JP6491890B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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- 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを試料に照射するための光学素子を備えた荷電粒子ビームカラムと、当該荷電粒子ビームカラムを通過した前記荷電粒子ビームを試料上に集束させる対物レンズを備えた荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記荷電粒子ビームカラムとの間に、前記荷電粒子ビームカラムに対して相対的に前記荷電粒子ビームの照射方向の剛性が低い第1の部材を介在させると共に、当該部材の一方側と前記荷電粒子ビームカラムとを互いに重なる箇所で固定する第1の固定部材と、当該第1の部材の他方側とを互いに重なる箇所で前記対物レンズとの間を固定、或いは前記対物レンズと、当該対物レンズと前記第1の部材との間に配置され前記対物レンズに固定される第2の部材とを固定する前記第1の固定部材と別体の第2の固定部材とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1の部材は、前記対物レンズの物点と同じ高さに配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを試料に照射するための光学素子を備えた荷電粒子ビームカラムと、当該荷電粒子ビームカラムを通過した前記荷電粒子ビームを試料上に集束させる対物レンズを備えた荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記荷電粒子ビームカラムとの間に配置され、前記荷電粒子ビームカラムに対して相対的に前記荷電粒子ビームの照射方向の剛性が低く、当該対物レンズと荷電粒子ビームカラムに固定される第1の部材と、
当該第1の部材の第1の位置にて、当第1の部材と前記荷電粒子ビームカラムを固定する第1の固定部材と、
前記荷電粒子ビームの照射方向から見て、前記第1の部材内であって、前記第1の位置とは異なる第2の位置にて、当該第1の部材と前記対物レンズとを固定、或いは前記対物レンズと、当該対物レンズと前記第1の部材との間に配置され前記対物レンズに固定される第2の部材とを固定する第2の固定部材とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第1の部材は、前記対物レンズの物点と同じ高さに配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第1の部材は、前記荷電粒子ビームカラムに対し、相対的に前記荷電粒子ビーム照射方向の剛性が低い部材であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第1の位置は、前記荷電粒子ビーム光軸から距離D2の位置であり、前記第2の位置は、距離D2より大きい距離D1の位置であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6において、
前記第1の位置と前記第2の位置が異なる高さ位置となるように、前記第1の部材が形成されていることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7において、
前記第1の部材は、厚肉部と薄肉部を有するリング状であって、薄板部と、前記対物レンズ、前記荷電粒子ビームカラム、及び前記第2の部材の内と1つと固定されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第1の位置と前記第2の位置は、前記荷電粒子ビーム光軸から同じ距離に位置すると共に、当該第1の位置と、前記第2の位置は、前記第1の部材上で交互に配置されることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第2の部材は、前記荷電粒子ビームカラムの一部を構成する部材であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記第2の部材は、前記対物レンズが搭載される試料室の一部であることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 荷電粒子源から放出される荷電粒子ビームを試料に照射するための光学素子を備えた荷電粒子ビームカラムと、当該荷電粒子ビームカラムを通過した前記荷電粒子ビームを試料上に集束させる対物レンズを備えた荷電粒子線装置において、
前記対物レンズと前記荷電粒子ビームカラムとの間に配置され、前記荷電粒子ビームカラムに対して相対的に前記荷電粒子ビームの照射方向の剛性が低く、当該対物レンズと荷電粒子ビームカラムに固定される第1の部材と、
当該第1の部材の第1の位置にて、当第1の部材と前記荷電粒子ビームカラムを固定する第1の固定部材と、
前記荷電粒子ビームの照射方向とは直交する方向から見て、第1の位置とは異なる高さ位置の第2の位置にて、当該第1の部材と前記対物レンズとを固定、或いは前記対物レンズと、当該対物レンズと前記第1の部材との間に配置され前記対物レンズに固定される第2の部材とを固定する第2の固定部材とを備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
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JP2015009050A JP6491890B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 荷電粒子線装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2015009050A JP6491890B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 荷電粒子線装置 |
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JP2015009050A Active JP6491890B2 (ja) | 2015-01-21 | 2015-01-21 | 荷電粒子線装置 |
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