JP6496184B2 - 試料導入方法、試料ステージ、および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
荷電粒子線装置の試料室に水を含む試料を導入するための試料導入方法であって、
前記試料を試料支持部に取り付ける工程と、
前記試料の所定の領域を水分保持材で覆う工程と、
前記所定の領域が前記水分保持材で覆われた前記試料が収容された前記試料室を真空排気する工程と、
前記水分保持材で覆われた前記所定の領域を露出させる工程と、
を含む。
ができる。さらに、このような試料導入方法では、気化熱によって試料が凍結することを防ぐことができる。
前記所定の領域を露出させる工程では、前記試料と前記水分保持材とを相対的に移動させて、前記所定の領域を露出させてもよい。
前記所定の領域を露出させる工程では、前記試料支持部を移動させて、前記所定の領域を露出させてもよい。
前記所定の領域を露出させる工程では、前記水分保持材を移動させて、前記所定の領域を露出させてもよい。
前記試料室を真空排気する工程では、前記試料は冷却されてもよい。
荷電粒子線装置用の試料ステージであって、
試料を支持する試料支持部と、
前記試料の所定の領域を覆う水分保持材を保持可能な保持部と、
前記試料支持部または前記保持部を移動させる移動機構と、
を含み、
前記移動機構は、前記試料と前記水分保持材とを相対的に移動させて前記水分保持材に覆われた前記所定の領域が露出するように前記試料支持部または前記保持部を移動させる。
荷電粒子線装置用の試料ステージであって、
試料を支持する試料支持部と、
前記試料支持部を移動させる移動機構と、
前記試料の所定の領域を覆う水分保持材が前記試料支持部の移動に伴って移動することを規制する規制部と、
を含む。
析を行う際には、試料の所定の領域を露出させて観察または分析を行うことができる。
本発明に係る試料ステージを含む。
前記所定の領域を露出させる工程の後に、前記水分保持材を前記試料室と仕切り弁を介して接続された水分保持材収容室に収容する工程を含んでいてもよい。
前記水分保持材を前記水分保持材収容室から前記試料室に移動させ、前記試料室において前記水分保持材の水分を蒸発させて前記試料に水分を供給する工程を含んでいてもよい。
前記所定の領域を露出させる工程の後に、前記試料室において、前記水分保持材を容器に収容する工程を含んでいてもよい。
本発明に係る試料ステージと、
前記試料が導入される試料室と仕切り弁を介して接続され、前記水分保持材を収容可能な水分保持材収容室と、
を含む。
1.1. 試料ステージ
まず、第1実施形態に係る試料ステージについて図面を参照しながら説明する。図1および図2は、第1実施形態に係る試料ステージ100の構成を模式的に示す図である。なお、図1および図2は、試料ステージ100が走査電子顕微鏡の試料室2に収容されている状態を図示している。また、図1および図2には、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
材34とは、Y軸方向において、離間している。そのため、ホルダー支持部材34は、試料支持部10のY軸方向の移動を妨げない。
変形例」で説明するように、試料支持部10を固定し、保持部移動機構によって保持部30を移動させることで、試料Sの上面を露出させてもよい。このように、試料支持部10と保持部30とを相対的に移動させることで、試料Sの上面を露出させることができる。
次に、第1実施形態に係る試料ステージ100を用いた試料導入方法について図面を参照しながら説明する。図4は、第1実施形態に係る試料ステージ100を用いた試料導入方法の一例を示すフローチャートである。
機構40Xによって試料支持部10を移動させることで、試料Sの所定の領域を水分保持材20で覆った状態から、試料Sの所定の領域を露出させた状態にすることができる。したがって、試料ステージ100では、試料Sを試料室2に導入する際には、試料Sの所定の領域を水分保持材20で覆って水分の蒸発を抑制して試料Sの乾燥、凍結を防ぐことができ、試料Sの観察または分析を行う際には、試料Sの所定の領域を露出させて観察または分析を行うことができる。
次に、第1実施形態に係る試料ステージの変形例について図面を参照しながら説明する。図9および図10は、第1実施形態の変形例に係る試料ステージ102の構成を模式的に示す図である。以下、第1実施形態の変形例に係る試料ステージ102において、第1実施形態に係る試料ステージ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
2.1. 試料ステージ
次に、第2実施形態に係る試料ステージについて、図面を参照しながら説明する。図12は、第2実施形態に係る試料ステージ200の構成を模式的に示す図である。なお、図12は、試料ステージ200が走査電子顕微鏡の試料室2に収容されている状態を図示している。以下、第2実施形態に係る試料ステージ200において、第1実施形態に係る試料ステージ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
とで、水分を保持することができる。水分保持材20は、図示の例では、試料Sの上面および側面を覆っている。水分保持材20は、シート状であるため、試料Sを容易に覆うことができる。
次に、第2実施形態に係る試料ステージ200を用いた試料導入方法について図面を参照しながら説明する。図13は、水分保持材20で覆われた試料Sの所定の領域(上面および側面)を露出させる工程(図4に示すステップS106)を模式的に示す図である。以下、図4に示すフローチャートを参照しながら説明する。なお、上述した第1実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
3.1. 試料ステージ
次に、第3実施形態に係る試料ステージについて図面を参照しながら説明する。図17は、第3実施形態に係る試料ステージ300の構成を模式的に示す図である。なお、図17は、試料ステージ300が走査電子顕微鏡の試料室2に収容されている状態を図示している。以下、第3実施形態に係る試料ステージ300において、第1実施形態に係る試料ステージ100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第3実施形態に係る試料ステージ300を用いた試料導入方法について図面を参照しながら説明する。図18は、水分保持材20で覆われた試料Sの所定の領域(上面および側面)を露出させる工程(図4に示すステップS106)を模式的に示す図である。以下、図4に示すフローチャートを参照しながら説明する。なお、上述した第1実施形態と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、第4実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図19は、第4実施形態に係る荷電粒子線装置1000の構成を模式的に示す図である。
ブの照射点から放出される二次電子を二次電子検出器1040で検出して画像化する装置である。また、荷電粒子線装置1000では、電子線E1を試料Sに照射した際に発生する特性X線をエネルギー分散型の放射線検出器1050にて検出して、そのX線をエネルギーで弁別し、スペクトルを得ることができる。すなわち、荷電粒子線装置1000は、エネルギー分散型のX線検出器を備えた走査電子顕微鏡である。
せず)に記憶される。この画像データにより、試料Sの走査電子像(SEM像)が生成される。
5.1. 荷電粒子線装置
次に、第5実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図20は、第5実施形態に係る荷電粒子線装置2000の要部を模式的に示す図である。以下では、上述した試料ステージ100および荷電粒子線装置1000の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、第5実施形態に係る荷電粒子線装置2000を用いた試料導入方法について図面を参照しながら説明する。図21は、第5実施形態に係る荷電粒子線装置2000を用いた試料導入方法の一例を示すフローチャートである。図22〜図25は、荷電粒子線装置2000を用いた試料導入工程を模式的に示す図である。
持材20を試料Sの近傍に配置することで、例えば仕切り弁5を開いただけの場合(すなわち、水分保持材収容室4に水分保持材20が配置されている状態)と比べて、単位時間あたりに試料Sに供給される水分量を増やすことができる。
次に、第5実施形態に係る荷電粒子線装置の変形例について図面を参照しながら説明する。図26は、第5実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置2002の構成を模式的に示す図である。以下、第5実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置2002において、上述した荷電粒子線装置2000の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第6実施形態に係る荷電粒子線装置について図面を参照しながら説明する。図27は、第6実施形態に係る荷電粒子線装置3000の要部を模式的に示す図である。なお、以下では、上述した試料ステージ100,400および荷電粒子線装置1000,2000の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
次に、第6実施形態に係る荷電粒子線装置の変形例について図面を参照しながら説明する。図29および図30は、第6実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置3002の構成を模式的に示す図である。なお、図29は、水分保持材20を容器3010に収容した状態を図示し、図30は、水分保持材20で試料Sを覆った状態を図示している。以下、第6実施形態の変形例に係る荷電粒子線装置3002において、上述した荷電粒子線装置3000の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
002…荷電粒子線装置、3010…容器、3020…蓋部材移動機構
Claims (12)
- 荷電粒子線装置の試料室に水を含む試料を導入するための試料導入方法であって、
前記試料を試料支持部に取り付ける工程と、
前記試料の所定の領域を水分保持材で覆う工程と、
前記所定の領域が前記水分保持材で覆われた前記試料が収容された前記試料室を真空排気する工程と、
前記水分保持材で覆われた前記所定の領域を露出させる工程と、
を含む、試料導入方法。 - 請求項1において、
前記所定の領域を露出させる工程では、前記試料と前記水分保持材とを相対的に移動させて、前記所定の領域を露出させる、試料導入方法。 - 請求項1または2において、
前記所定の領域を露出させる工程では、前記試料支持部を移動させて、前記所定の領域を露出させる、試料導入方法。 - 請求項1または2において、
前記所定の領域を露出させる工程では、前記水分保持材を移動させて、前記所定の領域を露出させる、試料導入方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記試料室を真空排気する工程では、前記試料は冷却される、試料導入方法。 - 荷電粒子線装置用の試料ステージであって、
試料を支持する試料支持部と、
前記試料の所定の領域を覆う水分保持材を保持可能な保持部と、
前記試料支持部または前記保持部を移動させる移動機構と、
を含み、
前記移動機構は、前記試料と前記水分保持材とを相対的に移動させて前記水分保持材に覆われた前記所定の領域が露出するように前記試料支持部または前記保持部を移動させる、試料ステージ。 - 荷電粒子線装置用の試料ステージであって、
試料を支持する試料支持部と、
前記試料支持部を移動させる移動機構と、
前記試料の所定の領域を覆う水分保持材が前記試料支持部の移動に伴って移動することを規制する規制部と、
を含む、試料ステージ。 - 請求項6または7に記載の試料ステージを含む、荷電粒子線装置。
- 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記所定の領域を露出させる工程の後に、前記水分保持材を前記試料室と仕切り弁を介して接続された水分保持材収容室に収容する工程を含む、試料導入方法。 - 請求項9において、
前記水分保持材を前記水分保持材収容室から前記試料室に移動させ、前記試料室において前記水分保持材の水分を蒸発させて前記試料に水分を供給する工程を含む、試料導入方法。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記所定の領域を露出させる工程の後に、前記試料室において、前記水分保持材を容器に収容する工程を含む、試料導入方法。 - 請求項6または7に記載の試料ステージと、
前記試料が導入される試料室と仕切り弁を介して接続され、前記水分保持材を収容可能な水分保持材収容室と、
を含む、荷電粒子線装置。
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