JP6499941B2 - Resin molding method and resin molding apparatus - Google Patents

Resin molding method and resin molding apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP6499941B2
JP6499941B2 JP2015145665A JP2015145665A JP6499941B2 JP 6499941 B2 JP6499941 B2 JP 6499941B2 JP 2015145665 A JP2015145665 A JP 2015145665A JP 2015145665 A JP2015145665 A JP 2015145665A JP 6499941 B2 JP6499941 B2 JP 6499941B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin
mold
workpiece
molding
compression molding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015145665A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2017024277A (en
Inventor
雅志 岡本
雅志 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Apic Yamada Corp
Original Assignee
Apic Yamada Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Apic Yamada Corp filed Critical Apic Yamada Corp
Priority to JP2015145665A priority Critical patent/JP6499941B2/en
Publication of JP2017024277A publication Critical patent/JP2017024277A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6499941B2 publication Critical patent/JP6499941B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Description

本発明は、樹脂搬送方法、樹脂成形方法および樹脂成形装置に適用して有効な技術に関する。   The present invention relates to a technique effective when applied to a resin transport method, a resin molding method, and a resin molding apparatus.

特開2003−249605号公報(以下、「特許文献1」という。)には、第1の金型でリードフレーム上に第1の樹脂を成形し、第2の金型で成形した第1の樹脂およびリードフレームの一部を覆う第2の樹脂を成形する技術が記載されている(特に、その請求項2、明細書段落[0034]、[0037]参照)。   In Japanese Patent Laid-Open No. 2003-249605 (hereinafter referred to as “Patent Document 1”), a first resin is molded on a lead frame with a first mold and molded with a second mold. A technique for molding a resin and a second resin covering a part of the lead frame is described (in particular, refer to claim 2 and paragraphs [0034] and [0037] of the specification).

特開2003−249605号公報JP 2003-249605 A

基板および樹脂を効率良く金型に供給するにあたり、基板上に樹脂を搭載した状態で金型まで搬送させることが考えられるが、その際に基板から樹脂を落下させないように工夫する必要がある。特に、樹脂が顆粒樹脂の場合、基板上に搭載した顆粒樹脂が搬送中に転がり、落下してしまうので問題となる。   In order to efficiently supply the substrate and the resin to the mold, it is conceivable that the substrate is transported to the mold while the resin is mounted on the substrate. However, it is necessary to devise so as not to drop the resin from the substrate. In particular, when the resin is a granular resin, the granular resin mounted on the substrate rolls during transportation and falls, which is a problem.

特許文献1に記載の技術のように、リードフレーム上に第1の樹脂がトランスファ成形された状態であれば、第1の樹脂の落下を考慮せずに第2の金型へリードフレームおよび第1の樹脂を搬送することができる。しかしながら、リードフレーム上で第1の樹脂を成形する場合には、そのための第1の金型が必要となるし、ひいては樹脂を搬送(供給)する効率が悪くなってしまう。   If the first resin is transfer molded on the lead frame as in the technique described in Patent Document 1, the lead frame and the second mold are transferred to the second mold without considering the dropping of the first resin. 1 resin can be conveyed. However, when the first resin is molded on the lead frame, a first mold for that purpose is required, and the efficiency of transporting (supplying) the resin is deteriorated.

本発明の目的は、効率良く樹脂を搬送することのできる技術を提供することにある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。   The objective of this invention is providing the technique which can convey resin efficiently. The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂搬送方法は、(a)一方および他方の面を有する板状のワークの前記一方の面上に樹脂を供給する工程と、(b)前記樹脂の表面部分を溶融させるように前記樹脂に熱を加える工程と、(c)表面部分が溶融した前記樹脂と共に前記ワークを搬送する工程と、を含むことを特徴とする。これによれば、表面部分が溶融した樹脂がワークに接着するため、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂も搬送することができる。したがって、効率良く樹脂を搬送することができる。   Of the inventions disclosed in the present application, the outline of typical ones will be briefly described as follows. A resin transport method according to one solution of the present invention includes: (a) supplying a resin onto the one surface of a plate-like workpiece having one and the other surface; and (b) a surface portion of the resin. A step of applying heat to the resin so as to be melted; and (c) a step of conveying the workpiece together with the resin whose surface portion is melted. According to this, since the resin whose surface portion is melted adheres to the workpiece, it is possible to prevent the resin from dropping during conveyance, and the resin can also be conveyed during workpiece conveyance. Therefore, the resin can be efficiently conveyed.

前記一解決手段に係る樹脂搬送方法において、前記(a)工程では、前記ワークとして孔の空いた基板を用いることがより好ましい。このように、孔の空いた基板を用いたとしても、その孔に表面部分が溶融しているため、樹脂(顆粒や粉末)が落下してしまうのを防止することができる。   In the resin transport method according to the one solving means, in the step (a), it is more preferable to use a substrate having a hole as the work. Thus, even if a substrate with holes is used, the surface portion is melted in the holes, so that the resin (granule or powder) can be prevented from falling.

前記一解決手段に係る樹脂搬送方法において、前記(a)工程では、前記樹脂としての顆粒樹脂を盛り上げて前記一方の面上に供給することがより好ましい。これによれば、盛り上げられた顆粒樹脂全体としての表面部分が溶融して接着するため、顆粒樹脂をワークと共に搬送する場合であっても顆粒樹脂の転がりを防止することができる。   In the resin transport method according to the one solving means, in the step (a), it is more preferable that the granular resin as the resin is raised and supplied onto the one surface. According to this, since the surface part as the whole granulated resin melt | dissolves and adhere | attaches, even when it is a case where granular resin is conveyed with a workpiece | work, rolling of granular resin can be prevented.

本発明の一解決手段に係る樹脂成形方法は、(a)一方および他方の面を有する板状のワークの前記一方の面上に圧縮成形用樹脂を供給する工程と、(b)前記圧縮成形用樹脂の表面部分を溶融させるように前記圧縮成形用樹脂に熱を加える工程と、(c)表面部分が溶融した前記圧縮成形用樹脂と共に前記ワークを型開きした金型内に搬送して供給する工程と、(d)型閉じした前記金型において、圧縮成形によって全体が溶融した前記圧縮成形用樹脂を前記金型の一方のキャビティで充填して前記ワークの前記一方の面で成形する工程と、を含むことを特徴とする。これによれば、樹脂表面を溶融させてワークに接着させることで、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂も搬送することができる。したがって、効率良く樹脂を搬送することができ、また、樹脂成形の生産性を向上させることができる。   The resin molding method according to one solution of the present invention includes: (a) supplying a compression molding resin onto the one surface of a plate-like workpiece having one and other surfaces; and (b) the compression molding. A step of applying heat to the compression molding resin so as to melt the surface portion of the resin for molding, and (c) supplying the workpiece together with the compression molding resin having the melted surface portion into a mold that is opened. And (d) filling the compression molding resin melted entirely by compression molding in one cavity of the mold and molding on the one surface of the workpiece in the mold closed. It is characterized by including these. According to this, the resin surface can be melted and adhered to the workpiece, so that the resin can be prevented from dropping during conveyance, and the resin can also be conveyed during workpiece conveyance. Therefore, the resin can be efficiently conveyed and the productivity of resin molding can be improved.

前記一解決手段に係る樹脂成形方法において、(e)前記(d)工程の前で型開きした前記金型のポット内にトランスファ成形用樹脂を供給する工程と、(f)型閉じした前記金型において、トランスファ成形によって前記ポット内で溶融した前記トランスファ成形用樹脂を圧送して前記金型の他方のキャビティに充填して前記ワークの前記他方の面で成形する工程と、を更に含むことがより好ましい。これによれば、別の金型を準備することなく、1つの金型でワークの両面にそれぞれ異なる性質の樹脂を効率良く成形することができる。   In the resin molding method according to the one solving means, (e) a step of supplying a transfer molding resin into a pot of the mold opened before the step (d), and (f) the mold closed. The mold further includes a step of pumping the transfer molding resin melted in the pot by transfer molding, filling the other cavity of the mold and molding the other surface of the workpiece. More preferred. According to this, it is possible to efficiently mold resins having different properties on both surfaces of a workpiece with one mold without preparing another mold.

本発明の一解決手段に係る樹脂成形装置は、一方および他方の面を有する板状のワークに対して樹脂成形を行う金型と、前記金型外に設けられ、前記ワークが前記他方の面側でセットされるステージと、前記金型外に設けられ、前記ステージにセットされた前記ワークの前記一方の面上に圧縮成形用樹脂を供給する樹脂供給部と、前記金型外に設けられ、前記ワークに供給された前記圧縮成形用樹脂の表面部分を溶融させるよう前記一方の面上の前記圧縮成形用樹脂と離れた位置から熱を加える加熱部と、前記ステージから型開きした前記金型内へ、表面部分が溶融した前記圧縮成形用樹脂と共に前記ワークを搬送して供給するローダと、を備え、前記ワークおよび前記圧縮成形用樹脂が供給されて型閉じした前記金型において、圧縮成形によって全体が溶融した前記圧縮成形用樹脂が前記金型の一方のキャビティで充填され前記ワークの前記一方の面に成形されることを特徴とする。これによれば、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂も搬送することができる。したがって、効率良く樹脂を搬送することができ、また、樹脂成形の生産性を向上させることができる。   A resin molding apparatus according to one solution of the present invention is provided with a mold for performing resin molding on a plate-shaped workpiece having one and other surfaces, and provided outside the mold, the workpiece being the other surface. A stage set on the side, a resin supply part that is provided outside the mold and supplies compression molding resin onto the one surface of the workpiece set on the stage, and is provided outside the mold A heating unit for applying heat from a position away from the compression molding resin on the one surface so as to melt the surface portion of the compression molding resin supplied to the workpiece; and the mold opened from the stage A loader that transports and supplies the workpiece together with the compression molding resin whose surface portion is melted into the mold, and compresses the mold in which the workpiece and the compression molding resin are supplied and closed For molding Whole, characterized in that the compression molding resin melted is molded on the one surface of the workpiece is filled with one of the cavities of the mold I. According to this, resin fall at the time of conveyance can be prevented, and resin can also be conveyed at the time of work conveyance. Therefore, the resin can be efficiently conveyed and the productivity of resin molding can be improved.

前記一解決手段に係る樹脂成形装置において、型開きした前記金型のポット内にトランスファ成形用樹脂が前記ローダによって供給されて型閉じした前記金型において、トランスファ成形によって前記ポット内で溶融した前記トランスファ成形用樹脂が圧送され前記金型の他方のキャビティに充填され、前記ワークの前記他方の面に成形されることがより好ましい。これによれば、別の金型を準備することなく、1つの金型でワークの両面にそれぞれ異なる性質の樹脂を効率良く成形することができる。   In the resin molding apparatus according to the one solution, in the mold in which the molding resin is supplied by the loader and closed in the pot of the mold that is opened, the mold melted in the pot by transfer molding. More preferably, the transfer molding resin is pumped, filled in the other cavity of the mold, and molded on the other surface of the workpiece. According to this, it is possible to efficiently mold resins having different properties on both surfaces of a workpiece with one mold without preparing another mold.

本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次のとおりである。本発明の一解決手段に係る樹脂搬送方法によれば、効率良く樹脂を搬送することができる。   Of the inventions disclosed in the present application, effects obtained by typical ones will be briefly described as follows. According to the resin transport method according to one solution of the present invention, the resin can be transported efficiently.

本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the resin molding apparatus which concerns on one Embodiment of this invention. 図1に示す樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus shown in FIG. 図2に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 図3に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 図4に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 図5に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 本発明の他の実施形態に係る樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus which concerns on other embodiment of this invention. 図7に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view of the operation process of the main part of the resin molding apparatus following FIG. 7. 図8に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 図9に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of the operation process of the main part of the resin molding apparatus following FIG. 9. 図10に続く樹脂成形装置の要部の動作工程の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus following FIG. 本発明の他の実施形態に係る成形品の模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the molded article which concerns on other embodiment of this invention.

以下の本発明における実施形態では、必要な場合に複数のセクションなどに分けて説明するが、原則、それらはお互いに無関係ではなく、一方は他方の一部または全部の変形例、詳細などの関係にある。このため、全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、構成要素の数(個数、数値、量、範囲などを含む)については、特に明示した場合や原理的に明らかに特定の数に限定される場合などを除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。また、構成要素などの形状に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合などを除き、実質的にその形状などに近似または類似するものなどを含むものとする。   In the following embodiments of the present invention, the description will be divided into a plurality of sections when necessary. However, in principle, they are not irrelevant to each other, and one of them is related to some or all of the other modifications, details, etc. It is in. For this reason, the same code | symbol is attached | subjected to the member which has the same function in all the figures, and the repeated description is abbreviate | omitted. In addition, the number of components (including the number, numerical value, quantity, range, etc.) is limited to that specific number unless otherwise specified or in principle limited to a specific number in principle. It may be more than a specific number or less. In addition, when referring to the shape of a component, etc., it shall include substantially the same or similar to the shape, etc., unless explicitly stated or in principle otherwise considered otherwise .

(実施形態1)
本発明の一実施形態に係る樹脂成形装置10について図1〜図6を参照して説明する。図1は樹脂成形装置10の概略構成図であり、上面視における各機構部の配置を示している。図2〜図6は、樹脂成形装置10の要部の動作工程の模式的断面図である。なお、図5および図6では、プレス部16が一点鎖線を中心に左右対称の構成であるが、図中左側を省略して示している。
(Embodiment 1)
A resin molding apparatus 10 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the resin molding apparatus 10 and shows an arrangement of each mechanism portion in a top view. 2-6 is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part of the resin molding apparatus 10. FIG. In FIGS. 5 and 6, the press unit 16 has a bilaterally symmetric configuration around the one-dot chain line, but the left side in the drawing is omitted.

図1に示すように、樹脂成形装置10は、装置正面側に配置される部材収納部12、樹脂搭載部14、プレス部16、および成形品収納部18と、装置背面側に配置される搬送部20とを備えている。樹脂成形装置10は、後述するがトランスファ成形および圧縮成形を実施可能なハイブリッド構造に構成されている。部材収納部12では、ワークW1およびトランスファ成形用の樹脂Ra(例えば、タブレット樹脂)が収納される。また、樹脂搭載部14では、板状のワークW1に圧縮成形用の樹脂Rb(例えば、顆粒樹脂)が搭載される。本実施形態では、プレス部16外に樹脂搭載部14が設けられており、ここから樹脂RbおよびワークW1が同時にプレス部16内へ搬送されて供給される。本実施形態では、これら樹脂Ra、Rbが熱硬化性である場合を主に説明する。   As shown in FIG. 1, the resin molding apparatus 10 includes a member storage unit 12, a resin mounting unit 14, a press unit 16, and a molded product storage unit 18 disposed on the front side of the apparatus, and a transport disposed on the back side of the apparatus. Part 20. As will be described later, the resin molding apparatus 10 has a hybrid structure capable of performing transfer molding and compression molding. In the member storage unit 12, a workpiece W1 and a transfer molding resin Ra (for example, a tablet resin) are stored. Moreover, in the resin mounting part 14, resin Rb for compression molding (for example, granule resin) is mounted on the plate-like workpiece W1. In this embodiment, the resin mounting part 14 is provided outside the press part 16, and resin Rb and the workpiece | work W1 are simultaneously conveyed in the press part 16 from this, and are supplied. In this embodiment, the case where these resin Ra and Rb are thermosetting is mainly demonstrated.

また、金型40を備えるプレス部16(図5参照)では、金型40によってクランプされたワークW1に対して樹脂Raおよび樹脂Rbを用いて樹脂成形される。また、成形品収納部18では、成形品としてのワークW2が収納される。そして、ローダ22およびアンローダ24を備える搬送部20では、共通のレール(図示せず)上を移動するローダ22やアンローダ24によってワークW1などが搬送される。なお、図1に示す樹脂成形装置10では、プレス部16を複数(2つ)設けているが、1つだけ設けてもよい。   Moreover, in the press part 16 (refer FIG. 5) provided with the metal mold | die 40, it resin-molds with respect to the workpiece | work W1 clamped with the metal mold | die 40 using resin Ra and resin Rb. The molded product storage unit 18 stores a workpiece W2 as a molded product. And in the conveyance part 20 provided with the loader 22 and the unloader 24, the workpiece | work W1 etc. are conveyed by the loader 22 and the unloader 24 which move on a common rail (not shown). In addition, in the resin molding apparatus 10 shown in FIG. 1, although the press part 16 is provided with two or more (two), you may provide only one.

本実施形態に係る樹脂成形装置10の動作方法(樹脂搬送方法や樹脂成形方法が含まれる)について説明する。図1に示すように、部材収納部12に収納されている成形前のワークW1をローダ22によって樹脂搭載部14へ搬送する。ワークW1(図2参照)は、一方の面80aおよびこの反対側の他方の面80bを有する基板80(例えば、リードフレームなど)である。ワークW1の面80a、80bのそれぞれには、例えば、電子部品82(例えば、半導体チップ)がワイヤボンディング実装されている。なお、電子部品82としては、チップコンデンサやインダクタといった素子であってよいし、バンプやピラーのような導電部材であってもよい。   An operation method (including a resin conveyance method and a resin molding method) of the resin molding apparatus 10 according to the present embodiment will be described. As shown in FIG. 1, the workpiece W <b> 1 before molding stored in the member storage unit 12 is conveyed to the resin mounting unit 14 by the loader 22. The workpiece W1 (see FIG. 2) is a substrate 80 (for example, a lead frame) having one surface 80a and the other surface 80b on the opposite side. For example, an electronic component 82 (for example, a semiconductor chip) is mounted on each of the surfaces 80a and 80b of the workpiece W1 by wire bonding. The electronic component 82 may be an element such as a chip capacitor or an inductor, or a conductive member such as a bump or a pillar.

樹脂搭載部14は、図2に示すように、ステージ30を備えている。このステージ30のセット面には凹部30aが設けられている。凹部30aは、ワークW1がセットされる際に面80b側の電子部品82を収容する逃げ部となる。樹脂搭載部14では、ローダ22によって搬送されてきたワークW1を面80b側でステージ30上にセット(供給)する。また、樹脂搭載部14は、樹脂供給部32(例えば、トラフ)を備えている。樹脂搭載部14では、樹脂供給部32によってステージ30にセットされたワークW1の面80a上に樹脂Rbを供給する(図3参照)。   The resin mounting portion 14 includes a stage 30 as shown in FIG. The setting surface of the stage 30 is provided with a recess 30a. The concave portion 30a serves as a relief portion that accommodates the electronic component 82 on the surface 80b side when the workpiece W1 is set. In the resin mounting unit 14, the workpiece W1 conveyed by the loader 22 is set (supplied) on the stage 30 on the surface 80b side. Moreover, the resin mounting part 14 is provided with the resin supply part 32 (for example, trough). In the resin mounting portion 14, the resin Rb is supplied onto the surface 80a of the workpiece W1 set on the stage 30 by the resin supply portion 32 (see FIG. 3).

樹脂搭載部14は、図3に示すように、加熱部34(例えば、カートリッジヒータ)を備えている。樹脂搭載部14では、加熱部34によって樹脂Rbの表面部分Rbs(図4参照)を溶融させるように樹脂Rbに熱を加える。例えば、加熱部34は、ワークW1に供給された樹脂Rbの表面部分Rbsを溶融させるよう面80a上の樹脂Rbと離れた位置から非接触で輻射熱により加熱する。ここでは、選定された加熱条件(温度、時間など)が用いられる。図4に示すように、輻射熱によって樹脂Rbの表面部分Rbsを溶融させることができる。これにより、樹脂Rbにおいて表面部分Rbsから粉末が巻き上げられて拡散してしまうのを防止することができる。また、樹脂Rbを事前に加熱することで予熱して、プレス部16における成形時間を短縮することもできる。なお、内蔵加熱部を備えるステージ30(例えば、ホットプレート)によってワークW1に熱を加えることもできる。これによれば、ステージ30側からも加熱してワークW1(特に、リードフレームのような金属板)および樹脂Rbを均一に加熱することができる。   As shown in FIG. 3, the resin mounting unit 14 includes a heating unit 34 (for example, a cartridge heater). In the resin mounting part 14, the heating part 34 applies heat to the resin Rb so as to melt the surface part Rbs (see FIG. 4) of the resin Rb. For example, the heating unit 34 heats the surface portion Rbs of the resin Rb supplied to the workpiece W1 by radiant heat in a non-contact manner from a position away from the resin Rb on the surface 80a. Here, the selected heating conditions (temperature, time, etc.) are used. As shown in FIG. 4, the surface portion Rbs of the resin Rb can be melted by radiant heat. Thereby, it is possible to prevent the powder from being wound up and diffused from the surface portion Rbs in the resin Rb. Further, the resin Rb can be preheated by heating in advance, and the molding time in the press portion 16 can be shortened. Note that heat can also be applied to the workpiece W1 by a stage 30 (for example, a hot plate) including a built-in heating unit. According to this, the workpiece W1 (particularly, a metal plate such as a lead frame) and the resin Rb can be uniformly heated by heating from the stage 30 side.

ところで、本実施形態では、ワークW1として孔80cの空いた基板80(例えば、リードフレーム)を用いることができる。孔80cの空いた基板80を用いたとしても、その孔80cに表面部分Rbsが溶融しているため、顆粒や粉末が落下してしまうようなことはない。具体的には、顆粒や粉末の樹脂Rbが溶融することで粘度が下がりすぎず高粘度な液状となったり、樹脂Rbの顆粒や粉末が相互に接合したりすることで、孔80cからの樹脂Rbの落下を防止することができるからである。なお、孔80cよりも大きい樹脂Rb(例えば、径が大きい顆粒樹脂)を供給すれば、ワークW1への樹脂供給の際に、孔80cからの樹脂Rbの落下を防止することもできる。   By the way, in this embodiment, the board | substrate 80 (for example, lead frame) with the hole 80c vacant can be used as the workpiece | work W1. Even if the substrate 80 having the holes 80c is used, the surface portion Rbs is melted in the holes 80c, so that the granules and powder do not fall. Specifically, the resin from the hole 80c is obtained by melting the granule or powder resin Rb so that the viscosity does not decrease too much to become a highly viscous liquid, or the resin Rb granule or powder is bonded to each other. This is because Rb can be prevented from falling. If a resin Rb larger than the hole 80c (for example, a granular resin having a large diameter) is supplied, the resin Rb from the hole 80c can be prevented from dropping when the resin is supplied to the workpiece W1.

特に、樹脂Rbとして顆粒樹脂を用いる場合、ワークW1の面80aの外周縁から顆粒樹脂がこぼれ落ちないように、面80aの中央部で顆粒樹脂が盛り上げて供給される。顆粒樹脂全体の内部が顆粒状態のままであっても表面部分Rbsが溶融すれば、顆粒樹脂をワークW1と共に搬送する際に、顆粒樹脂の転がり(転落)を防止することができる。なお、顆粒樹脂の他に樹脂Rbとしてシート樹脂を用い、ワークW1の面80a上に積み上げた状態とした場合であっても、シート樹脂全体のうち表面部分(換言すれば、露出部分)が溶融するため、露出部分が他のシート樹脂と密着して各シート樹脂のずれを防止して落下を防止することができる。また、シート樹脂を予熱することで、ワークW1上においてシート樹脂をワークW1上の電子部品82の形状に倣うように変形させて、シート樹脂の落下を防止することもできる。   In particular, when a granular resin is used as the resin Rb, the granular resin is raised and supplied at the center of the surface 80a so that the granular resin does not spill from the outer peripheral edge of the surface 80a of the workpiece W1. Even if the inside of the whole granule resin remains in the granular state, if the surface portion Rbs is melted, the granule resin can be prevented from rolling (falling) when the granule resin is transported together with the workpiece W1. Even when the sheet resin is used as the resin Rb in addition to the granular resin, the surface portion (in other words, the exposed portion) of the entire sheet resin is melted even when the sheet is stacked on the surface 80a of the workpiece W1. Therefore, the exposed portion is in close contact with the other sheet resin, so that the sheet resin can be prevented from shifting and falling can be prevented. In addition, by preheating the sheet resin, the sheet resin can be deformed on the workpiece W1 so as to follow the shape of the electronic component 82 on the workpiece W1, thereby preventing the sheet resin from falling.

続いて、図1に示すように、樹脂Rb(表面部分Rbsが溶融したもの)と共にワークW1をローダ22によって樹脂搭載部14からプレス部16へ搬送(供給)する。本実施形態では、表面部分Rbsが溶融して樹脂RbがワークW1に接着するため、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂Rbも搬送することができる。したがって、ワークW1と共に樹脂Rbを効率良く搬送することができる。また、樹脂Raをローダ22によって部材収納部12からプレス部16へ搬送(供給)する。   Subsequently, as shown in FIG. 1, the work W <b> 1 is conveyed (supplied) from the resin mounting portion 14 to the press portion 16 by the loader 22 together with the resin Rb (the surface portion Rbs is melted). In the present embodiment, since the surface portion Rbs melts and the resin Rb adheres to the workpiece W1, it is possible to prevent the resin from dropping during conveyance, and the resin Rb can also be conveyed during workpiece conveyance. Therefore, the resin Rb can be efficiently conveyed together with the workpiece W1. Further, the resin Ra is conveyed (supplied) from the member storage unit 12 to the press unit 16 by the loader 22.

プレス部16は、図5に示すように、金型40を備えている。型開閉可能な金型40は、対をなす一方の上型42と他方の下型44を備えており、上型42および下型44が接離動する。本実施形態では、金型40が、公知のプランジャ機構によって樹脂Raを用いるトランスファ成形方式と、公知のプレス機構(型開閉機構)によって樹脂Rbを用いた圧縮成形方式とを組み合わせて樹脂成形を行える構造である。この点で、本実施形態では、トランスファ成形用の樹脂Raと圧縮成形用の樹脂Rbとを別ものとして取り扱っている。   As shown in FIG. 5, the press unit 16 includes a mold 40. The mold 40 that can be opened and closed includes one upper mold 42 and the other lower mold 44 that form a pair, and the upper mold 42 and the lower mold 44 are brought into contact with and separated from each other. In this embodiment, the mold 40 can perform resin molding by combining a transfer molding method using the resin Ra with a known plunger mechanism and a compression molding method using the resin Rb with a known press mechanism (mold opening / closing mechanism). Structure. In this regard, in this embodiment, the transfer molding resin Ra and the compression molding resin Rb are handled separately.

金型40の一方の上型42は、ベース46、クランパ48、およびインサート50の各ブロックを備えて組み付けられ、クランプ面(パーティング面)にキャビティC1(凹部)が設けられている。ベース46には、クランパ48およびインサート50が組み付けられている。クランパ48には、中央部のクランプ面で窪むカル48aと型開閉方向に貫通する貫通孔48bとが設けられている。   One upper mold 42 of the mold 40 is assembled with each block of a base 46, a clamper 48, and an insert 50, and a cavity C1 (concave portion) is provided on a clamping surface (parting surface). A clamper 48 and an insert 50 are assembled to the base 46. The clamper 48 is provided with a cull 48a that is recessed on the clamp surface at the center and a through hole 48b that penetrates in the mold opening / closing direction.

クランパ48がベース46に対して弾性部材52を介して組み付けられている(吊り下げ支持されている)一方、インサート50が貫通孔48bに挿入されてベース46に対して一体に組み付けられている。このため、上型42では、型開閉動作の作用によって弾性部材52が伸縮することで、クランパ48とインサート50とが相対的に移動する(図5および図6参照)。また、上型42では、クランプ面側で拡径した貫通孔48bの内壁面とインサート50の下端面とで囲まれて設けられているキャビティC1の容積も、型開閉動作の作用によって増減することとなる。すなわち、金型40が、キャビティC1で圧縮成形される構造である。なお、成形後のワークW2の離型性の向上や、クランパ48とインサート50との間の樹脂の進入防止を図るために、上型42のクランプ面にはフィルムFが図示しない吸引機構によって吸引されて張り付けられている。   The clamper 48 is assembled to the base 46 via the elastic member 52 (supported by being suspended), while the insert 50 is inserted into the through hole 48b and assembled to the base 46 integrally. Therefore, in the upper mold 42, the elastic member 52 expands and contracts by the action of the mold opening / closing operation, so that the clamper 48 and the insert 50 move relatively (see FIGS. 5 and 6). Further, in the upper mold 42, the volume of the cavity C1 provided by being surrounded by the inner wall surface of the through hole 48b whose diameter is enlarged on the clamp surface side and the lower end surface of the insert 50 is also increased or decreased by the action of the mold opening / closing operation. It becomes. That is, the mold 40 is a structure that is compression-molded in the cavity C1. In addition, in order to improve the releasability of the workpiece W2 after molding and prevent the resin from entering between the clamper 48 and the insert 50, the film F is sucked to the clamp surface of the upper mold 42 by a suction mechanism (not shown). Has been pasted.

金型40の他方の下型44は、ベース54、およびポット56の各ブロックを備えて組み付けられ、クランプ面(パーティング面)にキャビティC2(凹部)が設けられ、ポット56内にプランジャ58が挿入されている。ベース54には、型閉じした際に上型42のカル48aと連通するように対向してポット56が組み付けられている。また、ベース54には、型閉じした際に上型42のカル48aとキャビティC2とに連通するランナゲート54aが設けられている。すなわち、金型40が、キャビティC2でトランスファ成形される構造である。   The other lower mold 44 of the mold 40 is assembled with the base 54 and each block of the pot 56, a cavity C <b> 2 (recessed part) is provided on the clamping surface (parting surface), and a plunger 58 is provided in the pot 56. Has been inserted. A pot 56 is assembled to the base 54 so as to communicate with the cull 48a of the upper mold 42 when the mold is closed. The base 54 is provided with a runner gate 54a that communicates with the cull 48a of the upper mold 42 and the cavity C2 when the mold is closed. In other words, the mold 40 is structured to be transfer molded in the cavity C2.

このような金型40を備えるプレス部16では、搬送されてきた樹脂RbおよびワークW1を型開きした金型40内にセット(供給)する(図5参照)。具体的には、表面部分Rbsが溶融した樹脂Rbと共にワークW1を下型44のセット部にセットする。ワークW1がセットされる際には、面80b側の電子部品82がキャビティC2に収容される。また、搬送されてきた樹脂Raを型開きした金型40のポット56内にセット(供給)する(図5参照)。   In the press part 16 provided with such a metal mold | die 40, resin Rb and workpiece | work W1 which were conveyed are set (supplied) in the metal mold | die 40 which carried out mold opening (refer FIG. 5). Specifically, the workpiece W1 is set in the set portion of the lower mold 44 together with the resin Rb in which the surface portion Rbs is melted. When the workpiece W1 is set, the electronic component 82 on the surface 80b side is accommodated in the cavity C2. Further, the transported resin Ra is set (supplied) in the pot 56 of the mold 40 opened (see FIG. 5).

ここで、樹脂Rbが金型40で溶融される温度と樹脂搭載部14における加熱部34で溶融される温度(例えば、70〜100℃)とは異なり、金型40の温度(例えば、150℃)が高くなっている。このため、金型40からの熱的影響を受けないよう、ステージ30、樹脂供給部32および加熱部34を備える樹脂搭載部14(図2、図3参照)はプレス部16の金型40外に設けられ、相互に断熱されている。   Here, unlike the temperature at which the resin Rb is melted by the mold 40 and the temperature at which the resin mounting portion 14 is melted by the heating unit 34 (for example, 70 to 100 ° C.), the temperature of the mold 40 (for example, 150 ° C.). )Is high. For this reason, the resin mounting part 14 (refer FIG. 2, FIG. 3) provided with the stage 30, the resin supply part 32, and the heating part 34 is outside the metal mold | die 40 of the press part 16 so that it may not receive the thermal influence from the metal mold | die 40. And are insulated from each other.

次いで、金型40を型閉じしていき、図5に示すように、ワークW1を上型42と下型44とでクランプする。ワークW1がクランプされる際には、面80a側の電子部品82がキャビティC1に収容される。成形後のボイド発生の防止などを図るために、図示しない減圧機構によって金型40内のキャビティC1、C2が減圧される。また、金型40内にセットされた樹脂Ra、Rbは、金型40が所定の温度(例えば、成形温度)に加熱されているため溶融される。   Next, the mold 40 is closed, and the workpiece W1 is clamped by the upper mold 42 and the lower mold 44 as shown in FIG. When the workpiece W1 is clamped, the electronic component 82 on the surface 80a side is accommodated in the cavity C1. In order to prevent the generation of voids after molding, the cavities C1 and C2 in the mold 40 are decompressed by a decompression mechanism (not shown). Further, the resins Ra and Rb set in the mold 40 are melted because the mold 40 is heated to a predetermined temperature (for example, a molding temperature).

次いで、型閉じした状態の金型40から、更に金型40を型閉じしていき、図6に示すように、圧縮成形によって全体が溶融した樹脂Rbを上型42のキャビティC1で充填してワークW1の面80aで成形する。また、この型閉じした金型40において、トランスファ成形によってポット56内で溶融した樹脂Raを圧送して下型44のキャビティC2に充填してワークW1の面80bで成形する。樹脂Ra、Rbに熱硬化性樹脂を用いた場合には、金型40の成形温度によって樹脂Ra、Rbが熱硬化してキャビティC1、C2の形状に成形される。また、ワークW1として孔80cの空いた基板80を用いたとしても、樹脂搭載部14で樹脂Rbの表面部分Rbsが溶融して孔80cを塞いでいるので、樹脂Raに樹脂Rbが流されたり、樹脂Rbが孔80cから落下して樹脂Raの充填される領域に混ざり込んでしまったりすることはなく、これらが過度に混ぜ合わされてしまうのを防止することができる。そして、金型40を型開きして金型40から離型させた成形後のワークW2を、図1に示すように、アンローダ24によって成形品収納部18へ搬送して収納する。   Next, the mold 40 is further closed from the mold 40 in the mold-closed state, and as shown in FIG. 6, the resin Rb, which is entirely melted by compression molding, is filled in the cavity C1 of the upper mold 42. Molding is performed on the surface 80a of the workpiece W1. Further, in the closed mold 40, the resin Ra melted in the pot 56 by transfer molding is pumped and filled into the cavity C2 of the lower mold 44 and molded on the surface 80b of the workpiece W1. When a thermosetting resin is used for the resins Ra and Rb, the resins Ra and Rb are thermoset by the molding temperature of the mold 40 to be molded into the cavities C1 and C2. Further, even if the substrate 80 having the hole 80c is used as the work W1, the surface portion Rbs of the resin Rb is melted and blocks the hole 80c by the resin mounting portion 14, and therefore the resin Rb is caused to flow into the resin Ra. The resin Rb does not fall from the hole 80c and mix into the region filled with the resin Ra, and it is possible to prevent them from being mixed excessively. Then, the molded workpiece W2 that is opened from the mold 40 and released from the mold 40 is conveyed and stored in the molded product storage section 18 by the unloader 24 as shown in FIG.

本実施形態では、面80a側の電子部品82が樹脂Rbで封止され、面80b側の電子部品82が樹脂Raで封止された成形品(ワークW2)が製造される。前述したように、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂Rbも搬送することができる。したがって、効率良く樹脂Rbを搬送することができ、樹脂成形の生産性を向上させることができる。また、別の金型を準備することなく、1つの金型40でワークW2の両面にそれぞれ異なる性質の樹脂Ra、Rbを効率良く成形することができる。例えば、トランスファ成形用の樹脂Raに対して、圧縮成形用の樹脂Rbには、高放熱性、高強度、高耐熱性といったものを用いることができる。   In the present embodiment, a molded product (work W2) in which the electronic component 82 on the surface 80a side is sealed with the resin Rb and the electronic component 82 on the surface 80b side is sealed with the resin Ra is manufactured. As described above, the resin can be prevented from dropping during conveyance, and the resin Rb can also be conveyed during workpiece conveyance. Therefore, the resin Rb can be efficiently conveyed, and the productivity of resin molding can be improved. In addition, the resins Ra and Rb having different properties can be efficiently molded on both surfaces of the workpiece W2 with one mold 40 without preparing another mold. For example, in contrast to the resin Ra for transfer molding, the resin Rb for compression molding may have high heat dissipation, high strength, and high heat resistance.

(実施形態2)
前記実施形態1では、基板80の両面(面80aおよび面80b)で樹脂成形がなされた成形品(両面パッケージ)について説明した。本発明の実施形態では、基板80の片面(面80a)のみに樹脂成形がなされた成形品(片面パッケージ)について図7〜図12を参照して説明する。図7〜図11は、樹脂成形装置10の要部(プレス部16)の動作工程の模式的断面図である。また、図12は、成形品であるワークW2の模式的断面図である。なお、樹脂成形装置10の概略構成図として図1を参照することができる。
(Embodiment 2)
In the first embodiment, a molded product (double-sided package) in which resin molding is performed on both surfaces (surface 80a and surface 80b) of the substrate 80 has been described. In the embodiment of the present invention, a molded product (single-sided package) in which resin molding is performed only on one side (surface 80a) of the substrate 80 will be described with reference to FIGS. 7-11 is typical sectional drawing of the operation | movement process of the principal part (press part 16) of the resin molding apparatus 10. FIG. FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of a workpiece W2 that is a molded product. In addition, FIG. 1 can be referred to as a schematic configuration diagram of the resin molding apparatus 10.

本実施形態に係る樹脂成形装置10の動作方法(樹脂搬送方法や樹脂成形方法が含まれる)について説明する。部材収納部12に収納されている成形前のワークW1をローダ22によって樹脂搭載部14へ搬送する。ワークW1(図7参照)は、一方の面80aおよびこの反対側の他方の面80bを有する基板80である。ワークW1の面80aには、電子部品82がワイヤボンディング実装されている。   An operation method (including a resin conveyance method and a resin molding method) of the resin molding apparatus 10 according to the present embodiment will be described. The workpiece W1 before molding stored in the member storage unit 12 is conveyed to the resin mounting unit 14 by the loader 22. The workpiece W1 (see FIG. 7) is a substrate 80 having one surface 80a and the other surface 80b on the opposite side. An electronic component 82 is mounted on the surface 80a of the workpiece W1 by wire bonding.

樹脂搭載部14は、図7に示すように、ステージ30を備えている。樹脂搭載部14では、ローダ22によって搬送されてきたワークW1を面80b側でステージ30上にセット(供給)する。また、樹脂搭載部14は、樹脂供給部32を備えている。樹脂搭載部14では、樹脂供給部32によってステージ30にセットされたワークW1の面80a上に樹脂Rbを供給する(図8参照)。   The resin mounting portion 14 includes a stage 30 as shown in FIG. In the resin mounting unit 14, the workpiece W1 conveyed by the loader 22 is set (supplied) on the stage 30 on the surface 80b side. In addition, the resin mounting unit 14 includes a resin supply unit 32. In the resin mounting part 14, the resin Rb is supplied onto the surface 80a of the workpiece W1 set on the stage 30 by the resin supply part 32 (see FIG. 8).

樹脂搭載部14は、図8に示すように、加熱部34を備えている。樹脂搭載部14では、加熱部34によって樹脂Rbの表面部分Rbs(図9参照)を溶融させるように樹脂Rbに熱を加える。例えば、加熱部34は、ワークW1に供給された樹脂Rbの表面部分Rbsを溶融させるよう面80a上の樹脂Rbと離れた位置から非接触で輻射熱により加熱する。ここでは、選定された加熱条件(温度、時間など)が用いられる。図9に示すように、輻射熱によって樹脂Rbの表面部分Rbsを溶融させることができる。これにより、樹脂Rbにおいて表面部分Rbsから粉末が巻き上げられて拡散してしまうのを防止することができる。また、樹脂Rbを事前に加熱することで予熱して、プレス部16における成形時間を短縮することもできる。   As shown in FIG. 8, the resin mounting unit 14 includes a heating unit 34. In the resin mounting part 14, heat is applied to the resin Rb by the heating part 34 so as to melt the surface portion Rbs (see FIG. 9) of the resin Rb. For example, the heating unit 34 heats the surface portion Rbs of the resin Rb supplied to the workpiece W1 by radiant heat in a non-contact manner from a position away from the resin Rb on the surface 80a. Here, the selected heating conditions (temperature, time, etc.) are used. As shown in FIG. 9, the surface portion Rbs of the resin Rb can be melted by radiant heat. Thereby, it is possible to prevent the powder from being wound up and diffused from the surface portion Rbs in the resin Rb. Further, the resin Rb can be preheated by heating in advance, and the molding time in the press portion 16 can be shortened.

続いて、樹脂Rb(表面部分Rbsが溶融したもの)と共にワークW1をローダ22によって樹脂搭載部14からプレス部16へ搬送(供給)する。本実施形態では、表面部分Rbsが溶融して樹脂RbがワークW1に接着するため、搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂Rbも搬送することができる。したがって、ワークW1と共に樹脂Rbを効率良く搬送することができる。   Subsequently, the workpiece W1 is transported (supplied) from the resin mounting unit 14 to the press unit 16 by the loader 22 together with the resin Rb (the melted surface portion Rbs). In the present embodiment, since the surface portion Rbs melts and the resin Rb adheres to the workpiece W1, it is possible to prevent the resin from dropping during conveyance, and the resin Rb can also be conveyed during workpiece conveyance. Therefore, the resin Rb can be efficiently conveyed together with the workpiece W1.

プレス部16は、図10に示すように、金型40を備えている。型開閉可能な金型40は、対をなす一方の上型42と他方の下型44を備えており、上型42および下型44が接離動する。本実施形態では、金型40が、公知のプレス機構(型開閉機構)によって樹脂Rbを用いた圧縮成形方式の樹脂成形を行える構造である。プレス部16では、搬送されてきた樹脂RbおよびワークW1を型開きした金型40内にセット(供給)する(図10参照)。具体的には、表面部分Rbsが溶融した樹脂Rbと共にワークW1を下型44のセット部にセットする。   As shown in FIG. 10, the press unit 16 includes a mold 40. The mold 40 that can be opened and closed includes one upper mold 42 and the other lower mold 44 that form a pair, and the upper mold 42 and the lower mold 44 are brought into contact with and separated from each other. In the present embodiment, the mold 40 has a structure capable of performing resin molding of a compression molding method using the resin Rb by a known press mechanism (die opening / closing mechanism). In the press unit 16, the conveyed resin Rb and the workpiece W1 are set (supplied) in the mold 40 opened (see FIG. 10). Specifically, the workpiece W1 is set in the set portion of the lower mold 44 together with the resin Rb in which the surface portion Rbs is melted.

次いで、金型40を型閉じしていき、図10に示すように、ワークW1を上型42と下型44とでクランプする。ワークW1がクランプされる際には、面80a側の電子部品82がキャビティC1に収容される。成形後のボイド発生の防止などを図るために、図示しない減圧機構によって金型40内のキャビティC1、C2が減圧される。また、金型40内にセットされた樹脂Rbは、金型40が所定の温度(例えば、成形温度)に加熱されているため溶融される。   Next, the mold 40 is closed, and the workpiece W1 is clamped by the upper mold 42 and the lower mold 44 as shown in FIG. When the workpiece W1 is clamped, the electronic component 82 on the surface 80a side is accommodated in the cavity C1. In order to prevent the generation of voids after molding, the cavities C1 and C2 in the mold 40 are decompressed by a decompression mechanism (not shown). Further, the resin Rb set in the mold 40 is melted because the mold 40 is heated to a predetermined temperature (for example, a molding temperature).

次いで、型閉じした状態の金型40から、更に金型40を型閉じしていき、図11に示すように、圧縮成形によって全体が溶融した樹脂Rbを上型42のキャビティC1で充填してワークW1の面80aで成形する。樹脂Rbに熱硬化性樹脂を用いた場合には、金型40の成形温度によって樹脂Rbが熱硬化してキャビティC1の形状に成形される。そして、金型40を型開きして金型40から離型させた成形後のワークW2を、図1に示すように、アンローダ24によって成形品収納部18へ搬送して収納する。   Next, the mold 40 is further closed from the mold 40 in the mold-closed state, and as shown in FIG. 11, the resin Rb, which is entirely melted by compression molding, is filled in the cavity C1 of the upper mold 42. Molding is performed on the surface 80a of the workpiece W1. When a thermosetting resin is used for the resin Rb, the resin Rb is thermoset according to the molding temperature of the mold 40 and molded into the shape of the cavity C1. Then, the molded workpiece W2 that is opened from the mold 40 and released from the mold 40 is conveyed and stored in the molded product storage section 18 by the unloader 24 as shown in FIG.

本実施形態では、図12に示すように、面80a側の電子部品82が樹脂Rbで封止された成形品(ワークW2)が製造される。前述したように、ワークW1上の樹脂Rbの表面部分Rbsを溶融させてワークW1に接着することにより搬送時の樹脂落下を防止することができ、ワーク搬送の際に樹脂Rbも搬送することができる。したがって、効率良く樹脂Rbを搬送することができ、樹脂成形の生産性を向上させることができる。   In the present embodiment, as shown in FIG. 12, a molded product (work W2) in which the electronic component 82 on the surface 80a side is sealed with the resin Rb is manufactured. As described above, by melting the surface portion Rbs of the resin Rb on the workpiece W1 and bonding it to the workpiece W1, it is possible to prevent the resin from dropping during conveyance, and the resin Rb can also be conveyed during workpiece conveyance. it can. Therefore, the resin Rb can be efficiently conveyed, and the productivity of resin molding can be improved.

以上、本発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、次のとおり、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。   The present invention has been specifically described above based on the embodiments. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist thereof as follows. Nor.

例えば、前記実施形態1、2では、ワークとして孔の空いた基板に適用した場合について説明したが、孔の空いていない基板にも適用することができる。   For example, in the first and second embodiments, the case where the workpiece is applied to a substrate having a hole is described. However, the present invention can also be applied to a substrate having no hole.

例えば、前記実施形態1では、ポット内に供給するトランスファ成形用の樹脂としてタブレット樹脂を適用した場合について説明したが、顆粒樹脂、液状樹脂、シート樹脂、粉状樹脂を適用することもできる。   For example, in the first embodiment, the case where the tablet resin is applied as the transfer molding resin supplied into the pot has been described. However, a granule resin, a liquid resin, a sheet resin, and a powder resin can also be applied.

また、圧縮成形用の樹脂Rbとしては、所定温度以下にすることで硬化する熱可塑性樹脂を用いてもよい。この場合、金型40に冷却部を設けることで、樹脂Rbの温度を下げて硬化させてから成形後のワークW2を金型40から取り出すこともできる。樹脂Rbとして、例えば、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、不飽和ポリエステル又は液晶ポリマーといったエンジニアリングプラスチック(スーパーエンジニアリングプラスチック)を用いることもできる。   Further, as the resin Rb for compression molding, a thermoplastic resin that is cured by being set to a predetermined temperature or lower may be used. In this case, by providing a cooling unit in the mold 40, the molded workpiece W2 can be taken out from the mold 40 after the temperature of the resin Rb is lowered and cured. As the resin Rb, for example, engineering plastic (super engineering plastic) such as polyphenylene sulfide (PPS), unsaturated polyester, or liquid crystal polymer can be used.

Rb 樹脂
Rbs 表面部分
W1 ワーク
Rb Resin Rbs Surface part W1 Workpiece

Claims (2)

(a)一方および他方の面を有する板状のワークの前記一方の面上に圧縮成形用樹脂を供給する工程と、(A) supplying a resin for compression molding onto the one surface of the plate-like workpiece having one and other surfaces;
(b)前記圧縮成形用樹脂の表面部分を溶融させるように前記圧縮成形用樹脂に熱を加える工程と、(B) applying heat to the compression molding resin so as to melt the surface portion of the compression molding resin;
(c)表面部分が溶融した前記圧縮成形用樹脂と共に前記ワークを型開きした金型内に搬送して供給する工程と、(C) a step of transporting and supplying the workpiece into a mold opened with the compression molding resin having a melted surface portion;
(d)型閉じした前記金型において、圧縮成形によって全体が溶融した前記圧縮成形用樹脂を前記金型の一方のキャビティで充填して前記ワークの前記一方の面で成形する工程と、(D) in the mold closed, filling the compression molding resin melted entirely by compression molding in one cavity of the mold and molding on the one surface of the workpiece;
(e)前記(d)工程の前で型開きした前記金型のポット内にトランスファ成形用樹脂を供給する工程と、(E) supplying a transfer molding resin into the mold pot opened before the step (d);
(f)型閉じした前記金型において、トランスファ成形によって前記ポット内で溶融した前記トランスファ成形用樹脂を圧送して前記金型の他方のキャビティに充填して前記ワークの前記他方の面で成形する工程と、(F) In the mold closed, the transfer molding resin melted in the pot by transfer molding is pumped to fill the other cavity of the mold and molded on the other surface of the workpiece. Process,
を含むことを特徴とする樹脂成形方法。A resin molding method comprising:
一方および他方の面を有する板状のワークに対して樹脂成形を行う金型と、A mold for performing resin molding on a plate-like workpiece having one and other surfaces;
前記金型外に設けられ、前記ワークが前記他方の面側でセットされるステージと、A stage provided outside the mold, and the workpiece is set on the other surface side;
前記金型外に設けられ、前記ステージにセットされた前記ワークの前記一方の面上に圧縮成形用樹脂を供給する樹脂供給部と、A resin supply unit that is provided outside the mold and supplies compression molding resin onto the one surface of the workpiece set on the stage;
前記金型外に設けられ、前記ワークに供給された前記圧縮成形用樹脂の表面部分を溶融させるよう前記一方の面上の前記圧縮成形用樹脂と離れた位置から熱を加える加熱部と、A heating unit that is provided outside the mold and applies heat from a position away from the compression molding resin on the one surface so as to melt the surface portion of the compression molding resin supplied to the workpiece;
前記ステージから型開きした前記金型内へ、表面部分が溶融した前記圧縮成形用樹脂と共に前記ワークを搬送して供給するローダと、A loader that transports and supplies the workpiece together with the compression molding resin whose surface portion is melted into the mold opened from the stage;
を備え、With
前記ワークおよび前記圧縮成形用樹脂が供給されて型閉じした前記金型において、圧縮成形によって全体が溶融した前記圧縮成形用樹脂が前記金型の一方のキャビティで充填され前記ワークの前記一方の面に成形される構成であり、In the mold closed by supplying the workpiece and the compression molding resin, the compression molding resin melted entirely by compression molding is filled in one cavity of the mold, and the one surface of the workpiece Is formed into a structure,
型開きした前記金型のポット内にトランスファ成形用樹脂が前記ローダによって供給されて型閉じした前記金型において、トランスファ成形によって前記ポット内で溶融した前記トランスファ成形用樹脂が圧送され前記金型の他方のキャビティに充填され、前記ワークの前記他方の面に成形される構成であることIn the mold, the mold is opened and the mold is closed by the transfer molding resin being supplied by the loader, the transfer molding resin melted in the pot by the transfer molding is pumped and the mold is closed. The other cavity is filled and formed on the other surface of the workpiece.
を特徴とする樹脂成形装置。A resin molding device.
JP2015145665A 2015-07-23 2015-07-23 Resin molding method and resin molding apparatus Active JP6499941B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015145665A JP6499941B2 (en) 2015-07-23 2015-07-23 Resin molding method and resin molding apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015145665A JP6499941B2 (en) 2015-07-23 2015-07-23 Resin molding method and resin molding apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017024277A JP2017024277A (en) 2017-02-02
JP6499941B2 true JP6499941B2 (en) 2019-04-10

Family

ID=57949184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015145665A Active JP6499941B2 (en) 2015-07-23 2015-07-23 Resin molding method and resin molding apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6499941B2 (en)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000012746A (en) * 1998-06-25 2000-01-14 Matsushita Electric Works Ltd Sealing formation method of semiconductor
JP4336502B2 (en) * 2003-01-30 2009-09-30 Towa株式会社 Resin sealing molding method and apparatus for electronic parts
SG172031A1 (en) * 2008-12-10 2011-07-28 Sumitomo Bakelite Co Granulated epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device using same, and method for manufacturing semiconductor device
JP5499986B2 (en) * 2010-08-11 2014-05-21 富士通セミコンダクター株式会社 Semiconductor device manufacturing method and semiconductor manufacturing apparatus
JP5793806B2 (en) * 2011-08-17 2015-10-14 アピックヤマダ株式会社 Resin molding equipment
KR101950894B1 (en) * 2011-11-08 2019-04-22 아피쿠 야마다 가부시키가이샤 Resin molding apparatus
JP6137679B2 (en) * 2013-05-13 2017-05-31 アピックヤマダ株式会社 Resin molding apparatus and resin molding method

Also Published As

Publication number Publication date
JP2017024277A (en) 2017-02-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6444381B2 (en) Resin mold and resin molding method
KR101643451B1 (en) Resin-sealing apparatus and resin-sealing method
TWI593538B (en) Resin molding die set and resin molding apparatus
JP5985402B2 (en) Resin sealing device and resin sealing method
JP7084349B2 (en) Resin molding equipment and manufacturing method of resin molded products
TWI689400B (en) Resin molding device and method for manufacturing resin molded product
JP5550864B2 (en) Resin sealing device and resin sealing method
TWI688056B (en) Resin molding device and method for manufacturing resin molded product
KR20180081792A (en) Resin sealing apparatus and resin sealing method
TW201910088A (en) Transport mechanism of resin molded product, resin molding device, and method of manufacturing resin molded article
JP6499941B2 (en) Resin molding method and resin molding apparatus
TWI810451B (en) Molding die, resin molding device, and method for manufacturing resin molded products
KR102289910B1 (en) Resin molding device and method for preparing resin-molded product
CN111216301B (en) Molding die, resin molding device, and method for manufacturing resin molded article
JP6721412B2 (en) Resin setting method and resin molding method
KR101667864B1 (en) Resin sealing device and resin sealing method
JP6611631B2 (en) Resin molding method and resin molding apparatus
CN109689330B (en) Compression molding device, compression molding method, and method for manufacturing compression molded product
JP6861507B2 (en) Compression molding equipment, compression molding method, and manufacturing method of compression molded products
JP2004311855A (en) Mold for resin seal molding of electronic part
JP2000167841A (en) Resin sealing device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180307

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190129

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190205

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190218

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20190305

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20190318

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6499941

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250