JP6511094B2

JP6511094B2 - 吸着塔及びその処理液排出方法

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Publication number: JP6511094B2
Application number: JP2017120660A
Authority: JP
Inventors: 恒彰堀
Original assignee: Toshiba Plant Systems and Services Corp
Current assignee: Toshiba Plant Systems and Services Corp
Priority date: 2017-06-20
Filing date: 2017-06-20
Publication date: 2019-05-15
Anticipated expiration: 2037-06-20
Also published as: JP2019007746A

Description

本発明の実施形態は、例えば発電所内設備等から発生した汚染液に含まれる放射性物質を吸着材により吸着する吸着塔及びその処理液排出方法に関する。

放射性物質で汚染された汚染液から放射性物質を除去する装置には、例えば次のような装置がある。この装置は、吸着材を充填するための内筒ならびに外筒からなる二重筒構造の容器が、外容器の中に収納されており、放射性物質で汚染された汚染液は、吸着材を充填した内筒から外筒を通り、外容器を経由して、内筒に循環することにより、放射性物質を除去するように構成されている。

この装置では、内筒排出口、外筒排出口及び外容器排出口が所定の高さに設けられているので、作業終了後に内筒、外筒及び外容器内に放射性物質を除去した処理液が残留することとなる。

また、化学除染作業終了後に使用済み樹脂と処理液の双方を取り除くイオン交換樹脂塔がある。このイオン交換樹脂塔は、放射線を遮へいする遮へい容器内に樹脂塔本体が収納され、この樹脂塔本体内にイオン交換樹脂が収納されており、このイオン交換樹脂により化学除染した除染液から金属イオンを吸着濾過している。

特開２０１３−２１０２０９号公報特許第４４２１６４３号公報

ところで、作業終了後に処理液が残留する装置では、その処理液が例えば海水や地下水を含むため、処理液を残留したままでは、内筒、外筒及び外容器内の腐食の原因となり、耐久性が低くなるという問題がある。

また、上記イオン交換樹脂塔では、化学除染作業終了後に使用済み樹脂と処理液の双方を取り除いていることから、樹脂塔本体内の腐食の問題はなくなるものの、その取り除いた放射線量の高い使用済み樹脂と処理液を保管するため、放射線を遮へいする保管容器が新たに必要になり、装置が大型化するという問題がある。

本実施形態が解決しようとする課題は、吸着塔本体内から処理液だけを排出し、吸着塔本体内に使用済の吸着材を保管することができる吸着塔及びその処理液排出方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本実施形態に係る吸着塔は、放射性物質を含む汚染液から吸着材により前記放射性物質を吸着処理し、その処理液を排出する吸着塔において、遮へい容器と、前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋と、前記遮へい容器内に収納された吸着塔本体と、前記吸着塔本体内で前記吸着材を収納する吸着材収納部と、前記吸着材により前記放射性物質が吸着処理された処理液を収容する処理液収容部とを隔離し、前記処理液を通過させる隔離部と、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、前記吸着塔本体内に前記汚染液を流入する汚染液流入ノズルと、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、下端部が前記吸着塔本体内の前記処理液収容部に延び、前記処理液を流出させる処理液流出ノズルと、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、下端部が前記吸着塔本体の前記処理液収容部の最深部まで延び、前記処理液収容部内のドレン液を流出させるドレン液流出ノズルと、を備えることを特徴とする。

本実施形態に係る吸着塔の処理液排出方法は、放射性物質を含む汚染液から吸着材により前記放射性物質を吸着処理し、その処理液を排出する吸着塔の処理液排出方法において、前記汚染液を汚染液流入ノズルから遮へい容器内に収納された吸着塔本体内に流入させる汚染液流入工程と、前記汚染液を前記吸着塔本体内の吸着材を通過させて前記放射性物質を吸着処理して処理液とする吸着工程と、前記吸着塔本体内で前記処理液を収容する処理液収容部と前記吸着材を収納する吸着材収納部とを隔離する隔離部を経て前記処理液を前記処理液収容部に流入させる処理液流入工程と、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延びる処理液流出ノズルにより、前記処理液収容部内の前記処理液を前記遮へい容器外に流出させる処理液流出工程と、前記処理液流出工程が行われた後に、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、かつ下端部が前記吸着塔本体の前記処理液収容部の最深部まで延びるドレン液流出ノズルにより、前記処理液収容部内のドレン液を前記遮へい容器外に流出させるドレン液流出工程と、を有することを特徴とする。

本実施形態によれば、吸着塔本体内から処理液だけを排出し、吸着塔本体内に使用済の吸着材を保管することが可能になる。

本発明に係る吸着塔の第１実施形態を示す縦断面図である。図１の上部スクリーン及び下部スクリーンを示す部分断面正面図である。本発明に係る吸着塔の第２実施形態を示す縦断面図である。本発明に係る吸着塔の第３実施形態を示す横断面図である。図４の吸着塔本体の下部を示す拡大縦断面図である。

以下、本実施形態に係る吸着塔及びその処理液排出方法について、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１は本発明に係る吸着塔の第１実施形態を示す縦断面図である。図２は図１の上部スクリーン及び下部スクリーンを示す部分断面正面図である。

図１に示すように、吸着塔１は、例えば鋼板又は鉛板で有底円筒状に一体成形され、放射線を遮へいする遮へい容器２を有する。この遮へい容器２内には、例えばステンレス鋼等で形成された吸着塔本体３が収納されている。遮へい容器２の上部開口は、放射線を遮へいする遮へい蓋２ａによって塞がれる。

吸着塔本体３は、円筒形状に形成された胴部４と、この胴部４の上端開口部を塞ぐ皿型の上部鏡板５と、胴部４の下端開口部を塞ぐ皿型の下部鏡板６と、を備えている。

下部鏡板６の直上面には、吸着塔本体３より小径であり、円筒形状を有する隔離部およびフィルタ部としての下部スクリーン７が吸着塔本体３と平面視同心円上に設置されている。同様に、上部鏡板５の直下面には、吸着塔本体３より小径であり、円筒形状を有するフィルタ部としての上部スクリーン１１が設置されている。

これら下部スクリーン７及び上部スクリーン１１は、同一構造である。下部スクリーン７及び上部スクリーン１１は、それぞれ図２に示すように上下のエンドプレート１２ａ，１２ｂ間にフィルタ機能を有するウェッジワイヤ１３が設けられている。

エンドプレート１２ａは、円形のリング状に形成されている。エンドプレート１２ｂは、円板状に形成されている。ウェッジワイヤ１３とは、例えば逆三角形の断面形状の異形線を等間隔に並べてスリットを形成したものである。ウェッジワイヤ１３は、吸着材１４を通過させず、吸着材１４に放射性物質を吸着処理させ、その処理液だけを通過させる。ウェッジワイヤ１３は、逆三角形の断面形状の平面部側が吸着材１４側に位置するように配置されている。

したがって、本実施形態の下部スクリーン７及び上部スクリーン１１は、それぞれ外周側がウェッジワイヤ１３の逆三角形の断面形状の平面部側となる。

なお、本実施形態では、図１に示すように下部スクリーン７は、エンドプレート１２ｂが上側であって、エンドプレート１２ａが下側になるように配置されている。そのため、下部スクリーン７の内部、下部スクリーン７と下部鏡板６との間は、互いに連通状態にある。上部スクリーン１１は、下部スクリーン７と逆に、エンドプレート１２ｂが下側であって、エンドプレート１２ａが上側になるように配置されている。

吸着塔本体３内において下部スクリーン７の外部は、吸着材１４が収納される吸着材収納部１５を形成する。この吸着材１４は、放射性物質を含む汚染液から放射性物質を吸着処理するものである。下部スクリーン７の内部、下部スクリーン７と下部鏡板６との間は、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部（水室）１６を形成する。本実施形態の下部スクリーン７は、外側から内側に吸着材１４を通過させず、吸着材１４により吸着処理された処理液のみを外側から内側に通過させる。

したがって、本実施形態の下部スクリーン７は、吸着材１４を収納する吸着材収納部１５と、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部１６とを隔離する隔離部としての機能を有する。

なお、吸着材１４としては、例えばゼオライト、結晶性シリコチタネート、ケイチタン酸塩、活性炭、チタン酸塩、フェロシアン化合物、酸化チタン、Ａｇ添着活性炭、キレート樹脂やイオン交換樹脂を含む樹脂系吸着材等が挙げられる。イオン交換樹脂は、化学除染する場合に用いられ、例えばカチオン樹脂やアニオン樹脂が用いられる。また、化学除染する場合の吸着材１４としては、薬品、化学製品（錠剤）を含む。

上部スクリーン１１の上部には、管状の汚染液流入ノズル１７の下端部が接続される。この汚染液流入ノズル１７の上端部は、上部鏡板５及び遮へい蓋２ａを貫通して遮へい容器２外（遮へい蓋２ａ外）に延びており、この汚染液流入ノズル１７に流入弁１７ａが設けられる。汚染液流入ノズル１７内には、汚染液の放射性物質吸着処理作業時の汚染液が流入する。

吸着塔本体３内には、上下方向に延びる管状の処理液流出ノズル１８が設置されている。この処理液流出ノズル１８の上端部は、上部鏡板５及び遮へい蓋２ａを貫通して遮へい容器２外（遮へい蓋２ａ外）に延びており、この処理液流出ノズル１８に流出弁１８ａが設けられている。処理液流出ノズル１８の下端部は、下部スクリーン７のエンドプレート１２ｂを貫通して下部スクリーン７内の処理液収容部１６まで延びている。

また、吸着塔本体３内には、上下方向に延びる管状のドレン液流出ノズル２０が設置されている。このドレン液流出ノズル２０の上端部は、上部鏡板５及び遮へい蓋２ａを貫通して遮へい容器２外（遮へい蓋２ａ外）に延びており、このドレン液流出ノズル２０に出口弁２０ａが設けられている。ドレン液流出ノズル２０の下端部は、下部スクリーン７を上下方向に貫通して下部鏡板６内の最深部である中央部の直上に開口する。

次に、本実施形態の作用について説明する。

汚染液の放射性物質吸着処理作業時は、まずドレン液流出ノズル２０の出口弁２０ａを閉止しておく。また、汚染液流入ノズル１７の流入弁１７ａと、処理液流出ノズル１８の流出弁１８ａは、開けた状態である。

そして、汚染液の放射性物質吸着処理作業時の汚染液は、汚染液流入ノズル１７から吸着塔本体３内に流入させる。ここで、汚染液は、例えば原子力発電所内の設備等における燃料配管及び機器等による汚染液である。

吸着塔本体３内に流入した汚染液は、吸着材収納部１５に収納された吸着材１４を経て放射性物質が吸着処理される。吸着材１４を通過した処理液は、下部スクリーン７を通過して処理液収容部１６に流入した後、この処理液収容部１６から処理液流出ノズル１８へ流入する。さらに、処理液は、処理液流出ノズル１８から遮へい容器２外に流出されて図示しない処理液貯蔵タンクに貯留される。この処理液は、例えば冷却対象物への冷却水として再使用されたり、あるいは次処理を待機する間保管される。

このように汚染液は、吸着材１４を通過することにより放射性物質が吸着処理された処理液となり、吸着塔本体３内に滞留することなく、処理液収容部１６から処理液流出ノズル１８へ流入し、速やかに遮へい容器２外に流出される。

そして、放射性物質の吸着処理作業終了時は、ドレン液流出ノズル２０の出口弁２０ａを開けて処理液流出ノズル１８の流出弁１８ａを閉止する。次いで、汚染液流入ノズル１７から吸着塔本体３内に清浄液を注入して残留する処理液と置換させ、その後、圧縮空気を流入させ、吸着塔本体３内の処理液をドレン液流出ノズル２０から排出する。あるいは、処理液をドレン液流出ノズル２０から真空引きすることにより、排出する。

その後、数度の排出作業を行い、残留する処理液のないことを確認し、残留する全ての処理液が排出された段階で排出作業を停止する。

この場合、ドレン液流出ノズル２０の下端部が下部鏡板６内の最深部である中央部の直上に開口しているので、残留する処理液はドレン液流出ノズル２０を経て遮へい容器２外に全て排出される。

なお、吸着材１４の吸着効果がなくなった場合には、放射性物質を吸着した吸着材１４は、吸着塔本体３に収納され、かつこの吸着塔本体３が遮へい容器２に収納された状態のまま保管される。そして、別の新規の吸着塔１を用いて上記と同様の工程を経て汚染液を処理する。

このように本実施形態によれば、吸着材１４を収納する吸着材収納部１５と、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部１６とを下部スクリーン７により隔離し、処理液流出ノズル１８の下端部が下部スクリーン７内の処理液収容部１６まで延びていることから、吸着塔本体３から処理液だけを排出させることができるので、吸着塔本体３内に使用済の吸着材１４を保管することが可能になる。そのため、吸着塔本体３内は、残留する処理液に常に晒されることがなくなるので、吸着塔本体３の内面が腐食する可能性を低減することができる。その結果、吸着塔本体３の耐久性を向上させることが可能となる。さらに、長期保管中、残った液が漏出する可能性を低減させることが可能となる。

また、本実施形態によれば、放射性物質を吸着した吸着材１４は、吸着塔本体３に収納され、かつこの吸着塔本体３が遮へい容器２に収納された状態のまま保管されるので、放射性物質を吸着した放射線量の高い吸着材１４を保管する新たな保管容器が不要となり、装置の大型化を防止することが可能になる。

さらに、本実施形態によれば、ドレン液流出ノズル２０の下端部は、下部スクリーン７を上下方向に貫通して下部鏡板６内の最深部である中央部の直上に開口しているので、残留する処理液を大幅に低減させることが可能となる。

また、本実施形態によれば、下部スクリーン７及び上部スクリーン１１は、同一構造に構成されているので、部材の種類を削減し、製造が容易になる。そして、遮へい容器２が一体に成形されているので、遮へい容器２の製作工数を削減し、構造の簡素化を図ることができる。

（第２実施形態）
図３は本発明に係る吸着塔の第２実施形態を示す縦断面図である。なお、本実施形態は、前記第１実施形態の変形例である。前記第１実施形態と同一又は対応する部分には、同一の符号を付して異なる構成及び作用を説明する。

図３に示すように、本実施形態の吸着塔１Ａは、下部鏡板６の直上部に吸着塔本体３より小径であり、円筒形状を有するフィルタ部としての下部スクリーン７が吸着塔本体３と平面視同心円上に設置されている。この下部スクリーン７の上縁部であるエンドプレート１２ａからは、吸着塔本体３の内周面に向かって斜め上方に延びる隔離部としてのすり鉢形状の隔離板２５が設けられている。

また、下部スクリーン７のエンドプレート１２ｂの底面には、複数のサポート部１９が固定され、これらのサポート部１９が下部鏡板６に当接して下部スクリーン７が支持される。

したがって、本実施形態の下部スクリーン７は、エンドプレート１２ｂが下側であって、エンドプレート１２ａが上側になるように配置されている。上部スクリーン１１も同様の位置関係に配置されている。

本実施形態では、吸着塔本体３内において下部スクリーン７の内部及び隔離板２５の上部は、吸着材１４が収納される吸着材収納部１５を形成する。下部スクリーン７の外部及び隔離板２５の下部は、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部１６を形成する。下部スクリーン７は、吸着材１４を内側から外側に通過させず、吸着材１４により吸着処理された処理液のみを内側から外側に通過させる。

したがって、下部スクリーン７及び隔離板２５は、吸着材１４を収納する吸着材収納部１５と、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部１６とを隔離する隔離部としての機能を有する。なお、本実施形態の下部スクリーン７は、上部スクリーン１１と異なり、内周側がウェッジワイヤ１３の逆三角形の断面形状の平面部側となる。

吸着塔本体３内には、上下方向に延びる管状の処理液流出ノズル１８が設置されている。この処理液流出ノズル１８の上端部は、上部鏡板５及び遮へい蓋２ａを貫通して遮へい容器２外（遮へい蓋２ａ外）に延びており、この処理液流出ノズル１８に流出弁１８ａが設けられる。処理液流出ノズル１８の下端部は、隔離板２５を貫通して処理液収容部１６まで延びている。

このように本実施形態によれば、吸着塔本体３内の底部に円筒形状の下部スクリーン７を設置し、この上部にすり鉢形状の隔離板２５を接続したことにより、前記第１実施形態の効果に加えて、吸着材１４を通過した処理液を下部スクリーン７の処理液収容部１６に速やかに収集することができる。同様に、吸着材１４を排出する場合にも、容易に排出することが可能となる。

（第３実施形態）
図４は本発明に係る吸着塔の第３実施形態を示す横断面図である。図５は図４の吸着塔本体の下部を示す拡大縦断面図である。なお、本実施形態は、前記第２実施形態の変形例である。前記第２実施形態と同一又は対応する部分には、同一の符号を付して異なる構成及び作用を説明する。図４では、吸着材１４の図示を省略している。

図４及び図５に示すように、下部スクリーン７の上縁部であるエンドプレート１２ａからは、吸着塔本体３の内周面に向かって斜め上方に延びるすり鉢形状の隔離板２５が設けられている。本実施形態の吸着塔１Ｂは、この隔離板２５の外周側に１０個の上部ストレーナ２７が周方向に一定の間隔をあけて取り付けられている。隔離板２５の内周側には、６個の下部ストレーナ２８が周方向に一定の間隔をあけて取り付けられている。すなわち、これらのストレーナ２７，２８は、それぞれ隔離板２５の外周側及び内周側に分散して配置されている。

なお、本実施形態では、上部ストレーナ２７を隔離板２５の外周側に１０個取り付けるとともに、下部ストレーナ２８を隔離板２５の内周側に６個取り付けた例について説明したが、それらの数は上記の個数に限定することなく、処理能力に応じた数取り付ければよい。

これらのストレーナ２７，２８は、同一構造であり、下部スクリーン７及び上部スクリーン１１と同様に上下のエンドプレート間にウェッジワイヤが設けられている。このウェッジワイヤは、吸着材１４を通過させず、吸着材１４に放射性物質を吸着処理させ、その処理液だけを通過させる。

吸着塔本体３内において下部スクリーン７の内部及び隔離板２５の上部、ストレーナ２７，２８の外側は、吸着材１４が収納される吸着材収納部１５を形成する。下部スクリーン７の外部及び隔離板２５の下部、ストレーナ２７，２８の内側は、吸着材１４により吸着処理された処理液を収容する処理液収容部１６を形成する。下部スクリーン７及びストレーナ２７，２８は、吸着材１４を通過させず、吸着材１４により吸着処理された処理液のみを通過させる。したがって、ストレーナ２７，２８は、下部スクリーン７及び隔離板２５とともに隔離部を構成する。

このように本実施形態によれば、前記第２実施形態の効果に加えて、下部スクリーン７に加えて多数のストレーナ２７，２８を設けたことにより、吸着材１４により吸着処理された処理液を吸着塔本体３内に滞留することなく、処理液収容部１６に一段と速やかに流入させることが可能となる。すなわち、処理液を処理液収容部１６に流入させる際の圧力損失を大幅に低減させることが可能となる。

（その他の実施形態）
本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更、組み合わせを行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

なお、上記第２、第３実施形態では、隔離部としての隔離板２５をすり鉢形状に形成した例について説明したが、これに限らず水平の仕切板に形成してもよい。このように形成した場合、第３実施形態では、下部スクリーン７を取り除き、多数のストレーナ２７，２８を設置するだけでよい。但し、上記水平の仕切板には、吸着材１４の重量と汚染液の液圧が直接かかることから、肉厚に形成することが望ましい。

１，１Ａ，１Ｂ…吸着塔、２…遮へい容器、２ａ…遮へい蓋、３…吸着塔本体、４…胴部、５…上部鏡板、６…下部鏡板、７…下部スクリーン（隔離部、フィルタ部）、１１…上部スクリーン（フィルタ部）、１２ａ、１２ｂ…エンドプレート、１３…ウェッジワイヤ、１４…吸着材、１５…吸着材収納部、１６…処理液収容部、１７…汚染液流入ノズル、１７ａ…流入弁、１８…処理液流出ノズル、１８ａ…流出弁、２０…ドレン液流出ノズル、２０ａ…出口弁、２５…隔離板（隔離部）、２７…上部ストレーナ（隔離部）、２８…下部ストレーナ（隔離部）

Claims

放射性物質を含む汚染液から吸着材により前記放射性物質を吸着処理し、その処理液を排出する吸着塔において、
遮へい容器と、
前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋と、
前記遮へい容器内に収納された吸着塔本体と、
前記吸着塔本体内で前記吸着材を収納する吸着材収納部と、前記吸着材により前記放射性物質が吸着処理された処理液を収容する処理液収容部とを隔離し、前記処理液を通過させる隔離部と、
上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、前記吸着塔本体内に前記汚染液を流入する汚染液流入ノズルと、
上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、下端部が前記吸着塔本体内の前記処理液収容部に延び、前記処理液を流出させる処理液流出ノズルと、
上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、下端部が前記吸着塔本体の前記処理液収容部の最深部まで延び、前記処理液収容部内のドレン液を流出させるドレン液流出ノズルと、
を備えることを特徴とする吸着塔。
前記吸着塔本体は、前記処理液収容部の底部を形成する皿形の下部鏡板を有し、前記ドレン液流出ノズルの下端部は、前記下部鏡板の最深部の直上に開口していることを特徴とする請求項１に記載の吸着塔。
前記隔離部は、前記下部鏡板の直上に設置され、前記処理液を通過させるフィルタ部であることを特徴とする請求項２に記載の吸着塔。
前記フィルタ部の上縁部にすり鉢形状の隔離板を接続し、この隔離板は、前記フィルタ部とともに前記隔離部を構成することを特徴とする請求項３に記載の吸着塔。
前記隔離板の外周側及び内周側に周方向に一定の間隔をあけて取り付けた複数のストレーナを備え、これらのストレーナは、前記フィルタ部及び前記隔離板とともに前記隔離部を構成することを特徴とする請求項４に記載の吸着塔。
前記遮へい容器は、有底円筒状に一体成形されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか一項に記載の吸着塔。
放射性物質を含む汚染液から吸着材により前記放射性物質を吸着処理し、その処理液を排出する吸着塔の処理液排出方法において、
前記汚染液を汚染液流入ノズルから遮へい容器内に収納された吸着塔本体内に流入させる汚染液流入工程と、
前記汚染液を前記吸着塔本体内の吸着材を通過させて前記放射性物質を吸着処理して処理液とする吸着工程と、
前記吸着塔本体内で前記処理液を収容する処理液収容部と前記吸着材を収納する吸着材収納部とを隔離する隔離部を経て前記処理液を前記処理液収容部に流入させる処理液流入工程と、
上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延びる処理液流出ノズルにより、前記処理液収容部内の前記処理液を前記遮へい容器外に流出させる処理液流出工程と、
前記処理液流出工程が行われた後に、上端部が前記吸着塔本体の上部及び前記遮へい容器の上端開口部を塞ぐ遮へい蓋を貫通して前記遮へい容器外に延び、かつ下端部が前記吸着塔本体の前記処理液収容部の最深部まで延びるドレン液流出ノズルにより、前記処理液収容部内のドレン液を前記遮へい容器外に流出させるドレン液流出工程と、
を有することを特徴とする吸着塔の処理液排出方法。