流れと同様となる。また、ヨーク１、２は
非磁性体７で連結されているため磁気回路上省略できる
ので、図３においても図示していない。図３に示すよう
に、ヨーク２の縁部に到達した磁束は、隣の永久磁石３
へ流れるとともに一部は外部に流れ、漏れ磁束１１とな
る。 【０００７】図４は本実施例のリニアモータにおける磁
束の流れを模式的に説明した図である。ここで、１１は
漏れ磁束、８１、８２はモータ内部を流れる磁束、９は
磁性体６を流れる磁束、１０は磁性体６間を渡る磁束で
ある。図４においても磁束の流れを分かり易くするため
にヨーク１を省略している。図４に示すように、ヨーク
２の縁部に到達した磁束は永久磁石３へ戻る点は図３と
同様であるが、残りのほとんどは磁性体６を通りヨーク
２に配置された永久磁石３へと流れる。一部は漏れ磁束
１１となるが、図３で示した従来構造における漏れ磁束
に比較して格段に小さくすることができる。 【０００８】また、漏れ磁束が小さくなると、永久磁石
３の配置や磁化のばらつきおよび磁性体の残留磁化など
により磁気抵抗や磁気回路が局部的に変化し、漏れ磁束
の流れを予測することが困難になる。しかしながら、本
実施例においては、互いに対向したヨーク１、２を、そ
の長手方向に向かって所定の間隔を置いて複数の平板状
の磁性体６で連結することにより、磁性体６から漏れた
磁束は隣の磁性体６へ戻るため、局部的な磁気回路の偏
りが生じた場合でも漏れ磁束をリニアモータ近傍で流す
ことができる。その結果、本リニアモータは周辺装置や
位置検出用の磁気センサ付近での漏れ磁束を小さくする
ことができるので、誤動作や加工精度の低下を招くこと
のない永久磁石形リニアモータを提供することが可能で
ある。 【０００９】 【発明の効果】以上述べたように本実施例によれば、互
いに対向したヨークを、その長手方向に向かって所定の
間隔を置いて複数の平板状の磁性体で連結する構成にし
たので、磁性体から漏れた磁束は隣の磁性体へ戻るた
め、局部的な磁気回路の偏りが生じた場合でも漏れ磁束
をリニアモータ近傍で流すことができる。その結果、本
リニアモータは周辺装置や位置検出用の磁気センサ付近
での漏れ磁束を小さくすることができるので、誤動作や
加工精度の低下を招くことのない永久磁石形リニアモー
タを提供することができる。
工作機械などのＦＡ機器に使用する永久磁石形リニアモ
ータに関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、半導体製造装置あるいは工作機械
などのＦＡ機器においては、送りや加工の高速化・高精
度化を達成できるよう、界磁極を構成する永久磁石と当
該永久磁石の磁極面に磁気的空隙を介して対向したコイ
ル列を配置する電機子を備えた永久磁石形リニアモータ
の利用が図られている。図５は従来の永久磁石形リニア
モータの概観を示した斜視図、図６は図５に示したリニ
アモータのＸ―Ｘ断面に沿う断面図である。１、２はヨ
ーク、３は永久磁石、４は交互に異極になるように複数
個の永久磁石３を直線状に配列して構成した界磁極、５
はコイル列５１を形成した電機子であって、界磁極４の
長手方向に対して相対移動するものである。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】ところが、従来技術の
永久磁石形リニアモータでは、界磁極４からリニアモー
タの外周に漏れる磁束が大きく、リニアモータに近接し
て設けられた周辺装置（不図示）あるいは位置検出用の
磁気センサ（不図示）などに悪影響を及ぼし、誤動作や
加工精度の低下を招く場合があった。本発明は、上記課
題を解決するためになされたものであり、周辺装置や位
置検出用の磁気センサなどを誤動作させたり、加工精度
の低下を招くことのないように、磁束の漏れが小さい永
久磁石形リニアモータを提供することを目的とする。 【０００４】 【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１の発明は互いに平行させた磁性体で構成し
た２個一対のヨークと、前記ヨーク上に交互に異極にな
るように複数個の永久磁石を直線状に配列して構成した
界磁極と、前記界磁極と磁気的空隙を介して対向するよ
うにコイル列を配置した電機子とを備え、前記界磁極と
前記電機子との何れか一方を相対移動する可能子に、他
方を固定子とする永久磁石形リニアモータにおいて、前
記互いに対向したヨークを、その長手方向に向かって所
定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体で連結したもの
である。 【０００５】 【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図１は本発明の実施例における永久磁石
形リニアモータの概観を示した斜視図、図２は図１に示
したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う断面図である。な
お、本発明の構成要素が従来技術と同じものについては
その説明を省略し、異なるものについて説明する。ま
た、本発明の実施例では、従来技術同様、電機子を可動
子、界磁極を固定子とした例を示している。 本発明が従来技術と異なる点は、以下のとおりである。
すなわち、互いに対向したヨーク１、２を、その長手方
向に向かって所定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体
６で連結した点である。 【０００６】ここで磁性体の作用について説明する。図
３は従来技術のリニアモータにおける磁束の流れを模式
的に説明した図である。ここで、１１は漏れ磁束、８
１、８２はモータ内部を流れる磁束である。図３でヨー
ク１を省略したのは、磁束の流れを分かり易く図示する
ためであり、ヨーク１における磁束の流れはヨーク２に
おける磁束の流れと同様となる。また、ヨーク１、２は
非磁性体７で連結されているため磁気回路上省略できる
ので、図３においても図示していない。図３に示すよう
に、ヨーク２の縁部に到達した磁束は、隣の永久磁石３
へ流れるとともに一部は外部に流れ、漏れ磁束１１とな
る。 【０００７】図４は本実施例のリニアモータにおける磁
束の流れを模式的に説明した図である。ここで、１１は
漏れ磁束、８１、８２はモータ内部を流れる磁束、９は
磁性体６を流れる磁束、１０は磁性体６間を渡る磁束で
ある。図４においても磁束の流れを分かり易くするため
にヨーク１を省略している。図４に示すように、ヨーク
２の縁部に到達した磁束は永久磁石３へ戻る点は図３と
同様であるが、残りのほとんどは磁性体６を通りヨーク
２に配置された永久磁石３へと流れる。一部は漏れ磁束
１１となるが、図３で示した従来構造における漏れ磁束
に比較して格段に小さくすることができる。 【０００８】また、漏れ磁束が小さくなると、永久磁石
３の配置や磁化のばらつきおよび磁性体の残留磁化など
により磁気抵抗や磁気回路が局部的に変化し、漏れ磁束
の流れを予測することが困難になる。しかしながら、本
実施例においては、互いに対向したヨーク１、２を、そ
の長手方向に向かって所定の間隔を置いて複数の平板状
の磁性体６で連結することにより、磁性体６から漏れた
磁束は隣の磁性体６へ戻るため、局部的な磁気回路の偏
りが生じた場合でも漏れ磁束をリニアモータ近傍で流す
ことができる。その結果、本リニアモータは周辺装置や
位置検出用の磁気センサ付近での漏れ磁束を小さくする
ことができるので、誤動作や加工精度の低下を招くこと
のない永久磁石形リニアモータを提供することが可能で
ある。 【０００９】 【発明の効果】以上述べたように本実施例によれば、互
いに対向したヨークを、その長手方向に向かって所定の
間隔を置いて複数の平板状の磁性体で連結する構成にし
たので、磁性体から漏れた磁束は隣の磁性体へ戻るた
め、局部的な磁気回路の偏りが生じた場合でも漏れ磁束
をリニアモータ近傍で流すことができる。その結果、本
リニアモータは周辺装置や位置検出用の磁気センサ付近
での漏れ磁束を小さくすることができるので、誤動作や
加工精度の低下を招くことのない永久磁石形リニアモー
タを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す永久磁石形リニアモータ
の概観である。 【図２】図１に示したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う
断面図である。 【図３】従来技術のリニアモータにおける磁束の流れを
模式的に説明した図である。 【図４】本実施例のリニアモータにおける磁束の流れを
模式的に説明した図である。 【図５】従来の永久磁石形リニアモータの概観を示した
斜視図である。 【図６】図５に示したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う
断面図である。 【記号の説明】 １ ヨーク ２ ヨーク ３ 永久磁石 ４ 界磁極 ５ 電機子 ５１ コイル列 ６ 磁性体 ７ 非磁性体 ８１、８２ モータ内部を流れる磁束 ９ 磁性体６を流れる磁束 １０ 磁性体６間を渡る磁束 １１ 漏れ磁束
の概観である。 【図２】図１に示したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う
断面図である。 【図３】従来技術のリニアモータにおける磁束の流れを
模式的に説明した図である。 【図４】本実施例のリニアモータにおける磁束の流れを
模式的に説明した図である。 【図５】従来の永久磁石形リニアモータの概観を示した
斜視図である。 【図６】図５に示したリニアモータのＸ―Ｘ断面に沿う
断面図である。 【記号の説明】 １ ヨーク ２ ヨーク ３ 永久磁石 ４ 界磁極 ５ 電機子 ５１ コイル列 ６ 磁性体 ７ 非磁性体 ８１、８２ モータ内部を流れる磁束 ９ 磁性体６を流れる磁束 １０ 磁性体６間を渡る磁束 １１ 漏れ磁束
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 5H641 BB06 BB18 BB19 GG02 GG03
GG05 GG07 GG26 GG28 HH02
HH03 HH06 HH17 HH20
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 互いに平行させた磁性体で構成した２個
一対のヨークと、前記ヨーク上に交互に異極になるよう
に複数個の永久磁石を直線状に配列して構成した界磁極
と、 前記界磁極と磁気的空隙を介して対向するようにコイル
列を配置した電機子とを備え、 前記界磁極と前記電機子との何れか一方を相対移動する
可能子に、他方を固定子とする永久磁石形リニアモータ
において、 前記互いに対向したヨークを、その長手方向に向かって
所定の間隔を置いて複数の平板状の磁性体で連結したこ
とを特徴とする永久磁石形リニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323141A JP2003134792A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 永久磁石形リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001323141A JP2003134792A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 永久磁石形リニアモータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003134792A true JP2003134792A (ja) | 2003-05-09 |
Family
ID=19140075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001323141A Abandoned JP2003134792A (ja) | 2001-10-22 | 2001-10-22 | 永久磁石形リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003134792A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110219989A1 (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor and table feed apparatus |
| JP2011193554A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 |
| JP2011200028A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 |
| JP2011200029A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよび送り装置 |
| CN105720784A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-06-29 | 邹宇 | 对称双面永磁辅助式直线开关磁阻电机 |
| CN114530962A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
-
2001
- 2001-10-22 JP JP2001323141A patent/JP2003134792A/ja not_active Abandoned
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110219989A1 (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Linear motor and table feed apparatus |
| CN102195437A (zh) * | 2010-03-11 | 2011-09-21 | 株式会社安川电机 | 直线电动机以及工作台进给装置 |
| JP2011193554A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-29 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 |
| KR101489031B1 (ko) * | 2010-03-11 | 2015-02-04 | 가부시키가이샤 야스카와덴키 | 리니어 모터 및 테이블 이송 장치 |
| JP2011200028A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよびそれを用いたテーブル送り装置 |
| JP2011200029A (ja) * | 2010-03-19 | 2011-10-06 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータおよび送り装置 |
| CN105720784A (zh) * | 2016-04-13 | 2016-06-29 | 邹宇 | 对称双面永磁辅助式直线开关磁阻电机 |
| CN114530962A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
| CN114530962B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-09-08 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040913 |
|
| A762 | Written abandonment of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A762 Effective date: 20060517 |