JP6491216B2 - 対流加熱及び放射加熱を用いた炉 - Google Patents

Description

発明の詳細な説明

［発明の分野］
本発明は、温度被制御部内に配置され、温度被制御部の温度を制御することによって（被覆された）基体の温度を制御する、数個の温度制御要素を備えた炉、特に連続炉に関する。さらに、本発明は、炉によって基体を焼き戻す方法に関する。
［発明の背景］
大容量の炉を提供するためには、トンネル炉や連続炉が使用される。連続炉とは連続的に処理を行う炉であり、この炉において、加熱される材料、例えば金属材料は入口で炉内に供給され、炉の加熱部を通過して、最終的に出口を抜けて取り出される。

一般的に、連続炉は、加熱される材料の搬送方向に沿って順次配置されている数個の加熱部を備えている。例えば、連続炉は、材料の搬送方向に沿って順次配置されている予熱区間、焼成区間、及び冷却区間を備えている。

材料を、連続炉内を通過させて搬送するためには、材料を、材料が搬送方向に沿って転動する炉のローラまたは他の手段上で支持する。具体的には、材料を炉内において搬送方向に沿って搬送するために、ローラを例えば駆動ベルトによって駆動する。

材料を加熱区間内で加熱するには、加熱ガスまたは処理ガスをそれぞれの加熱区間内に注入する。連続炉の設計、すなわち入口と出口の各開口の設計に起因して、加熱ガスを炉の周囲環境から分離することは複雑で手間がかかる。したがって、連続炉の温度制御を正確に行うこと、そして連続炉のエネルギー効率が良いことが求められている。
［発明の目的及び概要］
本発明の目的は、材料の温度の制御をより効率的で正確に行う炉を提供することである。

この目的は、独立請求項に係る炉、特に連続炉によって、及び、基体の温度を炉で制御する方法によって、解決される。
本発明の第１の態様によれば、少なくとも１つの基体の温度を制御する炉、特に連続炉が提示されている。炉はハウジングと温度制御要素とを備えている。ハウジングは取入口と取出口とを備えていて、取入口と取出口との間には温度被制御部が形成されている。少なくとも１つの基体を担持する担持要素は、取入口を通って温度被制御部内に入り、温度被制御部から取出口へと通過する搬送方向に沿って可動である。温度制御要素は温度被制御部に熱的に結合されていて、温度被制御部の温度を制御する、すなわち放熱や吸収によって制御する。温度被制御部はガス注入口を備えてして、ガス注入口を通って、ガスが、温度被制御部の温度を制御するために吹き込み可能である、つまり対流によって制御可能である。

本発明のさらなる態様によれば、炉によって少なくとも１つの基体の温度を制御する方法が提示されている。本方法によれば、少なくとも１つの基体を担持する担持要素を、取入口を通って温度被制御部内に入り、温度被制御部から取出口へと通過する搬送方向に沿って移動する。炉は、取入口と取出口とを備えたハウジングを備えており、取入口と取出口の間には温度被制御部が形成されている。さらに、本方法によれば、温度被制御部の温度を、温度被制御部に熱的に結合されている温度制御要素（の熱エネルギーの放射または吸収）によって制御する。さらに、温度被制御部の温度を（つまり対流で）制御するガスを、ガス注入口を通って温度被制御部内へと吹き込む。

炉は、取入口と取出口とを備えたハウジングを備えている。取入口と取出口との間には温度被制御部が形成されている。温度被制御部は、温度被制御部内部を所望の温度にすることによって基体の温度を制御するために、温度制御（例えば加熱または冷却）が行われてもよい。ハウジングはトンネル形に形成されていてもよく、加熱及び／または冷却処理中にはこのトンネル内を、少なくとも１つの基体が搬送される。温度被制御部の内部容積を、ハウジングを取り囲む環境から分離するために、ハウジングは断熱材料でできていてもよい。

ハウジングは１つまたは複数の温度被制御部を備えていてもよい。各温度被制御部は搬送方向に沿って順次配置されていてもよく、この方向で、基体がハウジング内を通過するように搬送される。各温度被制御部は、それぞれの取入口及び取出口を備えていてもよい。さらに、各温度被制御部は所望の温度を有していてもよく、これにより、少なくとも１つの基体を、各温度被制御部内で所望の温度で温度制御（つまり加熱または冷却）してもよい。例えば、搬送方向に沿って、第１温度被制御部は予熱区間であってもよく、後続の別の温度被制御部は加熱部であってもよく、ここでは例えば基体の最高温度に到達する。そして、後続の温度被制御部は冷却区間であってもよく、ここでは加熱された基体を所望の温度勾配（時間当たりの温度、例えばＴ／ｓ）で冷却してもよい。

加熱される基体は、例えばセラミック部材または金属部材であってもよい。金属部材は特に金属板であってもよい。例えば、金属板は所望の合金材料、例えばアルミニウム、シリコーン、または他の所望の合金材料でプレコートされていてもよい。

温度被制御部は、例えば２００℃から１０００℃、特に２１００℃までの間で加熱してもよい。
担持要素はハウジングを通過するように可動である。担持要素は、基体が載置されている担持部を備えている。担持要素は例えば矩形、円形、及び／または杯状の形状であってもよい。担持要素はセラミック材料等の耐高温材料でできていてもよい。担持要素は、頑強で非可撓、かつ非弾性の変形可能な材料でできている。さらに、担持要素は平坦な底部を備えていてもよく、この底部によって担持要素はハウジングの底部上に接触している。例えば、底部は、担持要素が底部に沿って摺動するように担持要素の底部とハウジングの底部との間の摩擦を小さくするために、粗さが小さく形成されている。別の実施形態では、担持要素は、担持要素とハウジングの底部との間の摩擦を小さくするために、自身の底部にローラを備えていてもよい。

温度被制御部に対して正確で効率的な温度制御を実現するために、本発明で用いた方法は、放射加熱と対流加熱の両方を施すことである。放射加熱は、温度被制御部に熱的に結合している温度制御要素によって施される。熱的結合（つまり、温度制御要素と温度被制御部の内部容積との間における熱相互作用及び熱エネルギー交換）は、例えば、温度制御要素を温度被制御部内に配置することによって実現してもよい。さらに、温度制御要素は、外部の加熱装置によって加熱される、ハウジング自体と一体化している部分であっても、一つの部であってもよい。例えば、ハウジングのある部が、加熱器や冷却器が位置するハウジングの外部から加熱される温度制御要素を構成していてもよい。

対流加熱は、ハウジング内に形成されているガス注入口によって施され、この注入口を通って、ガスが温度被制御部の温度を制御するために流動可能である。
従来用いていた方法では、連続炉は対流加熱を用いており、この場合、温度を正確に調節するには、ガスを高質量流量で温度被制御部内に供給しなければならない。よって、大量のガスを加熱しなければならないので、効率が低下してしまう。

本発明が用いる手法により、対流加熱に加えて、さらに温度制御要素は放射加熱を施すので、質量流量、したがってガス量を低減することができ、一方で温度被制御部内の温度は、これまで通り正確に調整可能である。

温度制御要素は、例えば、広い熱放射面及び／または熱吸収面を備えた板状部材であってもよい。温度制御要素の材料は、５０Ｗ／（ｍ＊Ｋ）より高い、特に９０Ｗ／（ｍ＊Ｋ）より高い伝熱係数を有していてもよい。温度制御要素は、適切な伝熱特性が得られるように、例えば金属材料でできていてもよい。

温度制御要素は、例えば、ハウジングの底部、頂壁、または側壁に配置されていてもよい。さらに、温度制御要素は、温度制御要素が電気加熱の一部を構成するように、電源に連結されていてもよい。これに代えて、あるいはこれに加えて、温度制御要素は、加熱ガスや加熱液等の加熱流体が流れることができる複数の放熱管を備えていてもよい。あるいは、基体を冷却するために温度被制御部を配置している場合、放熱管内を流れるのは冷却液や冷却ガス等の冷却流体であってもよい。温度制御要素はハウジングの底部に配置されていてもよく、後述する基体を担持する担持要素を、温度制御要素上を搬送方向に沿って摺動あるいは案内してもよい。したがって、担持要素は、温度制御要素からの放射熱によって熱せられる。よって、担持要素は、自身は温度制御要素として機能し、放熱によって基体を加熱する。

ガス注入口は、ハウジング内部、特にハウジングの底部、頂壁、または側壁内に、ガスが温度被制御部内へと注入可能なように形成されていてもよい。ガスは、例えば、周囲環境から得られた加熱または冷却された空気、もしくは処理ガスであってもよい。また、ガス（つまり処理ガス）は、例えば窒素等の不活性ガスであってもよい。例えば、送風機、具体的にはラジアル送風機等の圧縮器によって、ガスが温度被制御部内のガス注入口を介して注入可能になるように、ガスに所望の圧力を加えてもよい。

別の実施形態によれば、温度制御要素は、ガスが、温度制御要素の温度を制御するために温度制御要素に向かって、または温度制御要素内を通って流動可能であるように、温度被制御部内に配置されている。温度制御要素は板状の形状であってもよく、この形状により気流偏向板として機能してもよい。ガスを温度制御要素に向かって、または温度制御要素内を通って流れるように案内する場合、温度制御要素は温度が上昇するかまたは下降して、温度制御要素が温度被制御部の温度を、特に放熱または吸収によって、所望の温度になるように制御する。したがって、温度制御要素によってガスが所定の方向に沿って導かれるために、温度被制御部の雰囲気中での気流の乱れを小さくすることができる。

別の実施形態によれば、ガス注入口は、ガスが、基体が特に担持要素から浮揚可能になるように、基体に向かって流動可能であるようにして形成されている。具体的には、ハウジングは、ガス注入口を備えた底部を備えていて、ここでガスは、基体が底部から浮揚可能になるように、底部から基体に向かって流動可能である。

具体的には、ガス注入口を、ハウジング内部、特に底部に、注入したガスによって生じた揚力が基体において基体の重力に逆らって作用するようにして配置することによって、基体が持ち上げられて浮揚する。よって、基体は、ハウジングまたは担持体と部分的にも全く接触していない状態が可能になる。したがって、ハウジングの壁面や後述の担持要素等の基体の保持構造にぶつかったために生じる基体の接触に起因する、機械的欠陥や不均一な加熱または冷却を低減することができる。

注入したガスによって発生した揚力は、ガスの質量流量を制御することによって制御してもよい。ガスの質量流量は、圧縮器と、ハウジングのガス注入口の開口特性とによって制御される。例えば、基体の揚力を適切な大きさで発生させるために、ガス注入口はノズルまたはノズルパターンを構成していてもよい。

また、温度被制御部内における基体の位置を、位置検出器、例えばカメラによって特定してもよい。さらに、質量流量の揚力を、温度被制御部内にある圧力検出器によって制御してもよい。制御部は、それぞれの検出器と圧縮器が連結されていて、基体の持ち上げ位置と浮遊位置とを制御してもよい。

別の実施形態によれば、ガス注入口は、ガスが、搬送方向に対して並行または垂直な成分を備えた気流方向で、基体に向かって吹き込み可能であるようにして、温度被制御部内に配置されている。よって、ガス注入口は、ガス注入口が重力方向に対して並行ではない気流方向を備えているように、ハウジングの側壁と温度被制御部にそれぞれ配置されていてもよい。したがって、ガスは基体の表面に沿って流れる。あるいは、ガス注入口はハウジングの底部に配置されていてもよく、温度制御要素はガスを、所望の方向の気流になるように偏向させる。

別の実施形態によれば、温度被制御部は、温度被制御部からガスを排出するガス排出口を備えている。
別の実施形態によれば、取入口と取出口のうちの少なくとも１つは、バリアガスが、温度被制御部の周囲環境から、及び特に温度被制御部の上流側または下流側に配置された隣接する温度被制御部から、温度被制御部を分離するために、ガスによる障壁を生成するように注入可能である別のガス注入口を備えている。

バリアガスは例えば空気または窒素等の不活性ガスであってもよい。バリアガスは、それぞれの取入口または取出口内を、ガスによる障壁を生成するように流れる。これにより、温度被制御部からのガスが、ガス障壁を越えることを防ぎ、よって温度被制御部の外へ流れ出ることも防ぎ得る。したがって、ハウジング内において開口、つまり取入口や取出口が設けられているにもかかわらず、ガスが温度被制御部の外に流れ出ることが防止されている。

別の実施形態によれば、炉はさらに、温度被制御部内に配置されていて、温度被制御部の温度を制御する、別の温度制御要素を備えている。別の温度制御要素は温度制御要素に対して、基体を搬送方向に沿って取入口と取出口との間を移動させている時に、基体が温度制御要素（例えば上側の加熱または冷却要素）と別の温度制御要素（例えば下側の加熱または冷却要素）との間にある領域を通過するようにして配置されている。

別の温度制御要素は、上述の温度制御要素と同様の手法で形成・設計されていてもよい。別の温度制御要素は、温度被制御部内に、基体が両者の間、つまり温度制御要素と別の温度制御要素との間に配置されるようにして配置されている。よって、基体に一様な焼き戻しを行うことができる。

別の実施形態によれば、担持要素は、基体が配置可能な担持底部を備えており、担持底部は、中を通るガスが基体に向かって流動可能な流路を備えている。
担持要素の底部は、例えば穴からなるパターンや例えば網目や格子等の流路を、ガスが担持要素の底部を貫通して流れることによって、基体を対流によって加熱できるように備えていてもよい。さらに、ガスは、基体が底部の上方に浮遊できるように、担持要素の底部を貫通して流れる。

別の実施形態によれば、炉は、駆動力を担持要素に伝達することによって担持要素を搬送方向に沿って駆動するように、担持要素に連結されている、力伝達要素を備えている。力伝達要素は、搬送方向に沿って可動である。

力伝達要素は、例えば、担持要素を搬送方向に沿って引く、あるいは押す、押し棒または引き棒であってもよい。力伝達要素は、実施形態では、摩擦接触または形状はめ接触によって担持要素に連結されている、別の担持要素であってもよい。別の実施形態において、別の担持要素を複数個、搬送方向に沿って順次、力を伝達するようにして配置してもよい。したがって、複数の担持要素は、例えば連鎖を構成していてもよい。連鎖のうちの最初または最後にある担持要素は、連鎖の他の担持要素に駆動力を伝達する駆動装置に連結されていてもよい。別の実施形態では、連鎖の複数の担持要素が、交換可能かつ脱着可能であるようにして互いに連結されており、これにより、搬送方向に対して最後の位置にある担持要素を連鎖から取り外して、連鎖のうちの最初の位置にある担持要素に取り付けることができる。

力伝達要素は、実施形態ではハウジングの外部、例えばハウジングの周囲環境内、よって、温度被制御部の外部かつ例えばハウジングの外部に位置する駆動装置に連結されていてもよい。力伝達要素は特に、それぞれの温度被制御部の外部に位置している、各自の担持要素構造の各部に接続されている。力伝達要素は、例えば引き棒または押し棒を備えている。あるいは、力伝達要素は、実施形態では、周囲環境から、ハウジングのうちの取入口を通って、温度被制御部内部へと延びていてもよい。あるいは、例えば力伝達要素が引き棒である場合は、力伝達要素は、温度被制御部の内部から、取出口を通り、ハウジングの外部へと延びている。

駆動装置は、力伝達要素が担持要素に伝達する駆動力を生成する、例えば電動モータまたは油圧モータである。駆動装置は、担持要素をハウジング内で搬送方向に沿って継続的に駆動するような一定の駆動力を生成してもよい。あるいは、駆動装置は、担持要素を搬送方向に沿って逐次的に移動させるような逐次的な駆動力を生成してもよい。これにより、担持要素は、所定の時間、所望の位置で静止し、次のステップでハウジング内の別の所望の位置に移動する。具体的には、駆動装置は、直進方向に沿った、つまり搬送方向に沿った成分を有する駆動力を生成する。

上述したように、実施形態によれば、力伝達要素は、別の基体を担持する別の担持要素である。
上述したように、実施形態によれば、力伝達要素は、駆動力が力伝達要素から担持要素に伝達可能な（直進）押出力であるように、担持要素に連結されている。

上述したように、実施形態によれば、力伝達要素は、駆動力が力伝達要素から担持要素に伝達可能な（直進）引張力であるように、担持要素に連結されている。
別の実施形態によれば、複数の力伝達要素を使用してもよい。例えば、担持要素に引張力を伝達する力伝達要素もあれば、担持要素に押出力を伝達する別の力伝達要素もある。

別の実施形態によれば、力伝達要素は、形状はめ接続、特に蟻継ぎ接続によって、担持要素に連結されている。さらに、力伝達要素は接触面を備えていて、担持要素は別の接触面を備えており、これにより両接触面によって摩擦接触をもたらすことができる。ここで、駆動力を、力伝達要素と担持要素との間にあるそれぞれの接触面の法線方向に沿って伝達してもよい。

上述したように、別の実施形態によれば、ハウジングの外部に配置されている駆動装置が設けられている。力伝達要素は、駆動装置に、駆動装置から力伝達要素を介して担持要素へと駆動力を伝達するように連結されている。

別の実施形態によれば、ハウジングは、担持要素を、ハウジング内を通るように案内する案内システムを備えていて、担持要素は、担持要素が搬送方向に沿って案内可能であるように、案内システムに連結されている。

案内システムは、例えば少なくとも１つの案内レールを備えており、それぞれの担持要素は案内レールに連結されていてもよい。担持要素は、案内レールに沿って摺動するために形成されていてもよい。さらに、案内レールまたはそれぞれの担持要素はローラを備えていてもよく、これにより、担持要素は案内レールに沿って転動してもよい。

あるいは、案内システムは、ハウジングの底部に沿って配置されている複数の支持薄板を備えていてもよい。支持薄板は、担持要素と各支持薄板との間の摩擦を小さくするために、平滑で同一高さの表面を備えていてもよい。担持要素と支持薄板との間の摩擦が小さいので、担持要素は各支持薄板に沿って摺動してもよい。

したがって、担持要素は、担持要素が底部上を搬送方向に沿って摺動可能なように、底部上に配置されている。よって、従動ローラまたは他の駆動手段は、ハウジング内への配置は、今や使われない手法かもしれない。具体的には、力伝達要素が押し棒または引き棒である場合、駆動力が、直進方向に沿ってハウジングの外部からハウジングの内部へと作用し、担持要素を搬送方向に沿ってそれぞれ引く、あるいは押す。

ハウジングの底部、及び／またはそれぞれの担持要素の底部は、平滑に形成されていてもよく、互いの間で適切な摺接が得られるように、粗さが小さくなっていてもよい。上述したように、底部表面に支持薄板を配置してもよい。

別の実施形態によれば、炉は、基体を担持する担持要素を少なくとも備えた担持要素構造を備えていて、担持要素構造は第１端と第２端とを備えている。担持要素構造は、第１端が取入口内に、第２端が取出口内にそれぞれ位置しているように、ハウジング内に形成されており、かつ配置可能である。

別の実施形態によれば、少なくとも１つの担持要素は、第１縁部と、第２縁部と、内部に少なくとも１つの基体が担持可能な凹部とを備えている。凹部は、搬送方向に沿って第１縁部と第２縁部との間に形成されており、第１縁部は担持要素構造の第１端を構成している。

別の実施形態によれば、第２縁部は担持要素構造の第２端を構成している。よって、担持要素は、第１縁部は取入口内に、第２縁部は取出口内に、そして凹部は温度被制御部内にそれぞれ位置するように、ハウジング内に形成されていてもよく、かつ配置可能であってもよい。

担持要素構造の少なくとも１つの担持要素は、内部に基体または複数の基盤が担持されている担持要素の凹部が炉の温度被制御部内に位置している場合に、第１縁部、例えば第１端が取入口内に、第２縁部、例えば第２端が取出口内に位置しているようにして、設計・形成されている。第１縁部と第２縁部は、担持要素の幅が凹部よりも大きくてもよい。言い換えれば、第１縁部と第２縁部は、担持要素の凹部（厚み）に対して、担持要素の突出部、つまり、より厚みのある部分であってもよい。しかし、別の実施形態では、第１縁部と第２縁部は、担持要素の幅が凹部に対してほぼ同じでもよい。

別の実施形態によれば、担持要素構造は、複数の基体を担持する複数の担持要素を備えており、担持要素は各々、それぞれの第１縁部と、それぞれの第２縁部と、内部に少なくとも１つの基体が担持可能なそれぞれの凹部を備えている。各第２縁部は担持要素構造の第２端を構成している。

第１端と第２端は、搬送方向に対して互いに担持要素構造の反対側に形成されている。それぞれの第１端とそれぞれの第２端は、搬送方向に対して、対応する担持要素の互いに反対側に形成されている。

これにより、担持要素構造は、ハウジング、特に温度被制御部を適切に分離することが可能になる。その理由は、担持要素構造の少なくとも１つの担持要素の凹部が温度被制御部内に位置している場合、担持要素構造の第１端と第２端は対応する取入口と取出口にそれぞれ位置しているからである。第１端が取入口内に、第２端が取出口内にそれぞれ位置している場合、担持要素構造の第１端，第２端とそれぞれに対応する取入口，取出口との間の寸法及び隙間が小さくなるので、そこを通るガスが温度被制御部から周囲環境へと流れ得る流量が低減する。

別の実施形態によれば、第１端は、第１端がハウジングの取入口と隙間はめ接続を構成できるような寸法に定められているので、第１端と取入口との間には隙間がないか、ほんの少しの隙間しか存在しない。それに伴い、別の実施形態によれば、第２端は、第２端がハウジングの取出口と隙間はめ接続を構成できるような寸法に定められているので、第２端と取入口との間には隙間がないか、ほんの少しの隙間しか存在しない。

別の実施形態によれば、担持要素は、取入口を通って温度被制御部内に入り、そして温度被制御部から取出口へと通過する搬送方向に沿って可動である。
別の実施形態によれば、ハウジングは、別の取出口と別の温度被制御部とを備えており、別の温度被制御部は、取出口と別の取出口との間に搬送方向に沿って形成されている。よって、上述したように、ハウジングは、それぞれの取出口によって隔てられている複数の温度被制御部を備えていてもよい。各温度被制御部は、対応する温度被制御部内にある担持要素構造の、それぞれに配置された縁部によって、互いから分離されていてもよい。

別の実施形態によれば、炉は、別の基体を担持する別の担持要素を少なくとも１つ備えた別の担持要素構造を備えていて、別の担持要素構造は別の第１端と別の第２端とを備えている。別の担持要素構造は、別の第１端が取出口内に、別の第２端が別の取出口内にそれぞれ位置しているように、ハウジング内に形成されており、かつ配置可能である。

別の担持要素構造は、搬送方向に沿って順次連結されていて、その凹部は別の温度被制御部内に配置されている、別の担持要素を１つまたは複数備えていてもよい。担持要素構造の第２端は、別の担持要素構造の別の第１端に接触していてもよいし、連結していてもよい。

本発明の各実施形態は、様々な発明対象に関して説明されてきたことに注目しなければならない。特に、装置方式の請求項に関して説明してきた実施形態もあれば、方法方式の請求項に関して説明してきた実施形態もある。しかし、当業者であれば、上述の説明、及び以下に続く説明から、特に断りのない限り、ある種の発明対象に属する特徴のいかなる組み合わせに加えて、異なる発明対象に関する特徴同士のいかなる組み合わせ、特に装置方式の請求項の特徴と方法方式の請求項の特徴とのいかなる組み合わせも、本出願によって開示されているとみなされることを推測するであろう。

以下において、実施形態の各実施例を参照して、本発明を詳細に説明する。ただし、本発明は各実施例に限定されない。

図１は、本発明の実施形態に係る温度制御要素とガス注入口とを備えた炉の概略図を示している。 図２は、本発明の実施形態に係る担持要素と力伝達要素とを備えた炉の概略図を示している。 図３は、本発明の実施形態に係る２つの担持要素と１つの遮断部とを備えた炉の概略図を示している。

［実施例の説明］
各図の実例は概略的に示されている。互いに異なる各図において、同様あるいは同一の要素には同じ参照符号が与えられている。

図１は、少なくとも１つの基体１０２の温度を制御する炉、特に連続炉を示している。ハウジング１００は取入口１０３と取出口１０４を備えており、取入口１０３と取出口１０４との間には温度被制御部１０５が形成されている。

少なくとも１つの基体１０２を担持する担持要素１２０は、取入口１０３を通って温度被制御部１０５内に入り、そして温度被制御部１０５から取出口１０４へと通過する搬送方向１０１に沿って可動である。温度制御要素１０６は、温度被制御部１０５内に配置されていて、温度被制御部１０５の温度を制御する。温度被制御部１０５は、ガス１１０が、温度被制御部１０５の温度を制御するために吹き込み可能であるガス注入口１０８を備えている。

温度被制御部１０５内を所望の温度にすることによって基体１０２の温度を所望の温度で制御するために、温度被制御部１０５に対して温度制御（例えば加熱または冷却）が行われてもよい。ハウジング１００はトンネル形に形成されており、焼き戻し処理中には基体１０２はこのトンネル内を搬送される。温度被制御部１０５は、例えば摂氏２００°Ｃから２０００°Ｃの間で焼き戻しを行ってもよい。

温度制御要素１０６は、例えば、広い熱放射面を備えた板状の要素であってもよい。温度制御要素１０６は、ハウジング１００の底部１１２または側壁に配置されている。さらに、温度制御要素１０６は、温度制御要素１０６が電気加熱の一部を構成するように、電源に連結されていてもよい。これに代えて、あるいはこれに加えて、温度制御要素１０６は、加熱ガスや加熱液等の加熱流体が流れることができる複数の放熱管を備えていてもよい。あるいは、基体１０２を冷却するために温度被制御部１０５を配置している場合、放熱管内を流れるのは冷却液や冷却ガス等の冷却流体であってもよい。温度制御要素１０６はハウジング１００の底部１１２に配置されていてもよく、後述する基体１０２を担持する担持要素１２０を、温度制御要素１０６上を搬送方向１０１に沿って摺動あるいは案内してもよい。したがって、担持要素１２０は、温度制御要素１０６からの放射熱によって熱せられる。よって、担持要素１２０は、自身は温度制御要素として機能し、放熱によって基体１０２を加熱する。

さらに、温度制御要素１０６は、基体１０２を冷却するために熱エネルギーを吸収する吸収要素として機能してもよい。
ガス注入口１０８は底部１１２内に形成されている。ガス１１０は、例えば、所定の温度を有する、周囲環境からの空気である。また、ガス１１０は、例えば所定の温度を有する不活性ガス、例えば窒素であってもよい。例えば、送風機等の圧縮器によって、ガス１１０が温度被制御部１０５内のガス注入口１０８を介して注入可能になるように、ガス１１０に所望の圧力を加えてもよい。

温度制御要素１０６は、ガス１１０が、温度制御要素１０６の温度を制御するために温度制御要素１０６に向かって流動可能であるように、温度被制御部１０５内に配置されている。温度制御要素１０６は板状の形状であってもよく、この形状により気流偏向板として機能してもよい。ガス１１０を温度制御要素１０６に向かって流れるように案内する場合、温度制御要素１０６は温度が上昇するかまたは下降して、温度制御要素１０６が温度被制御部１０５の温度を、所望の温度で制御する。

また、ガス１１０は、担持要素１２０の温度を制御するために、担持要素１２０に向かって流れるように流動可能である。
さらに、図１に示されているように、ガス１１０は、基体１０２が底部１１２から浮揚可能になるように、底部１１２から基体１０２に向かって流動可能である。具体的には、ガス注入口１０８をハウジング１００内部、特に底部１１２に、注入したガス１１０によって生じた揚力が基体１０２において基体１０２の重力に逆らって作用するようにして配置することによって、基体１０２が持ち上げられて浮揚する。よって、基体１０２は、ハウジング１００と部分的にも全く接触していない状態が可能になる。したがって、ハウジング１００の壁面や後述の担持要素１２０等の基体１０２の保持構造にぶつかったために生じた、基体１０２の機械的欠陥（及び例えば不均一な加熱／冷却）を低減することができる。

注入したガス１１０によって発生した揚力は、ガス１１０の質量流量を制御することによって制御してもよい。ガス１１０の質量流量は、圧縮器と、ハウジング１００のガス注入口１０８の開口特性とによって制御される。例えば、基体１０２の揚力を適切な大きさで発生させるために、ガス注入口１０８はノズルまたはノズルパターンを構成していてもよい。

また、温度被制御部１０５内における基体１０２の位置を、位置検出器、例えばカメラによって特定してもよい。さらに、質量流量の揚力を、温度被制御部１０５内にある圧力検出器によって制御してもよい。制御部は、それぞれの検出器と圧縮器が連結されていて、基体１０２の持ち上げ位置と浮遊位置とを制御してもよい。

さらに、例えば偏向器として機能する温度制御要素１０６により、ガス１１０を基体１０２の表面に沿うように導いてもよい。
温度被制御部１０５は、温度被制御部１０５からガス１１０を排出するガス排出口１０９を備えている。

また、取入口１０３および取出口１０４は、それぞれ別のガス注入口１１１を備えており、この注入口１１１を介してバリアガス１１８が、温度被制御部１０５の周囲環境から温度被制御部１０５を遮断するために、ガスによる障壁を生成するように注入可能である。

バリアガス１１８は例えば空気または窒素等の不活性ガスであってもよい。バリアガス１１８は、それぞれの取入口１０３または取出口１０４内を、ガスによる障壁を生成するように流れる。これにより、温度被制御部１０５からのガス１１０が、ガス障壁を越えることを防ぎ、よって温度被制御部１０５の外へ流れ出ることも防ぎ得る。したがって、ハウジング１００には開口、つまり取入口１０３や取出口１０４が設けられているにもかかわらず、ガス１１０が温度被制御部１０５の外に流れ出ることが防止されている。

また、図１に示されているように、炉はさらに、温度被制御部１０５内に配置されていて、温度被制御部１０５の温度を制御する、別の温度制御要素１０７を備えている。別の温度制御要素１０７は温度制御要素１０６に対して、基体１０２を搬送方向１０１に沿って取入口１０３と取出口１０４との間を移動させている時に、基体１０２が温度制御要素１０６と別の温度制御要素１０７との間にある領域を通過するようにして配置されている。

別の温度制御要素１０７は、上述の温度制御要素１０６と同様の手法で形成・設計されていてもよい。別の温度制御要素１０７は、温度被制御部１０５内に、基体１０２が両者の間、つまり温度制御要素１０６と別の温度制御要素１０７との間に配置されるようにして配置されている。よって、基体１０２に一様な焼き戻しを行うことができる。

図１に図示されているように、基体１０２は、基体１０２を担持する担持要素１２０によって支持されており、ここで担持要素１２０は、取入口１０３を通って温度被制御部１０５内に入り、そして温度被制御部１０５から取出口１０４へと通過する搬送方向１０１に沿って可動である。

担持要素１２０はハウジング１００を通過するように可動である。担持要素１２０は、基体１０２が載置されている担持部を備えている。担持要素１２０は例えば矩形、円形、及び／または杯状の形状であってもよい。担持要素１２０は、セラミック、ＣＦＣ、グラファイト、または金属材料等の耐高温材料でできていてもよい。さらに、担持要素１２０は平坦な底部１１２を備えていてもよく、この底部によって担持要素１２０はハウジング１００の底部１１２上に直立している。例えば、底部１１２は、担持要素１２０の底部１２４とハウジング１００の底部１１２との間の摩擦を小さくするために、粗さが小さく形成されている。例えば、担持要素１２０は、担持要素１２０とハウジング１００の底部１１２との間の摩擦を小さくするために、担持底部１２４にローラを備えていてもよい。

また、担持要素１２０は、基体１０２が配置可能な担持底部１２４を備えており、担持底部１２４は、中を通るガス１１０が基体１０２に向かって流動可能な流路を備えている。

担持要素１２０の底部１２４は、例えば穴からなるパターンや例えば網目や格子等の流路を、ガス１１０が担持要素１２０の底部１２４を貫通して流れることによって、基体１０２を対流によって加熱できるように備えていてもよい。さらに、ガス１１０は、基体１０２が担持底部１２４の上方に浮遊できるように、担持要素１２０の底部１２４を貫通して流れる。

担持要素１２０は、第１縁部１２１と、第２縁部１２２と、内部に基体１０２が担持可能な凹部１２３とを備えている。凹部１２３は、第１縁部１２１と第２縁部１２２との間において搬送方向１０１に沿って形成されており、担持要素１２０は、第１縁部１２１は取入口内に、第２縁部１２２は取出口１０４内に、そして凹部１２３は温度被制御部１０５内にそれぞれ位置するように、ハウジング１００内に形成されており、かつ配置可能である。

担持要素１２０は、内部に基体１０２が担持されている担持要素１２０の凹部１２３が炉の温度被制御部１０５内に位置している場合に、第１縁部１２１、例えば端部が取入口１０３内に、第２縁部１２２、例えば別の端部が取出口１０４内に位置しているようにして、設計・形成されている。第１縁部１２１と第２縁部１２２は、担持要素１２０の幅が凹部１２３よりも大きくてもよい。言い換えれば、第１縁部１２１と第２縁部１２２は、担持要素１２０の凹部１２３に対して、担持要素１２０の突出部であってもよい。しかし、別の実施形態では、第１縁部１２１と第２縁部１２２は、担持要素１２０の幅が凹部１２３に対してほぼ同じでもよい。

第１縁部１２１と第２縁部１２２は、搬送方向１０１に対して互いに担持要素１２０の反対側に形成されている。
これにより、担持要素１２０は、ハウジング１００、特に温度被制御部１０５を適切に分離することが可能になる。その理由は、担持要素１２０の凹部１２３が温度被制御部１０５内に位置している場合、第１縁部１２１と第２縁部１２２は対応する取入口１０３と取出口１０４にそれぞれ位置しているからである。第１縁部１２１が取入口１０３内に、第２縁部１２２が取出口１０４内にそれぞれ位置している場合、第１縁部１２１，第２縁部１２２とそれぞれに対応する取入口１０３，取出口１０４との間の寸法及び隙間が小さくなるので、ガス１１０が温度被制御部１０５から周囲環境へと流れ得る流量が低減する。

担持要素１２０は、取入口１０３を通って温度被制御部１０５内に入り、そして温度被制御部１０５から取出口１０４へと通過する搬送方向１０１に沿って可動である。
図２は、複数の温度被制御部１０５，１１４を有するハウジング１００を示したものである。各温度被制御部１０５，１１４は搬送方向１０１に沿って順次配置されていてもよく、この方向で、基体１０２がハウジング１００内を通過するように搬送可能である。各温度被制御部１０５，１１４は、それぞれの取入口１０３及び取出口１０４，１１３を備えている。さらに、各温度被制御部１０５，１１４は所望の温度を有していてもよく、これにより、基体１０２または複数の追加基体１０２を、各温度被制御部１０５，１１４内で所望の温度で加熱または冷却してもよい。例えば、搬送方向１０１に沿って、第１温度被制御部１０５は予熱区間であってもよく、後続の別の温度被制御部１１４は加熱部であってもよく、この場合例えば基体１０２の最高温度に到達する。そして、後続の温度被制御部（図２には図示せず）は冷却区間であってもよく、この場合加熱された基体１０２を所望の温度勾配（時間当たりの温度、例えばＴ／ｓ）で冷却してもよい。

焼戻し部１０５内には担持要素構造が配置されており、別の焼戻し部１１４内には別の担持要素構造が配置されていてもよい。担持要素構造は少なくとも１つの担持要素１２０を備えており、別の担持要素構造は少なくとも１つの別の担持要素１４０を備えている。担持要素構造は各々、第１端と第２端とを備えている。

担持要素構造は、第１端が取入口１０３内に、第２端が取出口１０４内にそれぞれ位置するように、ハウジング１００内に形成・配置されている。
ハウジング１００は別の取出口１１３と別の温度被制御部１１４を備えており、別の温度被制御部１１４は取出口１０４と別の取出口１１３との間に形成されている。別の担持要素構造は、別の担持要素構造の別の第１端が取出口１０４内に、別の担持要素構造の別の第２端が別の取出口１１３内にそれぞれ位置するように、ハウジング１００内に形成されており、かつ配置可能である。

担持要素構造の少なくとも１つの担持要素１２０は、第１縁部１２１と、第２縁部１２２と、基体１０２が担持可能な凹部１２３とを備えており、ここで凹部１２３は、第１縁部１２１と第２縁部１２２との間において搬送方向１０１に沿って形成されている。第１縁部１２１は担持要素構造の第１端を構成している。

図２に示された実施形態において、担持要素１２０の第２縁部１２２は担持要素構造の第２端を構成している。あるいは、担持要素構造は、共通の温度被制御部１０５内に位置している複数の担持要素１２０を備えていてもよく、ここで、担持要素構造の搬送方向１０１に対して下流端に位置している、担持要素１２０の第２縁部１２２は、担持要素構造の第２端を構成している。

別の担持要素構造の別の担持要素１４０はそれぞれ、別の第１縁部１２１’と、別の第２縁部１２２と、内部に追加基体１０２が担持可能である別の凹部１２３とを備えている。別の凹部１２３は、別の第１縁部１２１’と別の第２縁部１２２の間において搬送方向１０１に沿って形成されており、ここで別の担持要素１４０は、別の第１縁部１２１’が取出口１０４内に、別の第２縁部１２２が別の取出口１１３内に、そして別の凹部１２３が別の温度被制御部１１４内にそれぞれ位置するように、ハウジング１００内に形成されており、かつ配置可能である。

炉はさらに力伝達要素１３０を備えている。力伝達要素１３０は、駆動力を担持要素構造と担持要素１２０，１４０とにそれぞれ伝達することによって、担持要素１２０，１４０を搬送方向１０１に沿って駆動するように、担持要素構造に連結されている。力伝達要素１３０は、温度被制御部１０５内の搬送方向１０１に沿って可動である。

力伝達要素１３０は、例えば、担持要素構造を搬送方向１０１に沿って引く、あるいは押す、押し棒または引き棒であってもよい。力伝達要素１３０は、摩擦接触または形状はめ接触によって担持要素構造の担持要素１２０に連結されている、別の担持要素構造の別の担持要素１４０であってもよい。別の担持要素構造を複数個、搬送方向１０１に沿って順次、力を伝達するように配置してもよい。したがって、担持要素構造の複数の担持要素１２０，１４０は、例えば連鎖を構成していてもよい。連鎖のうちの最初または最後にある担持要素１２０，１４０は、連鎖の他の担持要素１２０，１４０に駆動力を伝達する駆動装置１５０に連結されていてもよい。別の実施形態では、連鎖のそれぞれの担持要素構造の複数の担持要素１２０，１４０が、交換可能かつ脱着可能であるようにして互いに連結されており、これにより、搬送方向１０１に対して最後の位置にある担持要素１２０，１４０を、連鎖から取り外して、連鎖のうちの搬送方向１０１に対して最初の位置にある担持要素１２０，１４０に取り付けることができる。

力伝達要素１３０は、ハウジング１００の外部、例えばハウジング１００の周囲環境内に位置する駆動装置１５０に連結されていてもよい。よって、力伝達要素１３０は、周囲環境、例えばハウジング１００の外部にある供給部１１５から、ハウジング１００の取入口１０３を通って、温度被制御部１０５内部へと延びている。あるいは、例えば力伝達要素１３０が引き棒である場合は、力伝達要素１３０は、温度被制御部１０５の内部から、取出口１０４を通り、ハウジング１００の外部へと延びている。

駆動装置１５０は、力伝達要素１３０が担持要素１２０，１４０に伝達する駆動力を生成する、例えば電動モータまたは油圧モータである。駆動装置１５０は、担持要素１２０，１４０をハウジング１００内で搬送方向１０１に沿って継続的に駆動するような一定の駆動力を生成してもよい。あるいは、駆動装置１５０は、担持要素１２０，１４０を搬送方向１０１に沿って逐次的に移動させるような逐次的な駆動力を生成してもよい。これにより、担持要素１２０，１４０は、所定の時間、所望の位置で静止し、次のステップでハウジング１００内の別の所望の位置に移動する。具体的には、駆動装置１５０は、直進方向に沿った、つまり搬送方向１０１に沿った成分を有する駆動力を生成する。

力伝達要素１３０は、形状はめ接続、特に蟻継ぎ接続によって、それぞれの担持要素構造の担持要素１２０，１４０に連結されていてもよい。さらに、力伝達要素１３０は接触面を備えていて、担持要素１２０は別の接触面を備えており、これにより両接触面によって摩擦接触をもたらすことができる。ここで、駆動力を、力伝達要素１３０と担持要素１２０，１４０との間にあるそれぞれの接触面の法線方向に沿って伝達してもよい。

駆動装置１５０は、ハウジング１００の外部に配置されている。力伝達要素１３０は、駆動装置１５０に、駆動装置１５０から力伝達要素１３０を介して担持要素１２０へと駆動力を伝達するように連結されている。

ハウジング１００は底部１１２を備えており、担持要素１２０，１４０は、担持要素１２０，１４０が底部１１２上を搬送方向１０１に沿って摺動可能なように、底部１１２上に配置されている。よって、従動ローラまたは他の駆動手段は、ハウジング１００内への配置は、今や使われない手法かもしれない。具体的には、力伝達要素１３０が押し棒または引き棒である場合、駆動力が、直進方向に沿ってハウジング１００の外部からハウジング１００の内部へと作用し、担持要素１２０，１４０を搬送方向１０１に沿ってそれぞれ引く、あるいは押す。

ハウジング１００の底部１１２、及び／またはそれぞれの担持要素１２０，１４０の底部１２４は、平滑に形成されていてもよく、互いの間で適切な摺接が得られるように、粗さが小さくてもよい。

さらに、ハウジング１００は、別の取出口１１３と別の温度被制御部１１４とを備えており、別の温度被制御部１１４は取出口１０４と別の取出口１１３との間に形成されている。よって、上述したように、ハウジング１００は、それぞれの取出口１０４，１１３によって隔てられている複数の温度被制御部１０５，１１４を備えていてもよい。各温度被制御部１０５，１１４は、担持要素構造おいて各々配置された縁部、つまり、担持要素構造のうちのそれぞれの温度被制御部１０５，１１４内にある担持要素１２０，１４０の縁部１２１，１２２によって、互いから分離されていてもよい。

図３は２つの担持要素構造をより詳細に示したものであり、ここで、一方の担持要素構造は担持要素１２０を、他方の担持要素構造は担持要素１４０をそれぞれ備えている。さらに、ハウジング１００の遮断部１１６（ゲート部１１７）が示されている。

ハウジング１００は、隣接する２つの温度被制御部１０５，１１４の間にあるゲート部１１７を備えている。ゲート部１１７の領域に、ハウジング１００は遮断部１１６を備えている。遮断部１１６は、例えば、ハウジング１００の１つの部であり、それぞれの担持要素構造の担持要素１２０，１４０を隣接する温度被制御部１０５，１１４の間へと案内することができる通路（取入口１０３または取出口１０４，１１３）を狭くする突出部を有している。遮断部１１６は断熱材料でできていてもよい。

「備えている（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という語は他の要素やステップを排除するものではなく、また「１つの（冠詞「ａ」または「ａｎ」）」という語は複数個存在することを排除するものではないことに注目すべきである。また、別々の実施形態に関連して説明された各要素を組み合わせてもよい。請求項中の参照符号を請求項の範囲を限定するものとして解釈すべきではないことにも注目すべきである。

［符号の説明］
１００ ハウジング、１０１ 搬送方向、１０２ 基体、１０３ 取入口、１０４ 取出口、１０５ 温度被制御部、１０６ 温度制御要素、１０７ 別の温度制御要素、１０８ ガス注入口、１０９ ガス排出口、１１０ ガス、１１１ 別のガス注入口、１１２ 底部、１１３ 別の取出口、１１４ 別の温度被制御部、１１５ 供給部、１１６ 遮断部、１１７ ゲート部、１１８ バリアガス、１２０ 担持要素、１２１ 第１縁部、１２２ 第２縁部、１２３ 凹部、１２４ 担持底部、１３０ 力伝達要素、１４０ 別の担持要素、１５０ 駆動装置

Claims (22)

1. 少なくとも１つの基体（１０２）の温度を制御する炉であって、
   取入口（１０３）と取出口（１０４）とを備えたハウジング（１００）であって、前記取入口（１０３）と前記取出口（１０４）との間には温度被制御部（１０５）が形成されている、ハウジング（１００）と、
   前記少なくとも１つの基体（１０２）を担持する担持要素（１２０）であって、前記取入口（１０３）を通って前記温度被制御部（１０５）内に入り、前記温度被制御部（１０５）から前記取出口（１０４）へと通過する搬送方向（１０１）に沿って可動である、担持要素（１２０）と、
   前記温度被制御部（１０５）に熱的に結合されていて、前記温度被制御部（１０５）の温度を制御する温度制御要素（１０６）と、を備え、
   前記温度被制御部（１０５）が、当該温度被制御部（１０５）の温度を制御するためにガス（１１０）を吹き込み可能であるガス注入口（１０８）を備えていて、
   前記炉は、前記温度被制御部（１０５）内に配置され、前記温度被制御部（１０５）の温度を制御する別の温度制御要素（１０７）をさらに備えており、
   前記別の温度制御要素（１０７）は、前記温度制御要素（１０６）に対して、前記基体（１０２）を前記搬送方向（１０１）に沿って前記取入口（１０３）と前記取出口（１０４）との間を移動させている時に、前記基体（１０２）が前記温度制御要素（１０６）と前記別の温度制御要素（１０７）との間にある領域を通過するようにして配置されていて、
   前記担持要素（１２０）は、前記基体（１０２）が配置可能な担持底部（１２４）を備えていて、
   前記担持底部（１２４）は、中を通る前記ガス（１１０）が前記基体（１０２）に向かって流動可能な流路を備えている炉。
2. 前記温度制御要素（１０６）は、前記温度被制御部（１０５）内に、前記温度制御要素（１０６）の温度を制御して、前記基体（１０２）に熱を対流で運ぶかまたは前記基体（１０２）から熱を逃がすために、前記ガス（１１０）が前記温度制御要素（１０６）に向かって、または前記温度制御要素（１０６）内を貫通して流動可能であるように配置されている、請求項１に記載の炉。
3. 前記ガス注入口（１０８）は、前記ガス（１１０）が、前記基体（１０２）が浮揚可能になるように、前記基体（１０２）に向かって流動可能であるようにして形成されている、請求項１または２に記載の炉。
4. 前記ガス注入口（１０８）は、前記ガス（１１０）が、前記搬送方向（１０１）に対して並行または垂直な成分を備えた気流方向で、前記基体（１０２）に向かって吹き込み可能であるようにして、前記温度被制御部（１０５）内に配置されている、請求項１から３のいずれか１項に記載の炉。
5. 前記温度被制御部（１０５）は、前記温度被制御部（１０５）から前記ガス（１１０）を排出するガス排出口（１０９）を備えている、請求項１から４のいずれか１項に記載の炉。
6. 前記取入口（１０３）と前記取出口（１０４）のうちの少なくとも１つは、バリアガス（１１８）が、前記温度被制御部（１０５）の周囲環境から、または前記温度被制御部（１０５）に隣接する部から前記温度被制御部（１０５）を分離するために、ガスによる障壁を生成するように注入可能である、別のガス注入口（１１１）を備えている、請求項１から５のいずれか１項に記載の炉。
7. 前記担持要素（１２０）に、前記担持要素（１２０）に駆動力を伝達して、前記担持要素（１２０）を前記搬送方向（１０１）に沿って駆動するように連結されている、力伝達要素（１３０）をさらに備えていて、
   前記力伝達要素（１３０）は前記搬送方向（１０１）に沿って可動である、請求項１から６のいずれか１項に記載の炉。
8. 前記力伝達要素（１３０）は、別の基体（１０２）を担持する別の担持要素（１４０）である、請求項７に記載の炉。
9. 前記力伝達要素（１３０）は、前記駆動力が前記力伝達要素（１３０）から前記担持要素（１２０）に伝達可能な押出力であるように、前記担持要素（１２０）に連結されている、請求項７または８に記載の炉。
10. 前記力伝達要素（１３０）は、前記駆動力が前記力伝達要素（１３０）から前記担持要素（１２０）に伝達可能な引張力であるように、前記担持要素（１２０）に連結されている、請求項７から９のいずれか１項に記載の炉。
11. 前記力伝達要素（１３０）は、形状はめ接続によって、前記担持要素（１２０）に連結されている、請求項７から１０のいずれか１項に記載の炉。
12. 前記ハウジング（１００）の外部に配置されている駆動装置（１５０）をさらに備えていて、
    前記力伝達要素（１３０）は、前記駆動力が前記駆動装置（１５０）から前記力伝達要素（１３０）を介して前記担持要素（１２０）に伝達されるように、前記駆動装置（１５０）に連結されている、請求項７から１１のいずれか１項に記載の炉。
13. 前記ハウジング（１００）は、前記担持要素（１２０）を、前記ハウジング内を通るように案内する案内システムを備えていて、
    前記担持要素（１２０）は、前記担持要素（１２０）が前記搬送方向（１０１）に沿って案内可能であるように、前記案内システムに連結されている、請求項１から１２のいずれか１項に記載の炉。
14. 前記基体（１０２）を担持する前記担持要素（１２０）を少なくとも備えた担持要素構造であって、第１端と第２端とを備えた、担持要素構造をさらに備え、
    前記担持要素構造は、前記第１端が前記取入口（１０３）内に、前記第２端が前記取出口（１０４）内にそれぞれ位置しているように、前記ハウジング（１００）内に形成されており、かつ配置可能である、請求項１から１３のいずれか１項に記載の炉。
15. 前記少なくとも１つの担持要素（１２０）は、第１縁部（１２１）と、第２縁部（１２２）と、内部に前記基体（１０２）が担持可能な凹部（１２３）とを備えていて、
    前記凹部（１２３）は、前記搬送方向（１０１）に沿って前記第１縁部（１２１）と前記第２縁部（１２２）との間に形成されており、
    前記第１縁部は前記担持要素構造の前記第１端を構成している、請求項１４に記載の炉。
16. 前記第２縁部（１２２）は前記担持要素構造の前記第２端を構成している、請求項１５に記載の炉。
17. 前記担持要素構造は、別の基体（１０２）を担持する別の担持要素（１４０）を備えていて、
    前記別の担持要素（１４０）は、別の第１縁部と、別の第２縁部と、内部に前記別の基体（１０２）が担持可能な別の凹部とを備えており、
    前記別の第２縁部は前記担持要素構造の前記第２端を構成している、請求項１５に記載の炉。
18. 前記ハウジング（１００）は別の取出口（１１３）と別の温度被制御部（１１４）とを備えていて、
    前記別の温度被制御部（１１４）は、前記取出口（１０４）と前記別の取出口（１１３）との間に形成されている、請求項１から１７のいずれか１項に記載の炉。
19. 別の基体（１０２）を担持する別の担持要素（１４０）を少なくとも１つ備えた別の担持要素構造をさらに備えていて、
    前記別の担持要素構造は別の第１端と別の第２端とを備えており、
    前記別の担持要素構造は、前記別の第１端が前記取出口（１０４）内に、前記別の第２端が前記別の取出口（１１３）内にそれぞれ位置しているように、前記ハウジング（１００）内に形成されており、かつ配置可能である、請求項１８に記載の炉。
20. 炉によって少なくとも１つの基体（１０２）の温度を制御する方法であって、前記炉は、
    取入口（１０３）と取出口（１０４）とを備えたハウジング（１００）であって、前記取入口（１０３）と前記取出口（１０４）との間には温度被制御部（１０５）が形成されている、ハウジング（１００）と、
    前記少なくとも１つの基体（１０２）を担持する担持要素（１２０）であって、前記取入口（１０３）を通って前記温度被制御部（１０５）内に入り、前記温度被制御部（１０５）から前記取出口（１０４）へと通過する搬送方向（１０１）に沿って可動である、担持要素（１２０）と、
    前記温度被制御部（１０５）に熱的に結合されていて、前記温度被制御部（１０５）の温度を制御する温度制御要素（１０６）と、を備え、
    前記温度被制御部（１０５）が、当該温度被制御部（１０５）の温度を制御するためにガス（１１０）を吹き込み可能であるガス注入口（１０８）を備えていて、
    前記炉は、前記温度被制御部（１０５）内に配置され、前記温度被制御部（１０５）の温度を制御する別の温度制御要素（１０７）をさらに備えており、
    前記別の温度制御要素（１０７）は、前記温度制御要素（１０６）に対して、前記基体（１０２）を前記搬送方向（１０１）に沿って前記取入口（１０３）と前記取出口（１０４）との間を移動させている時に、前記基体（１０２）が前記温度制御要素（１０６）と前記別の温度制御要素（１０７）との間にある領域を通過するようにして配置されていて
    前記担持要素（１２０）は、前記基体（１０２）が配置可能な担持底部（１２４）を備えていて、
    前記担持底部（１２４）は、中を通る前記ガス（１１０）が前記基体（１０２）に向かって流動可能な流路を備えており、
    前記方法は、
    前記少なくとも１つの基体（１０２）を担持する前記担持要素（１２０）を、前記取入口（１０３）を通って前記温度被制御部（１０５）内に入り、前記温度被制御部（１０５）から前記取出口（１０４）へと通過する前記搬送方向（１０１）に沿って移動させるステップと、
    前記温度被制御部（１０５）に熱的に結合されている前記温度制御要素（１０６）によって、前記温度被制御部（１０５）の温度を制御するステップと、
    前記温度被制御部（１０５）の温度を制御する前記ガス（１１０）を、前記ガス注入口（１０８）を通って前記温度被制御部（１０５）内へと吹き込むステップとを含む、方法。
21. 前記炉は、連続炉である、請求項１〜１９のいずれか１項に記載の炉。
22. 前記形状はめ接続は、蟻継ぎ接続である、請求項１１に記載の炉。

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