JP6508911B2

JP6508911B2 - カラーフィルターの製造方法及びカラーフィルター

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Publication number: JP6508911B2
Application number: JP2014217289A
Authority: JP
Inventors: 山田　裕章; 裕章山田; 慶八乙女
Original assignee: Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Current assignee: Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Priority date: 2014-10-24
Filing date: 2014-10-24
Publication date: 2019-05-08
Anticipated expiration: 2034-10-24
Also published as: JP2016085323A

Description

本発明は、カラーフィルターの製造方法及びカラーフィルターに関する。特に、耐熱温度が１５０℃以下の基材におけるカラーフィルターの製造方法及びそのような製造方法で製造されたカラーフィルターに関する。

現在、液晶表示デバイスや白色有機ＥＬデバイス、あるいは固体撮像素子等のカラー化のため、カラーフィルターが広く用いられている。基材上にカラーフィルターを形成する方法としては感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィーが主流であり、これまではガラスやシリコンウエハー等の比較的耐熱温度の高い基材を用いて、感光性樹脂組成物を２００℃以上の高温で処理（ポストベークともいう）して最終硬化させることが行われてきた。

最近、デバイスのフレキシブル化やワンチップ化を目的として、プラスチック基板上や白色有機ＥＬデバイス上に直接カラーフィルターを形成することが求められている。ところが、これらの基材は耐熱性が悪く、高々１５０℃程度の耐熱温度しか有さない場合がある。このような耐熱温度の低い基材に対してカラーフィルターを製造する場合に第１の色のカラーフィルター部を１５０℃以下（基材の耐熱温度以下）で形成すると、第１の色のカラーフィルター部は硬化膜の強度が不十分となって、第２の色を塗布した際に色の滲み出しが生じるという問題があった。

基材の耐熱温度の制約を回避するために、特殊な製造方法の提案がある。例えば特許文献１にはＵＶ硬化インキをフレキソ印刷してカラーフィルターを製造する方法が、特許文献２にはパターンに電子ビームを照射してカラーフィルターを製造する方法が開示されている。

一方、特許文献３及び４には、ポスト露光を行うカラーフィルターの製造方法が開示されている。

特開２００３−１０７２２６号公報特開２０１０−１０７９２８号公報特開平１１−１７４２２１号公報特開２００８−６５１５０号公報

しかし、特許文献１及び２に記載のような特殊な方法においては、従来法と比較してカラーフィルターの品質や歩留まりが課題となりやすい。生産性を考慮すれば特殊な製造方法によることなくカラーフィルターを形成できることが最も有利であり、そのような目的に対して適して使用できる感光性樹脂組成物が強く望まれていた。

なお、特許文献３及び４は、耐熱温度の低い基材へのカラーフィルターの形成には何ら言及していない。

本発明はかかる従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、耐熱温度の低い基材上、例えばプラスチック基板上や白色有機ＥＬデバイス上に直接カラーフィルターを形成可能とするカラーフィルターの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために検討した結果、本発明者等は特定の構造を有する化合物を用いた感光性樹脂組成物が本目的に適していることを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明は、感光性樹脂組成物を硬化させた第１の色のカラーフィルター部が形成されている基材に、第１の色とは異なる第２の色のカラーフィルター用の感光性樹脂組成物を塗布し硬化させる工程を含む、カラーフィルターを製造する方法であって、前記感光性樹脂組成物は、（Ａ）ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸とを反応させたヒドロキシ基含有化合物に対して環状酸無水物を反応させて得られた化合物、（Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマー、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有し、前記基材の耐熱温度は１５０℃以下であり、前記基材の耐熱温度を超えない環境温度下で行われることを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。

ここで、上記製造方法は、（ア）感光性樹脂組成物を基材に塗布する工程、（イ）感光性樹脂組成物を乾燥させる工程、（ウ）感光性樹脂組成物を画像露光する工程、（エ）感光性樹脂組成物を現像する工程、及び（オ）感光性樹脂組成物をポスト露光する工程を順に含むことが好ましく、また、赤色、緑色及び青色の感光性樹脂組成物をそれぞれ使用してカラーフィルターを形成することが好ましい。更に、本発明は、上記のいずれかの方法で製造されたカラーフィルターである。

以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の製造方法は、感光性樹脂組成物を硬化させた第１の色のカラーフィルター部が形成されている基材に、第１の色とは異なる第２の色のカラーフィルター用の感光性樹脂組成物を塗布する工程を含む。色相の異なる複数の感光性樹脂組成物を使用してカラーフィルターを形成することは広く行われており、典型的には赤色、緑色、青色の３種類の感光性樹脂組成物を用いて画素が形成される。また、必要に応じて黄色、橙色、紫色、シアン色、マゼンタ色等も使用されるほか、画面の明るさの改善のために透明色の画素を付加することも行われている。更に、黒色ないし遮光性の感光性樹脂組成物を用いて、画面の周辺部や画素間の遮光のための構造物（ブラックマトリクスともいう）を形成することも一般的である。本発明で使用する感光性樹脂組成物の色相は特に制限されるものではなく、上述した色相以外であってもよい。

本発明の製造方法は、耐熱温度が１５０℃以下の基材を使用して、前記基材の耐熱温度を超えない環境温度下で行われることを特徴とする。基材の耐熱温度とは、当該基材を用いてデバイスを作製するにあたりデバイスの機能に影響を及ぼすような寸法変化や特性変化が生じない温度の上限をいい、プラスチック基板の例としてはＰＥＴフィルムで１００℃程度、ＰＥＮフィルムで１５０℃程度が一般的である。白色有機ＥＬデバイスを基材とする場合は、有機ＥＬ素子が熱に弱いことから、ＰＥＴフィルムと同様に１００℃程度が耐熱温度である場合が多い。また、カラーフィルターの製造が基材の耐熱温度を超えない環境温度下で行われるとは、単に設備上の設定の温度のみをいうものではなく、その工程のすべての過程において基材及び基材上の感光性樹脂組成物が基材の耐熱温度を超える温度に達しないことを意味する。

本発明の製造方法で使用する感光性樹脂組成物は、（Ａ）ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸を反応させたヒドロキシ基含有化合物に対して環状酸無水物を反応させて得られた化合物、（Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマー、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有する。Ａ成分は、ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸とを反応させたヒドロキシ基含有化合物に対して環状酸無水物を反応させて得られた化合物である。かかる化合物は感光性樹脂として公知であり、その例としては特開平５−３３９３５６号公報に記載の化合物等が挙げられる。Ａ成分の物性の好ましい範囲としては、重量平均分子量が１千〜２万、より好ましくは２千〜１万、酸価が５０〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ、より好ましくは７０〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇを例示できる。Ａ成分は、１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。

本発明において、Ａ成分の重量平均分子量は、サンプリングした溶液をテトラヒドロフランに溶解させて東ソー社製ＨＬＣ−８２２０ＧＰＣで分子量分布測定を行い、標準ポリスチレン換算の重量平均分子量を算出した値を用いる。またＡ成分の酸価は、サンプリングした溶液をテトラヒドロフランと水の混合液に溶解させて０．１規定の水酸化カリウム水溶液で中和滴定し、当量点からサンプル溶液の固形分換算の酸価を算出した値を用いる。

Ａ成分の合成原料となるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とは下記一般式（１）で表される化合物を指し、特にｎの値が０〜２０の範囲にあるものをいう。実用上はｎの平均値が０〜２のものが好ましく、更には０．１〜１．０のものがより好ましい。

（ただし、Ｒはそれぞれ独立に炭素数１〜２０の飽和又は不飽和の炭化水素基を表し、ｍはＲの数を表し、ｍはそれぞれ独立に０〜４の数を表す。上記炭化水素基は、好ましくは炭素数１〜６のアルキル基又はフェニル基である。）

ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物の合成方法は特に制限されないが、特開平９−３２８５３４号公報に記載の方法、すなわち９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンとエピクロロヒドリンをアルカリ存在下縮合させて得る方法が最も一般的で好ましい。９，９−ビス（４−ヒドロキシフェニル）フルオレンは、一般式（１）に示したようにｍ個のＲで置換されていてもよい。ｎの値はエポキシ化合物の重合度であり、合成時に原料化合物のモル比や反応条件を常法により調整することで所望の値とすることができる。

ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物にエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸を反応させると、Ａ成分の合成中間体であるヒドロキシ基含有化合物が得られる。エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸の具体的な例としては、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸ダイマー、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと無水コハク酸のハーフエステル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと無水フタル酸のハーフエステル、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートとシクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物のハーフエステル、４−ビニル安息香酸等が挙げられるが、（メタ）アクリル酸が最も好ましい。ここで（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸又はメタクリル酸をいい、（メタ）アクリレートとは、アクリレート又はメタクリレートをいう（以下も同様）。

ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物にエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸を反応させる方法は特に制限されないが、特開平３−２０５４１７号公報に記載の方法、すなわち触媒の存在下に加熱して反応させる方法が最も一般的で好ましい。触媒としては３級アミン、４級アンモニウム塩、３級ホスフィン、４級ホスホニウム塩等を用いることができる。理想的にはビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物のエポキシ基とエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸のカルボキシ基とを１対１で反応させ、官能基をエステル結合及びヒドロキシ基に完全に変換することが望ましいが、反応に要する時間の制約や副反応の進行の懸念等から必要十分な反応率に達した時点で反応を終了してもよい。反応率はエポキシ当量や酸価を測定することで計算することができ、一般には反応率９８モル％以上に達すれば十分である。

こうして得られたヒドロキシ基含有化合物に対して、環状酸無水物を反応させることによりＡ成分の化合物が得られる。ここで環状酸無水物とは多価カルボン酸の分子内酸無水物をいい、例えば無水コハク酸、無水マレイン酸、シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物、シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、シクロヘキセン−４，５−ジカルボン酸無水物、ノルボルナン−２，３−ジカルボン酸無水物、無水フタル酸、ベンゼン−１，２，４−トリカルボン酸−１，２−無水物、シクロヘキサン−１，２，４−トリカルボン酸−１，２−無水物、ベンゼン−１，２，４，５−テトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサン−１，２，４，５−テトラカルボン酸二無水物、ブタン−１，２，３，４−テトラカルボン酸二無水物、ビフェニル−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物、ベンゾフェノン−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物、ジフェニルスルホン−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物、４，４′−オキシジフタル酸二無水物、４，４′−［１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２，２−ジイル］ジフタル酸二無水物等を挙げることができる。また、グルタル酸無水物のような６員環の酸無水物も使用できる。

ヒドロキシ基含有化合物に環状酸無水物を反応させる方法は特に制限されないが、特開平５−３３９３５６号公報に記載の方法、すなわち触媒の存在下に加熱して反応させる方法が最も一般的で好ましい。触媒としては３級アミン、４級アンモニウム塩、３級ホスフィン、４級ホスホニウム塩等を用いることができる。環状酸無水物はヒドロキシ基をハーフエステル化してカルボキシ基に変換することで化合物に酸価を付与する効果を有するが、酸二無水物を選択すればそれが架橋点となって同時に分子量を高めることができるため有用である。中でも酸二無水物及び酸一無水物を併用して酸価と分子量を共に制御する方法が特に有利であり、酸二無水物１モルに対して酸一無水物を０．０１〜１０モルの範囲で組み合わせて用いることが好ましい。ヒドロキシ基に対する環状酸無水物の付加量は目的とする酸価に合わせて設定すればよいが、ヒドロキシ基１モルに対して０．５〜１．０モルであることが好ましい。反応の進行の確認は、赤外分光法で酸無水物基の特性吸収スペクトルを観察すればよい。

Ａ成分は、ビスフェノールフルオレン骨格に由来する耐熱性や光学特性（高透明、高屈折率、低複屈折）、エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸に由来する重合性、環状酸無水物に由来するアルカリ溶解性を併せ持つことから、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に適して用いることができる化合物である。耐熱温度の低い基材上に直接カラーフィルターを形成する場合、ポストベークによる最終硬化が制限されるため従来の製造方法と比較して感光性樹脂組成物の硬化度が低下するが、Ａ成分については剛直なビスフェノールフルオレン骨格が硬化系に取り込まれるという構造の特異性から低い硬化度においても高い硬化膜物性が得られる利点がある。そのため、Ａ成分を使用した感光性樹脂組成物は、耐熱温度の低い基材上における直接的なカラーフィルターの形成に好適に用いることができる。一方、Ａ成分を用いない場合は硬化膜に十分な物性を付与することが困難となり、例えばカラーフィルターの３色の画素を順次形成しようとても、２色目の感光性樹脂組成物の溶剤で１色目の感光性樹脂組成物が侵されるといった問題が生じてしまう。

Ｂ成分は少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマーであり、従来感光性材料に用いられている公知の化合物を特に制限なく使用することができる。具体的には、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エステル誘導体や、ビスフェノールＡ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールフルオレン型エポキシジ（メタ）アクリレート、フェノールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシポリ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリル酸エポキシエステル誘導体等を例示できる。また、上記（メタ）アクリル酸誘導体と、構造中に（好ましくは複数の）イソシアネート基や酸無水物基等を有する化合物との反応生成物等も適している（ただしＡ成分に該当する化合物は除く）。なお、（メタ）アクリル酸誘導体以外にも、マレイン酸誘導体、マレイミド誘導体、クロトン酸誘導体、イタコン酸誘導体、ケイヒ酸誘導体、ビニル誘導体、ビニルアルコール誘導体、ビニルケトン誘導体、ビニル芳香族誘導体等も挙げることができる。これらのエチレン性不飽和結合を有する化合物は、更にエポキシ基等の熱反応性の官能基やカルボキシ基等のアルカリ溶解性の官能基等を有して、複合機能化されたものであってもよい。Ｂ成分は、１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。

Ｃ成分は光重合開始剤であり、従来感光性材料に用いられている公知の化合物を特に制限なく使用することができる。具体的には、アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール等のアセトフェノン化合物、ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノン、４，４′−ビス（Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等のベンゾフェノン化合物、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾイン−ｔｅｒｔ−ブチルエーテル等のベンゾインエーテル化合物、２−メチル−１−［４−（メチルスルファニル）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン等のα−アミノアルキルフェノン化合物、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン等のチオキサントン化合物、３，３′，４，４′−テトラキス（ｔｅｒｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン等の有機過酸化物、２，２′−ビス（２−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラフェニル−１，２−ビイミダゾール等のビイミダゾール化合物、ビス（η^５−シクロペンタジエニル）ビス［２，６−ジフルオロ−３−（１−ピロリル）フェニル］チタン等のチタノセン化合物、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−［３，４−（メチレンジオキシ）フェニル］−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン等のトリアジン化合物、（２，４，６−トリメチルベンゾイル）ジフェニルホスフィンオキシド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキシド等のアシルホスフィンオキシド化合物、カンファーキノン等のキノン化合物、１−［４−（フェニルスルファニル）フェニル］オクタン−１，２−ジオン＝２−Ｏ−ベンゾイルオキシム、１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）カルバゾール−３−イル］エタノン＝Ｏ−アセチルオキシム、（９−エチル−６−ニトロカルバゾール−３−イル）［４−（２−メトキシ−１−メチルエトキシ）−２−メチルフェニル］メタノン＝Ｏ−アセチルオキシム等のオキシムエステル化合物等を挙げることができるが、特にオキシムエステル化合物が好ましい。Ｃ成分は、１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。

なお、Ｃ成分のオキシムエステル化合物としては下記一般式（２）で表される化合物も好適であり、これは非常に高感度でかつ露光による変色（黄変）が小さいことから、本発明の使用に適している。

（ただし、Ｒ^１〜Ｒ^１１はそれぞれ独立に水素原子又は１価の有機基を表す。上記１価の有機基は、好ましくは炭素数１〜２０の飽和又は不飽和の炭化水素基であり、より好ましくは炭素数１〜１０のアルキル基（メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ヘキシル基、オクチル基、デシル基、イソプロピル基、２−エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）、炭素数６〜１０のアリール基（フェニル基、ナフチル基等）、炭素数６〜１０のアリール基で置換された炭素数１〜４のアルキル基（フェニルメチル基、２−フェニルエチル基、ナフタレン−１−イルメチル基等）、及び炭素数１〜４のアルキル基で置換された炭素数６〜１０のアリール基（２−メチルフェニル基、３−メチルフェニル基、４−メチルフェニル基、２，４−ジメチルフェニル基、２，４，６−トリメチルフェニル基、２−エチルフェニル基、４−メチルナフタレン−１−イル基等）である。上記のアルキル基は分岐構造や環構造を有していてもよい。）

本発明で用いる感光性樹脂組成物は、Ａ〜Ｃ成分以外の成分として、（Ｄ）顔料、（Ｅ）分散剤、及び（Ｚ）溶剤を含有することが好ましい。

Ｄ成分は顔料であり、カラーフィルター用の着色剤として知られている公知の化合物（有機顔料、無機顔料、カーボンブラック、チタンブラック等）を特に制限なく使用することができる。カラーフィルターの画素（赤色、緑色、青色等）を形成するための感光性樹脂組成物としてはＤ成分として有機顔料を含有することが好ましく、より具体的にはアゾ顔料、縮合アゾ顔料、アゾメチン顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料、スレン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、キノフタロン顔料、ジケトピロロピロール顔料、チオインジゴ顔料等が挙げられる。有機顔料のカラーインデックス名としては、ピグメント・レッド２、同３、同４、同５、同９、同１２、同１４、同２２、同２３、同３１、同３８、同１１２、同１２２、同１４４、同１４６、同１４７、同１４９、同１６６、同１６８、同１７０、同１７５、同１７６、同１７７、同１７８、同１７９、同１８４、同１８５、同１８７、同１８８、同２０２、同２０７、同２０８、同２０９、同２１０、同２１３、同２１４、同２２０、同２２１、同２４２、同２４７、同２５３、同２５４、同２５５、同２５６、同２５７、同２６２、同２６４、同２６６、同２７２、同２７９、ピグメント・オレンジ５、同１３、同１６、同３４、同３６、同３８、同４３、同６１、同６２、同６４、同６７、同６８、同７１、同７２、同７３、同７４、同８１、ピグメント・イエロー１、同３、同１２、同１３、同１４、同１６、同１７、同５５、同７３、同７４、同８１、同８３、同９３、同９５、同９７、同１０９、同１１０、同１１１、同１１７、同１２０、同１２６、同１２７、同１２８、同１２９、同１３０、同１３６、同１３８、同１３９、同１５０、同１５１、同１５３、同１５４、同１５５、同１７３、同１７４、同１７５、同１７６、同１８０、同１８１、同１８３、同１８５、同１９１、同１９４、同１９９、同２１３、同２１４、ピグメント・グリーン７、同３６、同５８、ピグメント・ブルー１５、同１５：１、同１５：２、同１５：３、同１５：４、同１５：６、同１６、同６０、同８０、ピグメント・バイオレット１９、同２３、同３７等を例示することができる。Ｄ成分は１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。カラーフィルターの色特性の制御のために、複数の有機顔料を所定の比率で選定して用いることは一般的である。

上記の有機顔料は微粒化の加工が施され、ＢＥＴ法による比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上であるものが好ましい。有機顔料の微粒化の方法としては公知の方法が利用でき、例えばドライミリング法、ソルベントミリング法、ソルトミリング法、ソルベントソルトミリング法、アシッドペースティング法、アシッドスラリー法等を挙げることができる。微粒化においては粒径を小さくすると同時に、粒径を均一に揃えることが重要である。

Ｅ成分は分散剤であり、従来顔料等の分散に用いられている公知の化合物、例えば分散剤、分散安定剤、分散湿潤剤、分散促進剤等の名称で市販されている化合物等を本発明の効果が得られる限りにおいて特に制限なく使用することができる。顔料の分散安定化に有効な分散剤としては、カチオン性高分子分散剤、アニオン性高分子分散剤、ノニオン性高分子分散剤、顔料誘導体型分散剤（分散助剤）等を例示することができるが、特に顔料への吸着点としてイミダゾリル基、ピロリル基、ピリジル基、一級、二級又は三級のアミノ基等のカチオン性の官能基を有し、アミン価が１〜１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、数平均分子量が１千〜１０万の範囲にあるカチオン性高分子分散剤は好適である。このようなカチオン性高分子分散剤の例は、特開平９−１６９８２１号公報に開示されている。Ｅ成分は１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよい。Ｅ成分の市販品の例としては、ビックケミー社製「ＢＹＫ（登録商標）」シリーズ、ＢＡＳＦ社製「エフカ（登録商標）」シリーズ、ルーブリゾール社製「ソルスパース（登録商標）」シリーズ、味の素ファインテクノ社製「アジスパー（味の素社の登録商標）」シリーズが挙げられる。なお、樹脂類のような高粘度物質は一般に分散を安定させる作用をも有するが、分散促進能を有しないものは分散剤とは扱わない。しかし、本発明は、分散を安定させる目的で樹脂類のような高粘度物質を使用することを制限するものではない。

Ｚ成分は溶剤であり、例えばエステル系溶剤（ブチルアセテート、シクロヘキシルアセテート等）、ケトン系溶剤（メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等）、エーテル系溶剤（ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル等）、アルコール系溶剤（３−メトキシブタノール、エチレングリコールモノ−ｔ−ブチルエーテル等）、芳香族系溶剤（トルエン、キシレン等）、脂肪族系溶剤、アミン系溶剤、アミド系溶剤等の公知の溶剤を特に制限なく使用することができる。安全性の点からはプロピレングリコール骨格を有するエステル系やエーテル系の溶剤、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート等が好ましく用いられる。また、類似の構造の３−メトキシブチルアセテート、３−メトキシ−３−メチルブチルアセテート、１，３−ブチレングリコールジアセテート等も好ましい。Ｚ成分は１種類の化合物のみを用いてもよく、複数を組み合わせて用いてもよいが、本発明においては硬化膜中に残存する溶剤量を低減させるため常圧における沸点が１５０℃未満の溶剤を主成分として選定することが有利であり、常圧における沸点が１５０℃以上の溶剤は全溶剤中２０重量％以内で用いることが好ましい。なお本発明で用いる感光性樹脂組成物の固形分濃度については特に制限はないが、１０〜３０重量％の範囲に調整されることが一般的である。

本発明の感光性樹脂組成物における各成分の重量比は、Ａ〜Ｅ成分の合計を１００とした場合に、Ａ：Ｂ：Ｃ：Ｄ：Ｅ＝（１〜８０）：（１〜５０）：（０．１〜１０）：（０〜８０）：（０〜４０）が好ましく、（５〜６０）：（５〜４０）：（０．５〜５）：（１０〜７０）：（２〜３０）がより好ましく、（１０〜４０）：（１０〜３０）：（１〜３）：（２０〜６０）：（４〜２０）が最も好ましい。カラーフィルターを薄膜化し色純度を向上させるためにはＤ成分の含有量を高めることが重要となるが、本発明の製造方法によればそのような高顔料濃度条件下でも耐熱温度の低い基材へのカラーフィルターの形成が可能となる。更に、Ａ〜Ｅ成分の合計に対して３０重量％以内で、その他の好ましい成分を添加してもよい。

上記のその他の好ましい成分としては、例えば、エポキシ樹脂、ビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテル樹脂、メラミン樹脂等の樹脂類や、架橋剤、界面活性剤、シランカップリング剤、粘度調整剤、湿潤剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、連鎖移動剤等の添加剤類等、カラーフィルター用感光性樹脂組成物に適用される公知の化合物を本発明の効果が得られる限りにおいて特に制限なく使用することができる。より具体的には、樹脂類としてエポキシ樹脂（ビスフェノールＡ型エポキシ化合物、ビスフェノールＦ型エポキシ化合物、ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物、テトラメチルビフェニル型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、多価アルコールのグリシジルエーテル、多価カルボン酸のグリシジルエステル、（メタ）アクリル酸グリシジルをユニットとして含む重合体、３，４−エポキシシクロヘキサンカルボン酸（３，４−エポキシシクロヘキシル）メチルに代表される脂環式エポキシ化合物、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物（例えばダイセル社製「ＥＨＰＥ３１５０」）、エポキシ化ポリブタジエン（例えば日本曹達社製「ＮＩＳＳＯ−ＰＢ・ＪＰ−１００」）、シリコーン骨格を有するエポキシ化合物等）、添加剤類として界面活性剤（フッ素系界面活性剤（例えばＤＩＣ社製「メガファック」シリーズ）、シリコーン系界面活性剤（例えば東レ・ダウコーニング社製「ＦＺ」シリーズ）等）、及びシランカップリング剤（３−（グリシジルオキシ）プロピルトリメトキシシラン、３−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、３−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等）を使用することが有利である。また、シリカ、タルク等のフィラー類、有機染料等の顔料以外の着色剤類も使用することができる。

なお、その他の好ましい成分として、熱重合開始剤を使用してもよい。熱重合開始剤としては公知のアゾ系や過酸化物系の化合物を利用できるが、感光性樹脂組成物との相溶性の高い１，１′−アゾビス（１−アセトキシ−１−フェニルエタン）、２，２′−アゾビス（２−メチルプロピオン酸）ジメチル、過酸化ベンゾイル等が好ましい。熱重合開始剤の１０時間半減期温度は５０〜８０℃であることが有利であり、このような熱重合開始剤は基材の耐熱温度を超えない環境温度においても感光性樹脂組成物の硬化を促進させることができる。一方、１０時間半減期温度が５０℃を下回る熱重合開始剤は、反応性が高すぎて感光性樹脂組成物の保存安定性を低下させるおそれがある。

本発明の感光性樹脂組成物は、上述の構成によりネガ型のフォトリソグラフィー用材料として好ましく用いることができる。ネガ型のフォトリソグラフィーでは、画像露光によって選択的に光照射された部分（露光部ともいう）が硬化膜としてパターン形成される。その反対に光照射されなかった部分（未露光部ともいう）は、現像工程で取り除かれる。

本発明の製造方法において、各色のカラーフィルターを形成する工程は、（ア）感光性樹脂組成物を基材に塗布する工程、（イ）感光性樹脂組成物を乾燥させる工程、（ウ）感光性樹脂組成物を画像露光する工程、（エ）感光性樹脂組成物を現像する工程、及び（オ）感光性樹脂組成物をポスト露光する工程を順に含むことが好ましい。ここで順に含むとは、上記工程（ア）〜（オ）の順序が入れ替わることなく実施されることを意味するが、必ずしも工程（ア）〜（オ）は連続的に行われる必要はなく、その間に他の工程（例えば輸送工程等）を含むものであってもよい。

（ア）感光性樹脂組成物を基材に塗布する工程では、公知の塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を基材に塗布する。塗布装置の例としては、スピンコーター、スリットコーター、バーコーター、カーテンコーター、スプレーコーター等が挙げられるが、スピンコーターやスリットコーターが好ましい。塗布の条件は感光性樹脂組成物の固形分濃度や粘度に影響されるが、使用する塗布装置において所望の膜厚が得られるように調整を行えばよい。

（イ）感光性樹脂組成物を乾燥させる工程では、公知の乾燥装置を用いて基材上の感光性樹脂組成物を乾燥させる。乾燥装置の例としては、減圧乾燥機、ホットプレート、オーブン等が挙げられるが、減圧乾燥機やホットプレートが好ましい。乾燥後は感光性樹脂組成物中の溶剤が除去されて平滑な塗布膜が形成されることが必要であり、感光性樹脂組成物の固形分濃度や形成する膜厚、使用した溶剤の沸点等を勘案して条件を調整する。乾燥の条件は、減圧乾燥の到達圧力としては１〜１００Ｐａ、加熱乾燥としては５０〜１００℃で１〜１０分を例示できる。加熱乾燥の場合は温度の上限に注意し、基材の耐熱温度を超えないようにしなければならない。

（ウ）感光性樹脂組成物を画像露光する工程では、公知のフォトリソグラフィー用露光機及びフォトマスクを用いて、基材上の感光性樹脂組成物に選択的に光照射を行う。露光用の光源としては、キセノンランプ、ハロゲンランプ、タングステンランプ、超高圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、中圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、ＬＥＤランプ等を挙げることができ、特に分光分布に波長３００ｎｍ台の紫外光を含む光源（超高圧水銀ランプ等）が好ましい。光照射の条件は、例えば３６５ｎｍ基準で、照度としては１〜１００ｍＷ／ｃｍ^２、露光量としては１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ^２を例示できる。また、フォトマスクを用いず、レーザー等を光源として直接画像描写を行う方法（ダイレクトイメージング）も適用することができる。

（エ）感光性樹脂組成物を現像する工程では、公知の現像液を用いて未露光部の感光性樹脂組成物を除去する。現像液としては、未露光部を溶解し露光部を溶解しない現像液であれば特に制限はないが、種々の添加剤を含むアルカリ水溶液であることが好ましい。ここで、現像液のアルカリ成分としては、例えばアルカリ金属の炭酸塩、アルカリ金属の水酸化物、四級アンモニウムの水酸化物等を挙げることができる。アルカリ成分の濃度は現像液中０．００１〜５重量％が好ましく、０．０１〜０．５重量％がより好ましい。また添加剤としては、例えば界面活性剤、消泡剤、防カビ剤等を適用することができるが、特にノニオン系の界面活性剤を現像液中０．００１〜５重量％使用することが好ましい。環境負荷の点からはアルカリ現像方式が有利であり、本発明で示した感光性樹脂組成物の構成はそれに対応するものであるが、有機溶剤による溶剤現像方式も適用することができる。なお現像方法についても公知の方法が利用でき、例えば浸漬現像、パドル現像、シャワー現像、スプレー現像、ブラシ現像、超音波現像等を挙げることができる。現像条件は感光性樹脂組成物の溶解速度やその膜厚に影響されるが、現像液の温度としては１０〜３０℃、処理時間としては１０〜１２０秒を例示できる。現像後は、純水で十分に洗浄して現像液成分を洗い流した後、水切りや乾燥を行うことが好ましい。

（オ）感光性樹脂組成物をポスト露光する工程では、画像形成された硬化膜の強度を高めるため、現像後に再度露光を行う。ポスト露光は画像露光と同一の光源を用いてもよいが、より短い波長の光源を使用することが好ましく、例えば低圧水銀ランプによる光照射は効果的である。ポスト露光は画像形成を目的としないため散乱光による照射でもよく、可能であれば基材の両面から照射を行ってもよい。光照射の条件は、例えば２５４ｎｍ基準で、照度としては１〜１００ｍＷ／ｃｍ^２、露光量としては１００〜１００００ｍＪ／ｃｍ^２を例示できる。

なお、工程（オ）の前もしくは後、又は工程（オ）と同時に、基材の耐熱温度を超えない温度で熱硬化を行ってもよい。例えば、ホットプレートやオーブン等を用いて、１００〜１５０℃で１〜６０分の加熱焼成を実施することができる。

本発明の製造方法は、赤色、緑色及び青色の感光性樹脂組成物をそれぞれ使用してカラーフィルターを形成する場合に最も適しており、２色目の感光性樹脂組成物の溶剤で１色目の感光性樹脂組成物の硬化膜が侵されるといった問題を生じることなく工程を進めることができる。なお、具体的なカラーフィルターのデザインやそれを作製する方法としては、公知の方法を利用できる。

本発明の製造方法は、耐熱温度の低い基材上、例えばプラスチック基板上や白色有機ＥＬデバイス上に直接カラーフィルターを形成できることから、極めて有用である。

以下、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。なお、部数及び百分率（％）は特に断りのない限り重量部及び重量百分率（重量％）を表す。

実施例及び比較例で使用した成分を以下に示す。
Ａ−１〜３：合成例１〜３で合成した成分（５０％溶液の固形分）
ＡＸ−１：合成例４で合成した成分（５０％溶液の固形分）
Ｂ−１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
Ｂ−２：ペンタエリスリトールテトラアクリレート
Ｃ−１：１−［４−（フェニルスルファニル）フェニル］オクタン−１，２−ジオン＝２−Ｏ−ベンゾイルオキシム
Ｃ−２：１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）カルバゾール−３−イル］エタノン＝Ｏ−アセチルオキシム
Ｃ−３：１−［７−（２−メチルベンゾイル）−９，９−ジプロピル−９Ｈ−フルオレン−２−イル］エタノン＝Ｏ−アセチルオキシム（一般式（２）において、Ｒ^１・Ｒ^３・Ｒ^４・Ｒ^５・Ｒ^６・Ｒ^８＝水素原子、Ｒ^２・Ｒ^１１＝メチル基、Ｒ^７＝２−メチルフェニル基、Ｒ^９・Ｒ^１０＝プロピル基である化合物）
Ｄ−１：微粒化されたピグメント・レッド１７７（ＢＥＴ法による比表面積７０ｍ^２／ｇ）
Ｄ−２：微粒化されたピグメント・レッド２５４（ＢＥＴ法による比表面積８５ｍ^２／ｇ）
Ｄ−３：微粒化されたピグメント・グリーン３６（ＢＥＴ法による比表面積６５ｍ^２／ｇ）
Ｄ−４：微粒化されたピグメント・グリーン５８（ＢＥＴ法による比表面積７５ｍ^２／ｇ）
Ｄ−５：微粒化されたピグメント・イエロー１３８（ＢＥＴ法による比表面積７０ｍ^２／ｇ）
Ｄ−６：微粒化されたピグメント・ブルー１５：６（ＢＥＴ法による比表面積９０ｍ^２／ｇ）
Ｄ−７：微粒化されたピグメント・バイオレット２３（ＢＥＴ法による比表面積５０ｍ^２／ｇ）
Ｅ−１：味の素ファインテクノ社製「アジスパーＰＢ８２２」
Ｓ−１：メタクリル酸及びメタクリル酸ベンジルのランダム共重合体（酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量１万、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの３５％溶液として合成されたものの固形分）
Ｓ−２：ダイセル社製「ＥＨＰＥ３１５０」
Ｓ−３：東レ・ダウコーニング社製「ＦＺ−２１２２」
Ｚ−１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｚ−２：プロピレングリコールジアセテート
ここで、「Ａ−」「Ｂ−」「Ｃ−」「Ｄ−」「Ｅ−」「Ｚ−」はそれぞれ本発明のＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｚ成分に該当することを示し、「Ｓ−」は必要に応じて用いられるその他の成分を示す。また「ＡＸ−」は本発明のＡ成分の構造を有しないことを示す。

［Ａ−１成分の合成例１］
一般式（１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物（エポキシ当量２５５）５１０ｇ、アクリル酸（エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸）２．０モル、トリフェニルホスフィン（触媒）０．１０モル、ＢＨＴ（重合禁止剤）０．０５モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５５ｇに溶解させ、乾燥空気をバブリングさせながら１００℃で反応させた。エポキシ基とカルボキシ基の反応率が９９モル％に達したところでビフェニル−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物（環状酸無水物）０．５０モル及びシクロヘキセン−４，５−ジカルボン酸無水物（環状酸無水物）０．５０モルを添加し、更に反応させた。赤外分光法で酸無水物基の消費を確認した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈して室温に冷却し、Ａ−１成分の固形分濃度５０％溶液を得た。Ａ−１成分の酸価は９６ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量は４千であった。

［Ａ−２成分の合成例２］
一般式（１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物（エポキシ当量３１５）６３０ｇ、アクリル酸（エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸）２．０モル、トリフェニルホスフィン（触媒）０．１０モル、ＢＨＴ（重合禁止剤）０．０５モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３１５ｇに溶解させ、乾燥空気をバブリングさせながら１００℃で反応させた。エポキシ基とカルボキシ基の反応率が９９モル％に達したところでビフェニル−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物（環状酸無水物）０．５０モル及びシクロヘキセン−４，５−ジカルボン酸無水物（環状酸無水物）０．５０モルを添加し、更に反応させた。赤外分光法で酸無水物基の消費を確認した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈して室温に冷却し、Ａ−２成分の固形分濃度５０％溶液を得た。Ａ−２成分の酸価は８４ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量は６千であった。

［Ａ−３成分の合成例３］
一般式（１）で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物（エポキシ当量２５５）５１０ｇ、アクリル酸（エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸）２．０モル、トリフェニルホスフィン（触媒）０．１０モル、ＢＨＴ（重合禁止剤）０．０５モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５５ｇに溶解させ、乾燥空気をバブリングさせながら１００℃で反応させた。エポキシ基とカルボキシ基の反応率が９９モル％に達したところでビフェニル−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物（環状酸無水物）０．６５モル及びシクロヘキセン−４，５−ジカルボン酸無水物（環状酸無水物）０．０２モルを添加し、更に反応させた。赤外分光法で酸無水物基の消費を確認した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈して室温に冷却し、Ａ−３成分の固形分濃度５０％溶液を得た。Ａ−３成分の酸価は８７ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量は９千であった。

［ＡＸ−１成分の合成例４］
ビスフェノールＡ型エポキシ化合物（エポキシ当量１８５）３７０ｇ、アクリル酸（エチレン性不飽和結合基含有カルボン酸）２．０モル、トリフェニルホスフィン（触媒）０．１０モル、ＢＨＴ（重合禁止剤）０．０５モルをプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１８５ｇに溶解させ、乾燥空気をバブリングさせながら１００℃で反応させた。エポキシ基とカルボキシ基の反応率が９９モル％に達したところでビフェニル−３，３′，４，４′−テトラカルボン酸二無水物（環状酸無水物）０．５０モル及びシクロヘキセン−４，５−ジカルボン酸無水物（環状酸無水物）０．５０モルを添加し、更に反応させた。赤外分光法で酸無水物基の消費を確認した後、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートで希釈して室温に冷却し、ＡＸ−１成分の固形分濃度５０％溶液を得た。ＡＸ−１成分の酸価は１１４ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量は３千であった。

［カラーフィルター用感光性樹脂組成物の調製］
（カラーフィルター用感光性樹脂組成物の調製例１）
Ａ−１成分の固形分濃度５０％溶液（合成例１で得た溶液）１０．０部、Ｄ−１成分６．０部、Ｄ−２成分６．０部、Ｅ−１成分３．０部、及びＺ−１成分７５．０部を混合し、冷却水で３０℃以下の状態に保ちながら、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズを８０％充填した内容積６００ｍＬのビーズミルで安定状態となるまで周速８．５ｍ／ｓで分散して分散液を得た。次にＡ−１成分１０．０部、Ｂ−１成分２．０部、Ｂ−２成分２．０部、Ｃ−１成分０．４部、Ｓ−２成分０．５部、Ｓ−３成分０．１部、Ｚ−１成分２０．０部及びＺ−２成分１５．０部を上記分散液に配合し、ミキサーを用いて室温で３時間撹拌混合した。最後に濾過精度０．６μｍのメンブレンフィルターを用いて圧力０．０５ＭＰａで加圧濾過を行い、赤色のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を得た。

調製例１のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の作製条件を表１に示す。本表ではＡ−１成分としては固形分量のみを記載し、５０％溶液の溶剤分はＺ−１成分に含めて表した（以下、Ａ−２、Ａ−３、ＡＸ−１、Ｓ−１成分についても同様）。

［カラーフィルター用感光性樹脂組成物の調製例２〜９］
調製例１の作製条件を表１に示すようにそれぞれ変更し、その他は調製例１と同様にして、調製例２〜９のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の作製を行った。

［実施例１］
（カラーフィルターの作製）
ガラス基板に保持したＰＥＮフィルム上に、調製例１のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を硬化後の膜厚が１．０μｍとなるような回転数でスピンコートし（工程（ア））、９０℃のホットプレートで２分間乾燥させて（工程（イ））試験片を作製した。次に、カラーフィルターの画素のテストパターン形状を有するフォトマスクを介して照度３０ｍＷ／ｃｍ^２の超高圧水銀ランプで１５０ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線（数値はｉ線基準）を照射し、画像露光を行った（工程（ウ））。その後、試験片を２５℃の水酸化カリウム系アルカリ現像液（新日鉄住金化学社製「ＮＳＩＤ」の１００倍希釈液）で１分間処理し、更に水洗を行って画像を現像した（工程（エ））。最後に試験片に照度１０ｍＷ／ｃｍ^２の低圧水銀ランプで１５００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線（数値は２５４ｎｍ基準）を照射し、ポスト露光を行った（工程（オ））。こうして赤色の色相のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の硬化膜（１色目の画素）を得た。

次に、上記の手順を調製例２のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて同一のＰＥＮフィルム上に繰り返して実施し、緑色の色相のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の硬化膜（２色目の画素）を得た。更に、上記の手順を調製例３のカラーフィルター用感光性樹脂組成物を用いて同一のＰＥＮフィルム上に繰り返して実施し、青色の色相のカラーフィルター用感光性樹脂組成物の硬化膜（３色目の画素）を得た。こうして赤色・緑色・青色の鮮明な３色の画素を有するカラーフィルターを作製した。

［実施例２］
実施例１で使用した調製例１の組成物を調製例４に、調製例２の組成物を調製例５に、調製例３の組成物を調製例６にそれぞれ変更し、その他は実施例１と同様にして、赤色・緑色・青色の鮮明な３色の画素を有するカラーフィルターを作製した。

［比較例１］
実施例１で使用した調製例１の組成物を調製例７に、調製例２の組成物を調製例８に、調製例３の組成物を調製例９にそれぞれ変更し、その他は実施例１と同様にしてカラーフィルターの作製を行った。２色目の画素を形成しようとすると、調製例８の組成物の溶剤で１色目の画素（調製例７の組成物の硬化膜）が侵されて色が滲み出し、鮮明な画素を得ることができなくなった。画素の色相を形成する順番を変更し、１色目の画素を調製例８又は調製例９の組成物で形成しても、２色目の画素を形成する際に同様に色の滲み出しが観察され、鮮明な画素を得ることはできなかった。

本発明の製造方法を適用することにより、プラスチック基板上や白色有機ＥＬデバイス上に直接カラーフィルターを形成することが可能となり、デバイスのフレキシブル化やワンチップ化が容易に実現できる。また、本発明で用いる感光性樹脂組成物は、カラーフィルターの作製のみならず、塗料、印刷インキ、筆記具インキ、プラスチック等の着色成分としても利用することが可能である。

Claims

感光性樹脂組成物を硬化させた第１の色のカラーフィルター部が形成されている基材に、第１の色とは異なる第２の色のカラーフィルター用の感光性樹脂組成物を塗布し硬化させる工程を含む、カラーフィルターを製造する方法であって、前記感光性樹脂組成物は、（Ａ）ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とエチレン性不飽和結合基含有カルボン酸とを反応させたヒドロキシ基含有化合物に対して環状酸無水物を反応させて得られた化合物、（Ｂ）少なくとも１個のエチレン性不飽和結合を有する重合性モノマー、及び（Ｃ）光重合開始剤を含有し、前記基材の耐熱温度は１５０℃以下であり、前記基材の耐熱温度を超えない環境温度下で行われることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
（ア）感光性樹脂組成物を基材に塗布する工程、（イ）感光性樹脂組成物を乾燥させる工程、（ウ）感光性樹脂組成物を画像露光する工程、（エ）感光性樹脂組成物を現像する工程、及び（オ）感光性樹脂組成物をポスト露光する工程を順に含む請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
赤色、緑色及び青色の感光性樹脂組成物をそれぞれ使用する請求項１又は２に記載のカラーフィルターの製造方法。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の方法で製造されたカラーフィルター。