KR100953575B1 - 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 - Google Patents

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 검사 장치 및 그것을 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 특히 액정표시장치용 기판 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
본 발명의 목적은, 검사 기판을 검사하는 동안에 검사 기판을 뒤따르는 비검사 기판들의 반송 지연 문제를 해결하는 액정표시장치용 기판 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 검사부에 대응하여 위치하고 검사 기판을 컨베이어 상에서 상승시키고 하강시키는 리프터 핀을 사용하여 비검사 기판을 계속해서 이동가능토록 하는 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법을 제공한다.
본 발명은, 리프터 핀을 사용하여 검사 기판을 검사부로 이동시켜 검사하게 되고, 검사 기판을 검사하는 동안에 비검사 기판을 계속하여 이동할 수 있게 함으로써, 종래의 검사 기판 검사 과정에 따른 기판 반송의 지연 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

Description

기판 검사 장치 및 기판 검사 방법{Substrate inspecting device and substrate inspecting method}
도 1은 종래의 포토 인라인 검사 장치를 개략적으로 도시한 정면도.
도 2 내지 4는 포토 인라인 검사 장치의 동작 과정을 도시한 정면도.
도 5a와 5b는 본 발명의 실시예에 따른 포토 인라인 검사 장치를 도시한 정면도 및 단면도.
도 6은 도 5의 절단선 Ⅵ-Ⅵ을 따라 도시한 단면도.
도 7 내지 12는 본 발명의 실시예에 따른 포토 인라인 검사 장치의 동작 과정을 도시한 정면도 및 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
210 : 검사부 220 : 컨베이어
230 : 리프터 231 : 리프터 지지체
232 : 리프터 핀
본 발명은 검사 장치 및 그것을 이용한 검사 방법에 관한 것으로, 특히 액정표시장치용 기판 검사 장치 및 검사 방법에 관한 것이다.
액정표시장치는 컬러필터기판과 스위칭 소자인 박막트랜지스터(thin film transistor)가 위치하는 어레이기판과, 컬러필터기판과 어레이기판에 충진된 액정층으로 이루어진다.
어레이기판에는 게이트 배선 및 데이터 배선 등의 금속 패턴(pattern)이 형성되며, 컬러필터기판에는 화소(pixel)마다 컬러필터층이 형성되는 등, 액정표시장치에서는 다양한 패턴을 가지는 박막층이 존재한다.
액정표시장치에 다양한 박막 패턴을 형성하기 위해서, 포토리소그라피(photo lithography) 공정과 식각(etching) 공정을 거치게 된다.
포토리소그라피 공정은, 패턴을 형성하기 위한 박막을 증착하고, 증착된 박막 상에 감광성 물질인 포토레지스트(photo resist)를 도포하고, 일정한 패턴이 형성된 마스크를 위치시키고 노광한 후에, 현상(develop)을 진행하여 포토레지스트에 패턴을 형성하게 된다.
포토리소그라피 공정을 진행한 후에, 건식(dry) 또는 습식(wet) 식각 공정을 통해서 박막을 식각하여, 원하는 패턴을 형성하게 된다.
위에서 서술한 바와 같이, 박막 패턴을 형성하기 위해서는 여러 차례의 공정이 수행되어야 하며, 각 공정마다 다양한 공정 조건 및 물질이 사용됨으로써, 액정 표시장치용 기판에는 원하지 않는 불량 패턴이 형성될 수 있다.
뿐만 아니라, 액정표시장치용 기판의 세정 공정, 러빙 공정 등 수많은 공정을 거치게 되므로, 그에 따라 액정표시장치용 기판은 원하지 않는 특성을 가질 수 있다.
따라서, 액정표시장치용 기판에 대해서는 불량 여부에 대해 검사 공정을 진행하게 된다.
도 1은 액정표시장치용 기판의 불량 여부를 검사하는 종래의 포토 인라인(photo in-line) 검사 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
포토 인라인 검사 장치는 컨베이어(120)을 통해 순차적으로 투입되는 액정표시장치용 기판(141, 142)에서, 선택된 샘플(selective sample) 기판인 검사 기판(141)에 대해 검사부(110)에서 빛을 조사하여 검사 과정을 진행하게 되고, 검사 기판(141) 이외의 비검사 대상 기판인 비검사 기판(142)에 대해서는 검사부(110)에서 검사 과정을 진행하지 않는다.
도시한 바와 같이, 검사 장치는 액정표시장치용 기판(141, 142)의 불량 여부를 검사하는 검사부(110)와, 액정표시장치용 기판(141, 142)을 이동시키는 컨베이어(120)와, 컨베이어를 회전시키기 위한 컨베이어 구동부(122)와, 검사 장치를 지지하는 지지체(125)로 이루어진다.
검사부(110)는 순차적으로 투입되는 액정표시장치용 기판(141, 142) 중 검사 기판(141)이 검사부(110) 아래의 검사 영역(C) 내에 위치하게 되면, 검사 기판(141)을 검사하게 된다. 검사부(110)에서 검사 기판(141) 상에 빛을 조사하고, 조사된 빛은 검사 기판(141)에 의해 반사된다. 검사 기판(141)에 의해 반사된 빛에 기초하여 검사 기판(141)의 불량 여부를 판단하게 된다.
컨베이어(120)는 비검사 기판(142)과 검사 기판(141)을 이동시키는 기능을 한다. 컨베이어(120) 상에 놓여진 검사 및 비검사 기판(141, 142)은 컨베이어(120)가 회전하여 이동하게 된다. 컨베이어(120)는, 인접하는 다수개의 컨베이어(120)가 컨베이어 모듈(module)을 형성하여 동일하게 구동되거나, 컨베이어(120)가 각각 독립적으로 구동될 수 있다. 일반적으로, 컨베이어(120)는 인접하는 다수개의 컨베이어가 모듈화 되어 구동된다.
컨베이어 구동부(122)는 컨베이어(120)에 회전력을 제공함으로써 컨베이어(120)를 구동시키게 된다. 컨베이어 구동부(122)와 컨베이어 사이에 위치하는 기어(미도시)를 통해 컨베이어 구동부(122)의 회전력이 컨베이어(120)에 전달되어 컨베이어(120)를 구동시킨다.
이하, 도면을 참조하여 종래의 액정표시장치용 기판 검사 장치의 작동을 설명한다.
도 2 내지 4는 종래의 액정표시장치용 기판 검사 장치의 동작 과정을 도시하고 있다. 여기서, N+1 번째 기판은 검사대상기판이다.
먼저, 도 2에 도시한 바와 같이, 비검사 대상인 N-1 번째 기판은 이미 검사부 아래의 검사 영역(C)을 통과하여 이동하고 있고, 비검사 대상인 N 번째 기판은 검사 영역(C)에 위치하고 있으며, 검사 대상인 N+1 번째 기판은 N 번째 기판을 뒤이어 이동하고 있다.
N-1 번째 기판과 N 번째 기판은 비검사 대상 기판이므로 검사부는 검사를 진행하지 않고, 컨베이어(120)는 회전을 계속하여 컨베이어(120) 상의 기판을 이동시킨다.
컨베이어(120)가 계속해서 회전을 하여 N 번째 기판은 검사 영역(C)을 검사 없이 통과하게 되고, N+1 번째 기판은 컨베이어(120) 상에서 계속해서 이동하게 된다.
도 3에 도시한 바와 같이, 검사 대상인 N+1 번째 기판이 이동하여 검사 영역(C)에 위치하게 되면, 컨베이어(120)는 회전을 멈추게 되어 N+1 번째 기판은 이동을 멈추고 정지하게 된다. N+1 번째 기판을 따르는 비검사 대상인 N+2 번째 기판도 이동을 멈추게 된다.
검사를 위해 이동을 멈춘 N+1 번째 기판은 검사부(110)에 의해 검사가 진행되고, 검사가 진행되는 동안 N+1 번째 기판은 이동을 멈추고 있기 때문에, N+1 번째 기판을 뒤따르는 기판들은 계속하여 정지상태에 있게 된다.
N+1 번째 기판에 대해 검사가 완료되면, 컨베이어(120)는 회전하게 되어 N+1 번째 기판은 이동하게 되고, N+1 번째 기판을 뒤따르는 N+2, N+3 번째 기판도 이동하게 된다.
도 4에 도시한 바와 같이, N+2 번째 기판은 이동하여 검사 영역(C)에 위치하게 되는데, N+2 번째 기판은 비검사 대상 기판이기 때문에 정지하지 않고 계속하여 이동하게 된다.
N+2 번째 기판을 뒤따르는 기판 중 검사 기판이 검사 영역(C)을 통과하게 되 면, 위와 같은 과정이 반복되어 수행된다.
전술한 바와 같이, 종래의 액정표시장치용 기판 검사 장치는 컨베이어 상에서 순차적으로 이동하는 기판 중 검사 기판을 검사하는 동안에는 검사 기판의 이동을 정지시키기 때문에, 검사 기판을 뒤따르는 비검사 대상 기판들도 이동을 정지하여야 한다. 따라서, 검사 기판을 검사하는 시간 동안에는 검사 기판을 뒤따르는 기판들은 이동하지 못하게 됨으로써, 기판 반송이 지연되어 공정 수율이 감소하는 문제가 발생한다.
전술한 바와 같은 문제를 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 검사 기판을 검사하는 동안에 검사 기판을 뒤따르는 기판들의 반송 지연 문제를 해결하는 액정표시장치용 기판 검사 장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 순차적으로 투입되는 기판들을 이동시키는 이동수단과; 상기 이동수단 상에 이격하여 위치하며, 상기 기판 중에서 검사 대상 기판에 빛을 조사하여 검사 과정을 수행하는 검사부와; 검사부에 대응하여 위치하고 상기 검사 대상 기판을 상승시키고 하강시키는 리프터를 포함하며, 상기 리프터에 의해 검사 대상 기판이 상승된 상태에서 상기 검사부에 의해 상기 검사 대상 기판이 검사가 이루어지는 동안 비 검사 대상 기판은 상기 이동수단에 의해 상기 검사부가 위치하는 부분을 통과하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치를 제공한다.
여기서, 상기 이동 수단은 다수개의 컨베이어로 이루어질 수 있고, 상기 리 프터는 상기 다수개의 컨베이어 사이에 위치하는 다수개의 분기된 리프터 핀을 포함할 수 있다. 그리고, 상기 리프터 핀은 끝단이 서로 마주보며, 상기 컨베이어 끝단과 일정 간격 이격된 지점에서 꺽여지는 구조를 가질 수 있다.
또 다른 측면에서, 본 발명은, 순차적으로 투입되는 기판들을 이동시키는 이동수단과, 상기 기판 중에서 검사 대상 기판을 검사하는 검사부와, 검사 대상 기판을 상승, 하강시키는 리프터를 포함하는 기판 검사 장치의 검사 방법으로서, 순차적으로 투입되는 상기 기판 중 검사 대상 기판을 상기 이동수단을 이용하여 이동시켜 상기 검사부에 대응하여 위치시키는 단계와; 상기 검사 대상 기판을 상기 리프터를 이용하여 상승시키는 단계와; 상승된 상기 검사 대상 기판을 상기 검사부를 이용하여 검사 하는 단계와; 상기 검사부를 통해 검사된 상기 검사 대상 기판을 리프터를 이용하여 하강시키는 단계와; 하강된 상기 검사 대상 기판을 상기 이동수단을 이용하여 이동시키는 단계를 포함하며, 상기 검사 대상 기판을 상기 검사부를 이용하여 검사 하는 동안에, 비검사 대상 기판은 상기 이동수단을 이용하여 계속해서 이동하는 기판 검사 방법을 제공한다.
여기서, 상기 검사 대상 기판을 상기 검사부를 이용하여 검사 하는 동안에, 비검사 대상 기판은 상기 이동수단을 이용하여 계속해서 이동할 수 이다.
이하, 본 발명에 따른 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.
도 5a와 5b는 바이 패스(by-pass) 기능을 가지는 포토 인라인(photo in-line) 검사장치를 도시하고 있다. 도 5b는, 도 5a의 절단선 Ⅴb-Ⅴb를 따라 상면에서 바라본 단면도이다.
바이 패스 기능을 가지는 포토 인라인 검사 장치는, 순차적으로 투입되는 기판(241, 242)에 대해, 검사부(210)에 대응하여 컨베이어(conveyor)(220) 상에 정의 된 검사 영역(C)에 위치하는 검사 기판(241)에 대해서는 리프터(lifter)(230)를 이용하여 검사부(210)에서 검사를 진행하고, 비검사 기판인 바이 패스(by-pass) 기판(242)은 정지하지 않고 계속하여 이동할 수 있도록 하는 장치이다.
바이 패스 기능을 가지는 포토 인라인 검사 장치는, 검사 기판(241)을 검사하는 검사부(210)와, 검사 기판 및 바이 패스 기판(241, 242)를 이동시키는 수단인 컨베이어(220)와, 검사 기판(241)을 검사부(210)로 투입시키는 리프터(230)로 구성된다. 그리고, 도시하지는 않았지만, 컨베이어 구동부는 기어를 통해 컨베이어에 회전력을 제공한다.
검사부(210)는 순차적으로 투입되는 액정표시장치용 기판(241, 242) 중 검사 기판(241)을 검사하게 된다. 검사부(210)에서 검사 기판(241) 상에 빛을 조사하고, 조사된 빛은 검사 기판(241)에 의해 반사된다. 검사 기판(241)에 의해 반사된 빛에 기초하여 검사 기판(241)의 불량 여부를 판단하게 된다.
컨베이어(220)는 비검사 기판인 바이 패스 기판(242)과 검사 기판(241)을 이동시키는 기능을 한다. 컨베이어(220) 상에 놓여진 검사 및 바이 패스 기판(241, 242)은 컨베이어(220)가 회전하여 이동하게 된다. 컨베이어(220)는, 인접하는 다수개의 컨베이어(220)가 컨베이어 모듈(module)을 형성하여 동일하게 구동되거나, 컨베이어(220)가 각각 독립적으로 구동될 수 있다.
리프터(230)는 검사부(210)에 대응하여 위치하며, 컨베이어(220) 상에서 이동하고 있는 기판(241, 242) 중에, 검사 영역(C)에 위치하는 검사 대상인 검사 기판(241)을 검사부(210) 내로 이동시킨다.
리프터(230)는 검사 기판(241)을 상하로 이동시키는 다수개의 리프터 핀(lift pin)(232)과, 리프터 핀(232)들이 분기되는 리프터 핀 지지체(231)로 구성된다. 리프터(230)는 모터(motor)와 같은 동력 수단(미도시)에 의해 검사 기판(241)을 상하로 이동시키게 된다.
리프터 핀(232)은 검사부(210)에 대응하는 컨베이어(220) 사이에 삽입되어 위치하고 있으며, 검사 기판(241)이 검사부(210)에 대응하여 검사 영역(C)에 위치하게 되면 리프터 핀(232)은 검사 기판(241)을 들어올린다. 바이 패스 기판(242)은 검사 대상이 아니기 때문에, 바이 패스 기판(242)이 검사 영역(C)에 위치하더라도 리프터 핀은 정지상태에 있게 된다.
도 6은 도 5의 절단선 Ⅵ-Ⅵ을 따라 측면에서 바라본 단면도로서, 리프터 핀(232)의 모습을 도시하고 있다.
리프터 핀(232)은 컨베이어(220) 축을 따라 끝단이 서로 마주보고 있으며, 컨베이어(220) 양 끝단과 이격된 지점(A, B)에서 하방으로 꺽인 구조를 가지고 있다. 리프터 핀(232)의 꺽인 지점(A, B)은 컨베이어(220)의 양 끝단과 이격되어 있어, 검사 기판(241)에 뒤따르는 바이 패스 기판(242)은 리프터 핀(232)에 의해 그 이동이 방해되지 않고, 원활하게 이동할 수 있다.
리프터 핀(232)은 검사 기판(241)을 검사부(210) 내로 들어 올리는 기능을 하기 때문에, 도 6에 도시한 것과는 다르게 컨베이어(220) 축을 따라 하나로 연결된 형태를 가질 수도 있다.
이하, 도면을 참조하여 바이 패스 기능을 가지는 포토 인라인 검사 장치의 작동을 설명한다.
도 7a와 7b, 8a와 8b, 9a와 9b, 10a와 10b, 11a와 11b, 12a와 12b는 바이 패스 기능을 가지는 포토 인라인 검사 장치의 동작 과정을 도시하고 있다. 여기서, 7b, 8b, 9b, 10b, 11b, 12b는 각각, 7a, 8a, 9a, 10a, 11a, 12a 각각의 절단선 Ⅶb-Ⅶb, Ⅷb-Ⅷb, Ⅸb-Ⅸb, Ⅹb-Ⅹb, ⅩⅠb-ⅩⅠb, ⅩⅡb-ⅩⅡb를 따라 측면에서 바라본 단면도이다.
먼저, 도 7a에 도시한 바와 같이, 바이 패스 기판인 N 번째 기판이 검사부 영역(C)에 위치하고 있다. 검사 기판인 N+1 번째 기판과 바이 패스 기판인 N+2 번째 기판(미도시)은 N 번째 기판에 뒤이어 컨베이어(220) 상에서 이동하고 있다. 그리고, 바이 패스 기판인 N-1 번째 기판은 검사 영역(C)을 통과하여 이동하고 있다.
이 때, 도 7b에 도시한 바와 같이, 리프터 핀(232)은 컨베이어(220) 사이에 위치하고 있으며, 바이 패스 기판인 N 번째 기판이 검사 영역(C)에 위치하고 있기 때문에 리프터 핀(232)은 정지 상태에 있게 된다.
N 번째 기판이 계속해서 이동하여 검사 영역(C)을 통과하게 되고, 검사 기판인 N+1 번째 기판도 계속해서 이동하게 된다.
도 8a에 도시한 바와 같이, N+1 번째 기판이 검사 영역(C)에 위치하게 되면, 검사부(210)에 대응되는 컨베이어(220)는 회전을 멈추게 되어 N+1 번째 기판은 이동을 멈추고 정지하게 된다. N+1 번째 기판이 정지하게 되면 리프터 핀(232)은 일정 높이로 상승하여, 도 8a와 8b에 도시한 바와 같이, N+1 번째 기판 하부면과 접촉하게 된다.
N+1 번째 기판 하부면이 리프터 핀(232)과 접촉한 후에, 도 9a와 9b에 도시한 바와 같이, 리프터 핀(232)은 상승하게 되고, 그에 따라 N+1 번째 기판도 상승하게 된다. 검사부(210)에서 검사 공정이 진행되기 위해 N+1 번째 기판이 상승하는 동안에 바이 패스 기판인 N+2 번째 기판은 컨베이어(220) 상에서 계속해서 이동하게 된다.
N+1 번째 기판은 리프터 핀(232)을 통해 검사 과정을 진행할 수 있을 만큼의 일정 높이로 상승하게 되면 상승을 멈추게 되고, 검사부(210)에 의해 검사 과정이 진행된다.
도 10a와 10b에 도시한 바와 같이, N+1 번째 기판에 대해 검사가 진행되면, N+1 번째 기판을 뒤따르던 N+2 번째 기판은 계속해서 이동하여 검사 영역(C)을 통과하게 되고, N+2 번째 기판을 뒤따르는 바이 패스 기판인 N+3 번째 기판은 계속해서 이동하여 검사 영역(C)에 위치하며, N+3 번째 기판을 뒤따르는 바이 패스 기판인 N+4 번째 기판도 계속해서 이동하고 있다.
N+1 번째 기판에 대해 검사 과정이 계속해서 진행되는 동안에, 바이 패스 기판인 N+3, N+4, …, N+M+1 번째 기판은 검사 영역(C)을 통과하게 된다.
위에서 살펴본 바와 같이, N+1 번째 기판에 대한 검사 과정을 진행하는 동안에 N+2, N+3, …, N+M+1 번째 기판이 검사 영역(C)을 통과하게 되고, 통과한 바이 패스 기판의 개수는 M 개가 된다.
N+1 번째 기판에 대한 검사 과정을 마치게 되면, 도 11a와 11b에 도시한 바와 같이, 리프터 핀(232)은 하강하게 되고 그에 따라 N+1 번째 기판도 하강하여 컨 베이어(220) 상에 놓이게 된다. N+1 번째 기판이 하강하는 동안에, 바이 패스 기판인 N+M+2 번째 기판은 정지상태에 있게 된다.
N+M+2 번째 기판은, N+M+1 번째 기판이 검사 영역(C)을 통과하는 동안에 이동 속도가 감소하여, N+M+1 번째 기판과의 간격은 N+1 번째 기판이 놓여질 만큼 넓어지게 되고, N+1 번째 기판이 검사 과정을 마치게 되면 N+1 번째 기판은 하강하여 컨베이어(220) 상에 놓이게 된다.
N+1 번째 기판이 컨베이어(220) 상에 놓이게 되면 리프터 핀(232)은 일정 간격 하강하여 컨베이어(220) 사이에 위치하게 된다.
그 후에, 도 12a와 12b에 도시한 바와 같이, N+1 번째 기판이 놓여진 컨베이어(220)는 동작하게 되어 N+1 번째 기판은 이동하여 검사 영역(C)을 통과하게 된다. N+1 번째 기판을 뒤따르는 N+M+2, N+M+3 번째 기판도 이동하게 된다.
N+M+2 번째 기판을 뒤따르는 기판 중 검사 기판이 검사 영역(C)을 통과하게 되면, 위와 같은 과정이 반복된다.
전술한 과정에서, 1 개의 검사 기판을 검사하는 과정에서 소요되는 시간(TTOTAL)은, 리프터 핀(232)이 검사 기판 하부면에 접촉하여 검사 기판을 상승시키는 단계에서 소요되는 시간(TUP)과, 검사부(210)에서 검사 기판을 검사하는 단계에서 소요되는 시간(TC)과, 검사 완료 후 검사 기판을 하강시켜 컨베이어 상에 위치시키는 단계에서 소요되는 시간(TDOWN)으로 이루어진다. 따라서, 1 개의 검사 기판을 검사하는 과정에서 소요되는 시간은,
TTOTAL = TUP + TC + TDOWN
이다.
그리고, 바이 패스 기판이 단위 시간당 움직이는 개수를 I 개라고 하면, 1개의 기판을 검사하는 동안에 검사 영역(C)을 통과하는 바이 패스 기판의 개수, M은
M = TTOTAL ×I
가 된다.
여기서, 바이 패스 기판이 단위 시간당 움직이는 개수 I는 컨베이어(220)의 회전 속도와 관계가 있으므로, 기판에 손상을 주지 않는 범위 내에서 컨베이어(220)를 최대한 빠르게 동작시키게 되면, 검사 영역(C)을 통과하는 바이 패스 기판의 개수는 증가하게 된다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따르면, 바이 패스 기판은 검사 기판을 검사하는 동안에도 컨베이어(220)를 통해 이동할 수 있게 되어, 검사 기판의 검사로 인한 기판 반송의 지연은 해결될 수 있게 된다.
전술한 바와 같이, 본 발명은, 리프터 핀을 사용하여 검사 기판을 검사부로 이동시켜 검사하게 되고, 검사 기판을 검사하는 동안에 비검사 대상 기판을 계속하여 이동할 수 있게 함으로써, 종래의 검사 기판 검사 과정에 따른 기판 반송의 지연 문제를 해결할 수 있는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 순차적으로 투입되는 기판들을 이동시키는 이동수단과;
    상기 이동수단 상에 이격하여 위치하며, 상기 기판 중에서 검사 대상 기판에 빛을 조사하여 검사 과정을 수행하는 검사부와;
    검사부에 대응하여 위치하고 상기 검사 대상 기판을 상승시키고 하강시키는 리프터
    를 포함하며, 상기 리프터에 의해 검사 대상 기판이 상승된 상태에서 상기 검사부에 의해 상기 검사 대상 기판이 검사가 이루어지는 동안 비 검사 대상 기판은 상기 이동수단에 의해 상기 검사부가 위치하는 부분을 통과하도록 동작하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이동 수단은 다수개의 컨베이어로 이루어진 기판 검사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 리프터는, 상기 다수개의 컨베이어 사이에 위치하는 다수개의 분기된 리프터 핀을 포함하는 기판 검사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 리프터 핀은 끝단이 서로 마주보며, 상기 컨베이어 끝단과 일정 간격 이격된 지점에서 꺽여지는 구조를 가지는 기판 검사 장치.
  5. 순차적으로 투입되는 기판들을 이동시키는 이동수단과, 상기 기판 중에서 검사 대상 기판을 검사하는 검사부와, 검사 대상 기판을 상승, 하강시키는 리프터를 포함하는 기판 검사 장치의 검사 방법으로서,
    순차적으로 투입되는 상기 기판 중 검사 대상 기판을 상기 이동수단을 이용하여 이동시켜 상기 검사부에 대응하여 위치시키는 단계와;
    상기 검사 대상 기판을 상기 리프터를 이용하여 상승시키는 단계와;
    상승된 상기 검사 대상 기판을 상기 검사부를 이용하여 검사 하는 단계와;
    상기 검사부를 통해 검사된 상기 검사 대상 기판을 리프터를 이용하여 하강시키는 단계와;
    하강된 상기 검사 대상 기판을 상기 이동수단을 이용하여 이동시키는 단계
    를 포함하며, 상기 검사 대상 기판을 상기 검사부를 이용하여 검사 하는 동안에, 비검사 대상 기판은 상기 이동수단을 이용하여 계속해서 이동하는 기판 검사 방법.
  6. 삭제
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동 수단은 다수개의 컨베이어로 이루어진 기판 검사 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 리프터는, 상기 다수개의 컨베이어 사이에 위치하는 다수개의 분기된 리프터 핀을 포함하는 기판 검사 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 리프터 핀은 끝단이 서로 마주보며, 상기 컨베이어 끝단과 일정 간격 이격된 지점에서 꺽여지는 구조를 가지는 기판 검사 방법.
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