JP6521563B2 - 液滴吐出装置 - Google Patents

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Description

本発明は液滴吐出装置に係り、さらに詳細には、ディスプレイパネル製造装置の液滴吐出装置に関する。
移動性を基盤とする電子機器が幅広く使われている。移動用電子機器には、携帯電話のような小型電子機器以外にも、最近ではタブレットＰＣが広く使われている。
このような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像などの視覚情報をユーザに提供するためにディスプレイ装置を含む。最近、ディスプレイ装置を駆動するためのその他の部品が小型化するにつれて、ディスプレイ装置が電子機器で占める比重が段々と増加しつつあり、扁平な状態で所定の角度を持つように曲げられる構造も開発されている。
一方、前記のようなディスプレイ装置は、その内部に発光部を持つディスプレイパネルを備える。この時、ディスプレイパネルは多様な形態に形成され、多様な製造方法で製造される。
かかるディスプレイパネルには、多様な層が形成される時に多様な工程が使われる。特に、ディスプレイパネルの多様な層のうち有機物を使う場合、プリンティング工程により有機物を積層するか、または構造物を形成する。この時、一般的にプリンティング技法では、有機物液滴を吐出して多様な層または構造物を形成する。特に、前記のようなプリンティング技法では、有機物液滴のパターンをどのように形成するかによって、ディスプレイパネルの解像度などの因子を定められるため、予めテスト基板に有機物液滴をパターニングした後、メイン基板にパターニングすることが一般的である。
しかし、一般的に前記のようにテスト基板に有機物液滴をパターニングする場合、メイン基板の製造工程中に行うものではなく、別途の空間で行われる。
そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、有機物液滴の精密な吐出をすることが可能な、新規かつ改良された液滴吐出装置を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第１ステージと、前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第２ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられて前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査して吐出される前記有機物液滴のパターンを修正し、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置を提供する。
また、前記第１ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第１ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記テスト基板を、前記第１ステージにローディングさせ、もしくは前記第１ステージからアンローディングさせ、または前記メイン基板を、前記第２ステージにローディングさせ、もしくは前記第２ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾燥ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第３ステージをさらに備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。
また、前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第４ステージをさらに備えてもよい。
また、前記第１ステージには、整列マークが形成されてもよい。
また、前記第１ステージ内部に設けられ、前記第１ステージの表面温度を制御するテスト基板加熱ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記第１ステージと前記第２ステージとは、互いに離隔して設けられるか、または連結されるように設けられてもよい。
また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に設けられ、テスト基板及びメイン基板が載置される第２ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査し、吐出される前記有機物液滴のパターンを修正して前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置を提供する。
また、前記第２ステージは、前記テスト基板が載置されるテスト基板載置部を備えてもよい。
また、前記テスト基板載置部は、前記テスト基板を加熱して前記有機物液滴を硬化させるテスト基板加熱ユニットを備えてもよい。
また、前記第２ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第２ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記ステージ摺動部の長手方向に移動自在に設けられ、前記テスト基板を前記第２ステージにローディングし、または前記テスト基板を前記第２ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾燥ユニットをさらに備えてもよい。
また、前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第３ステージをさらに備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。
また、前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。
また、前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第４ステージをさらに備えてもよい。
また、前記第２ステージには、整列マークが形成されてもよい。
以上説明したように本発明によれば、有機物液滴の精密な吐出をすることが可能となる。
本発明の第１実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 図１に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。 本発明の第２実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。 本発明の第３実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。 本発明の第４実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。 本発明の第５実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。 本発明の第６実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
本発明は、添付した図面と共に詳細に後述される実施形態を参照すれば明らかになる。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され、但し、本実施形態は、本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。一方、本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は文言で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使われる“含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅｓ、ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）”は、該言及された構成要素、段階、動作及び／または素子において、一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び／または素子の存在または追加を排除しない。第１、第２などの用語は、多様な構成要素の説明に使われるが、構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使われる。
図１は、本発明の第１実施形態によるディスプレイパネル製造装置１００を示す概念図である。図２は、図１に示されたディスプレイパネル製造装置１００を通じてディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図１及び図２を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置１００は、ステージ摺動部１１０を備える。この時、ステージ摺動部１１０には、後述する第１ステージ１２０または第２ステージ１３０が摺動自在に設けられる。特に、ステージ摺動部１１０は、リニアモーションガイド（LM guide）を備える。
一方、ディスプレイパネル製造装置１００は、ステージ摺動部１１０に摺動自在に設けられ、テスト基板Ｔが載置される第１ステージ１２０を備える。この時、第１ステージ１２０には、テスト基板Ｔを整列するために整列マーク１５１が形成される。
また、ディスプレイパネル製造装置１００は、ステージ摺動部１１０に設けられ、メイン基板Ｍが載置される第２ステージ１３０を備える。この時、第１ステージ１２０及び第２ステージ１３０のうち少なくとも一つは、ステージ摺動部１１０に対し線形運動するように設けられる。
ディスプレイパネル製造装置１００は、ステージ摺動部１１０から離隔して設けられ、テスト基板Ｔに有機物液滴Ｏを吐出するパターニング部１４０を備える。この時、パターニング部１４０は、テスト基板Ｔに吐出された有機物液滴Ｏのパターンを検査した後、有機物液滴Ｏのパターンを修正した後でメイン基板Ｍに吐出する。
特にパターニング部１４０は、ステージ摺動部１１０から一定間隔離隔して配され、ステージ摺動部１１０の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレーム１４１を備える。この時、メインフレーム１４１は、外部に固設される固定フレーム（図示せず）上に前記のように移動自在に設けられる。
また、パターニング部１４０は、メインフレーム１４１に設けられ、テスト基板Ｔまたはメイン基板Ｍに有機物液滴Ｏを吐出する液滴吐出部１４２を備える。特に、パターニング部１４０は、メインフレーム１４１に設けられ、液滴吐出部１４２からテスト基板Ｔに吐出された有機物液滴Ｏのパターンを分析するパターン分析部１４３を備える。この時、パターン分析部１４３は、カメラなどを備えて有機物液滴Ｏのパターンを撮影するか、またはセンサーを備えて有機物液滴Ｏのパターンを感知する。
一方、ディスプレイパネル製造装置１００は、第１ステージ１２０に設けられてテスト基板Ｔを第１ステージ１２０から離隔させるテスト基板昇降ユニット１５０を備える。この時、テスト基板昇降ユニット１５０は複数備えられ、複数のテスト基板昇降ユニット１５０は、互いに一定間隔を維持するように第１ステージ１２０に設けられる。また、テスト基板昇降ユニット１５０は、油圧または空圧で作動するシリンダーを備え、シャフトとギアモジュール、モータなどを通じてテスト基板Ｔを昇降させる構成も可能である。
ディスプレイパネル製造装置１００は、ステージ摺動部１１０から一定間隔離隔して設けられる基板提供ユニット１６０を備える。この時、基板提供ユニット１６０は、テスト基板Ｔを第１ステージ１２０にローディングし、またはテスト基板Ｔを第１ステージ１２０からアンローディングする。また、基板提供ユニット１６０は、メイン基板Ｍを第２ステージ１３０にローディングし、またはメイン基板Ｍを第２ステージ１３０からアンローディングする。
前記のような基板提供ユニット１６０は、多様な形態に形成されることができる。例えば、基板提供ユニット１６０はロボットアーム形態に形成されることができる。特に基板提供ユニット１６０がロボットアーム形態に形成される場合、一部が回転自在に形成されてテスト基板Ｔまたはメイン基板Ｍをローディングまたはアンローディングする。
基板提供ユニット１６０は、第１ステージ１２０の位置または第２ステージ１３０の位置によって線形運動自在に設けられる。この時、基板提供ユニット１６０は、上記固定フレームに線形運動自在に設けられる。
また、基板提供ユニット１６０は、ステージ摺動部１１０から離隔して設けられる液滴乾燥ユニット１７０を備える。この時、液滴乾燥ユニット１７０は、ステージ摺動部１１０上から離隔して設けられる。また、液滴乾燥ユニット１７０は、テスト基板Ｔに吐出された有機物液滴Ｏを乾燥させる。具体的には、液滴乾燥ユニット１７０は、移動自在に設けられてテスト基板Ｔに有機物液滴Ｏが吐出された後、テスト基板Ｔと接触して真空状態を維持させ、熱を加えて有機物液滴Ｏを乾燥させる。
次に、図２Ａ及び図２Ｂを参考にして前記のように形成されるディスプレイパネル製造装置１００の作動方法を説明する。先ず、テスト基板Ｔ及びメイン基板Ｍをそれぞれ第１ステージ１２０及び第２ステージ１３０にそれぞれ整列できる。
この時、テスト基板Ｔは、基板提供ユニット１６０によって第１ステージ１２０に提供される。特に、基板提供ユニット１６０は、整列マーク１５１に対応するようにテスト基板Ｔを第１ステージ１２０に載置させる。前記のような場合、基板提供ユニット１６０の作動によってある程度精密度が保証されるため、テスト基板Ｔは、整列マーク１５１と対応するように第１ステージ１２０に載置される。
また、前記のように基板提供ユニット１６０を通じてテスト基板Ｔをローディングする場合、テスト基板昇降ユニット１５０は、上昇してテスト基板Ｔを支持する。この時、テスト基板昇降ユニット１５０は、テスト基板Ｔが載置されれば、下降してテスト基板Ｔを第１ステージ１２０に載置させる。
図２Ｃを参考にすれば、パターニング部１４０を通じて、有機物液滴Ｏをテスト基板Ｔに吐出する。特に液滴吐出部１４２は、有機物液滴Ｏをテスト基板Ｔ上に吐出する。この時、有機物液滴Ｏを形成する有機物は、ディスプレイパネルの製造時に使われるすべての有機物を含む。具体的に、有機物は、画素定義膜を形成する有機物、パッシベーション層を形成する有機物、有機発光層を形成する有機物などのように、ディスプレイパネルの製造時に使うすべての有機物を含む。
一方、前記のように有機物液滴Ｏを吐出し、有機物液滴Ｏのパターンをテスト基板Ｔ上に形成した後、図２Ｄのように、第１ステージ１２０を移動して液滴乾燥ユニット１７０の下面に配置させる。この時、第１ステージ１２０は、ステージ摺動部１１０を摺動して移動できる。特に第１ステージ１２０は、多様な駆動装置によって移動する。例えば、前記駆動装置は、モータ、シリンダーなどを備えることで第１ステージ１２０を移動させる。
前記の過程が完了すれば、図２Ｅのように、液滴乾燥ユニット１７０は、下降してテスト基板Ｔと接触する。この時、テスト基板Ｔは、液滴乾燥ユニット１７０と接触せず、液滴乾燥ユニット１７０の内部に完全に挿入されることもできる。但し、以下では説明の便宜のために、液滴乾燥ユニット１７０とテスト基板Ｔとが接触する場合を中心として詳細に説明する。
液滴乾燥ユニット１７０とテスト基板Ｔとが接触すれば、液滴乾燥ユニット１７０は、テスト基板Ｔと接触する部分の環境を真空状態に維持させる。また、液滴乾燥ユニット１７０は、テスト基板Ｔと接触する部分に熱を加え、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏのパターンを硬化させる。特に液滴乾燥ユニット１７０は、前記のようにテスト基板Ｔ上に有機物液滴Ｏのパターンを硬化させることで、有機物液滴Ｏのパターンを自然に乾燥させるのに必要な時間を短縮することで作業時間を短縮する。
一方、前記のようにテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏのパターンが硬化された後、液滴乾燥ユニット１７０を上昇させて液滴乾燥ユニット１７０とテスト基板Ｔとを分離できる。また、前記の過程が完了すれば、第１ステージ１２０を再び移送させる。この時、第１ステージ１２０は、ステージ摺動部１１０を摺動してパターニング部１４０の下面に再び位置する。
前記のように第１ステージ１２０が位置すれば、図２Ｆのように、メインフレーム１４１をステージ摺動部１１０の長手方向と垂直方向に移動させ、パターン分析部１４３をテスト基板Ｔ上に配置させる。
パターン分析部１４３は、テスト基板Ｔの有機物液滴Ｏのパターンを分析する。この時、パターン分析部１４３は、有機物液滴Ｏのパターンを撮影した後、既定の有機物液滴Ｏのパターンと比べることで、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏのパターンを分析する。
前記のように分析した有機物液滴Ｏのパターンに基づいて、パターン分析部１４３は、液滴吐出部１４２で吐出される有機物液滴Ｏのパターンを修正する。具体的に、パターン分析部１４３は、既定の有機物液滴Ｏのパターンと、吐出されて形成される有機物液滴Ｏのパターンとを互いに比べた後、有機物液滴Ｏの吐出速度、吐出量、吐出位置などを修正する。
前記のように、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏのパターン分析が完了すれば、図２Ｇのように、テスト基板昇降ユニット１５０を通じてテスト基板Ｔを第１ステージ１２０から分離させる。この時、テスト基板昇降ユニット１５０の作動が完了すれば、基板提供ユニット１６０を通じてテスト基板Ｔをアンローディングして外部に引き出す。
前記の過程が完了すれば、パターニング部１４０を移送させる。具体的に、メインフレーム１４１は、ステージ摺動部１１０の長手方向に線形運動して液滴吐出部１４２をメイン基板Ｍ上に位置させる。この時、液滴吐出部１４２は複数備えられ、複数の液滴吐出部１４２は、互いに一定間隔離隔して配される。特に、複数の液滴吐出部１４２は、それぞれメインフレーム１４１に固定され、移動自在に設けられることもできる。具体的に、複数の液滴吐出部１４２は、ディスプレイパネルの製造時に必要な有機物液滴Ｏのパターンによって多様に配される。
一方、前記のようにパターニング部１４０の位置が整列されれば、液滴吐出部１４２を通じてメイン基板Ｍ上に有機物液滴Ｏを吐出してディスプレイパネルを製造できる。この時、ディスプレイパネルの製造方法は一般的な方法と類似しているため、詳細な説明は略する。
したがって、ディスプレイパネル製造装置１００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置１００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。
図３は、本発明の第２実施形態によるディスプレイパネル製造装置２００を示す概念図である。
図３を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置２００は、ステージ摺動部２１０、第１ステージ２２０、第２ステージ２３０、パターニング部２４０、テスト基板昇降ユニット２５０、基板提供ユニット２６０及び液滴乾燥ユニット２７０を備える。この時、ステージ摺動部２１０、第１ステージ２２０、第２ステージ２３０、テスト基板昇降ユニット２５０、基板提供ユニット２６０及び液滴乾燥ユニット２７０は、前記図１及び図２で説明したステージ摺動部１１０、第１ステージ１２０、第２ステージ１３０、テスト基板昇降ユニット１５０、基板提供ユニット１６０及び液滴乾燥ユニット１７０と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、パターニング部２４０は、メインフレーム２４１、液滴吐出部２４２及びパターン分析部２４３を備える。この時、メインフレーム２４１及び液滴吐出部２４２は、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１及び液滴吐出部１４２と同一であるため、詳細な説明は略する。
パターニング部２４０は、前述したようにパターン分析部２４３を備える。この時、パターン分析部２４３は、メインフレーム２４１及びステージ摺動部２１０から離隔して設けられる。具体的に、パターン分析部２４３は、上記固定フレームに固設される。この時、パターン分析部２４３は、前述したように、テスト基板Ｔに吐出された有機物液滴Ｏのパターンを分析する。
ディスプレイパネル製造装置２００は、パターン分析部２４３の下面に配され、テスト基板Ｔが載置される第４ステージ２９０を備える。この時、第４ステージ２９０は、第１ステージ２２０で有機物液滴Ｏのパターンが形成された後、基板提供ユニット２６０を通じて移送されたテスト基板Ｔが載置される。また、第４ステージ２９０は、第１ステージ２２０と一直線上に配され、第１ステージ２２０と第４ステージ２９０との間には基板提供ユニット２６０が配される。
一方、ディスプレイパネル製造装置２００の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット２６０を通じて、テスト基板Ｔを第１ステージ２２０上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット２５０が昇降した後でテスト基板Ｔが載置されれば、下降してテスト基板Ｔを第１ステージ２２０上に載置させる。
前記の過程が完了すれば、液滴吐出部２４２から有機物液滴Ｏをテスト基板Ｔ上に吐出し、第１ステージ２２０が移動してテスト基板Ｔを液滴乾燥ユニット２７０の下面に配置させる。この時、液滴乾燥ユニット２７０は、前述したものと類似してテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させる。
一方、前記のように有機物液滴Ｏの乾燥が完了すれば、テスト基板Ｔを第１ステージ２２０から第４ステージ２９０に移送させる。この時、テスト基板Ｔを移送させる方法は多様である。例えば、第１ステージ２２０を移送させた後、基板提供ユニット２６０を通じて第４ステージ２９０に移送させる。また、第１ステージ２２０の位置を固定させた後、基板提供ユニット２６０を通じてテスト基板Ｔをアンローディングした後、基板提供ユニット２６０を移送させてテスト基板Ｔを第４ステージ２９０に移送させることもできる。但し、以下では、説明の便宜のために、第１ステージ２２０が移送された後、テスト基板Ｔを第１ステージ２２０から第４ステージ２９０に移送させる方法を中心として詳細に説明する。
具体的には、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏの乾燥が完了すれば、第１ステージ２２０は再び原位置に移動する。この時、テスト基板昇降ユニット２５０が作動してテスト基板Ｔを第１ステージ２２０から離隔させた後、基板提供ユニット２６０は、テスト基板Ｔを第４ステージ２９０に移送させる。
一方、前記のようにテスト基板Ｔが第４ステージ２９０に載置されれば、パターン分析部２４３では有機物液滴Ｏのパターンを検査する。この時、パターン分析部２４３の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。
前記のように有機物液滴Ｏのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部２４２から吐出される有機物液滴Ｏを調節するように液滴吐出部２４２を制御する。この時、有機物液滴Ｏの調節方法及び調節因子は前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム２４１は、メイン基板Ｍ上に位置でき、液滴吐出部２４２は、修正された有機物液滴Ｏのパターンをメイン基板Ｍ上に吐出できる。
したがって、ディスプレイパネル製造装置２００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置２００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させる。
図４は、本発明の第３実施形態によるディスプレイパネル製造装置３００を示す概念図である。
図４を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置３００は、ステージ摺動部３１０、第１ステージ３２０、第２ステージ３３０、第４ステージ３９０、パターニング部３４０、テスト基板昇降ユニット３５０、基板提供ユニット３６０及び液滴乾燥ユニット３７０を備える。この時、ステージ摺動部３１０、第１ステージ３２０、第２ステージ３３０、第４ステージ３９０、テスト基板昇降ユニット３５０、基板提供ユニット３６０及び液滴乾燥ユニット３７０は、前記の図３で説明したステージ摺動部２１０、第１ステージ２２０、第２ステージ２３０、第４ステージ２９０、テスト基板昇降ユニット２５０、基板提供ユニット２６０及び液滴乾燥ユニット２７０と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、パターニング部３４０は、メインフレーム３４１、液滴吐出部３４２及びパターン分析部３４３を備える。この時、メインフレーム３４１、液滴吐出部３４２及びパターン分析部３４３は、前記の図３で説明したメインフレーム２４１、液滴吐出部２４２及びパターン分析部２４３と同一であるため、詳細な説明は略する。
ディスプレイパネル製造装置３００は、液滴乾燥ユニット３７０と対向して配され、テスト基板Ｔが載置される第３ステージ３８０を備える。この時、第３ステージ３８０は、液滴乾燥ユニット３７０がテスト基板Ｔを乾燥させる時、テスト基板Ｔが載置されて支持する。また、前記のように第３ステージ３８０が設けられる場合、液滴乾燥ユニット３７０はステージ摺動部３１０上に配されるものではなく、第３ステージ３８０と対向して配される。また、前記のように第３ステージ３８０及び液滴乾燥ユニット３７０が配される場合、第３ステージ３８０及び液滴乾燥ユニット３７０は、ステージ摺動部３１０、第１ステージ３２０、第２ステージ３３０などと別途の空間に設けられてもよい。
一方、ディスプレイパネル製造装置３００の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的には、基板提供ユニット３６０を通じて、テスト基板Ｔを第１ステージ３２０上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット３５０が昇降した後テスト基板Ｔが載置されれば、下降してテスト基板Ｔを第１ステージ３２０上に載置させる。
前記の過程が完了すれば、液滴吐出部３４２からテスト基板Ｔ上に有機物液滴Ｏを吐出する。また、第１ステージ３２０上のテスト基板Ｔへの有機物液滴Ｏの吐出が完了すれば、テスト基板昇降ユニット３５０はテスト基板Ｔを上昇させる。この時、基板提供ユニット３６０は、テスト基板昇降ユニット３５０上のテスト基板Ｔをローディングし、第１ステージ３２０から第３ステージ３８０にテスト基板Ｔを移動させる。
第３ステージ３８０にテスト基板Ｔが移動すれば、液滴乾燥ユニット３７０が下降してテスト基板Ｔを乾燥させる。この時、液滴乾燥ユニット３７０がテスト基板Ｔを乾燥させる場合は前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、前記のように有機物液滴Ｏの乾燥が完了すれば、テスト基板Ｔを第３ステージ３８０から第４ステージ３９０に移送させる。この時、テスト基板Ｔを移送させる方法は多様である。例えば、第３ステージ３８０を移送させた後、基板提供ユニット３６０を通じて第４ステージ３９０に移送させる。また、第３ステージ３８０の位置を固定させた後、基板提供ユニット３６０を通じてテスト基板Ｔをアンローディングした後、基板提供ユニット３６０を移送させてテスト基板Ｔを第４ステージ３９０に移送させることもできる。但し、以下では説明の便宜のために、基板提供ユニット３６０がテスト基板Ｔを第３ステージ３８０から第４ステージ３９０に移送させる方法を中心として詳細に説明する。
具体的に、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏの乾燥が完了すれば、基板提供ユニット３６０を通じてテスト基板Ｔを、第３ステージ３８０から第４ステージ３９０に移送させる。この時、第３ステージ３８０及び第４ステージ３９０上には、テスト基板昇降ユニット３５０と類似した構造物を通じてテスト基板Ｔを昇降させる。
一方、前記のようにテスト基板Ｔが第４ステージ３９０に載置されれば、パターン分析部３４３では有機物液滴Ｏのパターンを検査できる。この時、パターン分析部３４３の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。
前記のように有機物液滴Ｏのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部３４２から吐出される有機物液滴Ｏを調節するように液滴吐出部３４２を制御する。この時、有機物液滴Ｏの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム３４１はメイン基板Ｍ上に位置でき、液滴吐出部３４２は、修正された有機物液滴Ｏのパターンをメイン基板Ｍ上に吐出する。
したがって、ディスプレイパネル製造装置３００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置３００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減することができる。
特に、ディスプレイパネル製造装置３００は、テスト基板Ｔを乾燥させるための液滴乾燥ユニット３７０を別途に形成することで、テスト基板Ｔの乾燥によるメイン基板Ｍの工程に影響を及ぼす因子を除去できる。
図５は、本発明の第４実施形態によるディスプレイパネル製造装置４００を示す概念図である。
図５を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置４００は、ステージ摺動部４１０、第１ステージ４２０、第２ステージ４３０、パターニング部４４０、テスト基板昇降ユニット４５０及び基板提供ユニット４６０を備える。この時、ステージ摺動部４１０、第１ステージ４２０、テスト基板昇降ユニット４５０及び基板提供ユニット４６０は、前記図１及び図２で説明したステージ摺動部１１０、第１ステージ１２０、テスト基板昇降ユニット１５０及び基板提供ユニット１６０と類似しているため、詳細な説明は略する。
この時、第１ステージ４２０と第２ステージ４３０とは、互いに隣接して設けられる。具体的に、第１ステージ４２０と第２ステージ４３０とは、互いに連結されるように設けられ、第１ステージ４２０と第２ステージ４３０とは、互いに一体に形成されてもよい。
一方、パターニング部４４０は、メインフレーム４４１、液滴吐出部４４２及びパターン分析部４４３を備える。この時、パターニング部４４０は、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備える。また、パターニング部４４０は、前記図３及び図４で説明したメインフレーム２４１、液滴吐出部２４２及びパターン分析部２４３を備える。但し、以下では、説明の便宜のために、パターニング部４４０が、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム４４１、液滴吐出部４４２及びパターン分析部４４３は、前記図１及び図２で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。
ディスプレイパネル製造装置４００は、第１ステージ４２０の内部に設けられて第１ステージ４２０の表面温度を制御するテスト基板加熱ユニット４２１を備える。特に、テスト基板加熱ユニット４２１は、第１ステージ４２０内部に設けられる熱線、ヒーターなどの加熱装置を備える。この時、前記図１及び図２で説明したように、ディスプレイパネル製造装置４００は、別途の液滴乾燥ユニット１７０を備えないこともある。
また、ディスプレイパネル製造装置４００は、第３ステージ（図示せず）及び第４ステージ（図示せず）を備えることもできる。この時、前記第３ステージ及び前記第４ステージは、前記図３及び図４で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では説明の便宜のために前記第３ステージと前記第４ステージが別に備えられる場合ではなく、第１ステージ４２０及び第２ステージ４３０だけ備える場合を中心として詳細に説明する。
一方、ディスプレイパネル製造装置４００の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット４６０を通じてテスト基板Ｔを第１ステージ４２０上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット４５０が昇降した後でテスト基板Ｔが載置されれば、下降してテスト基板Ｔを第１ステージ４２０上に載置させる。
前記の過程が完了すれば、テスト基板Ｔ上に液滴吐出部４４２を通じて有機物液滴Ｏを吐出する。また、第１ステージ４２０上のテスト基板Ｔへの有機物液滴Ｏの吐出が完了すれば、テスト基板加熱ユニット４２１を通じて第１ステージ４２０上のテスト基板Ｔを加熱できる。前記のような加熱により、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏは乾燥されて硬化する。
前記のようにテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させた後、パターン分析部４４３を通じて有機物液滴Ｏのパターンを分析する。この時、パターン分析部４４３の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。
前記の過程が完了すれば、メインフレーム４４１をステージ摺動部４１０の長手方向に線形運動させて、液滴吐出部４４２をメイン基板Ｍ上に配する。
この時、前記のように有機物液滴Ｏのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部４４２から吐出される有機物液滴Ｏを調節するように液滴吐出部４４２を制御する。有機物液滴Ｏの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム４４１は、メイン基板Ｍ上に位置でき、液滴吐出部４４２は、修正された有機物液滴Ｏのパターンをメイン基板Ｍ上に吐出する。
したがって、ディスプレイパネル製造装置４００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置４００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。
図６は、本発明の第５実施形態によるディスプレイパネル製造装置５００を示す概念図である。
図６を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置５００は、ステージ摺動部５１０、第２ステージ５３０、パターニング部５４０、テスト基板昇降ユニット（図示せず）、液滴乾燥ユニット５７０及び基板提供ユニット５６０を備える。この時、ステージ摺動部５１０、第２ステージ５３０、前記テスト基板昇降ユニット、液滴乾燥ユニット５７０及び基板提供ユニット５６０は、前記図１及び図２で説明したステージ摺動部１１０、第２ステージ１３０、テスト基板昇降ユニット１５０、液滴乾燥ユニット１７０及び基板提供ユニット１６０と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、パターニング部５４０は、メインフレーム５４１、液滴吐出部５４２及びパターン分析部５４３を備える。この時、パターニング部５４０は、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備える。また、パターニング部５４０は、前記図３及び図４で説明したメインフレーム２４１、液滴吐出部２４２及びパターン分析部２４３を備える。但し、以下では、説明の便宜のために、パターニング部５４０が、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム５４１、液滴吐出部５４２及びパターン分析部５４３は、前記図１及び図２で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。
また、ディスプレイパネル製造装置５００は、第３ステージ（図示せず）及び第４ステージ（図示せず）を備えることもできる。この時、前記第３ステージ及び前記第４ステージは、前記図３及び図４で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では、説明の便宜のために、前記第３ステージ及び前記第４ステージが別途に備えられる場合ではなく、第２ステージ５３０のみ備える場合を中心として詳細に説明する。
第２ステージ５３０上には、テスト基板Ｔを整列するための整列マーク（図示せず）が形成される。この時、前記整列マークは、前記図１及び図２で説明した第１ステージ１２０上に形成される整列マーク１５１と同一または類似して形成されて作動するため、詳細な説明は略する。
一方、ディスプレイパネル製造装置５００の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット５６０を通じて、テスト基板Ｔを第２ステージ５３０上にローディングする。この時、前記テスト基板昇降ユニットが昇降した後でテスト基板Ｔが載置されれば、下降してテスト基板Ｔを第２ステージ５３０上に載置させる。
前記の過程が完了すれば、テスト基板Ｔ上に、液滴吐出部５４２を通じて有機物液滴Ｏを吐出する。また、第２ステージ５３０上のテスト基板Ｔへの有機物液滴Ｏの吐出が完了すれば、第２ステージ５３０をステージ摺動部５１０の長手方向で線形運動させ、液滴乾燥ユニット５７０の下面にテスト基板Ｔを位置させる。この時、液滴乾燥ユニット５７０は、前記図１及び図２で説明したように下降し、テスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させて硬化させる。
前記のようにテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させた後、パターン分析部５４３を通じて有機物液滴Ｏのパターンを分析する。この時、パターン分析部５４３の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。
前記の過程が完了すれば、基板提供ユニット５６０は、テスト基板Ｔを第２ステージ５３０上でアンローディングした後、第２ステージ５３０上にメイン基板Ｍをローディングする。
前記の過程が完了すれば、メインフレーム５４１をステージ摺動部５１０の長手方向に線形運動させて、液滴吐出部５４２をメイン基板Ｍ上に配する。
この時、前記のように有機物液滴Ｏのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部５４２から吐出される有機物液滴Ｏを調節するように液滴吐出部５４２を制御する。有機物液滴Ｏの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム５４１は、メイン基板Ｍ上に位置し、液滴吐出部５４２は、修正された有機物液滴Ｏのパターンをメイン基板Ｍ上に吐出する。
したがって、ディスプレイパネル製造装置５００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置５００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。
図７は、本発明の第６実施形態によるディスプレイパネル製造装置６００を示す概念図である。
図７を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置６００は、ステージ摺動部６１０、第２ステージ６３０、パターニング部６４０、テスト基板昇降ユニット（図示せず）及び基板提供ユニット６６０を備える。この時、ステージ摺動部６１０、第２ステージ６３０、前記テスト基板昇降ユニット及び基板提供ユニット６６０は、前記図６で説明したステージ摺動部５１０、第２ステージ５３０、前記テスト基板昇降ユニット及び基板提供ユニット５６０と類似しているため、詳細な説明は略する。
一方、パターニング部６４０は、メインフレーム６４１、液滴吐出部６４２及びパターン分析部６４３を備える。この時、パターニング部６４０は、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備えてもよい。また、パターニング部６４０は、前記図３及び図４で説明したメインフレーム２４１、液滴吐出部２４２及びパターン分析部２４３を備えてもよい。但し、以下では説明の便宜のために、パターニング部６４０が、前記図１及び図２で説明したメインフレーム１４１、液滴吐出部１４２及びパターン分析部１４３を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム６４１、液滴吐出部６４２及びパターン分析部６４３は、前記図１及び図２で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。
また、ディスプレイパネル製造装置６００は、第３ステージ（図示せず）及び第４ステージ（図示せず）を備えることもできる。この時、前記第３ステージ及び前記第４ステージは、前記図３及び図４で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では、説明の便宜のために、前記第３ステージと前記第４ステージとが別途に備えられる場合ではなく、第２ステージ６３０のみ備える場合を中心として詳細に説明する。
第２ステージ６３０は、テスト基板Ｔが載置されるテスト基板載置部６３１が形成される。この時、テスト基板載置部６３１は、テスト基板Ｔを加熱して有機物液滴Ｏを硬化させるテスト基板加熱ユニット６３２を備える。特に、テスト基板加熱ユニット６３２はプレート状に形成され、熱線やヒーターなどの加熱装置を備えてもよい。
一方、ディスプレイパネル製造装置６００の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的には、基板提供ユニット６６０を通じて、テスト基板Ｔを第２ステージ６３０上にローディングする。この時、テスト基板Ｔは、第２ステージ６３０上のテスト基板載置部６３１に載置させる。特に、テスト基板載置部６３１には前記テスト基板昇降ユニットが設けられ、前記テスト基板昇降ユニットが昇降してからテスト基板Ｔが載置された後、下降してテスト基板Ｔを第２ステージ６３０上に載置させる。
前記の過程が完了すれば、テスト基板Ｔ上に液滴吐出部６４２を通じて有機物液滴Ｏを吐出する。また、第２ステージ６３０上のテスト基板Ｔに有機物液滴Ｏの吐出が完了すれば、テスト基板加熱ユニット６３２が作動してテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させて硬化させる。
前記のようにテスト基板Ｔ上の有機物液滴Ｏを乾燥させた後、パターン分析部６４３を通じて有機物液滴Ｏのパターンを分析する。この時、パターン分析部６４３の検査方法は前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。
前記の過程が完了すれば、基板提供ユニット６６０は、テスト基板Ｔを第２ステージ６３０上からアンローディングした後、第２ステージ６３０上にメイン基板Ｍをローディングする。この時、前記テスト基板昇降ユニットが作動してテスト基板載置部６３１からテスト基板Ｔを分離する。
前記の過程が完了すれば、メインフレーム６４１をステージ摺動部６１０の長手方向に線形運動させて液滴吐出部６４２をメイン基板Ｍ上に配する。
この時、前記のように有機物液滴Ｏのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部６４２から吐出される有機物液滴Ｏを調節するように液滴吐出部６４２を制御する。有機物液滴Ｏの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム６４１はメイン基板Ｍ上に位置でき、液滴吐出部６４２は、修正された有機物液滴Ｏのパターンをメイン基板Ｍ上に吐出する。
したがって、ディスプレイパネル製造装置６００は、別途にテスト基板Ｔを外部でテストした後でメイン基板Ｍに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置６００は、メイン基板Ｍの製造と同じ条件でテスト基板Ｔのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
本発明は、ディスプレイパネル製造装置関連の技術分野に好適に適用可能である。
１００、２００、３００、４００、５００、６００ ディスプレイパネル製造装置
１１０、２１０、３１０、４１０、５１０、６１０ ステージ摺動部
１３０、２３０、３３０、４３０、５３０、６３０ 第２ステージ
１４０、２４０、３４０、４４０、５４０、６４０ パターニング部
１４１、２４１、３４１、４４１、５４１、６４１ メインフレーム
１４２、２４２、３４２、４４２、５４２、６４２ 液滴吐出部
１４３、２４３、３４３、４４３、５４３、６４３ パターニング部
１６０、２６０、３６０、４６０、５６０、６６０ 基板提供ユニット

Claims (26)

  1. ステージ摺動部と、
    前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第１ステージと、
    前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第２ステージと、
    前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、この有機物液滴を乾燥させる液滴乾燥ユニットと、
    前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、乾燥後におけるテスト基板上の前記有機物液滴のパターンを検査し、この結果に基づいて吐出される前記有機物液滴を調節して、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、
    を備え、
    テスト基板は、メイン基板よりも、長手方向及び幅方向の寸法が小さく、液滴乾燥ユニットの内部についての長手方向及び幅方向の寸法は、メイン基板の対応する寸法よりも小さく、
    前記乾燥は、
    テスト基板が載置される第１ステージを、第２ステージから遠ざかるようにステージ摺動部に沿って移動させた後、液滴乾燥ユニットを、第１ステージまたはテスト基板に組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部で乾燥が行われるようにするか、または、
    第１ステージ上のテスト基板を、ステージ摺動部から外れた第３ステージに移動させた後、液滴乾燥ユニットを、第３ステージまたはテスト基板Ｔに組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部で乾燥が行われるようにすることで行う液滴吐出装置。
  2. 前記第１ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第１ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備える請求項１に記載の液滴吐出装置。
  3. 前記テスト基板を、前記第１ステージにローディングさせ、もしくは前記第１ステージからアンローディングさせ、または前記メイン基板を、前記第２ステージにローディングさせ、もしくは前記第２ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備える請求項１または２のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  4. 前記乾燥は、液滴乾燥ユニットの内部を真空状態に維持して加熱することにより行われる請求項１〜３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  5. 第３ステージが、前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される請求項４に記載の液滴吐出装置。
  6. 前記パターニング部は、
    前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、
    前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備える請求項１〜５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  7. 前記パターニング部は、
    前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項６に記載の液滴吐出装置。
  8. 前記パターニング部は、
    前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項６または７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  9. 前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第４ステージをさらに備える請求項８に記載の液滴吐出装置。
  10. 前記第１ステージには、整列マークが形成された請求項１〜９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  11. 前記第１ステージ内部に設けられ、前記第１ステージの表面温度を制御するテスト基板加熱ユニットをさらに備える請求項１〜１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  12. 前記第１ステージと前記第２ステージとは、互いに離隔して設けられるか、または連結されるように設けられる請求項１〜１１のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  13. ステージ摺動部と、
    前記ステージ摺動部に設けられ、テスト基板及びメイン基板が載置される第２ステージと、
    前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、この有機物液滴を乾燥させる乾燥ユニットと、
    前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、乾燥後におけるテスト基板上の前記有機物液滴のパターンを検査し、この結果に基づいて吐出される前記有機物液滴を調節して前記メイン基板に吐出するパターニング部と、
    を備え、
    テスト基板は、メイン基板よりも、長手方向及び幅方向の寸法が小さく、液滴乾燥ユニットの内部についての長手方向及び幅方向の寸法は、メイン基板の対応する寸法よりも小さく、
    前記乾燥は、
    テスト基板が載置される第２ステージをステージ摺動部に沿って移動させた後、液滴乾燥ユニットを、第２ステージまたはテスト基板に組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部で乾燥が行われるようにするか、または、
    第２ステージ上のテスト基板を、ステージ摺動部から外れた第３ステージに移動させた後、液滴乾燥ユニットを、第３ステージまたはテスト基板Ｔに組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部で乾燥が行われるようにすることで行う液滴吐出装置。
  14. 前記第２ステージは、前記テスト基板が載置されるテスト基板載置部を備える請求項１３に記載の液滴吐出装置。
  15. 前記テスト基板載置部は、前記テスト基板を加熱して前記有機物液滴を硬化させるテスト基板加熱ユニットを備える請求項１４に記載の液滴吐出装置。
  16. 前記第２ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第２ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備える請求項１３〜１５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  17. 前記ステージ摺動部の長手方向に移動自在に設けられ、前記テスト基板を前記第２ステージにローディングし、または前記テスト基板を前記第２ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備える請求項１３〜１６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  18. 前記乾燥は、液滴乾燥ユニットの内部を真空状態に維持して加熱することにより行われる請求項１３〜１７のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  19. 前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第３ステージをさらに備える請求項１８に記載の液滴吐出装置。
  20. 前記パターニング部は、
    前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、
    前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備える請求項１３〜１９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  21. 前記パターニング部は、
    前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項２０に記載の液滴吐出装置。
  22. 前記パターニング部は、
    前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項２０または２１のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  23. 前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第４ステージをさらに備える請求項２２に記載の液滴吐出装置。
  24. 前記第２ステージには、整列マークが形成された請求項１３〜２３のいずれかに記載の液滴吐出装置。
  25. ステージ摺動部と、
    前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第１ステージと、
    前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第２ステージと、
    前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、この有機物液滴を乾燥させる乾燥ユニットと、
    前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、乾燥後におけるテスト基板上の前記有機物液滴のパターンを検査し、この結果に基づいて吐出される前記有機物液滴を調節して、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、
    を備え、
    テスト基板は、メイン基板よりも、長手方向及び幅方向の寸法が小さく、液滴乾燥ユニットの内部についての長手方向及び幅方向の寸法は、メイン基板の対応する寸法よりも小さく、
    前記乾燥は、液滴乾燥ユニットを、テスト基板、またはテスト基板が載置されるステージに組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部を真空状態に維持して加熱することにより行われる液滴吐出装置。
  26. ステージ摺動部と、
    前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板及びメイン基板が載置される第２ステージと、
    前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、この有機物液滴を乾燥させる乾燥ユニットと、
    前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、乾燥後におけるテスト基板上の前記有機物液滴のパターンを検査し、この結果に基づいて吐出される前記有機物液滴を調節して、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、
    を備え、
    テスト基板は、メイン基板よりも、長手方向及び幅方向の寸法が小さく、液滴乾燥ユニットの内部についての長手方向及び幅方向の寸法は、メイン基板の対応する寸法よりも小さく、
    前記乾燥は、液滴乾燥ユニットを、第２ステージまたはテスト基板に組み合わせて、液滴乾燥ユニットの内部を真空状態に維持して加熱することにより行われる液滴吐出装置。
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