JP6516564B2

JP6516564B2 - コバルト錯体及びその製造方法、コバルト含有薄膜及びその作製方法

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Publication number: JP6516564B2
Application number: JP2015107258A
Authority: JP
Inventors: 浩幸尾池; 篤摩庭; 泰志古川; 賢一多田
Original assignee: Sagami Chemical Research Institute (Sagami CRI); Tosoh Corp
Current assignee: Sagami Chemical Research Institute (Sagami CRI); Tosoh Corp
Priority date: 2015-05-27
Filing date: 2015-05-27
Publication date: 2019-05-22
Anticipated expiration: 2035-05-27
Also published as: JP2016222547A

Description

本発明は、半導体素子の製造用原料として有用なコバルト錯体及びその製造方法、該コバルト錯体を材料として用いることにより作製したコバルト含有薄膜及びその作製方法に関する。

コバルトは、高い導電性を示すこと、仕事関数が大きいこと、導電性シリサイドを形成出来ること、銅との格子整合性に優れることなどの特長を持つため、トランジスタなどの半導体素子のゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクト、銅配線シード層／ライナー層などの材料として注目を集めている。次世代の半導体素子では、記憶容量や応答性をさらに向上させる目的のため、高度に細密化及び三次元化されたデザインが採用されている。したがって次世代の半導体素子を構成する材料としてコバルトを使用するためには、三次元化された基板上に数ナノ〜数十ナノメートル程度の厚みのコバルト含有薄膜を均一に形成する技術の確立が必要とされている。三次元化された基板上に金属薄膜を作製するための技術としては、原子層堆積法（ＡＬＤ法）や化学気相蒸着法（ＣＶＤ法）など、化学反応に基づく気相蒸着法の活用が有力視されている。次世代半導体素子のゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクトとして、コバルト膜を成膜した後にシリサイド化したＣｏＳｉ_２が検討されている。一方、銅配線シード層／ライナー層としてコバルトが使用される場合、下地にはバリアメタルとして窒化チタンや窒化タンタルなどが採用される見込みである。コバルト含有薄膜を作製する際にシリコンやバリアメタルが酸化されると、抵抗値の上昇に起因するトランジスタとの導通不良などの問題が生じる。これらの問題を回避するため、酸素やオゾンなどの酸化性ガスを用いない条件下でコバルト含有薄膜の作製を可能とする材料が求められている。

これまで、η^４−ジエン配位子及びＮ−アルキルイミドイル基で置換されたη^５−シクロペンタジエニル配位子を持つコバルト錯体は報告例が無い。非特許文献１には、（η^４−１，２，３，４−テトラフェニルシクロブタ−１，３−ジエン）（η^５−１，３−ビス［（フェニルイミノ）メチル］シクロペンタジエニル）コバルトが記載されているものの、フェニル基を持つ点で本発明のコバルト錯体とは異なる。また該文献にはこの錯体をコバルト含有薄膜の作製用材料として用いることに関する記述は一切ない。

ＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃＣｈｅｍｉｓｔｒｙ、第７１７巻、９９ページ（２０１２年）。

本発明は、酸化性ガスを用いない条件下でコバルト含有薄膜の作製を可能とする材料として有用なコバルト錯体を提供することを課題とする。

本発明者らは上記の課題を解決すべく鋭意検討した結果、一般式（１）で示されるコバルト錯体が酸化性ガスを用いない条件下、特に還元性ガスを用いる条件下でコバルト含有薄膜を作製するための材料として有用なことを見出し、本発明を完成するに至った。

すなわち本発明は、一般式（１）

（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^１は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^２はジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４は水素原子、又は一体となって炭素数２〜４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^５〜Ｒ^８は各々独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるコバルト錯体に関する。

また本発明は、一般式（２）

（式中、ｎ、Ｒ^１、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８は一般式（１）のｎ、Ｒ^１、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８と同義を表す。）で示されるジエン錯体と、
一般式Ｒ^２ＮＨ_２（３）（式中、Ｒ^２は一般式（１）のＲ^２と同義を表す。）で示されるアルキルアミンとを、
ルイス酸存在下で反応させる、一般式（１）で示されるコバルト錯体の製造方法に関する。

さらに本発明は、一般式（１）で示されるコバルト錯体を分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法に関する。

さらに本発明は、一般式（１）で示されるコバルト錯体を分解し、基板上に作製されたコバルト含有薄膜を、トランジスタのゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクト及び銅配線シード層／ライナー層の少なくともいずれか一つに使用する半導体素子に関する。

以下、本発明を更に詳細に説明する。まず、一般式（１）中のＲ^１、Ｒ^２、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７及びＲ^８の定義について説明する。

Ｒ^１で表される炭素数１〜６のアルキル基は、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、１−エチルプロピル基、１−メチルブチル基、２−メチルブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、１−メチルペンチル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、４−メチルペンチル基、１，１−ジメチルブチル基、１，２−ジメチルブチル基、１，３−ジメチルブチル基、２，２−ジメチルブチル基、２，３−ジメチルブチル基、３，３−ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、１−シクロブチルエチル基、２−シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^１は炭素数１〜４のアルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基又はイソブチル基であることが更に好ましく、メチル基、プロピル基又はイソブチル基であることが殊更好ましい。

Ｒ^２で表される炭素数１〜６のアルキル基は、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロブチル基、ペンチル基、１−エチルプロピル基、１−メチルブチル基、２−メチルブチル基、イソペンチル基、ネオペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、シクロペンチル基、シクロブチルメチル基、ヘキシル基、１−メチルペンチル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、４−メチルペンチル基、１，１−ジメチルブチル基、１，２−ジメチルブチル基、１，３−ジメチルブチル基、２，２−ジメチルブチル基、２，３−ジメチルブチル基、３，３−ジメチルブチル基、シクロヘキシル基、シクロペンチルメチル基、１−シクロブチルエチル基、２−シクロブチルエチル基などを例示することが出来る。

Ｒ^２で表される炭素数１〜６のアルキル基は、ジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されていてもよい。該ジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基としては、ジメチルアミノ基、エチル（メチル）アミノ基、ジエチルアミノ基、プロピル（メチル）アミノ基、イソプロピル（メチル）アミノ基、エチル（プロピル）アミノ基、エチル（イソプロピル）アミノ基、ジプロピルアミノ基、ジイソプロピルアミノ基などを例示することが出来る。更に具体的なジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されている炭素数１〜６のアルキル基の例としては、（ジメチルアミノ）メチル基、［エチル（メチル）アミノ］メチル基、（ジエチルアミノ）メチル基、［メチル（プロピル）アミノ］メチル基、［メチル（イソプロピル）アミノ］メチル基、［エチル（プロピル）アミノ］メチル基、［エチル（イソプロピル）アミノ］メチル基、（ジプロピルアミノ）メチル基、（ジイソプロピルアミノ）メチル基、２−（ジメチルアミノ）エチル基、２−［エチル（メチル）アミノ］エチル基、２−（ジエチルアミノ）エチル基、２−［メチル（プロピル）アミノ］エチル基、２−［メチル（イソプロピル）アミノ］エチル基、２−［エチル（プロピル）アミノ］エチル基、２−［エチル（イソプロピル）アミノ］エチル基、２−（ジプロピルアミノ）エチル基、２−（ジイソプロピルアミノ）エチル基、３−（ジメチルアミノ）プロピル基、３−［エチル（メチル）アミノ］プロピル基、３−（ジエチルアミノ）プロピル基、３−［メチル（プロピル）アミノ］プロピル基、３−［メチル（イソプロピル）アミノ］プロピル基、３−［エチル（プロピル）アミノ］プロピル基、３−［エチル（イソプロピル）アミノ］プロピル基、３−（ジプロピルアミノ）プロピル基、３−（ジイソプロピルアミノ）プロピル基などを挙げることが出来る。本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、ジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されている炭素数１〜６のアルキル基としては、２−（ジメチルアミノ）エチル基、２−（ジエチルアミノ）エチル基、２−（ジプロピルアミノ）エチル基、２−（ジイソプロピルアミノ）エチル基、３−（ジメチルアミノ）プロピル基、３−（ジエチルアミノ）プロピル基、３−（ジプロピルアミノ）プロピル基又は３−（ジイソプロピルアミノ）プロピル基が好ましく、２−（ジメチルアミノ）エチル基、２−（ジエチルアミノ）エチル基、２−（ジプロピルアミノ）エチル基又は２−（ジイソプロピルアミノ）エチル基が更に好ましく、２−（ジメチルアミノ）エチル基が殊更好ましい。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^２は炭素数１〜４のアルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基又はｓｅｃ−ブチル基が更に好ましく、プロピル基、イソプロピル基又はｓｅｃ−ブチル基であることが殊更好ましい。

Ｒ^３及びＲ^４が一体となって形成する炭素数２〜４のアルキレン基としては、直鎖状及び分岐状のいずれでも良く、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基などを例示することが出来る。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^３及びＲ^４は水素原子であるか又は一体となってエチレン基、トリメチレン基若しくはテトラメチレン基を形成する基が好ましく、水素原子であるか又は一体となってエチレン基を形成する基が更に好ましく、水素原子であることが殊更好ましい。

Ｒ^５及びＲ^８で表される炭素数１〜４のアルキル基は、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^５及びＲ^８は各々独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましく、水素原子であることが殊更好ましい。

Ｒ^６及びＲ^７で表される炭素数１〜４のアルキル基は、直鎖状、分岐状及び環状アルキル基のいずれでも良く、具体的にはメチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、シクロプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、シクロブチル基などを例示することが出来る。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^６及びＲ^７は各々独立に水素原子又は炭素数１〜３のアルキル基であることが好ましく、水素原子又はメチル基であることが更に好ましい。

本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、Ｒ^５及びＲ^８が水素原子であり、Ｒ^６及びＲ^７が水素原子又はメチル基であることが好ましい。

本発明のコバルト錯体（１）の具体例としては、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−７）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１３）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１５）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１６）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１７）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１８）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１９）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２０）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２１）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２２）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２３）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２４）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２５）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２６）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２７）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−２８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２９）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３０）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３１）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３２）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３３）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３４）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３５）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３６）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３７）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３８）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３９）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４０）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４１）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４２）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４３）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４４）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４５）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４６）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４７）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４８）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４９）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５０）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５１）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５２）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５３）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５４）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５５）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５６）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５７）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５８）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５９）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６０）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６１）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６２）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６３）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６４）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６５）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６６）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６７）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニ
ル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６８）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−６９）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−７０）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７１）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７２）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７３）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７４）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７５）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７６）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７７）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７８）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−７９）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−８０）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−８１）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−８２）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−８３）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−８４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８５）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８６）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８７）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８８）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−８９）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９０）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９１）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９２）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９３）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９４）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９５）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９６）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９７）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−９９）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１００）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０１）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０２）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０３）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０４）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０５）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０６）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０７）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０８）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１０９）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１０）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１１）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１２）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１３）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１４）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１５）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１６）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１７）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１８）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１１９）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２０）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２１）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２２）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２３）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２４）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２５）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１２６）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１２７）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１２８）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１２９）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１３０）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１３１）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１３２）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１３３）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（１ａ−１３４）、（η^５−（１−（ｔｅｒ
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８）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１９９）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２００）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０１）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０２）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０３）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０４）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０５）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０６）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０７）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０８）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２０９）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１０）、（η^５−（（１−メチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１１）、（η^５−（（１−エチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１２）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１３）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１４）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１５）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１６）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１７）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１８）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２１９）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２２０）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２２１）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２２２）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２２３）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２２４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１７）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１８）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１９）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２０）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２１）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２２）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２３）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２４）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２５）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２６）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２７）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−２９）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３０）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３１）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３２）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３３）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３４）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３５）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３６）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３７）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタ
ジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３８）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３９）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４０）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４１）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４２）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４３）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４４）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４５）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４６）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４７）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４８）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４９）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５０）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５１）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５２）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５３）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５４）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５５）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５６）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５７）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５８）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−５９）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６０）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６１）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６２）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６３）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６４）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６５）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６６）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６７）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６８）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−６９）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７０）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７１）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７２）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７３）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７４）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７５）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７６）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７７）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７８）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−７９）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８０）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８１）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８２）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８３）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８５）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８６）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８７）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８８）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−８９）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９０）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９１）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９２）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９３）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９４）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９５）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９６）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９７）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−９９）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１００）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０１）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０２）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０３）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロ
ペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０４）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０５）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０６）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０７）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０８）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１０９）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１０）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１１）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１２）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１３）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１４）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１５）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１６）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１７）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１８）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１９）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２０）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２１）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２２）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２３）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２４）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２５）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２６）、（η^５−（（１−メチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２７）、（η^５−（（１−エチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２８）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１２９）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３０）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３１）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３２）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３３）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３４）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３５）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３６）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３７）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３８）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１３９）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４０）、（η^５−（（１−メチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４１）、（η^５−（（１−エチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４２）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４３）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４４）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４５）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４６）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４７）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４８）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１４９）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５０）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５１）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５２）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５３）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５４）、（η^５−（（１−メチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５５）、（η^５−（（１−エチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５６）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５７）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５８）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１５９）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６０）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６１）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６２）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６３）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６４）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６５）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，
３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６６）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６７）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１６８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１）、（η^５−（１−（エチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−６）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−７）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−８）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−９）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１０）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１１）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１２）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１３）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１４）、（η^５−（１−（メチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１５）、（η^５−（１−（エチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１６）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１７）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１８）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−１９）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２０）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２１）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２２）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２３）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２４）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２５）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２６）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２７）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］プロピル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２８）、（η^５−（１−（メチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−２９）、（η^５−（１−（エチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３０）、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３１）、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３２）、（η^５−（１−（シクロプロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３３）、（η^５−（１−（ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３４）、（η^５−（１−（イソブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３５）、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３６）、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３７）、（η^５−（１−（シクロブチルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３８）、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３９）、（η^５−（１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４０）、（η^５−（１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４１）、（η^５−（１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４２）、（η^５−（（１−メチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４３）、（η^５−（（１−エチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４４）、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４５）、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４６）、（η^５−（（１−シクロプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４７）、（η^５−（（１−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４８）、（η^５−（（１−イソブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４９）、（η^５−（（１−ｓｅｃ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５０）、（η^５−（（１−ｔｅｒｔ−ブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５１）、（η^５−（（１−シクロブチルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５２）、（η^５−（｛１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５３）、（η^５−（｛１−［２−（ジエチルアミノ）エチルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５４）、（η^５−（｛１−［３−（ジメチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５５）、（η^５−（｛１−［３−（ジエチルアミノ）プロピルイミノ］−３−メチル｝ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−５６）などを例示することができる。本発明のコバルト錯体（１）がＣＶＤ材料やＡＬＤ材料として好適な蒸気圧及び熱安定性を持つ点で、（１ａ−２９）〜（１ａ−４０）、（１ａ−４３）〜（１ａ−５４）、（１ａ−８５）〜（１ａ−９６）、（１ａ−９９）〜（１ａ−１１０）、（１ａ−１４１）〜（１ａ−１５２）、（１ａ−１５５）〜（１ａ−１６６）、（１ａ−１９７）〜（１ａ−２０８）、（１ａ−２１１）〜（１ａ−２２２）、（１ｂ−１）〜（１ｂ−１２）、（１ｂ−４３）〜（１ｂ−５４）、（１ｂ−８５）〜（１ｂ−９６）、（１ｂ−１２７）〜（１ｂ−１３８）、（１ｃ−１）〜（１ｃ−１２）、（１ｃ−１５）〜（１ｃ−２６）、（１ｃ−２９）〜（１ｃ−４０）及び（１ｃ−４３）〜（１ｃ−５４）が好ましく、（１ａ−２９）〜（１ａ−３６）、（１ａ−４３）〜（１ａ−５０）、（１ａ−１４１）〜（１ａ−１４８）、（１ａ−１５５）〜（１ａ−１６２）、（１ａ−１９７）〜（１ａ−２０４）、（１ａ−２１１）〜（１ａ−２１８）、（１ｂ−１）〜（１ｂ−８）、（１ｂ−８５）〜（１ｂ−９２）、（１ｂ−１２７）〜（１ｂ−１３４）、（１ｃ−１）〜（１ｃ−８）、（１ｃ−２９）〜（１ｃ−３６）及び（１
ｃ−４３）〜（１ｃ−５０）が更に好ましく、（１ａ−３１）、（１ａ−３２）、（１ａ−３６）、（１ａ−４５）、（１ａ−４６）、（１ｂ−３）、（１ｂ−４）、（１ｃ−３）及び（１ｃ−４）が殊更好ましい。

本発明のコバルト錯体（１）は立体配座異性体、立体配置異性体等の立体異性体の混合物でも良い。

次に、本発明のコバルト錯体（１）の製造方法について説明する。コバルト錯体（１）は、以下の製造方法１に従って製造することが出来る。

製造方法１は、ジエン錯体（２）とアルキルアミン（３）とを、ルイス酸存在下で反応させることによりコバルト錯体（１）を製造する方法である。

製造方法１

（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^１は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^２はジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４は水素原子、又は一体となって炭素数２〜４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^５〜Ｒ^８は各々独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。）
製造方法１で用いることができるジエン錯体（２）の例としては、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−ブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（２ａ−２）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−３）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−４）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−５）、［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−６）、（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−７）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−８）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−９）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（２ａ−１０）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１１）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１２）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−１３）、（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（２ａ−１４）、（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１５）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−１６）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−１７）、［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−１８）、（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−１９）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−２０）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−２１）、（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（２ａ−２２）、（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−２３）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−２４）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ａ−２５）、［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］コバルト（２ａ−２６）、（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ａ−２７）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ａ−２８）、（η^４−ブタ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−２９）、［（１−４−η）−ペンタ−１，３−ジエン］（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−３０）、（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−３１）、（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ａ−３２）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−１）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−２）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−３）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−４）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−５）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−６）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−７）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−８）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−９）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１０）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１１）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１２）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１３）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１４）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１５）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１６）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１７）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−１８）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ｂ−１９）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ｂ−２０）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ｂ−２１）、（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−２２）、（η^４−シクロヘプタ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−２３）、（η^４−シクロオクタ−１，３−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｂ−２４）、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（２ｃ−１）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｃ−２）、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（２ｃ−３）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｃ−４）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｃ−５）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｃ−６）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト（２ｃ−７）、（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト（２ｃ−８）などを例示することができる。収率が良い点で、（２ａ−１）〜（２ａ−１２）、（２ａ−１７）〜（２ａ−２４）、（２ｂ−１）、（２ｂ−４）、（２ｂ−７）、（２ｂ−１３）、（２ｂ−１６）、（２ｃ−１）、（２ｃ−２）、（２ｃ−３）、（２ｃ−５）及び（２ｃ−６）が好ましく、（２ａ−３）、（２ａ−４）、（２ａ−１１）、（２ａ−１２）、（２ａ−２３）、（２ａ−２４）、（２ｂ−１）及び（２ｃ−１）が更に好ましい。

製造方法１で用いることが出来るジエン錯体（２）は、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第６巻，１１９１ページ（１９８７年）、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第１７巻，２７５ページ（１９９８年）及び本発明の参考例３〜９などに記載の方法に準じて製造することが出来る。また、ＪｏｕｒｎａｌｏｆｔｈｅＡｍｅｒｉｃａｎＣｈｅｍｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）、ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒＳｃｉｅｎｃｅ．Ｐｔ．Ａ，Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ａ１６巻，２４３ページ（１９８１年）などに記載の方法に従って製造したビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトとジエンとを、アルカリ金属存在下で反応させる製造方法２により、ジエン錯体（２）を製造することも出来る。

製造方法２で用いることができるビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトの例としては、ビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−イソブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス［η^５−（３−メチルブタノイル）シクロペンタジエニル］コバルト、ビス（η^５−ピバロイルシクロペンタジエニル）コバルト等が挙げられ、ビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−プロピオニルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−バレリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが好ましく、ビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト、ビス（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）コバルト及びビス（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルトが更に好ましい。

製造方法２で用いることが出来るビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトは、ＪｏｕｒｎａｌｏｆｔｈｅＡｍｅｒｉｃａｎＣｈｅｍｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ，第１０２巻，１１９６ページ（１９８０年）、ＪｏｕｒｎａｌｏｆＭａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌａｒＳｃｉｅｎｃｅ．Ｐｔ．Ａ，Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ，Ａ１６巻，２４３ページ（１９８１年）、本発明の参考例１，２等に記載の方法に従って製造することが出来る。具体的には、ナトリウムシクロペンタジエニドとカルボン酸エステルとの反応によりナトリウム（アルキルカルボニル）シクロペンタジエニドを調製し、該ナトリウム（アルキルカルボニル）シクロペンタジエニドと塩化コバルトとを反応させることにより、ビス（アシルシクロペンタジエニル）コバルトを製造することが出来る。

製造方法２で用いることが出来るジエンの例としては、ブタ−１，３−ジエン、２−メチルブタ−１，３−ジエン（イソプレン）、２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン、ペンタ−１，３−ジエン、ヘキサ−１，３−ジエン、ヘキサ−２，４−ジエン、ヘプタ−２，４−ジエン、シクロヘキサ−１，３−ジエン、５−メチルシクロヘキサ−１，３−ジエン、５，５−ジメチルシクロヘキサ−１，３−ジエン、５−エチル−５−メチル−シクロヘキサ−１，３−ジエン、１−イソプロピル−４−メチルシクロヘキサ−１，３−ジエン（α−テルピネン）、５−イソプロピル−２−メチルシクロヘキサ−１，３−ジエン（α−フェランドレン）、３−メチル−５，５−ジメチルシクロヘキサ−１，３−ジエン、シクロヘプタ−１，３−ジエン、６−メチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−エチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−プロピルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−イソプロピルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−ブチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−イソブチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６−ｓｅｃ−ブチル−シクロヘプタ−１，３−ジエン、６−ｔｅｒｔ−ブチル−シクロヘプタ−１，３−ジエン、１，６−ジメチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、２，６−ジメチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、５，６−ジメチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、６，６−ジメチルシクロヘプタ−１，３−ジエン、シクロオクタ−１，３−ジエン、１，６−ジメチルシクロオクタ−１，３−ジエン、２，６−ジメチルシクロオクタ−１，３−ジエン、シクロヘキサ−１，４−ジエン、１−メチルシクロヘキサ−１，４−ジエン、１−イソプロピル−４−メチルシクロヘキサ−１，４−ジエン（γ−テルピネン）、１，５−シクロオクタジエン、１−メチル−１，５−シクロオクタジエン、１，２−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン、１，４−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン、１，５−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン、２，４−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン、１，６−ジメチル−１，５−シクロオクタジエン、３，７−ジメチル−１，５−シクロオクタジエンなどを挙げることが出来る。コバルト錯体（１）の収率が良い点で、ブタ−１，３−ジエン、イソプレン、２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン、ペンタ−１，３−ジエン、シクロヘキサ−１，３−ジエン、シクロオクタ−１，５−ジエンが好ましく、イソプレン、２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン、シクロヘキサ−１，３−ジエン、シクロオクタ−１，５−ジエンがとりわけ好ましい。

製造方法２で用いることが出来るジエンは、ＡＣＳＣａｔａｌｙｓｉｓ，第２巻，２１７３ページ（２０１２年）、特開２００１−３１５９５号公報、ＴｈｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｒｇａｎｉｃＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５５巻，１８５４ページ（１９９０年）、ＴｈｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＯｒｇａｎｉｃＣｈｅｍｉｓｔｒｙ，第５６巻，５１０１ページ（１９９１年）、Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ−ＡＥｕｒｏｐｅａｎＪｏｕｒｎａｌ，第１９巻，１０６７２ページ（２０１３年）、Ｏｒｇａｎｏｍｅｔａｌｌｉｃｓ，第１３巻，１０２０ページ（１９９４年）、ＪｏｕｒｎａｌｏｆｔｈｅＡｍｅｒｉｃａｎＣｈｅｍｉｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ，第１１６巻，２８８９ページ（１９９４年）、Ｈｅｔｅｒｏｃｙｃｌｅｓ，第７７巻，９２７ページ（２００９年）、特開平１１−２０９３１４号公報などに記載の方法に準じて合成することが出来る。また市販のジエンを製造方法２の原料として用いることも出来る。

製造方法１では、ジエン錯体（２）を精製することなく原料として用いることが出来、金属錯体の一般的な精製方法により精製したジエン錯体（２）を原料として用いることも出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを挙げることが出来る。

製造方法１で用いることが出来るアルキルアミン（３）の例としては、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、シクロプロピルアミン、ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルアミン、シクロブチルアミン、ペンチルアミン、１−メチルブチルアミン、２−メチルブチルアミン、イソペンチルアミン、ネオペンチルアミン、ｔｅｒｔ−ペンチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロブチルメチルアミン、ヘキシルアミン、１−メチルペンチルアミン、２−メチルペンチルアミン、３−メチルペンチルアミン、４−メチルペンチルアミン、１，１−ジメチルブチルアミン、１，２−ジメチルブチルアミン、１，３−ジメチルブチルアミン、２，２−ジメチルブチルアミン、２，３−ジメチルブチルアミン、３，３−ジメチルブチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロペンチルメチルアミン、１−シクロブチルエチルアミン、２−シクロブチルエチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチレンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−メチルエチレンジアミン、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピルエチレンジアミン、Ｎ−メチル−Ｎ−イソプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエチレンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−プロピルエチレンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−イソプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−メチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ−メチル−Ｎ−プロピル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ−メチル−Ｎ−イソプロピル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−プロピル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ−エチル−Ｎ−イソプロピル−１，３−プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジプロピル−１，３−プロパンジアミンなどを挙げることが出来る。コバルト錯体（１）の収率が良い点で、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルエチレンジアミンが好ましく、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミンがとりわけ好ましい。

製造方法１で用いることが出来るルイス酸の例としては、塩化亜鉛、臭化亜鉛、酢酸亜鉛等の亜鉛化合物、塩化アルミニウム、臭化アルミニウム、塩化ジエチルアルミニウム等のアルミニウム化合物、三フッ化ホウ素、三塩化ホウ素、三臭化ホウ素、三ヨウ化ホウ素等の三ハロゲン化ホウ素、四塩化チタン、四臭化チタン等のチタン化合物、塩化ジルコニウム、臭化ジルコニウム等のジルコニウム化合物、四塩化スズ、三塩化スズ等のスズ化合物、フッ化ガリウム、塩化ガリウム、臭化ガリウム、ヨウ化ガリウム等のハロゲン化ガリウム、塩化鉄、臭化鉄等のハロゲン化鉄などを挙げることが出来る。コバルト錯体（１）の収率が良い点で、ルイス酸としては三ハロゲン化ホウ素が好ましく、三フッ化ホウ素が更に好ましい。該ルイス酸はジメチルエーテルやジエチルエーテルなどのエーテルと錯体を形成していても良い。錯体を形成しているルイス酸の例としては、三フッ化ホウ素ジメチルエーテル錯体、三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体などを挙げることが出来る。

製造方法１は、コバルト錯体（１）の収率が良い点で、不活性ガス雰囲気中で実施するのが好ましい。該不活性ガスとして具体的には、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、窒素ガスなどを例示することが出来、安価な点で、アルゴン又は窒素ガスが好ましい。

製造方法１は、コバルト錯体（１）の収率が良い点で有機溶媒中で実施することが好ましい。使用可能な有機溶媒の種類には、反応を阻害しない限り特に制限は無い。使用可能な有機溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサン、石油エーテルなどの脂肪族炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、プロピルベンゼン、イソプロピルベンゼン、ブチルベンゼン、イソブチルベンゼン、ｓｅｃ−ブチルベンゼン、ｔｅｒｔ−ブチルベンゼン、１，３，５−トリメチルベンゼン（メシチレン）などの芳香族炭化水素、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、シクロペンチルメチルエーテル（ＣＰＭＥ）、シクロペンチルエチルエーテル（ＣＰＥＥ）、ｔｅｒｔ−ブチルメチルエーテル（ＭＴＢＥ）、テトラヒドロフラン（ＴＨＦ）、ジオキサン、１，２−ジメトキシエタンなどのエーテルを挙げることが出来る。これら有機溶媒のうち一種類を単独で用いることが出来、複数を任意の比率で混合して用いることも出来る。コバルト錯体（１）の収率が良い点で、有機溶媒としては脂肪族炭化水素が好ましく、ヘキサンが更に好ましい。

次に製造方法１を実施するときのジエン錯体（２）、アルキルアミン（３）及びルイス酸のモル比に関して説明する。好ましくはジエン錯体（２）１モルに対して０．８〜７．０モルのアルキルアミン（３）と、０．８〜７．０モルのルイス酸を用いることによって、収率良くコバルト錯体（１）を製造することが出来る。

製造方法１では、反応温度及び反応時間には特に制限はなく、当業者が金属錯体を製造するときの一般的な条件を用いることが出来る。具体例としては、−８０℃から１２０℃の温度範囲から適宜選択した反応温度において、１０分間から１２０時間の範囲から適宜選択した反応時間を選択することによってコバルト錯体（１）を収率良く製造することが出来る。製造方法１によって製造したコバルト錯体（１）は、当業者が金属錯体を精製するときの一般的な精製方法を適宜選択して用いることによって精製することが出来る。具体的な精製方法としては、ろ過、抽出、遠心分離、デカンテーション、蒸留、昇華、結晶化、カラムクロマトグラフィーなどを例示することが出来る。

製造方法１で用いることが出来るアルキルアミン（３）は、日本化学会編、「実験化学講座１４有機化合物の合成ＩＩ−アルコール・アミン−」、第５版、丸善、平成１７年などに記載の方法に準じて製造することが出来る。また市販のアルキルアミン（３）を製造方法１の原料として用いることも出来る。

次に、本発明のコバルト錯体（１）を分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法について詳細に説明する。

コバルト含有薄膜を作製するときの成膜方法としては、当業者が金属含有薄膜を作製するのに用いる通常の技術手段を例示することが出来る。具体的には、化学反応に基づく気相蒸着法、並びにディップコート法、スピンコート法又はインクジェット法などの溶液法などを例示することが出来る。本明細書中では、化学反応に基づく気相蒸着法とは、本発明のコバルト錯体（１）を気化させ、基板上で分解することによりコバルト含有薄膜を作製する方法であり、具体的には熱ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法などのＣＶＤ法や、ＡＬＤ法などを含む。三次元化された構造を持つ基板の表面にも均一にコバルト含有薄膜を形成しやすい点で、化学反応に基づく気相蒸着法が好ましく、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法が更に好ましい。ＣＶＤ法は成膜速度が良好な点でとりわけ好ましく、またＡＬＤ法は段差被覆性が良好な点でとりわけ好ましい。例えばＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する場合、コバルト錯体（１）を気化させて反応チャンバーに供給し、反応チャンバー内に備え付けた基板上でコバルト錯体（１）を分解することにより、該基板上にコバルト含有薄膜を作製することが出来る。コバルト錯体（１）を分解する方法としては、当業者が金属含有薄膜を作製するのに用いる通常の技術手段を挙げることが出来る。具体的にはコバルト錯体（１）と反応ガスとを反応させる方法や、コバルト錯体（１）に熱、プラズマ、光などを作用させる方法などを例示することが出来る。

反応ガスを用いる場合、用いることが出来る反応ガスとしては、還元性ガスや酸化性ガスを例示することが出来る。該反応ガスとしては、金属や金属窒化物等の酸化されやすい材料からなる基板に成膜する場合に基板の劣化を防止できる点で、還元性ガスが好ましい。還元性ガスの具体例としては、アンモニア、水素、モノシラン、ヒドラジン、ぎ酸などを例示することが出来る。成膜装置の仕様による制約が少なく取扱いが容易である点で、還元性ガスとしてはアンモニア、水素又はギ酸が好ましく、アンモニアが更に好ましい。酸化性ガスを用いる場合、その具体例としては、酸素、オゾン、水蒸気、過酸化水素、塩化水素、笑気ガス、硝酸ガス、酢酸などを挙げることが出来る。反応ガスの流量は材料の反応性と反応チャンバーの容量に応じて適宜調節される。例えば反応チャンバーの容量が１〜１０Ｌの場合、反応ガスの流量は特に制限は無く、経済的な理由から１〜１００００ｓｃｃｍが好ましい。なお、本明細書中においてｓｃｃｍとは気体の流量を表す単位であり、１ｓｃｃｍは理想気体に換算すると２．６８ｍｍｏｌ／ｈの速度で気体が移動していることを表す。

ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する場合、これらの分解方法を適宜選択して用いることにより、コバルト含有薄膜を作製することが出来る。複数の分解方法を組み合わせて用いることも出来る。反応チャンバーへのコバルト錯体（１）の供給方法としては、例えばバブリング、液体気化供給システムなど当業者が通常用いる方法が挙げられ、特に限定されるものではない。

ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製する際のキャリアガス及び希釈ガスとしては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノンなどの希ガス又は窒素ガスが好ましく、経済的な理由から窒素ガス又はアルゴンが更に好ましい。キャリアガス及び希釈ガスの流量は反応チャンバーの容量などに応じて適宜調節される。例えば反応チャンバーの容量が１〜１０Ｌの場合、キャリアガスの流量は特に制限は無く、経済的な理由から１〜１００００ｓｃｃｍが好ましい。

ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有薄膜を作製するときの基板温度は、熱、プラズマ、光などの使用の有無、反応ガスの種類などにより適宜選択される。例えば光やプラズマを併用することなく反応ガスとしてアンモニアを用いる場合には、基板温度に特に制限は無く、経済的な理由から２００℃〜１０００℃が好ましい。成膜速度が良好な点で２５０℃〜８００℃が好ましく、３００℃〜８００℃が殊更好ましい。また、光やプラズマ、オゾン、過酸化水素などを適宜使用することで２００℃以下の温度域でコバルト含有薄膜を作製することが出来る。

本発明のコバルト含有薄膜の作製方法により得られるコバルト含有薄膜としては、例えば金属コバルト薄膜、酸化コバルト薄膜、窒化コバルト薄膜、酸窒化コバルト薄膜などが得られる。また金属コバルト薄膜を作製後、任意の温度で基板を加熱処理することによりコバルト含有複合膜を得ることができる。例えば、シリコン基板上に金属コバルト薄膜を作製後、３００℃〜９００℃の加熱処理によりＣｏ_２Ｓｉ、ＣｏＳｉ、ＣｏＳｉ_２などのコバルトシリサイド薄膜を得ることができる。また他の金属材料と組み合わせて用いた場合にもコバルト含有複合薄膜を得ることができる。例えば、本発明のコバルト錯体（１）とケイ素材料と組み合わせて用いることによりコバルトシリサイド薄膜が得られる。該ケイ素材料としては、モノシラン、ジシラン、トリシラン、テトラエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ビス（ｔｅｒｔ−ブチルアミノ）シラン、ビス（ジエチルアミノ）シラン、トリス（ジメチルアミノ）シランなどを例示することができる。さらにアルミニウムやゲルマニウムなどの典型金属、チタン、ジルコニウム、ハフニウム、ニオブ、タンタル、タングステンなどの遷移金属、ランタンやネオジムなどの希土類金属を含有する金属材料と本発明のコバルト錯体（１）を組み合わせて用いることにより、これらの金属元素を含むコバルト含有複合膜を得ることも出来る。また、ＣＶＤ法又はＡＬＤ法によりコバルト含有複合薄膜を作製する場合、本発明のコバルト錯体（１）と他の金属材料とを別々に反応チャンバー内に供給しても、混合してから供給しても良い。

本発明のコバルト含有薄膜を構成部材として用いることにより、信頼性や応答性を向上させた高性能な半導体素子を製造することが出来る。半導体素子の例としてはＤＲＡＭ、ＦｅＲＡＭ、ＰＲＡＭ、ＭＲＡＭ、ＲｅＲＡＭ、フラッシュメモリーなどの半導体記憶装置や電界効果トランジスタなどを挙げることが出来る。これらの構成部材としてはトランジスタのゲート電極、ソース・ドレイン部の拡散層上のコンタクトや、銅配線シード層／ライナー層などを例示することが出来る。

本発明のコバルト錯体（１）を材料として用いることにより、反応ガスとして還元性ガスを用いる条件下でコバルト含有薄膜を作製することが出来る。

実施例１４〜１７、比較例１で用いたＣＶＤ装置を示す図である。

以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、Ｐｒ、^ｉＰｒ、^ｓＢｕ及び^ｔＢｕは、それぞれプロピル基、イソプロピル基、ｓｅｃ−ブチル基及びｔｅｒｔ−ブチル基を示す。^１Ｈ及び^１３Ｃ−ＮＭＲスペクトルは、Ｖａｒｉａｎ社製ＶＸＲ−５００ＳＮＭＲＳｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒを用いて測定した。参考例１〜９及び実施例１〜１３に記載の錯体の製造は全てアルゴン雰囲気下で実施した。

参考例１

酢酸エチル１１．７ｇ（１３２ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、４８．０ｍＬ、９６ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した。残った固体に２５℃下で塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２３０ｍＬを加えた後、２５℃で６５時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にトルエン２５０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、ビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５−Ｃ_５Ｈ_４Ｃ（Ｏ）ＣＨ_３）_２）を紫色固体として得た（４．００ｇ，収率３２％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
３５．６９（ｂｒｓ），２４．９３（ｂｒｓ），６．０−１．０（ｍ）．
参考例２

イソ吉草酸エチル１５．７ｇ（１２０ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、１９時間加熱還流した。得られた溶液から溶媒を減圧下で留去した。残った固体に０℃下で塩化コバルト５．９０ｇ（４５．４ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加えた後、２５℃で３０時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１３０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過し、ろ液を減圧乾固することにより、ビス（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５−Ｃ_５Ｈ_４Ｃ（Ｏ）ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）_２）_２）を紫色液体として得た（７．５６ｇ，収率４７％）。

参考例３

参考例１で合成したビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト９２２ｍｇ（３．３７ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、−７８℃下でイソプレン９５３ｍｇ（１４．０ｍｍｏｌ）とナトリウム８３ｍｇ（３．６１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン２０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８８℃／背圧３６Ｐａ）することにより、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−３）を赤色液体として得た（１７７ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０１（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９４（ｂｒｓ，１Ｈ），４．５５−４．７７（ｂｒ，２Ｈ），４．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），２．１０（ｓ，３Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６３（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．３７（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．４４（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．９，９６．２，９３．７，８４．０，８３．２，８１．８，８１．２，８０．９，３５．５，３２．８，２７．１，２２．２．
参考例４

参考例１で合成したビス（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）コバルト１．５９ｇ（５．８２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ２４ｍＬを混合することにより調製した溶液に、−７８℃下で２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン１．９６ｇ（２３．９ｍｍｏｌ）とナトリウム１４６ｍｇ（６．３５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン３５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−４）を赤色液体として得た（３１１ｍｇ，収率２２％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．９４（ｂｒｓ，２Ｈ），４．５４（ｂｒｓ，２Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８１（ｓ，６Ｈ），１．６７（ｂｒｓ，２Ｈ），−０．４８（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９４．８，９３．６，９３．３，８４．３，８１．７，３６．５，２７．２，１９．２．
参考例５

酪酸エチル２２．１ｇ（１９０ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、８０．０ｍＬ、１６０ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、８時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン１００ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト９．８７ｇ（７６．０ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で４時間撹拌した。この混合物に、０℃下でイソプレン１７．４ｇ（２５６ｍｍｏｌ）とナトリウム１．８７ｇ（８１．１ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で１８時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン２００ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１１）を赤色液体として得た（９．０８ｇ，収率４６％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２２−５．２９（ｍ，１Ｈ），５．１６−５．２２（ｍ，１Ｈ），４．９２−５．０５（ｍ，２Ｈ），４．６９−４．７９（ｍ，１Ｈ），２．７２（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，２Ｈ），２．０５（ｓ，３Ｈ），１．８８（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６９−１．８３（ｍ，３Ｈ），０．９９（ｔ，Ｊ＝７．４Ｈｚ，３Ｈ），−０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
参考例６

酪酸エチル１４．９ｇ（１２８ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、７時間加熱還流した。得られた溶液から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト５．９０ｇ（４５．４ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で１４時間撹拌した。得られた混合物に、０℃下で２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン７．２７ｇ（８８．５ｍｍｏｌ）とナトリウム１．１６ｇ（５０．４ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２３時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１７０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−１２）を茶色液体として得た（１．８８ｇ，収率１５％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．００−５．０３（ｍ，２Ｈ），４．４８−４．５４（ｍ，２Ｈ），２．４５（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，２Ｈ），１．８３（ｓ，６Ｈ），１．７４−１．８２（ｍ，２Ｈ），１．７１（ｂｒｓ，２Ｈ），０．９３（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ），−０．４５（ｂｒｓ，２Ｈ）．
参考例７

参考例２で合成したビス（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト７．５６ｇ（２１．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下でイソプレン５．４５ｇ（８０．０ｍｍｏｌ）とナトリウム５５８ｍｇ（２４．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１５時間撹拌した後、溶媒を減圧下で留去した。残った固体にヘキサン１４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体をカラムクロマトグラフィー（アルミナ、ＴＨＦ）を用いて精製することにより、（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（２ａ−２３）を赤色液体として得た（１．３ｇ，収率２２％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．２４（ｂｒｓ，１Ｈ），５．１８（ｂｒｓ，１Ｈ），４．９５−５．０４（ｍ，１Ｈ），４．９２（ｂｒｓ，１Ｈ），４．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），２．６２（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．２６−２．４２（ｍ，１Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．９０（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７３−１．８３（ｍ，１Ｈ），１．００（ｄ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，６Ｈ），−０．３３（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．４２（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１９７．３，９６．２，８３．９，８２．９，８１．５，８１．２，８０．９，７９．４，４８．７，３５．７，３２．９，２５．３，２３．０，２２．４．
参考例８

酢酸エチル１０．８ｇ（１２２ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン５０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト６．００ｇ（４６．２ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で６４時間撹拌した。この混合物に、０℃下でＪｏｈｎｓｏｎＭａｔｔｈｅｙ製のシクロヘキサ−１，３−ジエン５．１４ｇ（６４．２ｍｍｏｌ）とナトリウム１．０７ｇ（４６．５ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にヘキサン１９０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去した。残った固体を昇華（加熱温度１１０℃／背圧３２Ｐａ）することにより、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（２ｂ−１）を茶色固体として得た（９１４ｍｇ，収率８％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０７−５．１１（ｍ，２Ｈ），４．６１−４．６６（ｍ，２Ｈ），４．３０−４．３３（ｍ，２Ｈ），２．９３−２．９８（ｂｒ，２Ｈ），２．１６（ｓ，３Ｈ），１．３５−１．４２（ｍ，２Ｈ），０．６１−０．６８（ｍ，２Ｈ）．
参考例９

酢酸エチル１３．５ｇ（１５３ｍｍｏｌ）にナトリウムシクロペンタジエニド／ＴＨＦ溶液（２．０Ｍ、５０．０ｍＬ、１００ｍｍｏｌ）を２５℃で加えた後、６時間加熱還流した。得られたスラリーから溶媒を減圧下で留去した後、残った固体をヘキサン３０ｍＬで洗浄した。得られた固体に０℃下で塩化コバルト６．０１ｇ（４６．３ｍｍｏｌ）とＴＨＦ１００ｍＬを加え、２５℃で１５時間撹拌した。この混合物に、０℃下でシクロオクタ−１，５−ジエン２０．３ｇ（１８８ｍｍｏｌ）とナトリウム１．２０ｇ（５２．２ｍｍｏｌ）を加えた後、２５℃で２４時間撹拌した。反応混合物から溶媒を減圧下で留去した後、残った固体にトルエン３５０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液から溶媒を減圧留去することにより、（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（２ｃ−１）を黄色固体として得た（４．１８ｇ，収率３３％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．６４（ｂｒｓ，２Ｈ），３．９２（ｂｒｓ，２Ｈ），３．３９（ｂｒｓ，４Ｈ），２．４２（ｓ，３Ｈ），２．１９−２．３８（ｍ，４Ｈ），１．５０−１．５７（ｍ，４Ｈ）．
実施例１

参考例３で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト４．２１ｇ（１８．０ｍｍｏｌ）とヘキサン４２ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１２．０ｇ（８４．６ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン６．３６ｇ（１０８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１７時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン４０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７７℃／背圧３３Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３１）を赤色液体として得た（１．１４ｇ，収率２３％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１３−５．１６（ｍ，１Ｈ），４．９１−４．９４（ｍ，１Ｈ），４．８４−４．９１（ｍ，２Ｈ），４．８０−４．８３（ｍ，１Ｈ），３．３３（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，２Ｈ），２．０７（ｓ，３Ｈ），２．０４（ｓ，３Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．６０−１．６９（ｍ，３Ｈ），０．９７（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，３Ｈ），−０．４８（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．５８（ｂｒｓ，１Ｈ）．
実施例２

参考例３で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト２．３０ｇ（９．８０ｍｍｏｌ）とヘキサン２３ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体５．２２ｇ（３６．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で３時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン２．９０ｇ（４９．０ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７８℃／背圧３１Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３２）を赤色液体として得た（５５０ｍｇ，収率２０％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１３−５．１８（ｍ，１Ｈ），５．０５−５．１０（ｍ，１Ｈ），４．９１−４．９６（ｍ，１Ｈ），４．８３−４．９０（ｍ，１Ｈ），４．８１−４．８４（ｍ，１Ｈ），３．７４（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．３Ｈｚ，１Ｈ），２．０８（ｓ，３Ｈ），２．０５（ｓ，３Ｈ），１．７０（ｂｒｓ，１Ｈ），１．５８−１．６３（ｍ，１Ｈ），１．１４（ｄ，Ｊ＝６．３Ｈｚ，６Ｈ），−０．４９（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．５９（ｂｒｓ，１Ｈ）．
実施例３

参考例３で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト７１２ｍｇ（３．０４ｍｍｏｌ）とヘキサン１５ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．５８ｇ（１１．１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で３時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でｓｅｃ−ブチルアミン１．０８ｇ（１４．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８２℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３６）を赤色液体として得た（１５４ｍｇ，収率１８％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，ＣＤＣｌ_３，δ）
５．１０−５．２５（ｍ，２Ｈ），４．７８−４．９２（ｍ，３Ｈ），３．４０−３．５３（ｍ，１Ｈ），２．０８（ｓ，３Ｈ），２．０６（ｓ，３Ｈ），１．８５（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，１Ｈ），１．４６−１．５８（ｍ，２Ｈ），１．０５−１．１３（ｍ，３Ｈ），０．８５（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ），−０．４９（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．５８（ｂｒｓ，１Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１５８．９，９８．１，９４．７，８１．４，８１．３，８０．２，７９．８，７９．７，５７．１，３４．９，３１．９，３１．７，２２．７，２１．９，１５．１，１１．５．
実施例４

参考例５で合成した（η^５−ブチリルシクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト７４０ｍｇ（２．８２ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．６１ｇ（１１．３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン８５８ｍｇ（１４．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８６℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（プロピルイミノ）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１４３）を赤色液体として得た（２３２ｍｇ，収率２７％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２３−５．３３（ｍ，１Ｈ），５．０９−５．１８（ｍ，１Ｈ），４．７６−４．８８（ｍ，２Ｈ），４．５４−４．６２（ｍ，１Ｈ），３．３２（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．１９−２．３４（ｍ，２Ｈ），１．９５（ｓ，３Ｈ），１．７１−１．８５（ｍ，４Ｈ），１．４４−１．５５（ｍ，２Ｈ），１．０４（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），０．８４（ｔ，Ｊ＝７．３Ｈｚ，３Ｈ），−０．２６（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．３６（ｂｒｓ，１Ｈ）．
実施例５

参考例７で合成した（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト６７０ｍｇ（２．４３ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．２４ｇ（８．７３ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン７１５ｍｇ（１２．１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２４時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８６℃／背圧１１Ｐａ）することにより、（η^５−（（１−プロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−１９９）を赤色液体として得た（２００ｍｇ，収率２９％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２８−５．３７（ｍ，１Ｈ），５．１２−５．１８（ｍ，１Ｈ），４．７８−４．８８（ｍ，２Ｈ），４．５６−４．６２（ｍ，１Ｈ），３．３５（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），２．１８−２．３４（ｍ，２Ｈ），１．９７−２．０７（ｍ，１Ｈ），１．９６（ｓ，３Ｈ），１．７２−１．８２（ｍ，４Ｈ），１．０５（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），０．８６（ｄ，Ｊ＝６．６Ｈｚ，６Ｈ），−０．２６（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．３４（ｂｒｓ，１Ｈ）．
実施例６

参考例７で合成した（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）（η^５−イソバレリルシクロペンタジエニル）コバルト９６３ｍｇ（３．４９ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体４．２３ｇ（２９．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン２．２８ｇ（３８．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン７ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過することにより、（η^５−（（１−イソプロピルイミノ−３−メチル）ブチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−２００）を赤色液体として得た（５８０ｍｇ，収率５９％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２８−５．３６（ｍ，１Ｈ），５．１３−５．２１（ｍ，１Ｈ），４．７５−４．８７（ｍ，２Ｈ），４．６０−４．６６（ｍ，１Ｈ），３．７２−３．８６（ｍ，１Ｈ），２．１７−２．２６（ｍ，２Ｈ），１．９９（ｓ，３Ｈ），１．９４−２．０３（ｍ，１Ｈ），１．８１（ｂｒｓ，１Ｈ），１．７２−１．７６（ｍ，１Ｈ），１．２２（ｄ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，６Ｈ），０．８５（ｄ，Ｊ＝６．８Ｈｚ，６Ｈ），−０．２５（ｂｒｓ，１Ｈ），−０．３５（ｂｒｓ，１Ｈ）．
実施例７

参考例４で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト１．１１ｇ（４．４７ｍｍｏｌ）とヘキサン３７ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１１．６ｇ（８１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン５．６５ｇ（９５．６ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度７５℃／背圧２８Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−４５）を赤色固体として得た（１７５ｍｇ，収率１４％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．１１（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７５（ｂｒｓ，２Ｈ），３．２０（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，２Ｈ），１．９３（ｓ，６Ｈ），１．７３−１．８１（ｍ，２Ｈ），１．７２（ｂｒｓ，２Ｈ），１．６８（ｓ，３Ｈ），１．０４（ｔ，Ｊ＝７．０Ｈｚ，３Ｈ），−０．４０（ｂｒｓ，２Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１６０．９，９７．７，９１．９，８２．０，８０．１，５３．７，３５．７，２５．０，１９．５，１５．５，１２．６．
実施例８

参考例４で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト４８０ｍｇ（１．９３ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．３７ｇ（９．６５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でｔｅｒｔ−ブチルアミン８３５ｍｇ（１１．４ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で８７時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮することにより、（η^５−（１−（ｔｅｒｔ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２，３−ジメチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−５１）を赤色固体として得た（３３３ｍｇ，収率５７％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．０９（ｂｒｓ，２Ｈ），４．７５（ｂｒｓ，２Ｈ），１．９７（ｓ，６Ｈ），１．８３（ｓ，３Ｈ），１．７３（ｂｒｓ，２Ｈ），１．３３（ｓ，９Ｈ），−０．３９（ｂｒｓ，２Ｈ）．
実施例９

参考例８で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト９６８ｍｇ（３．９３ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体２．０９ｇ（１４．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン１．１４ｇ（１９．４ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１０ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８５℃／背圧４１Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−３）を赤色液体として得た（４４０ｍｇ，収率３９％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７−５．３０（ｍ，２Ｈ），４．７６−４．８０（ｍ，２Ｈ），４．４６−４．４８（ｍ，２Ｈ），３．２８（ｔ，Ｊ＝７．２Ｈｚ，２Ｈ），２．９６−３．０１（ｍ，２Ｈ），１．７９（ｓ，３Ｈ），１．７４−１．８５（ｍ，２Ｈ），１．４５−１．５１（ｍ，２Ｈ），１．０３（ｔ，Ｊ＝７．２Ｈｚ，３Ｈ），０．８０−０．８５（ｍ，２Ｈ）．
実施例１０

参考例８で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト９６９ｍｇ（３．９４ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体２．２４ｇ（１５．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン１．１７ｇ（１９．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１６時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１７ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８４℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−４）を赤色液体として得た（４２８ｍｇ，収率３８％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７−５．３３（ｍ，２Ｈ），４．７４−４．８１（ｍ，２Ｈ），４．３９−４．４５（ｍ，２Ｈ），３．６８（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，１Ｈ），２．９１−３．０４（ｍ，２Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．４５−１．５３（ｍ，２Ｈ），１．２４（ｄ，Ｊ＝６．０Ｈｚ，６Ｈ），０．７９−０．８８（ｍ，２Ｈ）．
実施例１１

参考例８で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト５９０ｍｇ（２．４０ｍｍｏｌ）とヘキサン１０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．４９ｇ（１０．５ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でＮ，Ｎ−ジメチルエチレンジアミン１．１３ｇ（１２．８ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２１時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン５ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮することにより、（η^５−（１−［２−（ジメチルアミノ）エチルイミノ］エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロヘキサ−１，３−ジエン）コバルト（１ｂ−１１）を赤色液体として得た（４５１ｍｇ，収率５９％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
５．２７−５．２９（ｍ、２Ｈ），４．７６−４．７９（ｍ，２Ｈ），４．４６−４．４９（ｍ，２Ｈ），３．５２−３．５８（ｍ，２Ｈ），２．９７−３．０１（ｍ，２Ｈ），２．７２−２．７８（ｍ，２Ｈ），２．２２（ｓ，６Ｈ），１．８０（ｓ，３Ｈ），１．４６−１．５２（ｍ，２Ｈ），０．８０−０．８５（ｍ，２Ｈ）．
実施例１２

参考例９で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト２．８０ｇ（１０．２ｍｍｏｌ）とヘキサン２８ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体７．２２ｇ（５０．９ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で２時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でプロピルアミン３．６５ｇ（６１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１８時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン２２ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８８℃／背圧１７Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３）を赤色液体として得た（４７０ｍｇ，収率１５％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．６３−４．６６（ｍ，２Ｈ），４．４９−４．５２（ｍ，２Ｈ），３．４０−３．４５（ｂｒｓ，４Ｈ），３．３０（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，２Ｈ），２．３５−２．４６（ｍ，４Ｈ），２．００（ｓ，３Ｈ），１．７３−１．８２（ｍ，２Ｈ），１．６４−１．７１（ｍ，４Ｈ），１．０２（ｔ，Ｊ＝７．５Ｈｚ，３Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１６０．７，１０１．３，８５．３，８３．１，６６．５，５３．７，３２．４，２５．１，１５．３，１２．５．
実施例１３

参考例９で合成した（η^５−アセチルシクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト５８５ｍｇ（２．１３ｍｍｏｌ）とヘキサン２０ｍＬを混合することにより調製した溶液に、０℃下で三フッ化ホウ素ジエチルエーテル錯体１．２１ｇ（８．５１ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で４時間撹拌した後、得られたスラリーに０℃下でイソプロピルアミン６９０ｍｇ（１１．７ｍｍｏｌ）を加えた。２５℃で１９時間撹拌した後、反応溶液にヘキサン１４ｍＬを加えて２５℃で激しく撹拌した。生成した懸濁液をろ過した後、ろ液を減圧下で濃縮した。残った液体を減圧蒸留（留出温度８７℃／背圧２５Ｐａ）することにより、（η^５−（１−（イソプロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−４）を赤色液体として得た（１２２ｍｇ，収率１８％）。
^１Ｈ−ＮＭＲ（５００ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
４．５９−４．６６（ｍ，２Ｈ），４．４９−４．５４（ｍ，２Ｈ），３．７２（ｓｅｐｔ，Ｊ＝６．４Ｈｚ，１Ｈ），３．３９−３．４６（ｍ，４Ｈ），２．３３−２．４７（ｍ，４Ｈ），２．０３（ｓ，３Ｈ），１．６３−１．７２（ｍ，４Ｈ），１．２３（ｄ，Ｊ＝６．４Ｈｚ，６Ｈ）．
^１３Ｃ−ＮＭＲ（１２５ＭＨｚ，Ｃ_６Ｄ_６，δ）
１５７．９，１０１．１，８５．３，８３．１，６６．６，５０．９，３２．３，２４．６，１４．８．
実施例１４
実施例３で合成した（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３６）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１６０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：２０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：６９℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２０ｓｃｃｍ、基板温度４００℃。なお、反応チャンバーへの材料供給速度は、（キャリアガス流量×材料の蒸気圧÷材料容器内全圧）の計算式に基づいて求めることが出来る。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。蛍光Ｘ線分析は理学電機社製３３７０Ｅを用いた。測定条件はＸ線源：Ｒｈ、出力：５０ｋＶ５０ｍＡ、測定径：１０ｍｍとした。
実施例１５
実施例３で合成した（η^５−（１−（ｓｅｃ−ブチルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−２−メチルブタ−１，３−ジエン）コバルト（１ａ−３６）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。薄膜作製条件は実施例１４に示す通りであり、但し基板温度は３００℃である。

作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。
実施例１６
実施例１２で合成した（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

キャリアガス流量：４０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：４０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：１００℃、材料の蒸気圧：１．０Ｐａ、材料容器内全圧：３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０１２ｓｃｃｍ、基板温度４００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。
実施例１７
実施例１２で合成した（η^５−（１−（プロピルイミノ）エチル）シクロペンタジエニル）（η^４−シクロオクタ−１，５−ジエン）コバルト（１ｃ−３）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。薄膜作製条件は実施例１６に示す通りであり、但し基板温度は３００℃である。

作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線が検出された。
比較例１
ビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルト（Ｃｏ（η^５−Ｃ_５Ｈ_４ＣＨ_２ＣＨ_３）_２）を材料に用いてコバルト含有薄膜を熱ＣＶＤ法により作製した。本比較例で用いたビス（エチルシクロペンタジエニル）コバルトは、日本化学会編、「実験化学講座１８有機金属錯体」、第４版、丸善、１９９２年に記載の方法に従って製造したものである。具体的にはエチルシクロペンタジエニルナトリウムと塩化コバルトとを反応させることにより合成した。薄膜作製のために使用した装置の概略を図１に示した。成膜条件は以下の通りである。

キャリアガス流量：２０ｓｃｃｍ、アンモニア流量：１２０ｓｃｃｍ、希釈ガス流量：６０ｓｃｃｍ、基板：Ｓｉ、成膜時間：１時間、反応チャンバー全圧：１．３ｋＰａ、材料容器温度：４８℃、材料の蒸気圧：１３．３Ｐａ、材料容器内全圧：１３．３ｋＰａ、材料供給速度：０．０２０ｓｃｃｍ、基板温度３００℃。キャリアガス及び希釈ガスとしてアルゴンを用いた。

作製した薄膜を蛍光Ｘ線分析で確認したところコバルトに基づく特性Ｘ線は検出されなかった。

以上の実施例からコバルト錯体（１）は、酸化性ガスを用いなくても、光やプラズマを併用することなく、４００℃以下の低温でコバルト含有膜を作製可能な材料であり、薄膜形成用材料として適用範囲が広い有用な材料であることが分かる。

１材料容器
２恒温槽
３反応チャンバー
４基板
５反応ガス導入口
６希釈ガス導入口
７キャリアガス導入口
８マスフローコントローラー
９マスフローコントローラー
１０マスフローコントローラー
１１油回転式ポンプ
１２排気

Claims

一般式（１）
（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^１は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^２はジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４は水素原子、又は一体となって炭素数２〜４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^５〜Ｒ^８は各々独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるコバルト錯体。
ｎが０であり、Ｒ^３及びＲ^４が水素原子である、請求項１に記載のコバルト錯体。
ｎが０であり、Ｒ^３及びＲ^４が互いに一体となって炭素数２〜４のアルキレン基を形成する基である、請求項１に記載のコバルト錯体。
ｎが２であり、Ｒ^３及びＲ^４が互いに一体となってエチレン基を形成する基である、請求項１に記載のコバルト錯体。
一般式（２）
（式中、ｎ、Ｒ^１、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８は、一般式（１）のｎ、Ｒ^１、Ｒ^３、Ｒ^４、Ｒ^５、Ｒ^６、Ｒ^７、Ｒ^８と同義である。）で示されるジエン錯体と、
一般式Ｒ^２ＮＨ_２（３）（式中、Ｒ^２は一般式（１）のＲ^２と同義である。）で示されるアルキルアミンとを、ルイス酸存在下で反応させる、一般式（１）
（式中、ｎは０又は２を表す。Ｒ^１は炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^２はジ（炭素数１〜３のアルキル）アミノ基で置換されていても良い炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４は水素原子、又は一体となって炭素数２〜４のアルキレン基を形成する基を表す。Ｒ^５〜Ｒ^８は各々独立に、水素原子又は炭素数１〜４のアルキル基を表す。）で示されるコバルト錯体の製造方法。
ルイス酸が三ハロゲン化ホウ素である、請求項５に記載のコバルト錯体の製造方法。
請求項１〜４のいずれかに記載のコバルト錯体を分解し、基板上にコバルト含有薄膜を作製することを特徴とする、コバルト含有薄膜の作製方法。
分解する方法が化学反応に基づく気相蒸着法である、請求項７に記載の作製方法。
分解する方法が化学気相蒸着法である、請求項７又は８に記載の作製方法。
還元性ガスを用いて分解することを特徴とする、請求項７〜９のいずれかに記載の作製方法。
コバルト含有薄膜が金属コバルト薄膜である請求項７〜１０のいずれかに記載の作製方法。