JP6504997B2 - 放射線像変換パネル、放射線像変換パネルの製造方法、放射線イメージセンサ及び放射線イメージセンサの製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る放射線像変換パネルを有する放射線イメージシステム100の構成を示す全体図である。図1に示される放射線イメージシステム100は、放射線を被写体へ照射し、透過した放射線を画像(放射線画像)へ変換するシステムであり、例えば医療分野における画像診断や工業用非破壊検査などに用いられる。図1に示されるように、放射線イメージシステム100は、放射線イメージセンサ1、放射線源2、電子機器3及び情報処理装置4を備えている。
第2実施形態に係る放射線イメージセンサ1Aは、第1実施形態で説明した放射線イメージセンサ1と比べて、縮小光学系を更に備えており、放射線像変換パネル10の光出力面側の上面から光検出部40を離した状態で配置する点が相違する。第2実施形態では、第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
Claims (13)
- 基板と、
前記基板上に形成され、導電性を有し、表面が粗面である金属酸化物層と、
前記金属酸化物層の表面上に形成された第1有機樹脂層と、
前記第1有機樹脂層上に形成され、複数の柱状結晶からなり、入射された放射線に応じて光を発する蛍光体層と、
を備える放射線像変換パネル。 - 前記基板と前記金属酸化物層との間に金属反射層を備え、
前記金属酸化物層は、前記蛍光体層により発される前記光に対して透明である、
請求項1に記載の放射線像変換パネル。 - 前記金属反射層と前記金属酸化物層との間に誘電体層を備える請求項2に記載の放射線像変換パネル。
- 前記基板、前記金属反射層、前記誘電体層、前記金属酸化物層、前記第1有機樹脂層及び前記蛍光体層を覆う第2有機樹脂層を備える請求項3に記載の放射線像変換パネル。
- 前記基板の材料は、ガラス又は樹脂である請求項1〜4の何れか一項に記載の放射線像変換パネル。
- 前記金属酸化物層は、ITO、FTO、SnO2、ATO、AZO、GZO、IZO又はIGZOで形成された層である請求項1〜5の何れか一項に記載の放射線像変換パネル。
- 前記金属酸化物層は、ITOで形成され、その表面が、結晶粒及び結晶子からなる結晶粒領域構造、結晶粒からなる多結晶構造、又は、多孔質構造である請求項1〜5の何れか一項に記載の放射線像変換パネル。
- 請求項1〜7の何れか一項に記載の前記放射線像変換パネルと、
前記蛍光体層側に対向して配置され、前記蛍光体層から発される前記光を検出する光検出部と、
を備える放射線イメージセンサ。 - 基板上に、スパッタ法、蒸着法又はディップコート法によって金属酸化物層を形成する金属酸化物層形成ステップと、
前記金属酸化物層の表面上に気相堆積法によって第1有機樹脂層を形成する第1有機樹脂層形成ステップと、
前記第1有機樹脂層上に気相堆積法によって蛍光体層を形成する蛍光体層形成ステップと、
を有する放射線像変換パネルの製造方法。 - 前記金属酸化物層形成ステップの前に、前記基板上に気相堆積法によって金属反射層を形成する金属反射層形成ステップを有し、
前記金属酸化物層形成ステップは、前記基板上であって前記金属反射層上に前記金属酸化物層を形成するステップである請求項9に記載の放射線像変換パネルの製造方法。 - 前記金属反射層形成ステップの後に、前記金属反射層上に気相堆積法によって誘電体層を形成する誘電体層形成ステップを有し、
前記金属酸化物層形成ステップは、前記基板上であって前記誘電体層上に前記金属酸化物層を形成するステップである請求項10に記載の放射線像変換パネルの製造方法。 - 前記蛍光体層形成ステップの後に、前記基板、前記金属反射層、前記誘電体層、前記金属酸化物層、前記第1有機樹脂層及び前記蛍光体層を覆う第2有機樹脂層を、気相堆積法によって形成する第2有機樹脂層形成ステップを有する請求項11に記載の放射線像変換パネルの製造方法。
- 請求項1〜7の何れか一項に記載の放射線像変換パネルの前記蛍光体層側に、前記放射線像変換パネルの前記蛍光体層から発される前記光を検出する光検出部を配置する光検出部配置ステップを有する放射線イメージセンサの製造方法。
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