JP6608329B2 - 荷電粒子ビーム装置 - Google Patents
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Description
前記試料室の上方に配置され、前記試料に荷電粒子ビームを照射する光学系を有し、前記光学系の各構成に対応して分割される複数の分割体を上下方向に接合した鏡筒と、
前記鏡筒の外側面前記複数の分割体のうち、前記鏡筒の軸長方向の中央部よりも上側に位置する所定の分割体の外側面と前記試料室の上面とに接合される支持部材と、を備える荷電粒子ビーム装置が提供される。
前記支持部材は、前記ブランキングアパーチャに対応する分割体に接合されてもよい。
前記支持部材は、前記試料室の角にそれぞれ配置される3つ以上の支持部を有してもよい。
前記鏡筒の外側面に接合される分割支持部と、前記試料室の上面に接合される分割支持部とは、それぞれ少なくとも一次元方向に長さを可変可能であってもよい。
Claims (5)
- 試料を移動自在に載置するステージが収納される試料室と、
前記試料室の上方に配置され、前記試料に荷電粒子ビームを照射する光学系を有し、前記光学系の各構成に対応して分割される複数の分割体を上下方向に接合した鏡筒と、
前記鏡筒の外側面前記複数の分割体のうち、前記鏡筒の軸長方向の中央部よりも上側に位置する所定の分割体の外側面と前記試料室の上面とに接合される支持部材と、を備え、
前記所定の分割体は、前記鏡筒の軸長方向の中央よりも上側に位置し、かつ前記荷電粒子ビームを前記光学系に放射するビーム銃よりも下側に位置する分割体である荷電粒子ビーム装置。 - 前記光学系は、荷電粒子ビームを複数のビームに分割した後に、分割された各ビームを偏向させるか否かを制御するブランキングアパーチャを有し、
前記支持部材は、前記ブランキングアパーチャに対応する分割体に接合される請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記支持部材は、剛体材料で形成される請求項1又は2に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記試料室は、上面が多角形形状であり、
前記支持部材は、前記試料室の角にそれぞれ配置される3以上の支持部を有する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。 - 前記支持部材は、複数の分割支持部を接合した接合体であり、
前記鏡筒の外側面に接合される分割支持部と、前記試料室の上面に接合される分割支持部とは、それぞれ少なくとも一次元方向に長さを可変可能である請求項1乃至4のいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
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