JP6865963B2 - プローブユニット及びプリント配線板検査装置 - Google Patents
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Description
2 基板載置部
4 プローブ
6 プローブユニット
6a 粗動部
6b 微動部
8 撮像部
10 クランプ
12 X軸直動ガイド
14 X軸ボールネジ付シャフト
16 X軸移動ブロック
18 X軸モータ
20 載置プレート
22 Y軸ボールネジ付シャフト
24 Y軸移動ブロック
26 Y軸モータ
30 Z軸モータ
32 カップリング
34 ボールネジ付シャフト
36 移動ブロック
38 載置プレート
40 プローブ支持部
50 ベース部
52 コイル
54 磁石
56 ホルダ
58 カウンターウェイト
60 リンケージ支持部
62 原点位置検出部
64 位置検出部
66 被位置検出部
70 連結シャフト
72 拡張部
80 第1の固定節
82 第1のリンク
84 第1の可動節
86 第2のリンク
88 第2の可動節
90 第3のリンク
92 第2の固定節
94 連結シャフト
Claims (8)
- 基板を載置するための基板載置部を備え、該基板載置部に固定されたプリント配線板上にプローブを接触させることにより該プリント配線板に形成された回路の検査を行うプリント配線板検査装置におけるプローブユニットであって、
第1の固定節、該第1の固定節に連結された第1のリンク、該第1のリンクと第1の可動節を介して連結された第2のリンク、該第2のリンクと第2の可動節を介して連結された第3のリンク、及び該第3のリンクが連結された第2の固定節を有するリンケージ部と、
前記第1の可動節に連結された、前記プローブを支持するプローブ支持部と、
前記第1の固定節と連結シャフトにより連結されたボイスコイルモータであって、磁石及びコイルを含み、該コイルに電流が流されたときの該コイルの移動により該連結シャフトを回転させるように該連結シャフトに連結されたボイスコイルモータと、を備え、
前記ボイスコイルモータにより前記連結シャフトを回転させることにより、該回転に応じて前記第1の固定節及び前記第1のリンクを介して前記第1の可動節を移動させて前記プローブ支持部を移動させ、前記プローブを該プリント配線板に対して垂直方向に移動させる、プローブユニット。 - 前記プローブユニットは、前記ボイスコイルモータが取り付けられたベース部を備え、 前記磁石は前記ベース部に固定され、前記コイルは前記磁石による磁束が通過するように前記連結シャフトに連結されたホルダにより保持され、
前記ボイスコイルモータは、前記コイルに電流が流されたときの前記コイルの移動に応じて前記ホルダを前記連結シャフトを中心とした円周方向へ移動させることにより前記連結シャフトを回転させる、請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記ホルダの位置を検出する位置検出部を更に備え、該検出された位置に基づいて前記プローブの位置を決定する、請求項2に記載のプローブユニット。
- 前記ベース部を支持する粗動部であって、前記プローブを前記ボイスコイルモータにより移動可能な距離よりも大きな距離移動させることが可能な粗動部を更に備える、請求項2又は3に記載のプローブユニット。
- 前記第1のリンク、前記第2のリンク、及び前記第3のリンクの少なくとも1つは、複数のリンクで構成される、請求項1から4のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 前記第1の固定節が前記リンケージ部の重心位置となるように前記第1の固定節に連結されたカウンターウェイトを更に備える、請求項1から5のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 前記磁石及び前記コイルを冷却する冷却機構を更に備える、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブユニット。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載のプローブユニットを備えるプリント配線板検査装置。
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