JP6491928B2 - レプリカモールドおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
(実施形態1)
図面を参照して、本発明の実施形態1によるレプリカモールド101の製造方法を説明する。図2(a)〜(e)は、本発明の好ましい実施形態1によるレプリカモールド101の製造方法の手順を説明する模式図である。
図4(a)〜(c)は、本発明の好ましい実施形態2によるレプリカモールド101の製造方法の手順を説明する模式図である。
残留応力による湾曲(X)及び自重たわみ(W)の測定方法の概略図を図5に示す。残留応力による湾曲(X)及び自重たわみ(W)の測定は以下の手順で行った。
次に、本実施形態に係るレプリカモールド101を備える微細構造転写装置を用いた微細構造転写方法について、主に図6(a)〜(d)を参照しながら説明する。以下の説明における上下の方向は、図6(a)に示す上下の方向を基準とする。
図2(a)〜(d)に示す実施形態1の手順で、実施例1〜5、比較例1〜4に係るレプリカモールドを作製した。レプリカモールドの作製に使用するマスターモールド201は、直径150mm、厚さ1.0mm、材料単結晶シリコンの円板形状のものを用いた。このマスターモールドの表面には、中央より外径74mmの範囲に、フォトリソグラフィーにより形成したドットパターン(直径1.8μm、高さ3μm)の微細構造が形成されている。まず図2(a)のように、マスターモールドの微細構造を有する面上に、表1及び表2中に示す各々の第1の軟質材料103を実施例1、3〜5、比較例1〜4では0.5mm、実施例2では1.0mmの厚さに積層した。次に、図2(b)のようにこの第1の軟質材料103は、表1及び表2中に示す各々の硬化条件により硬化を行い第1の軟質材料103を形成した。実施例4及び比較例3の第1の軟質材料103は、室温23℃において、200mJの紫外線を照射し形成した。
図4(a)〜(c)に示す実施形態2の手順で、実施例6、比較例5に係るレプリカモールドを作製した。まず図4(a)のように、マスターモールドの微細構造を有する面上に、表1及び表2中に示す軟質材料を2.0mmの厚さに積層した。レプリカモールドの製造に使用するマスターモールド201は実施例1〜5、比較例1〜4に使用したものと同様のものを使用した。ここで、軟質材料401のマスターモールド側、及びその背面側の領域をそれぞれ第1の軟質材料103’及び第2の軟質材料102’とする。
表1及び表2に、実施例1〜6及び比較例1〜5に係るレプリカモールドの作製に用いた第1の軟質材料及び第2の軟質材料の製品名、架橋型、硬化温度、硬化時間、厚みを示す。また表1及び表2に、実施例1〜6及び比較例1〜5に係るレプリカモールドの残留応力による湾曲(X)、自重たわみ(W)、残留応力による湾曲と自重たわみの和(X+W)、転写性を示す。
Claims (4)
- 軟質材料から形成され、表面に微細構造をもつレプリカモールドであって、
前記レプリカモールドは、互いに収縮率が異なる第1の軟質材料と、第2の軟質材料とによる2層の前記軟質材料を備え、前記第2の軟質材料を前記第1の軟質材料と比較し、収縮率が大きくなるように構成し、かつ前記第1の軟質材料が表面に前記微細構造を有し、
前記レプリカモールドは、前記微細構造を有する面が前記第1、第2の軟質材料間の収縮率の大小関係によって生じる残留応力により凸状となるように湾曲しており、
前記レプリカモールドは、開口部を有する治具に前記微細構造を有する面を下方に向けて載せ、前記レプリカモールドの直径に対して最外周から1〜5%の位置を前記開口部の縁によって係合させて支持させた場合に、前記レプリカモールドの自重たわみと前記残留応力による前記湾曲との和が前記治具の開口部の直径に対して2.0%乃至6.0%であることを特徴とするレプリカモールド。 - 前記軟質材料が、ポリジメチルシロキサンを原料とするシリコーンゴムを含むことを特徴とする請求項1に記載のレプリカモールド。
- 前記レプリカモールドの前記残留応力による前記湾曲は、前記直径に対して1.0乃至5.0%であることを特徴とする請求項1に記載のレプリカモールド。
- 被転写体に接触させて微細構造を転写させるレプリカモールドの製造方法であって、
前記微細構造が形成されたマスターモールド上に第1の軟質材料を積層する工程と、
前記第1の軟質材料を室温硬化、熱硬化、または紫外線硬化させて前記微細構造が転写された第1の軟質材料を形成する工程と、
前記硬化された第1の軟質材料の微細構造と反対側の面上に、第2の軟質材料を積層する工程と、
前記第2の軟質材料を、前記第1の軟質材料を硬化させた温度よりも高い温度で熱硬化させる工程と、
前記第1及び第2の軟質材料からなるレプリカモールドを冷却又は自然放冷し、前記第1の軟質材料と前記第2の軟質材料との熱収縮率の違いによって前記レプリカモールドに残留応力を生じさせる工程とを具備し、
前記残留応力によって前記レプリカモールドの前記第1の軟質材料側が凸状を有するレプリカモールドの製造方法。
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