JP6521703B2 - 振動型アクチュエータの製造方法、振動型アクチュエータを搭載する画像形成装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る振動型アクチュエータを構成する振動体100Aの部分的な構造と、振動体100Aのベース部材500に対する固定形態を示す断面図である。
振動型アクチュエータの駆動性能をより安定化させるためには、弾性体110Aと圧電素子120との接合性を安定させることが望ましい。これは、弾性体110の圧電素子120との接触面に窒化層152が形成されている場合には、窒化層152の組成や接合方法等によっては接合性が安定しないことがあるからである。
図3(a)は、図1の振動体100Aの第2の変形例である振動体100Cの部分的な構造と、振動体100Cのベース部材500に対する固定形態を示す断面図である。振動体100Cを構成する弾性体110Cは、図1の弾性体110Aの第2の変形例である。
図4(a)は、図1の振動体100Aの第3の変形例である振動体100Dの部分的な構造と、振動体100Dのベース部材500に対する固定形態を示す断面図である。振動体100Dを構成する弾性体110Dは、図1の弾性体110Aの第3の変形例である。
図5は、図1の振動体100Aの第4の変形例である振動体100Eの部分的な構造と、振動体100Eのベース部材500に対する固定形態を示す断面図である。振動体100Eを構成する弾性体110Eは、図1の弾性体110Aの第4の変形例である。
図6は、図1の振動体100Aの第5の変形例である振動体100Fの部分的な構造と、振動体100Fのベース部材500に対する固定形態を示す断面図である。振動体100Fを構成する弾性体110Fは、図1の弾性体110Aの第5の変形例である。
図13(a)は、図1の振動体100Aの第6の変形例である振動体100Gの部分的な構造と、振動体100Gのベース部材500Gに対する固定形態を示す断面図である。振動体100Gを構成する弾性体110Gは、図1の弾性体110Aの第6の変形例である。
第8の実施の形態では、上述した本発明の実施の形態に係る振動型アクチュエータを備える装置の一例としての画像形成装置の構成について、図10乃至図12を参照して説明する。
以上、本発明をその好適な実施の形態に基づいて詳述してきたが、本発明はこれら特定の実施の形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の様々な形態も本発明に含まれる。さらに、上述した各実施の形態は本発明の一実施の形態を示すものにすぎず、各実施の形態を適宜組み合わせることも可能である。
110A〜100I 弾性体
111,111B,111F,111G〜I 振動部
112,112D 接続部
113,113A〜113E 取付部
120 圧電素子
130 突起
131 溝
151 基材
152 窒化層
153 非窒化面
160,160F,160G〜160I フレキシブルプリント基板
180 移動体
500,500G〜500I ベース部材
510 固定ビス
530 ゴム部材
540 振動絶縁部材
550 導電性ペースト
Claims (14)
- 弾性体と、前記弾性体に接合された電気−機械エネルギ変換素子と、を有する振動体と、
前記振動体と摩擦接触し、前記振動体に対して相対的に移動する接触体と、を備える振動型アクチュエータの製造方法であって、
前記弾性体の表面全体に、前記接触体と接触する窒化層を形成する工程と、
前記窒化層の一部を除去することによって、前記弾性体の表面の一部に非窒化面を形成する工程と、
前記弾性体を、前記非窒化面を介して電気的に接地する工程と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。 - 弾性体と、前記弾性体に接合された電気−機械エネルギ変換素子と、を有する振動体と、
前記振動体と摩擦接触し、前記振動体に対して相対的に移動する接触体と、を備える振動型アクチュエータの製造方法であって、
前記弾性体の表面の一部をマスキング部材によってマスクし、前記マスキング部材と、前記マスキング部材によってマスクされていない前記弾性体と、の表面全体に、前記接触体と接触する窒化層を形成する工程と、
前記マスキング部材を除去することによって、前記弾性体の表面の一部に非窒化面を形成する工程と、
前記弾性体を、前記非窒化面を介して電気的に接地する工程と、を有することを特徴とする振動型アクチュエータの製造方法。 - 前記弾性体は、鉄系金属を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記振動型アクチュエータは、前記電気−機械エネルギ変換素子に交流電圧が印加されることにより前記振動体に励起される振動によって、前記接触体が前記振動体に対して相対的に移動することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記振動型アクチュエータは、電気的に接地されたベース部材を有し、
前記弾性体は、前記ベース部材を介して電気的に接地されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。 - 前記弾性体は、前記非窒化面として第1の部分を有し、前記第1の部分は前記ベース部材と接触し、前記第1の部分は前記ベース部材を介して電気的に接地されていることを特徴とする請求項5に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記振動型アクチュエータは、前記弾性体を前記ベース部材に固定するように構成された、導電性材料を有する固定ビスを備え、
前記弾性体は、前記非窒化面として第2の部分を有し、
前記第2の部分は前記固定ビスと接触し、
前記固定ビスは前記ベース部材に固定されており、
前記弾性体は前記固定ビスと前記ベース部材とを介して電気的に接地されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の振動型アクチュエータの製造方法。 - 前記弾性体における前記電気−機械エネルギ変換素子との接触面において、前記非窒化面は露出していることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記弾性体は、前記接触体と接触する複数の突起を有し、前記複数の突起の間の溝の底面では前記非窒化面が露出していることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記振動型アクチュエータは、前記電気−機械エネルギ変換素子に接合され、前記電気−機械エネルギ変換素子に駆動電圧を印加するための第1の配線と接地用の第2の配線とを有するフレキシブルプリント基板を備え、
前記弾性体は、前記非窒化面として第3の部分を有し、前記第2の配線が前記第3の部分と電気的に接続されていることを特徴する請求項1乃至9のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。 - 前記振動型アクチュエータは、前記弾性体と前記ベース部材の間に配置された弾性部材を備えることを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 前記窒化層の表層付近に化合物層が形成されていることを特徴する請求項1乃至11のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法。
- 像担持体と、
前記像担持体に対向して設けられた搬送ベルトと、
前記像担持体を回転駆動する請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法により製造された振動型アクチュエータと、を備えることを特徴とする画像形成装置。 - 像担持体と、
前記像担持体に対向して設けられた搬送ベルトと、
前記搬送ベルトを駆動する請求項1乃至12のいずれか1項に記載の振動型アクチュエータの製造方法により製造された振動型アクチュエータと、を備えることを特徴する画像形成装置。
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