JP6067070B2 - 磁界測定装置 - Google Patents
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Description
Claims (13)
- 磁界測定装置(10)であって、
第1のx‐y平面に形成される表面を有し、該表面に、相互に間隔をもって配置された2つの磁界センサ(30,40)を備えており、前記2つの磁界センサ(30,40)はそれぞれ磁界のz成分を測定し、ただしx方向及びy方向及びz方向はそれぞれ相互に直交している、第1の半導体基体(20)と、
第2のx‐y平面に形成された平坦な主延在面を有する第1の磁石(50)であって、該主延在面に沿って、前記第1の磁石(50)の対称面(58)で、磁化方向がN極(N)からS極(S)へ変化している、第1の磁石(50)と、
を備え、
前記第1の半導体基体(20)と前記第1の磁石(50)とは、相互に固定的に、かつ、y方向で間隔をもって、配置されており、
前記第1の半導体基体(20)は、前記第1の磁石(50)に対して、x‐y平面において並進してずらされて配置されており、前記第1のx‐y平面と前記第2のx‐y平面との間のz方向のずれは、前記第1の磁石(50)のz方向の厚さよりも小さい、
磁界測定装置(10)において、
前記2つの磁界センサのうち、一方の磁界センサ(30)は前記N極(N)の近傍に、他方の磁界センサ(40)は前記S極(S)の近傍に配置されていることにより、前記第1の磁石(50)の磁界のz成分が生じたとき、前記2つの磁界センサ(30,40)が相互に反対の極性を有する複数の信号を形成する、
ことを特徴とする磁界測定装置(10)。 - 前記第1の磁石(50)は、x‐z平面の2つの側面と、y‐z平面に磁極面として形成される2つの端面とを含む直方体形状を有する、
請求項1記載の磁界測定装置(10)。 - 前記2つの磁界センサ(30,40)はx方向に沿って間隔をもって配置されており、
前記2つの磁界センサ(30,40)を通る接続線は、前記第1の磁石(50)の前記対称面にほぼ直交するか又は正確に直交するように配置されている、
請求項1又は2記載の磁界測定装置(10)。 - 前記2つの磁界センサ(30,40)のx‐y平面は、前記第1の磁石(50)の厚さの1/2の位置に配置されている、
請求項1から3までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - x方向での前記第1の半導体基体(20)の長さは、前記第1の磁石(50)の長さとほぼ等しいか又は正確に等しい、
請求項1から4までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記第1の半導体基体(20)及び前記第1の磁石(50)はx‐y平面でそれぞれ四角形状を有しており、前記第1の磁石(50)から前記第1の半導体基体(20)までのy方向での距離は2mmより小さい、
請求項1から5までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記2つの磁界センサ(30,40)は、前記第1のx‐y平面内又は前記第1のx‐y平面の近傍に、ホールプレートとして形成されている、
請求項1から6までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記第1の半導体基体(20)と同一に形成された第2の半導体基体(70)が設けられており、
前記第2の半導体基体(70)は、相互に間隔をもって配置された2つのさらなる磁界センサを有し、
2つの前記半導体基体(20,70)は、前記2つの磁界センサ(30,40)を通る接続線と、前記2つのさらなる磁界センサ(30,40)を通る接続線と、が相互にほぼ平行となるか又は正確に平行となり、かつ、2つの前記接続線間の距離が前記磁石に関して対称となるように、同じx‐y平面に配置されている、
請求項1から7までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 第2の磁石(80)が設けられており、
前記第1の半導体基体(20)は2つの前記磁石(50,80)間に配置されている、
請求項1から8までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記2つの磁石(50,80)の各主延在面は同じx‐y平面に形成されている、
請求項9記載の磁界測定装置(10)。 - 各半導体基体(20,70)の表面に集積回路が設けられており、該集積回路は各磁界センサ(30,40)に電気的作用の点で接続されている、
請求項1から10までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記磁界のz成分は、z方向で間隔をもって配置される強磁性プレート(60)によって生じる、
請求項1から11までのいずれか1項記載の磁界測定装置(10)。 - 前記z方向で間隔をもって配置される強磁性プレート(60)が存在しない場合、前記磁界のz成分は生じない、
請求項12記載の磁界測定装置(10)。
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