JP6516549B2 - 非晶質球状シリカ粉末 - Google Patents
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Description
しかしながら、BET比表面積が上記範囲の既存シリカ粉末は、樹脂に高充填したときの粘度上昇を抑制することが難しく、これを狭ギャップ半導体実装用途に用いた場合、成型に不具合が生じるという問題があり樹脂への充填特性に課題が残っていた。
また、特許文献2には、体積平均粒径が0.46〜1.3μm、体積平均粒径に対する標準偏差の値が45〜110%、反応性シラノール基量が1.5〜3.0個/nm2である球状シリカ粉末を用いることにより、樹脂へ高充填した際に樹脂組成物の流動性が極めて高くなることが記載されている。
しかしながら、特許文献1、2に記載されたシリカ粉末は石英等の溶融法や金属珪素粉末の燃焼法によって製造されるため、製法由来の粗大粒子が多く、上記狭ギャップ半導体実装用途に用いる上で課題が残されていた。
また、珪素粉末の燃焼法の場合、珪素粉末の蒸発、蒸発で生じた珪素蒸気と酸素の混合、珪素蒸気と酸素の反応、反応によって生成したシリカ微粒子の成長が、同じ火炎内で同時進行するため、火炎は不均一であり、それを反映して、粗粒が発生する。
(A)BET比表面積が 2m2/g以上、30m2/g未満である
(B)粒子充填率が0.64以上である
(C)遠心沈降法によって得られる重量基準粒度分布において、粒子径1.5μm以上の粒子含有量が0.1質量%以下である
即ち、粒子充填率が高いほど一定空間内に充填できるシリカ粒子の体積が多いことを意味する。従って、同一重量の非晶質球状シリカ粉末で比較すると粒子充填率が高いシリカ粉末は粒子充填率が低いシリカ粉末と比べ、粒子間の空隙体積が大きくなる。この空間を樹脂で置き換えると、粒子充填率が高い非晶質球状シリカ粉末は、粒子間に閉じ込められた樹脂が少なく、自由に動くことができる樹脂が多く存在するため、粘度の上昇を抑制できる。
本発明において、同様にして空間率を求める。
本発明の非晶質球状シリカ粉末は、ゾルゲル法で合成したのち焼成して非晶質化する方法や特開2014−152048のようなシロキサンの火炎燃焼法によって得ることができる。本発明の非晶質球状シリカ粉末は、BET比表面積が 2m2/g以上、30m2/g未満であって、1種類の粉末であってもよく、BET比表面積が異なる複数種類の粉末を混合してもよい。粒子充填率を高める上では、BET比表面積が大きく異なる2種類以上の粉末を配合し混合するのが好ましい。
柴田理化学社製BET比表面積測定装置SA−1000(商品名)を用い、窒素吸着BET1点法により測定した。
(測定試料調製)
測定試料であるシリカ濃度1.5質量%水懸濁液を、以下のように調製した。
シリカ0.3gと蒸留水20mlをガラス製のサンプル管瓶(アズワン社製、内容量30ml、外径約28mm)に入れ、超音波細胞破砕器(BRANSON社製Sonifier II Model 250D(商品名)、プローブ:1.4インチ)のプローブチップ下面が水面下15mmになるように試料入りサンプル管瓶を設置し、出力20W、分散時間3分の条件でシリカ微粒子を蒸留水に分散した1.5質量%水懸濁液を調製した。
CPS社製ディスク遠心沈降式粒度分布測定装置DC−24000(商品名)を用いて、粒度分布を測定し重量基準粒度分布を得た。測定条件は、回転数9000rpm、シリカ真密度2.2g/cm3とし、0.476μmのPVC粒子で測定毎に校正した。
(測定試料調製)
超純水50gにシリカ5gを添加し、ポリテトラフルオロエチレン製の分解容器を用いて120℃で24時間加熱した。超純水およびシリカは0.1mg単位まで秤量した。その後、遠心分離器を用いてシリカ固形分を分離し、イオンクロマト測定試料を得た。なお、超純水のみで前記操作を行い、ブランク試料を得た。
日本ダイオネクス社製イオンクロマトグラフィーシステムICS−2100(商品名)を用いて、測定試料中の塩化物イオンの濃度を測定した。シリカ粉末中の塩化物イオン濃度を下記式(2)を用いて算出し、これをシリカ粉末の塩素含有量とした。
CSilica:シリカ粉末中の塩化物イオン濃度(ppm)
CSample:測定試料中の塩化物イオン濃度(ppm)
CBlank:ブランク試料中の塩化物イオン濃度(ppm)
MPW:超純水重量(g)
MSilica:シリカ粉末の重量(g)
なお、CBlankは0ppmであった。
130℃での乾燥減量法によって測定した。
20gのシリカに純水を100ml添加し、日本精機製作所製超音波破砕器US−600T(商品名)を用いて、1分間分散することによってシリカスラリーを得た。このスラリーを目開き5μmの電成篩に通した。その後、篩残を乾燥させ、秤量し、目開き5μmの篩上粒子を求めた。
(6)樹脂組成物の粘度と増粘指数
(測定試料調製)
42.84gのシリカに新日鐵化学製エポキシ樹脂ZX−1059(商品名)を28.56g添加し、シンキー社製のプラネタリーミキサーAR−500(商品名)を用いて、回転数1000rmpで8分間攪拌、続いて回転数2000rpmで2分間脱泡することで、予備混練した。その後、アイメックス社製3本ロールミルBR−150HCV(商品名)を用いて混練することによってエポキシ樹脂組成物を得た。なお、ロールの隙間は20μmとした。樹脂組成物は、混練後室温25℃にて1週間保持した。
25℃の恒温槽から樹脂組成物を取り出し、Haake社製レオメータ レオストレスRS600を用いてせん断速度10s−1で粘度を測定した。なお、測定温度は25℃、使用センサーはC35/1(コーンプレート型 直径35mm、角度1度、材質チタン)とし、せん断速度10 s−1の状態を3分間保った後での粘度の値をエポキシ樹脂組成物の粘度とした。
東都化成製エポキシ樹脂ZX−1059の粘度を、Haake社製レオメータ レオストレスRS600を用いてせん断速度10s−1で粘度を測定した。なお、測定温度は25℃、使用センサーはC35/1(コーンプレート型 直径35mm、角度1度、材質チタン)とし、せん断速度10s−1の状態を3分間保った後での粘度の値をエポキシ樹脂の粘度とした。
増粘指数[g2/m4]を下記式で求めた。
増粘指数[g2/m4]=(η・η0 −1・S−2)×100
ここで、ηは、樹脂組成物の粘度[Pa・s]、η0は、樹脂の粘度[Pa・s]、Sは、BET比表面積[m2/g]である。
ゾルゲル法で合成した後、900℃で焼成することで表1の混合用の非晶質球状シリカ粉末を得た。表1の混合用非晶質球状シリカ粉末を表2に示した割合で配合、混合することによって、非晶質球状シリカ粉末を調製した。表3に非晶質球状シリカ粉末の特性を示す。粒子充填率は、遠心沈降粒度分布測定により得た重量基準粒度分布を用いて、多成分粒子混合充填層空間率推定プログラムCALVOIDN.EXE(兵庫県立大学 大学院工学研究科 機械システム工学科 鈴木道隆教授による。兵庫県立大学 粉粒体工学研究室 ホームページ http://www.eng.u−hyogo.ac.jp/mse/mse6に所蔵)を使って空間率を求め、式(1)により算出した。この際、単分散粒子の空間率を0.4に設定した。なお、上述の多成分粒子混合充填層空間率推定プログラムには0nmから始めて粒子径区間幅50nmの累積粒度分布値を入力した。
比較例3
市販の非晶質球状シリカ粉末について、実施例1と同様の測定を行なった。その結果を表3に示す。
シロキサンを3重管ノズルバーナにて燃焼させることによって、非晶質シリカ粉末を得た。得られた非晶質シリカ粉末の特性を表3に示す。
Claims (8)
- 以下の条件を満足する非晶質球状シリカ粉末。
(A)BET比表面積が 2m2/g以上、30m2/g未満である
(B)粒子充填率が0.64以上である
(C)遠心沈降法によって得られる重量基準粒度分布において、粒子径1.5μm以上の粒子含有量が0.1質量%以下である - 遠心沈降法によって得られる重量基準粒度分布において、粒子径0.1μm以下の粒子含有量が1質量%未満である請求項1記載の非晶質球状シリカ粉末。
- 塩素含有量が1ppm以下である請求項1〜2のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末。
- 目開き5μmの篩上粒子の含有量が10ppm以下である請求項1〜3のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末。
- BET比表面積が5m2/g以上、25m2/g未満である請求項1〜4のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末。
- 130℃での乾燥減量法によって測定される水分量が0.5質量%以下である請求項1〜5のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末。
- 半導体封止材用である請求項1〜6のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の非晶質球状シリカ粉末を含有する樹脂組成物。
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