JP2010050114A5 - - Google Patents
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Description
上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１に記載の発明は、ベースと、前記ベースの上に立設された一対のサイドフレームと、前記一対のサイドフレームを連結するフレーム連結部材と、前記一対のサイドフレームに掛け渡して固定される電磁アクチュエータ固定子と、前記電磁アクチュエータ固定子と一定の空隙を介して設けられ、前記電磁アクチュエータ固定子の電磁力によって鉛直方向上下に駆動される電磁アクチュエータ可動子と、前記電磁アクチュエータ可動子に固定される可動子ブロックと、前記ベースと前記可動子ブロックの間に配置されて前記ベースと前記電磁アクチュエータ可動子との相対的な変位を検知する変位センサと、前記サイドフレームの上部に固定されるばね位置調整機構と、上端が前記ばね位置調整機構に固定
され、下端が前記可動子ブロックに固定されるコイルばねと、前記サイドフレームの上部に固定され、前記電磁アクチュエータ可動子を保持可能なブレーキと、を備えたことを特徴とする精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項２に記載の発明は、前記電磁アクチュエータの固定子が冷媒出入口部を有し、前記冷媒出入口部に固定される配管ブロックが脱着可能に形成されていることを特徴とする請求項１記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項３に記載の発明は、前記変位センサが前記ベースに固定されることにより、前記可動子ブロックの変位を直接測定することを特徴とする請求項１乃至２いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項４に記載の発明は、前記変位センサがセンサホルダを介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項３記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項５に記載の発明は、前記変位センサが渦電流式センサであって、前記変位センサの周囲を囲む形状でかつ前記変位センサと所定の距離が確保された円筒形状のセンサ保護部材が設けられ、前記渦電流式センサが前記電磁アクチュエータからの磁気の影響を受けないように構成されたことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項６に記載の発明は、前記電磁アクチュエータと前記変位センサとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記電磁アクチュエータによって上下する前記可動子ブロックが前記変位センサの直上に配置され、前記可動子ブロックの上下動を前記変位センサが直接検知することを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項７に記載の発明は、前記電磁アクチュエータと前記コイルばねとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記アクチュエータと前記コイルばねとが水平方向に隣接して配置されることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項８に記載の発明は、前記ばね位置調整機構は、前記コイルばねの長さを調整可能であるとともに、水平２軸方向に調整可能であることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項９に記載の発明は、前記ベースと、前記サイドフレームと、フレーム連結部材とからなる筐体に対し、前記電磁アクチュエータ、前記変位センサ、前記コイルばねが交換可能に設けられていることを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１０に記載の発明は、前記コイルばねの長手方向中心付近に弾性体からなる円筒状の振動抑制部材を取付けたことを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１１に記載の発明は、前記電磁アクチュエータ可動子は、前記電磁アクチュエータ固定子の外側かつ両側に配置されるメカストッパを有し、前記メカストッパは、前記電磁アクチュエータ可動子がどの位置、姿勢にあっても、前記電磁アクチュエータ可動子のマグネットが前記電磁アクチュエータ固定子に接触するよりも先に前記電磁アクチュエータ可動子のフレームと接触し、前記電磁アクチュエータ固定子と前記電磁アクチュエータ可動子とが接触によって破損しないよう構成されていることを特徴とする求項１乃至１０いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１２に記載の発明は、前記ブレーキに出力シャフトが往復運動可能なアクチュエータが用いられ、前記出力シャフトの先端に円盤状部材が取り付けられ、前記電磁アクチュエータ可動子に前記円盤状部材に係止可能なブレーキターゲットが設けられ、 前記ブレーキターゲットは、前記出力シャフトが貫通する穴を備え、前記電磁アクチュエータ可動子が動作範囲内で水平方向に移動しても、前記出力シャフトと前記ブレーキターゲットの穴とが接触することないように構成されたことを特徴とする求項１乃至１１いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１３に記載の発明は、前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直上向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１４に記載の発明は、前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直下向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１５に記載の発明は、前記ベースと前記可動子ブロックとを繋ぐように固定可能であって着脱可能な原点位置決めジグをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１６に記載の発明は、ステージベースと、前記ステージベースに重なるように設置される移動テーブルと、前記移動テーブルを水平方向に駆動可能な複数のＸ用及びＹ用電磁アクチュエータと、少なくとも３台の請求項１乃至１５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットと、を備え、前記可動子ブロックと前記移動テーブルとが締結されて構成されたことを特徴とする精密微動位置決めステージとするものである。
また、請求項１７に記載の発明は、前記コイルばねは、前記可動子ブロックに対して前記移動テーブルの反対側に配置されたことを特徴とする請求項１６記載の精密微動位置決めステージとするものである。
また、請求項１８に記載の発明は、請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の露光装置とするものである。
また、請求項１９に記載の発明は、請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の検査装置とするものである。
請求項１に記載の発明は、ベースと、前記ベースの上に立設された一対のサイドフレームと、前記一対のサイドフレームを連結するフレーム連結部材と、前記一対のサイドフレームに掛け渡して固定される電磁アクチュエータ固定子と、前記電磁アクチュエータ固定子と一定の空隙を介して設けられ、前記電磁アクチュエータ固定子の電磁力によって鉛直方向上下に駆動される電磁アクチュエータ可動子と、前記電磁アクチュエータ可動子に固定される可動子ブロックと、前記ベースと前記可動子ブロックの間に配置されて前記ベースと前記電磁アクチュエータ可動子との相対的な変位を検知する変位センサと、前記サイドフレームの上部に固定されるばね位置調整機構と、上端が前記ばね位置調整機構に固定
され、下端が前記可動子ブロックに固定されるコイルばねと、前記サイドフレームの上部に固定され、前記電磁アクチュエータ可動子を保持可能なブレーキと、を備えたことを特徴とする精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項２に記載の発明は、前記電磁アクチュエータの固定子が冷媒出入口部を有し、前記冷媒出入口部に固定される配管ブロックが脱着可能に形成されていることを特徴とする請求項１記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項３に記載の発明は、前記変位センサが前記ベースに固定されることにより、前記可動子ブロックの変位を直接測定することを特徴とする請求項１乃至２いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項４に記載の発明は、前記変位センサがセンサホルダを介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項３記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項５に記載の発明は、前記変位センサが渦電流式センサであって、前記変位センサの周囲を囲む形状でかつ前記変位センサと所定の距離が確保された円筒形状のセンサ保護部材が設けられ、前記渦電流式センサが前記電磁アクチュエータからの磁気の影響を受けないように構成されたことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項６に記載の発明は、前記電磁アクチュエータと前記変位センサとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記電磁アクチュエータによって上下する前記可動子ブロックが前記変位センサの直上に配置され、前記可動子ブロックの上下動を前記変位センサが直接検知することを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項７に記載の発明は、前記電磁アクチュエータと前記コイルばねとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記アクチュエータと前記コイルばねとが水平方向に隣接して配置されることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項８に記載の発明は、前記ばね位置調整機構は、前記コイルばねの長さを調整可能であるとともに、水平２軸方向に調整可能であることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項９に記載の発明は、前記ベースと、前記サイドフレームと、フレーム連結部材とからなる筐体に対し、前記電磁アクチュエータ、前記変位センサ、前記コイルばねが交換可能に設けられていることを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１０に記載の発明は、前記コイルばねの長手方向中心付近に弾性体からなる円筒状の振動抑制部材を取付けたことを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１１に記載の発明は、前記電磁アクチュエータ可動子は、前記電磁アクチュエータ固定子の外側かつ両側に配置されるメカストッパを有し、前記メカストッパは、前記電磁アクチュエータ可動子がどの位置、姿勢にあっても、前記電磁アクチュエータ可動子のマグネットが前記電磁アクチュエータ固定子に接触するよりも先に前記電磁アクチュエータ可動子のフレームと接触し、前記電磁アクチュエータ固定子と前記電磁アクチュエータ可動子とが接触によって破損しないよう構成されていることを特徴とする求項１乃至１０いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１２に記載の発明は、前記ブレーキに出力シャフトが往復運動可能なアクチュエータが用いられ、前記出力シャフトの先端に円盤状部材が取り付けられ、前記電磁アクチュエータ可動子に前記円盤状部材に係止可能なブレーキターゲットが設けられ、 前記ブレーキターゲットは、前記出力シャフトが貫通する穴を備え、前記電磁アクチュエータ可動子が動作範囲内で水平方向に移動しても、前記出力シャフトと前記ブレーキターゲットの穴とが接触することないように構成されたことを特徴とする求項１乃至１１いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１３に記載の発明は、前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直上向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１４に記載の発明は、前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直下向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１５に記載の発明は、前記ベースと前記可動子ブロックとを繋ぐように固定可能であって着脱可能な原点位置決めジグをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載の精密微動位置決めユニットとするものである。
また、請求項１６に記載の発明は、ステージベースと、前記ステージベースに重なるように設置される移動テーブルと、前記移動テーブルを水平方向に駆動可能な複数のＸ用及びＹ用電磁アクチュエータと、少なくとも３台の請求項１乃至１５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットと、を備え、前記可動子ブロックと前記移動テーブルとが締結されて構成されたことを特徴とする精密微動位置決めステージとするものである。
また、請求項１７に記載の発明は、前記コイルばねは、前記可動子ブロックに対して前記移動テーブルの反対側に配置されたことを特徴とする請求項１６記載の精密微動位置決めステージとするものである。
また、請求項１８に記載の発明は、請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の露光装置とするものである。
また、請求項１９に記載の発明は、請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の検査装置とするものである。
Claims (19)
- ベースと、前記ベースの上に立設された一対のサイドフレームと、
前記一対のサイドフレームを連結するフレーム連結部材と、
前記一対のサイドフレームに掛け渡して固定される電磁アクチュエータ固定子と、
前記電磁アクチュエータ固定子と一定の空隙を介して設けられ、前記電磁アクチュエータ固定子の電磁力によって鉛直方向上下に駆動される電磁アクチュエータ可動子と、
前記電磁アクチュエータ可動子に固定される可動子ブロックと、
前記ベースと前記可動子ブロックの間に配置されて前記ベースと前記電磁アクチュエータ可動子との相対的な変位を検知する変位センサと、
前記サイドフレームの上部に固定されるばね位置調整機構と、
上端が前記ばね位置調整機構に固定され、下端が前記可動子ブロックに固定されるコイルばねと、
前記サイドフレームの上部に固定され、前記電磁アクチュエータ可動子を保持可能なブレーキと、
を備えたことを特徴とする精密微動位置決めユニット。 - 前記電磁アクチュエータの固定子が冷媒出入口部を有し、前記冷媒出入口部に固定される配管ブロックが脱着可能に形成されていることを特徴とする請求項１記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記変位センサが前記ベースに固定されることにより、前記可動子ブロックの変位を直接測定することを特徴とする請求項１乃至２いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記変位センサがセンサホルダを介して前記ベースに固定されることを特徴とする請求項３記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記変位センサが渦電流式センサであって、前記変位センサの周囲を囲む形状でかつ前記変位センサと所定の距離が確保された円筒形状のセンサ保護部材が設けられ、前記渦電流式センサが前記電磁アクチュエータからの磁気の影響を受けないように構成されたことを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記電磁アクチュエータと前記変位センサとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記電磁アクチュエータによって上下する前記可動子ブロックが前記変位センサの直上に配置され、前記可動子ブロックの上下動を前記変位センサが直接検知することを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記電磁アクチュエータと前記コイルばねとが前記一対のサイドフレームの間に位置するよう配置され、前記アクチュエータと前記コイルばねとが水平方向に隣接して配置されることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記ばね位置調整機構は、前記コイルばねの長さを調整可能であるとともに、水平２軸方向に調整可能であることを特徴とする請求項１乃至７いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記ベースと、前記サイドフレームと、フレーム連結部材とからなる筐体に対し、前記電磁アクチュエータ、前記変位センサ、前記コイルばねが交換可能に設けられていることを特徴とする請求項１乃至８いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記コイルばねの長手方向中心付近に弾性体からなる円筒状の振動抑制部材を取付けたことを特徴とする請求項１乃至９いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記電磁アクチュエータ可動子は、前記電磁アクチュエータ固定子の外側かつ両側に配置されるメカストッパを有し、
前記メカストッパは、前記電磁アクチュエータ可動子がどの位置、姿勢にあっても、前記電磁アクチュエータ可動子のマグネットが前記電磁アクチュエータ固定子に接触するよりも先に前記電磁アクチュエータ可動子のフレームと接触し、前記電磁アクチュエータ固定子と前記電磁アクチュエータ可動子とが接触によって破損しないよう構成されていることを特徴とする請求項１乃至１０いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。 - 前記ブレーキに出力シャフトが往復運動可能なアクチュエータが用いられ、
前記出力シャフトの先端に円盤状部材が取り付けられ、
前記電磁アクチュエータ可動子に前記円盤状部材に係止可能なブレーキターゲットが設けられ、
前記ブレーキターゲットは、前記出力シャフトが貫通する穴を備え、
前記電磁アクチュエータ可動子が動作範囲内で水平方向に移動しても、前記出力シャフトと前記ブレーキターゲットの穴とが接触することないように構成されたことを特徴とする請求項１乃至１１いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。 - 前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直上向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記ブレーキの動作時に、前記円盤状部材と前記ブレーキターゲットとが接触して前記電磁アクチュエータ可動子を鉛直下向きに保持することを特徴とする請求項１２記載の精密微動位置決めユニット。
- 前記ベースと前記可動子ブロックとを繋ぐように固定可能であって着脱可能な原点位置決めジグをさらに備えたことを特徴とする請求項１乃至１４いずれかに記載の精密微動位置決めユニット。
- ステージベースと、前記ステージベースに重なるように設置される移動テーブルと、前記移動テーブルを水平方向に駆動可能な複数のＸ用及びＹ用電磁アクチュエータと、少なくとも３台の請求項１乃至１５いずれかに記載の精密微動位置決めユニットと、を備え、前記可動子ブロックと前記移動テーブルとが締結されて構成されたことを特徴とする精密微動位置決めステージ。
- 前記コイルばねは、前記可動子ブロックに対して前記移動テーブルの反対側に配置されたことを特徴とする請求項１６記載の精密微動位置決めステージ。
- 請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の露光装置。
- 請求項１６または１７記載の精密微動位置決めステージを備えたことを特徴とする半導体製造又は液晶製造の検査装置。
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