JP6514477B2 - 放射線検出装置および撮像システム - Google Patents
放射線検出装置および撮像システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6514477B2 JP6514477B2 JP2014211089A JP2014211089A JP6514477B2 JP 6514477 B2 JP6514477 B2 JP 6514477B2 JP 2014211089 A JP2014211089 A JP 2014211089A JP 2014211089 A JP2014211089 A JP 2014211089A JP 6514477 B2 JP6514477 B2 JP 6514477B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- film
- thickness
- scintillator layer
- radiation detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 62
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 43
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 11
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 60
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 56
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 44
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 40
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 119
- 239000010408 film Substances 0.000 description 65
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 230000009974 thixotropic effect Effects 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000000921 Gadolinium Chemical class 0.000 description 1
- 239000000020 Nitrocellulose Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001241 acetals Chemical class 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000007602 hot air drying Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001220 nitrocellulos Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000002688 persistence Effects 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical compound S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/42—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis
- A61B6/4208—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis characterised by using a particular type of detector
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/56—Details of data transmission or power supply, e.g. use of slip rings
- A61B6/563—Details of data transmission or power supply, e.g. use of slip rings involving image data transmission via a network
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
まず、図5の工程S510では、光電変換部104が形成されたセンサ基板103の上にポリイミドからなる保護層材料を塗布し、これを200℃で硬化させることによって保護層110を形成した。これによってセンサ基板103が得られた。
バインダー118の膜厚の評価を以下の方法により行った。
感度の評価を以下の方法により行った。
膜面強度が実用に耐えられるか否かを判断するために、温度50℃/湿度60%と、温度−30℃/湿度0%とを繰り返すヒートサイクル試験を実施した。ヒートサイクル試験の温度/湿度履歴を図8に示す。また、試験条件を変更(温度50℃→60℃、70℃)した時の評価も合わせて行った。この耐久試験において、50℃/−30℃のサイクル試験と60℃/−30℃のサイクル試験においては、シンチレータ層106の剥離は生じなかった。
実施例1におけるバインダー118の重量を10%増加させたペーストを準備し、シンチレータ層106を形成すべき領域の最外周部にディスペンサーを用いて塗布した。その後、実施例1で用いたペーストをスリットコーターによって前記最外周部の内側に塗工した。その後、熱風によって110℃で30分にわたってペーストを乾燥させシンチレータ層106を形成した。他の条件は、実施例1と同じとした。
実施例1と同様のペーストを準備し、スリットコーターによってセンサパネル102上に塗布した。その後、実施例1と同様の乾燥方法で、90℃で、60分乾燥させた。
特開2011−22142号公報に記載されたように、シンチレータ層の形成方法として、増感紙の製造工程において台紙にペーストを塗布する工程と同様な工程を採用した。詳細には、ロールコーター、ナイフコーターでペーストを塗布し、それを熱風乾燥により乾燥させた。これを評価した結果、シンチレータ粒子同士、および、シンチレータ粒子とセンサパネルとを接着しているバインダーの厚さは、中央部、周辺部ともに0.1μmであった。他の製造工程は実施例1と同様の工程で放射線検出装置を製造し、評価を行った。
比較例1におけるペースト中のバインダーの比率を変更した。他の製造工程は比較例1と同様である。評価の結果、感度は3850LSBであった。ヒートサイクル試験では、50℃/−30℃のサイクル試験において、シンチレータ層の端部に剥離が生じた。
(比較例3)
シンチレータ層の形成方法として、増感紙の製造工程に従って、センサパネルにスクリーン印刷法を用いペーストを塗布した。印刷後は15分のレベリング後、IR加熱炉中120℃で45分間の乾燥を行った。室温まで冷却後、更に同様のスクリーン印刷を2回繰り返し実施した。他の製造工程は比較例1と同様である。評価の結果、感度は3700LSBであった。ヒートサイクル試験では70℃/−30℃のサイクル試験において、シンチレータ層の端部に剥離が生じた。
上述の放射線検出装置200は、放射線検査装置等に代表される撮像システムに適用されうる。撮像システムは、例えば、放射線検出装置200を含む撮像装置と、イメージプロセッサ等を含む信号処理部と、ディスプレイ等を含む表示部と、放射線を発生させるための放射線源と、を備える。
Claims (11)
- 放射線を光に変換するシンチレータ層と、前記シンチレータ層によって変換された光を検出する光電変換部を有するセンサパネルとを備える放射線検出装置であって、
前記シンチレータ層は、放射線を光に変換する複数のシンチレータ粒子と、前記複数のシンチレータ粒子を前記センサパネルの上に固定するバインダーとを含み、
前記バインダーは、前記センサパネルの表面上に第1膜を形成するとともに前記複数のシンチレータ粒子のそれぞれの表面上に第2膜を形成することにより、前記センサパネルの表面と前記複数のシンチレータ粒子との間に前記第1膜と前記第2膜とによって膜を形成し、
前記シンチレータ層のうち前記光電変換部が配置された光電変換領域よりも外側の領域の上に位置する周辺部における前記膜の厚さが、前記シンチレータ層のうち前記光電変換領域における中央部の上に位置する中央部における前記膜の厚さより大きい、
ことを特徴とする放射線検出装置。 - 前記周辺部における前記第1膜の厚さが前記中央部における前記第1膜の厚さより大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部における前記第2膜の厚さが前記中央部における前記第2膜の厚さより大きい、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部において、前記シンチレータ粒子の体積(Vsp)に対する前記バインダーの体積(Vbp)の比(Vbp/Vsp)が0.0125以上である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部における前記シンチレータ層の単位重量に占める前記バインダーとの重量は、前記中央部における前記シンチレータ層の単位重量に占める前記バインダーの重量より大きい、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部は、前記シンチレータ粒子が存在しない第1領域と、前記第1領域の外側に位置し前記シンチレータ粒子が存在する第2領域とを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部における最外周部は、前記シンチレータ層の内側から外側に向かう方向における前記バインダーの幅が前記バインダーの厚さより大きく、かつ、前記シンチレータ粒子が存在しない領域である、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記周辺部は、内側から外側に向かって前記シンチレータ層の厚さが小さくなった部分を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記シンチレータ層の上に配置された反射層を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の放射線検出装置。 - 前記反射層は、光を拡散反射するように構成されている、
ことを特徴とする請求項9に記載の放射線検出装置。 - 放射線を発生する放射線源と、
請求項1乃至10のいずれか1項に記載の放射線検出装置と、
を備えることを特徴とする撮像システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014211089A JP6514477B2 (ja) | 2013-10-29 | 2014-10-15 | 放射線検出装置および撮像システム |
PCT/JP2014/005283 WO2015064043A1 (ja) | 2013-10-29 | 2014-10-17 | 放射線検出装置および撮像システム |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013224623 | 2013-10-29 | ||
JP2013224623 | 2013-10-29 | ||
JP2014211089A JP6514477B2 (ja) | 2013-10-29 | 2014-10-15 | 放射線検出装置および撮像システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015111105A JP2015111105A (ja) | 2015-06-18 |
JP6514477B2 true JP6514477B2 (ja) | 2019-05-15 |
Family
ID=53003677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014211089A Active JP6514477B2 (ja) | 2013-10-29 | 2014-10-15 | 放射線検出装置および撮像システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6514477B2 (ja) |
WO (1) | WO2015064043A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018124134A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線画像撮影装置 |
JPWO2018124133A1 (ja) * | 2016-12-26 | 2019-10-31 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線画像撮影装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61228399A (ja) * | 1985-04-03 | 1986-10-11 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像変換パネルおよびその製法 |
JPH06100678B2 (ja) * | 1988-10-27 | 1994-12-12 | 化成オプトニクス株式会社 | 放射線増感紙 |
JP3515169B2 (ja) * | 1994-04-15 | 2004-04-05 | 富士写真フイルム株式会社 | 放射線像記録再生方法および放射線像変換パネル |
JP2007248283A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Toshiba Corp | シンチレータ、蛍光板及びそれを用いたx線検出器 |
JP2013015353A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Toshiba Corp | 放射線検出器およびその製造方法 |
JP5340444B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2013-11-13 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置及び放射線画像撮影システム |
-
2014
- 2014-10-15 JP JP2014211089A patent/JP6514477B2/ja active Active
- 2014-10-17 WO PCT/JP2014/005283 patent/WO2015064043A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015111105A (ja) | 2015-06-18 |
WO2015064043A1 (ja) | 2015-05-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI334934B (en) | Radiation detecting apparatus and scintillator panel | |
US20110147602A1 (en) | Radiographic imaging apparatus, radiographic imaging system, and method of producing radiographic imaging apparatus | |
US9366767B2 (en) | Radiation detecting apparatus and radiation detecting system | |
TWI518352B (zh) | Radiation detector and manufacturing method thereof | |
JP2008215951A (ja) | 放射線検出器 | |
JP2014013230A (ja) | 放射線検出装置及び撮像システム | |
JP2011117966A (ja) | 接着された蛍光体層を有するデジタルx線撮影用検出器及びデジタルx線撮影用検出器を形成する方法 | |
JP2012154811A (ja) | シンチレータパネルおよびその製造方法ならびに放射線検出装置 | |
JP2019023579A (ja) | シンチレータ | |
WO2016167334A1 (ja) | 放射線像変換スクリーン、フラットパネルディテクタ、放射線検出装置、及びシンチレータ | |
JP6514477B2 (ja) | 放射線検出装置および撮像システム | |
JP2004061115A (ja) | シンチレーターパネル、放射線検出装置及び放射線撮像システム | |
JP2014048061A (ja) | 放射線撮像装置、その製造方法、及び放射線撮像システム | |
JP2019060821A (ja) | X線タルボ撮影用パネル | |
JP2010025780A (ja) | 放射線変換シートおよび放射線画像検出装置 | |
JP2013015353A (ja) | 放射線検出器およびその製造方法 | |
JP2007057428A (ja) | 放射線検出装置及び放射線撮像システム | |
KR20170113264A (ko) | 방사선 검출 장치 및 방사선 촬상 시스템 | |
JP2003075543A (ja) | 放射線変換シート、放射線撮影装置とその製造方法、および放射線撮影システム | |
WO2020250978A1 (ja) | 放射線検出装置及び放射線撮影システム | |
JP2005156545A (ja) | 放射線検出装置、その製造方法、および放射線撮像システム | |
JP6555955B2 (ja) | 放射線検出装置及び放射線撮像システム | |
JP2017090340A (ja) | 放射線検出装置及びその製造方法、並びに、放射線検出システム | |
JP6077787B2 (ja) | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム | |
WO2019097847A1 (ja) | 放射線撮像パネル、放射線撮像装置および放射線撮像システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180928 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190412 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6514477 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |