JP6490560B2

JP6490560B2 - Nozzle cleaning device

Info

Publication number: JP6490560B2
Application number: JP2015210093A
Authority: JP
Inventors: 真一岡嵜; 裕英寺田
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2015-10-26
Filing date: 2015-10-26
Publication date: 2019-03-27
Anticipated expiration: 2035-10-26
Also published as: JP2017080658A

Description

本発明は、部品の実装に先立ち、プリント基板等の基板に接着剤やクリームはんだ等の塗布液を塗布する塗布装置に適用されるノズル洗浄装置に関するものである。 The present invention relates to a nozzle cleaning device applied to a coating apparatus that applies a coating liquid such as an adhesive or cream solder to a substrate such as a printed circuit board prior to mounting of components.

従来から、移動可能なヘッドを備え、このヘッドによりプリント基板等の基板上に、接着剤やクリームはんだ等の塗布液を塗布する塗布装置が知られている。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a coating apparatus that includes a movable head and applies a coating liquid such as an adhesive or cream solder onto a substrate such as a printed circuit board using the head.

この種の塗布装置は、ヘッドに設けられたノズルの先端から基板上に塗布液を塗布するため、ノズル先端、特にノズルの外周面に不要な塗布液が付着していると、その後の作業に支障をもたらす虞がある。そのため、例えば特許文献１に開示されるようなノズル洗浄装置を塗布装置内に設け、所定のタイミングでノズル先端を洗浄することが行われている。 This type of coating device applies the coating liquid onto the substrate from the tip of the nozzle provided in the head.If unnecessary coating liquid adheres to the nozzle tip, particularly the outer peripheral surface of the nozzle, the subsequent work is performed. May cause trouble. Therefore, for example, a nozzle cleaning device as disclosed in Patent Document 1 is provided in the coating device, and the nozzle tip is cleaned at a predetermined timing.

特許文献１に開示されるノズル洗浄装置は、ノズルの差し込み口を備えた中空状の洗浄部を有し、この洗浄部にノズルを差し込んだ状態で当該ノズルに洗浄液を吹き付けて付着物を除去し、その後、ノズルにエアを吹き付けて液滴を除去、乾燥させるものである。なお、ノズル洗浄に用いられた洗浄液や除去物（付着物）は、洗浄部に設けられた排出部（ドレン）からドレイホースを通じて回収タンクに回収される。 The nozzle cleaning device disclosed in Patent Document 1 has a hollow cleaning portion having a nozzle insertion port, and removes deposits by spraying a cleaning liquid on the nozzle while the nozzle is inserted into the cleaning portion. Thereafter, air is blown onto the nozzle to remove and dry the droplets. In addition, the cleaning liquid and the removed material (attachment) used for the nozzle cleaning are collected in a recovery tank through a drain hose from a discharge unit (drain) provided in the cleaning unit.

特開平５−３０９３０９号公報JP-A-5-309309

しかし、精密機器を取り扱うこの種の技術分野では、液漏れ等のトラブル回避の観点から、洗浄液を用いてノズルを洗浄するウエット洗浄に否定的なユーザも少なくない。 However, in this type of technical field dealing with precision equipment, there are many users who are negative about wet cleaning in which the nozzle is cleaned with a cleaning liquid from the viewpoint of avoiding problems such as liquid leakage.

そこで、洗浄液を用いることなく、ノズルに高圧エアを吹き付けて付着物を除去するドライ洗浄が考えられるが、この場合には、除去物が洗浄装置の内部に付着し易くなる。そのため、例えば特許文献１に記載されるように、洗浄部に設けられた排出部からドレイホースを通じて回収タンクに除去物を回収する構造では、除去物が排出部やドレンホース内に残り、除去物の回収や廃棄が困難になるばかりでなく、ノズル洗浄装置のメンテナンスにも手間が掛かることとなる。 Therefore, dry cleaning in which high-pressure air is blown onto the nozzle to remove deposits without using a cleaning solution can be considered, but in this case, the removed matter tends to adhere to the inside of the cleaning apparatus. Therefore, as described in Patent Document 1, for example, in the structure in which the removed material is collected from the discharge unit provided in the cleaning unit through the drain hose to the collection tank, the removed material remains in the discharge unit and the drain hose, Not only is recovery and disposal difficult, but also maintenance of the nozzle cleaning device takes time.

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、ノズルをドライ洗浄する一方で、ノズルから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、メンテナンスも容易なノズル洗浄装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the circumstances as described above, and a nozzle cleaning device that can recover the removed material removed from the nozzle satisfactorily while performing dry cleaning of the nozzle, and is easy to maintain. The purpose is to provide.

上記の課題を解決するために、先端にノズルを具備した移動可能なヘッドを備え、所定の塗布液を前記ノズルから基板上に塗布する塗布装置に搭載されて、前記ノズルを洗浄するノズル洗浄装置であって、洗浄装置本体と、前記洗浄装置本体に洗浄用のエアを供給するエア供給装置と、前記洗浄装置本体に備えられるとともに前記ヘッドの可動範囲内に配置され、前記ノズルが挿入される挿入孔を備えた中空の洗浄部と、前記挿入孔に挿入された前記ノズルに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部と、前記洗浄部の内部に配置されて、前記ノズルから除去された除去物を受け入れるカップと、前記塗布装置および前記エア供給装置を制御し、前記ノズルを前記挿入孔に挿入して前記エア吐出部からエアを吐出させることにより所定のノズル洗浄動作を実行する制御装置と、を備え、前記洗浄部は、前記カップの出し入れ口を備えた洗浄部本体と、前記出し入れ口を開閉可能な蓋部材とを備え、前記蓋部材は、前記挿入孔と当該挿入孔を認識するためのマークとを備え、前記塗布装置は、前記ヘッドと共に移動して前記マークを撮像する撮像装置を備え、前記制御装置は、所定の入力操作により前記ノズル洗浄動作を実行するタイミングを設定することが可能なタイミング設定部と、前記タイミング設定部を介して設定された洗浄タイミングを記憶する記憶部と、この記憶部に記憶された洗浄タイミングに基づき前記ノズル洗浄動作を実行する実行部とを含み、前記実行部は、前記ノズル洗浄動作に先立ち、前記撮像装置により前記マークを撮像してその画像の位置に基づき前記挿入孔の位置を求め、当該挿入孔の位置を前記記憶部に記憶する挿入孔検知動作を実行し、前記ノズル洗浄動作では、前記記憶部に記憶された挿入孔の位置に基づき前記塗布装置を制御する、ものである。
In order to solve the above-described problem, a nozzle cleaning device that includes a movable head having a nozzle at the tip and is mounted on a coating device that coats a predetermined coating solution onto the substrate from the nozzle to clean the nozzle. The cleaning device main body, the air supply device for supplying cleaning air to the cleaning device main body , the cleaning device main body and the cleaning device main body are disposed within the movable range of the head, and the nozzle is inserted therein. A hollow cleaning part provided with an insertion hole, an air discharge part for blowing air from the periphery to the nozzle inserted into the insertion hole, and disposed inside the cleaning part and removed from the nozzle given a cup for receiving the removed substance, by controlling the coating device and the air supply device, by ejecting air from the air discharging unit by inserting the nozzle into the insertion hole And a control unit for executing a nozzle cleaning operation, the cleaning unit includes a cleaning unit body with a loading and unloading opening of the cup, and a openable lid member the loading and unloading opening, the lid member, the An insertion hole and a mark for recognizing the insertion hole, the coating device includes an imaging device that moves together with the head to image the mark, and the control device performs the nozzle cleaning by a predetermined input operation. A timing setting unit capable of setting a timing for executing the operation, a storage unit for storing the cleaning timing set via the timing setting unit, and the nozzle cleaning based on the cleaning timing stored in the storage unit An execution unit that executes an operation, and the execution unit captures the mark by the imaging device prior to the nozzle cleaning operation, and based on the position of the image. The position of the insertion hole is obtained and an insertion hole detection operation for storing the position of the insertion hole in the storage unit is executed. In the nozzle cleaning operation, the coating apparatus is based on the position of the insertion hole stored in the storage unit Control .

この洗浄装置では、挿入孔に挿入されたノズルにエアが吹き付けることにより付着物が除去され、その除去物がカップ内に回収される。そのため、除去物が洗浄部内の各所に付着することが抑制される。しかも、蓋部材を洗浄部本体から取り外し、カップを洗浄又は交換すれば、回収した除去物を容易に廃棄することができる。そのため、ノズルをドライ洗浄する一方で、除去物の回収を良好に行うことができ、また、メンテナンスも容易に行うことが可能となる。
また、ノズル洗浄を自動化するとともに、適切なタイミングでノズル洗浄を行うことが可能となる。つまり、蓋部材に挿入孔が設けられている場合には、メンテナンス（カップ交換）時に洗浄部本体に対して蓋部材が脱着されると、挿入孔の位置がずれて、その後のノズル洗浄動作においてノズルが蓋部材に衝突することが考えられる。しかし、上記構成によれば、ノズル洗浄動作に先立ち、マークの画像認識に基づき挿入孔の位置が検知され、この挿入孔の位置に基づきノズル洗浄動作が実行されるため、上記のような不都合を未然に回避することが可能となる。
In this cleaning device, the deposits are removed by blowing air to the nozzles inserted into the insertion holes, and the removed items are collected in the cup. Therefore, it is suppressed that a removal thing adheres to each place in a washing part. Moreover, if the lid member is removed from the cleaning unit main body and the cup is cleaned or replaced, the collected removed matter can be easily discarded. Therefore, while the nozzle is dry-cleaned, the removed material can be recovered satisfactorily and maintenance can be easily performed.
In addition, the nozzle cleaning can be automated and the nozzle cleaning can be performed at an appropriate timing. That is, when the insertion hole is provided in the lid member, if the lid member is detached from the cleaning unit main body during maintenance (cup replacement), the position of the insertion hole is shifted, and the subsequent nozzle cleaning operation is performed. It is conceivable that the nozzle collides with the lid member. However, according to the above configuration, prior to the nozzle cleaning operation, the position of the insertion hole is detected based on the image recognition of the mark, and the nozzle cleaning operation is executed based on the position of the insertion hole. This can be avoided beforehand.

この洗浄装置において、前記洗浄部は、その内部に、前記除去物を前記カップの内部に導くスリーブ部を備えているのが好適である。 In this cleaning apparatus, it is preferable that the cleaning unit includes a sleeve portion that guides the removed material to the inside of the cup.

この構成によれば、除去物がカップ内に円滑に導かれるので、カップ内への除去物の回収をより確実に行うことが可能となる。 According to this configuration, since the removed material is smoothly guided into the cup, it is possible to more reliably collect the removed material in the cup.

この場合、例えば、前記洗浄部本体は、前記カップの配置空間を内部に備えた上下方向に延びる筒状を成し、前記蓋部材は、前記挿入孔および前記エア吐出部を含み、かつ前記洗浄部本体の前記出し入れ口を開閉する蓋本体部と、この蓋本体部の下面から下向きに延びて前記カップの内側に至る前記スリーブ部とを含む構成とすることができる。 In this case, for example, the main body of the cleaning part has a cylindrical shape extending in the up-down direction provided with an arrangement space for the cup, the lid member includes the insertion hole and the air discharge part, and the cleaning A lid main body part that opens and closes the entrance / exit of the part main body, and a sleeve part that extends downward from the lower surface of the lid main body part and reaches the inside of the cup can be used.

この構成によれば、簡素な構造で、ノズルから付着物を除去しつつ、当該除去物をカップ内に導いて回収することが可能となる。 According to this configuration, with a simple structure, the removed matter can be guided into the cup and collected while removing the deposit from the nozzle.

また、上記の洗浄装置において、前記洗浄部は、前記カップを位置決めした状態で保持するカップホルダを備えているのが好適である。 In the cleaning apparatus, it is preferable that the cleaning unit includes a cup holder that holds the cup in a positioned state.

この構成によれば、カップの位置ずれに起因して除去物がカップから漏れて、洗浄部内の各所に付着することを抑制することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to suppress the removed material from leaking from the cup due to the displacement of the cup and adhering to various places in the cleaning unit.

以上説明したように、本発明の洗浄装置によれば、ノズルをドライ洗浄する一方で、ノズルから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、メンテナンスも容易なものとなる。 As described above, according to the cleaning apparatus of the present invention, while the nozzle is dry-cleaned, the removed material removed from the nozzle can be recovered satisfactorily, and maintenance can be facilitated.

本発明のノズル洗浄装置が適用された部品実装装置（塗布装置兼部品実装装置）の平面図である。It is a top view of the component mounting apparatus (coating apparatus / component mounting apparatus) to which the nozzle cleaning apparatus of the present invention is applied. 部品実装装置の正面図である。It is a front view of a component mounting apparatus. 洗浄装置本体（ノズル塗布装置）を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a washing | cleaning apparatus main body (nozzle coating device). 洗浄装置本体の断面図（蓋部材を装着した状態）である。It is sectional drawing (state which attached the cover member) of the washing | cleaning apparatus main body. 洗浄装置本体の断面図（蓋部材およびカップを取り外した状態）である。It is sectional drawing (state which removed the cover member and the cup) of the washing | cleaning apparatus main body. ノズル洗浄前の洗浄装置本体の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the washing | cleaning apparatus main body before nozzle washing | cleaning. ノズル洗浄時の洗浄装置本体の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the washing | cleaning apparatus main body at the time of nozzle washing | cleaning.

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。 Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

［部品実装装置の全体構成］
図１及び図２は、本発明に係るノズル洗浄装置が適用される部品実装装置を示しており、図１は平面図で、図２は正面図で、それぞれ部品実装装置１を示している。なお、図面中には、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸を示している。Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向であり、Ｚ方向はＸ、Ｙ両方向に直交する方向である。なお、Ｚ方向は、適宜上下方向ともいう。 [Overall configuration of component mounting equipment]
1 and 2 show a component mounting apparatus to which a nozzle cleaning device according to the present invention is applied. FIG. 1 is a plan view, and FIG. 2 is a front view, each showing a component mounting apparatus 1. In the drawings, XYZ rectangular coordinate axes are shown in order to clarify the directional relationship between the drawings. The X direction is a direction parallel to the horizontal plane, the Y direction is a direction orthogonal to the X direction on the horizontal plane, and the Z direction is a direction orthogonal to both the X and Y directions. Note that the Z direction is also referred to as a vertical direction as appropriate.

部品実装装置１は、プリント配線板等の基板Ｐに部品を実装する部品実装機能と、この部品実装に先立ち、必要な場合にクリームはんだや接着剤等の塗布液を基板Ｐに塗布する機能とを兼ね備えた部品実装装置（塗布装置兼部品実装装置）である。 The component mounting apparatus 1 has a component mounting function for mounting a component on a substrate P such as a printed wiring board, and a function for applying a coating solution such as cream solder or adhesive onto the substrate P prior to the component mounting. Is a component mounting apparatus (coating apparatus / component mounting apparatus).

部品実装装置１は、基台２と、この基台２上で基板Ｐを搬送する基板搬送機構３と、部品供給部５と、ヘッドユニット６と、このヘッドユニット６を駆動するヘッドユニット駆動機構と、部品認識カメラ７と、後述する塗布ノズル２１ａを洗浄するためのノズル洗浄装置８とを備えている。 The component mounting apparatus 1 includes a base 2, a substrate transport mechanism 3 that transports the substrate P on the base 2, a component supply unit 5, a head unit 6, and a head unit drive mechanism that drives the head unit 6. And a component recognition camera 7 and a nozzle cleaning device 8 for cleaning an application nozzle 21a described later.

基板搬送機構３は、基板ＰをＸ方向に搬送する一対のベルトコンベア４を備えており、図１の右側（Ｘ１方向側）から基板Ｐを受け入れて所定の実装作業位置（同図に示す位置）に搬送し、実装作業後、この基板Ｐを同図の左側（Ｘ２方向側）に搬出する。 The substrate transport mechanism 3 includes a pair of belt conveyors 4 that transport the substrate P in the X direction. The substrate transport mechanism 3 receives the substrate P from the right side (X1 direction side) in FIG. ), And after the mounting operation, the substrate P is unloaded to the left side (X2 direction side) in FIG.

部品供給部５は、基板搬送機構３の両側（Ｙ方向の両側）に配置されている。各部品供給部５には、ベルトコンベア４に沿って複数のテープフィーダ５ａが配置されている。各テープフィーダ５ａは、テープを担体（キャリア）として、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の電子部品（チップ部品）を供給するものである。 The component supply unit 5 is disposed on both sides (both sides in the Y direction) of the substrate transport mechanism 3. In each component supply unit 5, a plurality of tape feeders 5 a are arranged along the belt conveyor 4. Each tape feeder 5a supplies small electronic components (chip components) such as ICs, transistors, capacitors, etc., using the tape as a carrier.

前記ヘッドユニット６は、各部品供給部５から部品を取り出して基板Ｐ上に実装するととともに、部品の実装に先立ち、必要に応じて基板Ｐ上に塗布液を塗布するものである。このヘッドユニット６は、ヘッドユニット駆動機構により一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動可能に設けられている。具体的には、ヘッドユニット駆動機構は、高架のフレーム上に各々固定されてＹ方向に延びる一対の固定レール１０と、これら固定レール１０に移動可能に支持されたＸ方向に延びるユニット支持部材１１と、このユニット支持部材１１に螺合挿入されてＹ軸サーボモータ１３により駆動されるボールねじ軸１２とを含む。また、ヘッドユニット駆動機構は、ユニット支持部材１１に固定され、ヘッドユニット６をＸ方向に移動可能に支持する固定レール１４と、ヘッドユニット６に螺合挿入されてＸ軸サーボモータ１６を駆動源として駆動されるボールねじ軸１５とを含む。つまり、ヘッドユニット駆動機構は、Ｘ軸サーボモータ１６によりボールねじ軸１５を介してヘッドユニット６をＸ方向に駆動し、また、Ｙ軸サーボモータ１３によりボールねじ軸１２を介してユニット支持部材１１をＹ方向に駆動する。その結果、ヘッドユニット６が一定の領域内でＸ方向およびＹ方向に移動する。 The head unit 6 takes out components from each component supply unit 5 and mounts them on the substrate P, and applies a coating liquid onto the substrate P as needed before mounting the components. The head unit 6 is provided so as to be movable in the X direction and the Y direction within a certain area by a head unit driving mechanism. Specifically, the head unit drive mechanism includes a pair of fixed rails 10 that are respectively fixed on an elevated frame and extend in the Y direction, and a unit support member 11 that extends in the X direction and is movably supported by the fixed rails 10. And a ball screw shaft 12 screwed into the unit support member 11 and driven by a Y-axis servo motor 13. The head unit drive mechanism is fixed to the unit support member 11 and supports the head unit 6 so as to be movable in the X direction, and the head unit 6 is screwed into the head unit 6 to drive the X-axis servo motor 16 as a drive source. And a ball screw shaft 15 driven as follows. In other words, the head unit driving mechanism drives the head unit 6 in the X direction by the X-axis servomotor 16 via the ball screw shaft 15, and the unit support member 11 via the ball screw shaft 12 by the Y-axis servomotor 13. Is driven in the Y direction. As a result, the head unit 6 moves in the X direction and the Y direction within a certain area.

ヘッドユニット６は、複数のヘッド２０、２１と、これらヘッド２０、２１を駆動するヘッド駆動機構とを備えている。当例では、ヘッドユニット６は、部品実装用の２つのヘッド２０（第１ヘッド２０と称す）と塗布液塗布用の２つのヘッド２１（第２ヘッド２１と称す）の合計４本のヘッド２０、２１を備えている。これらヘッド２０、２１はＸ方向に一列に配列されている。 The head unit 6 includes a plurality of heads 20 and 21 and a head driving mechanism that drives the heads 20 and 21. In this example, the head unit 6 includes a total of four heads 20 including two heads 20 for component mounting (referred to as first heads 20) and two heads 21 for coating liquid application (referred to as second heads 21). , 21 are provided. These heads 20 and 21 are arranged in a line in the X direction.

ヘッド駆動機構は、各ヘッド２０、２１にそれぞれ対応して設けられたＺ軸サーボモータ（図示省略）により各ヘッド２０、２１を個別に昇降（Ｚ方向に移動）させる昇降駆動機構と、各ヘッド２０、２１に共通する一つのＲ軸サーボモータ（図示省略）により各ヘッド２０、２１を同期してヘッド中心軸回り（Ｒ方向）に回転させる回転駆動機構とを含む。 The head drive mechanism includes an elevating drive mechanism for individually elevating (moving in the Z direction) each head 20, 21 by a Z-axis servo motor (not shown) provided corresponding to each head 20, 21, and each head. And a rotary drive mechanism that rotates the heads 20 and 21 around the head central axis (R direction) in synchronization with one R-axis servomotor (not shown) common to the heads 20 and 21.

部品吸着用の第１ヘッド２０の先端には、吸着ノズル２０ａが備えられている。各吸着ノズル２０ａは、切替弁を介して負圧発生装置および正圧発生装置にそれぞれ連通可能とされている。つまり、吸着ノズル２０ａに負圧が供給されることで、当該吸着ノズル２０ａにより部品が吸着、保持され、その後、正圧が供給されることで、吸着ノズル２０ａによる部品の吸着が解除される。 A suction nozzle 20a is provided at the tip of the first head 20 for picking up components. Each suction nozzle 20a can communicate with a negative pressure generator and a positive pressure generator via a switching valve. That is, by supplying a negative pressure to the suction nozzle 20a, the component is sucked and held by the suction nozzle 20a, and thereafter, the suction of the component by the suction nozzle 20a is released by supplying a positive pressure.

塗布液塗布用の第２ヘッド２１の先端には、塗布ノズル２１ａが備えられている。各塗布ノズル２１ａは、ヘッドユニット６の図外のフレームに支持されたシリンジ２２に連通しており、例えば当該シリンジ内への正圧（エア圧）の導入に伴い、ノズル先端にシリンジ内の塗布液が押し出されるようになっている。なお、シリンジ２２からノズル先端に塗布液を押し出す構成は、正圧をシリンジ２２内に導入する機構以外のものであってもよい。 A coating nozzle 21a is provided at the tip of the second head 21 for coating the coating liquid. Each application nozzle 21 a communicates with a syringe 22 supported by a frame (not shown) of the head unit 6. For example, with the introduction of positive pressure (air pressure) into the syringe, the application nozzle 21 a is applied to the tip of the nozzle. The liquid is pushed out. The configuration for pushing the coating solution from the syringe 22 to the tip of the nozzle may be other than a mechanism for introducing positive pressure into the syringe 22.

ヘッドユニット６は、さらに基板認識カメラ２４を備えている。基板認識カメラ２４は、基板Ｐの識別のために、当該基板Ｐに記された各種マークを撮像するとともに、後記洗浄装置本体３０のマーク４７ｂを撮像するものである。なお、当例では、この基板認識カメラ２４が本発明の撮像装置に相当する。 The head unit 6 further includes a substrate recognition camera 24. In order to identify the substrate P, the substrate recognition camera 24 images various marks written on the substrate P and also images a mark 47b of the cleaning device body 30 described later. In this example, the board recognition camera 24 corresponds to the imaging apparatus of the present invention.

前記部品認識カメラ７は、各ヘッド２０により部品供給部５から取り出された部品の吸着状態を認識するために、当該部品を下側から撮像するものである。部品認識カメラ７は、基台２上の各部品供給部５と基板搬送機構３との間の位置にそれぞれ配設されている。 The component recognition camera 7 images the component from the lower side in order to recognize the suction state of the component taken out from the component supply unit 5 by each head 20. The component recognition camera 7 is disposed at a position between each component supply unit 5 and the substrate transport mechanism 3 on the base 2.

前記ノズル洗浄装置８は、塗布ノズル２１ａを洗浄するものであり、洗浄装置本体３０と、この洗浄装置本体３０に洗浄用のエアを供給するエア供給装置５８と、洗浄装置本体３０により塗布ノズル２１ａを洗浄するために上記ヘッドユニット６やエア供給装置５８等の動作を制御する制御装置９とを含む。この制御装置９は、上記のような塗布ノズル２１ａの洗浄動作を含め、部品実装装置１の動作を統括的に制御するものであって、周知のマイクロコンピュータをベースとして構成されており、プログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、例えばＲＡＭやＲＯＭにより構成されたメモリと、電気信号の入出力を行う入出力（Ｉ／Ｏ）バスと、当該入出力バスを介して接続された入出力装置などの機器とを含む。 The nozzle cleaning device 8 is for cleaning the coating nozzle 21 a, the cleaning device main body 30, an air supply device 58 for supplying cleaning air to the cleaning device main body 30, and the coating nozzle 21 a by the cleaning device main body 30. And a control device 9 for controlling the operation of the head unit 6, the air supply device 58 and the like. The control device 9 controls the overall operation of the component mounting apparatus 1 including the cleaning operation of the coating nozzle 21a as described above, and is configured based on a well-known microcomputer. A central processing unit (CPU) to be executed, a memory constituted by, for example, RAM or ROM, an input / output (I / O) bus for inputting / outputting electric signals, and an input connected via the input / output bus Devices such as output devices.

［ノズル洗浄装置の構成］
前記ノズル洗浄装置８は、上記の通り、洗浄装置本体３０、エア供給装置５８および制御装置９を含む。 [Configuration of nozzle cleaning device]
As described above, the nozzle cleaning device 8 includes the cleaning device main body 30, the air supply device 58, and the control device 9.

図３は、洗浄装置本体３０の斜視図であり、図４は、洗浄装置本体３０の断面図である。これらの図に示すように、洗浄装置本体３０は、塗布ノズル２１ａが挿入される挿入孔３１を上部に備えた洗浄部３２と、前記挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａに対してその周囲からエアを吹き付けるエア吐出部３４と、エアの圧力により塗布ノズル２１ａから除去された除去物を受け入れるカップ３６とを備えている。 FIG. 3 is a perspective view of the cleaning apparatus main body 30, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the cleaning apparatus main body 30. As shown in these drawings, the cleaning device main body 30 includes a cleaning unit 32 provided with an insertion hole 31 into which the coating nozzle 21a is inserted, and a periphery of the coating nozzle 21a inserted into the insertion hole 31. The air discharge part 34 which blows air from, and the cup 36 which receives the removal thing removed from the application nozzle 21a by the pressure of air are provided.

洗浄部３２は、カップ３６の配置空間を内部に備えた上下方向に延びる筒状の洗浄部本体４０と、カップ３６の出し入れ口である洗浄部本体４０の上端開口部４０ａを開閉する蓋部材４１と、洗浄部本体４０の内部に配置されて前記カップ３６を支持するカップホルダ４２とを含む。 The cleaning unit 32 includes a cylindrical cleaning unit main body 40 that extends in the vertical direction and includes an arrangement space for the cup 36, and a lid member 41 that opens and closes an upper end opening 40 a of the cleaning unit main body 40 that is a loading / unloading port for the cup 36. And a cup holder 42 that is disposed inside the cleaning unit main body 40 and supports the cup 36.

洗浄部本体４０は、上記基台２上にボルトナットで固定されている。洗浄部本体４０の外側面には複数のサイレンサ４４が固定されている。洗浄部本体４０は、これらサイレンサ４４を介して内外が連通しており、塗布ノズル２１ａの洗浄時には、エア吐出部３４から吐出されるエアがこれらサイレンサ４４を介して外部に排気されるようになっている。 The cleaning unit body 40 is fixed on the base 2 with bolts and nuts. A plurality of silencers 44 are fixed to the outer surface of the cleaning unit main body 40. The cleaning unit main body 40 communicates with the inside and outside through these silencers 44, and when the coating nozzle 21 a is cleaned, the air discharged from the air discharge unit 34 is exhausted to the outside through these silencers 44. ing.

前記蓋部材４１は、洗浄部本体４０の前記上端開口部４０ａに嵌合する蓋本体部４５と、この蓋本体部４５の下面中心部から下向きに延びるスリーブ部４６と、これらの中心、つまり蓋部材４１の中心を上下方向に貫通する貫通孔４８とを備えている。 The lid member 41 includes a lid body portion 45 that fits into the upper end opening 40a of the cleaning portion body 40, a sleeve portion 46 that extends downward from the center of the lower surface of the lid body portion 45, and the center thereof, that is, the lid. A through-hole 48 that penetrates the center of the member 41 in the vertical direction is provided.

蓋本体部４５は、その上部に上向きに延びる円筒部４５ａと、この円筒部４５ａの上面に固定されて、中心に上記挿入孔３１が形成されたエンドプレート４７とを備えている。 The lid body portion 45 includes a cylindrical portion 45a extending upward at an upper portion thereof, and an end plate 47 fixed to the upper surface of the cylindrical portion 45a and having the insertion hole 31 formed at the center thereof.

エンドプレート４７の上部には、挿入孔３１に塗布ノズル２１ａが挿入されたときに前記第２ヘッド２１とエンドプレート４７との間をシールするためのＯリング４７ａが固定されるとともに、挿入孔３１を検知するための一対のマーク４７ｂが設けられている。これらマーク４７ｂは、挿入孔３１を挟んでその両側にそれぞれ設けられている。 An O-ring 47 a for sealing the space between the second head 21 and the end plate 47 when the application nozzle 21 a is inserted into the insertion hole 31 is fixed to the upper portion of the end plate 47. A pair of marks 47b is provided for detecting the above. These marks 47b are provided on both sides of the insertion hole 31, respectively.

そして、上記貫通孔４８の内周面のうち、エンドプレート４７の直下位置に前記エア吐出部３４が設けられている。詳しくは、前記貫通孔４８のうち、その上端部、具体的には上記円筒部４５ａに対応する部分の内周面は下側から上側に向かって先窄まりのテーパ状（テーパ面４８ａとう）とされ、このテーパ面４８ａにおける周方向の複数の位置にエア吐出孔５０が形成されており、これらエア吐出孔５０により上記エア吐出部３４が構成されている。なお、各エア吐出孔５０は、上記挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａに対して、その上方（後方）から下方（先端）に向かって斜め方向にエアを吹き付けるように、挿入孔３１に挿入された塗布ノズル２１ａの軸方向（Ｚ方向）に対して所定の傾き角度で形成されている。 The air discharge portion 34 is provided at a position directly below the end plate 47 in the inner peripheral surface of the through hole 48. Specifically, the upper end portion of the through hole 48, specifically, the inner peripheral surface of the portion corresponding to the cylindrical portion 45a is tapered from the lower side toward the upper side (the tapered surface 48a). The air discharge holes 50 are formed at a plurality of positions in the circumferential direction on the tapered surface 48a, and the air discharge portion 34 is configured by the air discharge holes 50. Each air discharge hole 50 is directed to the insertion hole 31 so that air is blown obliquely from the upper side (rear) to the lower side (tip) of the coating nozzle 21a inserted in the insertion hole 31. It is formed at a predetermined inclination angle with respect to the axial direction (Z direction) of the inserted application nozzle 21a.

各エア吐出孔５０は、それぞれ、テーパ面４８ａを包囲するように円筒部４５ａの内部に形成された円環状通路５２、この円環状通路５２に通じるように円筒部４５ａの側面に設けられたポート部５４、およびこのポート部５４に接続された配管５６を通じてエア供給装置５８に繋がっている。エア供給装置５８は、概略的には、高圧エアの発生源であるコンプレッサ６０と、このコンプレッサ６０からの高圧エアの供給量を制御するための流量調整弁６２と、図外のエアフィルタ等とを含む。この構成により、エア供給装置５８から供給される高圧エアが、配管５６、ポート部５４および円環状通路５２を通じて各エア吐出孔５０（エア吐出部３４）から吐出されるようになっている。 Each air discharge hole 50 has an annular passage 52 formed inside the cylindrical portion 45a so as to surround the tapered surface 48a, and a port provided on a side surface of the cylindrical portion 45a so as to communicate with the annular passage 52. The air supply device 58 is connected through the portion 54 and the pipe 56 connected to the port portion 54. The air supply device 58 generally includes a compressor 60 that is a source of high-pressure air, a flow rate adjustment valve 62 for controlling the amount of high-pressure air supplied from the compressor 60, an air filter that is not shown, and the like. including. With this configuration, high-pressure air supplied from the air supply device 58 is discharged from each air discharge hole 50 (air discharge portion 34) through the pipe 56, the port portion 54 and the annular passage 52.

洗浄部本体４０および蓋部材４１の側面には、蓋部材４１を洗浄部本体４０に固定するためのロック装置６４が設けられている。このロック装置６４は、例えば洗浄部３２における径方向両側にそれぞれ設けられている。 On the side surfaces of the cleaning unit main body 40 and the lid member 41, a lock device 64 for fixing the lid member 41 to the cleaning unit main body 40 is provided. For example, the lock devices 64 are provided on both radial sides of the cleaning unit 32.

ロック装置６４は、蓋部材４１の側面、詳しくは蓋本体部４５の側面に固定されるフック６５と、このフック６５に対する係合部６６ａを備えたレバー部材６６とを備えており、図４に示すように、係合部６６ａをフック６５に係合させ、洗浄部本体４０の外側面に沿うようにレバー部材６６を傾倒することで蓋部材４１を洗浄部本体４０に固定（係止）することができる一方、図５に示すように、レバー部材６６を洗浄部本体４０の外側面から引き起こすように操作することで、洗浄部本体４０に対する蓋部材４１の固定（係止）状態を解除して、蓋部材４１の取り外しが可能となるように構成されている。 The locking device 64 includes a hook 65 that is fixed to a side surface of the lid member 41, more specifically, a side surface of the lid main body 45, and a lever member 66 that includes an engaging portion 66a for the hook 65. FIG. As shown, the engaging portion 66a is engaged with the hook 65, and the lever member 66 is tilted along the outer surface of the cleaning portion main body 40 to fix (lock) the lid member 41 to the cleaning portion main body 40. On the other hand, as shown in FIG. 5, by operating the lever member 66 so as to be caused from the outer surface of the cleaning unit body 40, the fixing (locking) state of the lid member 41 with respect to the cleaning unit body 40 is released. The lid member 41 can be removed.

前記カップホルダ４２は、基台２に立設された複数本の支柱６８と、これら支柱６８に固定されてカップ３６の下面を支持する円盤状の支持プレート７０と、この支持プレート７０よりも上側の位置で各支柱６８に固定されて、カップ３６を位置決めする円環状の位置決めプレート７２とを有する。カップ３６は、図４に示すように、位置決めプレート７２の内側に挿入された状態で支持プレート７０上に支持され、位置決めプレート７２の内周面７２ａによって洗浄部３２の中心に位置決めされている。 The cup holder 42 includes a plurality of support columns 68 erected on the base 2, a disk-shaped support plate 70 that is fixed to the support columns 68 and supports the lower surface of the cup 36, and an upper side than the support plate 70. And an annular positioning plate 72 for positioning the cup 36. As shown in FIG. 4, the cup 36 is supported on the support plate 70 while being inserted inside the positioning plate 72, and is positioned at the center of the cleaning unit 32 by the inner peripheral surface 72 a of the positioning plate 72.

なお、蓋部材４１の上記スリーブ部４６は、このようにカップホルダ４２により支持されたカップ３６の内側に挿入され、その先端（下端）がカップ３６の内底面近傍の位置に至るように形成されている。換言すれば、スリーブ部４６の先端がカップ３６の内底面近傍の位置に至るように、カップホルダ４２（支持プレート７０）によるカップ３６の支持高さが設定されている。 The sleeve portion 46 of the lid member 41 is inserted into the cup 36 supported by the cup holder 42 in this way, and its tip (lower end) is formed to reach a position near the inner bottom surface of the cup 36. ing. In other words, the support height of the cup 36 by the cup holder 42 (support plate 70) is set so that the tip of the sleeve portion 46 reaches a position near the inner bottom surface of the cup 36.

前記制御装置９は、本発明に特に関連する機能構成として、駆動制御部９１、記憶部９２、孔検知部９３および入出力部９４を含んでいる。 The control device 9 includes a drive control unit 91, a storage unit 92, a hole detection unit 93, and an input / output unit 94 as functional configurations particularly relevant to the present invention.

記憶部９２は、上記メモリやハードディスクで構成されており、部品実装装置１の動作を制御するために要する各種プログラムやデータが記憶されている。すなわち、第１ヘッド２０による部品実装動作、第２ヘッド２１による塗布液塗布動作、塗布ノズル２１ａの洗浄動作（ノズル洗浄動作）および挿入孔３１の位置を検知するための挿入孔検知動作を実行するために必要なプログラムやデータが当該記憶部９２に記憶されている。なお、挿入孔検知動作とは、洗浄装置本体３０のメンテナンス後、最初のノズル洗浄動作に先立ち実行される動作であり、洗浄装置本体３０の上記エンドプレート４７に記されたマーク４７ｂを上記基板認識カメラ２４により撮像する動作である。 The storage unit 92 includes the memory and the hard disk, and stores various programs and data necessary for controlling the operation of the component mounting apparatus 1. That is, the component mounting operation by the first head 20, the coating liquid coating operation by the second head 21, the cleaning operation of the coating nozzle 21a (nozzle cleaning operation), and the insertion hole detection operation for detecting the position of the insertion hole 31 are executed. The program and data necessary for this are stored in the storage unit 92. The insertion hole detection operation is an operation that is performed prior to the first nozzle cleaning operation after the maintenance of the cleaning device main body 30, and the mark 47b written on the end plate 47 of the cleaning device main body 30 is recognized as the substrate. This is an operation for imaging with the camera 24.

駆動制御部９１は、上記各動作を実行するために、記憶部９２に記憶されているプログラムおよびデータに基づきＸ軸サーボモータ１３およびＹ軸サーボモータ１６を介してヘッドユニット６の移動を制御するとともに、Ｚ軸サーボモータおよびＲ軸サーボモータを介して各ヘッド２０、２１の昇降や回転を制御する。また、駆動制御部９１は、上記エア供給装置５８（流量調整弁６２）を制御することにより、洗浄装置本体３０に対するエアの供給を制御する。 The drive control unit 91 controls the movement of the head unit 6 via the X-axis servo motor 13 and the Y-axis servo motor 16 based on the program and data stored in the storage unit 92 in order to execute each of the above operations. At the same time, the elevation and rotation of the heads 20 and 21 are controlled via the Z-axis servomotor and the R-axis servomotor. Further, the drive control unit 91 controls the supply of air to the cleaning device body 30 by controlling the air supply device 58 (flow rate adjusting valve 62).

孔検知部９３は、挿入孔検知動作において基板認識カメラ２４が撮像したマーク４７ｂの画像に基づき挿入孔３１の位置を検出し、その位置データを上記記憶部９２に更新的に記憶するものである。なお、当例では、この孔検知部９３と前記駆動制御部９１とにより本発明の実行部が構成されている。 The hole detection unit 93 detects the position of the insertion hole 31 based on the image of the mark 47b captured by the substrate recognition camera 24 in the insertion hole detection operation, and stores the position data in the storage unit 92 in an update manner. . In this example, the hole detection unit 93 and the drive control unit 91 constitute an execution unit of the present invention.

入出力部９４は、例えばタッチパネル等の入出力装置により構成されており、部品実装装置１の作動状況や各種情報を表示（出力）するとともに、オペレータによる情報入力を受け付けるものである。当例では、塗布ノズル２１ａの洗浄タイミングをオペレータから受け付ける。洗浄タイミングは、例えば、手動と自動の選択が可能とされ、さらに自動の場合には、経過時間、生産時間、塗布時間、塗布回数及び基板Ｐの生産枚数などの複数の項目の中から一乃至複数の項目を選択して任意の数値設定を行うことが可能となっている。入出力部９４の操作により選定された洗浄タイミングは、洗浄タイミングデータとして上記記憶部９２に記憶される。なお、当例では、この入出力部９４が本発明のタイミング設定部に相当する。 The input / output unit 94 is configured by an input / output device such as a touch panel, for example. The input / output unit 94 displays (outputs) the operating status and various information of the component mounting apparatus 1 and receives information input by an operator. In this example, the cleaning timing of the application nozzle 21a is received from the operator. For example, manual or automatic cleaning timing can be selected. In the automatic case, one to one of a plurality of items such as an elapsed time, a production time, a coating time, a number of coatings, and the number of produced substrates P can be selected. It is possible to select a plurality of items and set any numerical value. The cleaning timing selected by operating the input / output unit 94 is stored in the storage unit 92 as cleaning timing data. In this example, the input / output unit 94 corresponds to the timing setting unit of the present invention.

［部品実装装置の動作と作用効果］
上記制御装置９の制御に基づく部品実装装置１の動作について説明する。ここでは、本発明との関係上、塗布液の塗布動作、ノズル洗浄動作および挿入孔検知動作について説明する。 [Operation and effects of component mounting equipment]
An operation of the component mounting apparatus 1 based on the control of the control device 9 will be described. Here, a coating liquid application operation, a nozzle cleaning operation, and an insertion hole detection operation will be described in relation to the present invention.

部品実装装置１では、第１ヘッド２０による部品実装動作に先立ち、必要に応じて第２ヘッド２１による塗布液塗布動作が実行される。例えば接着剤で固定する部品については、当該部品の実装に先立ち、実装ポイントに接着剤（塗布液）が塗布される。 In the component mounting apparatus 1, prior to the component mounting operation by the first head 20, the coating liquid application operation by the second head 21 is executed as necessary. For example, for a component to be fixed with an adhesive, an adhesive (coating liquid) is applied to the mounting point prior to mounting the component.

具体的に説明すると、ヘッドユニット６が基板Ｐの上方に移動することにより第２ヘッド２１が実装ポイント上に配置され、第２ヘッド２１の下降に伴い、塗布ノズル２１ａの先端が基板Ｐに近接するタイミングで当該塗布ノズル２１ａの先端から基板Ｐ上に塗布液が押し出される。その後、第２ヘッド２１が上昇し、その結果、実装ポイントに塗布液が塗布される。なお、第２ヘッド２１の上昇の際には、塗布液の液切りが良好に行われるように塗布液の種類や塗布量に応じて予め設定された制御値に基づき第２ヘッド２１の上昇速度や上昇ストロークが制御される。 More specifically, when the head unit 6 moves above the substrate P, the second head 21 is disposed on the mounting point, and the tip of the coating nozzle 21a approaches the substrate P as the second head 21 descends. The coating liquid is pushed out onto the substrate P from the tip of the coating nozzle 21a at the timing of this. Thereafter, the second head 21 is raised, and as a result, the coating liquid is applied to the mounting point. When the second head 21 is raised, the rising speed of the second head 21 is based on a control value set in advance according to the type of coating liquid and the coating amount so that the coating liquid is satisfactorily drained. And the rising stroke is controlled.

部品実装装置１において、上記記憶部９２に記憶されている洗浄タイミングになるとノズル洗浄動作が実行される。具体的には、次のような動作が実行される。 In the component mounting apparatus 1, the nozzle cleaning operation is executed at the cleaning timing stored in the storage unit 92. Specifically, the following operation is executed.

まず、ヘッドユニット６が洗浄装置本体３０の上方に移動し、第２ヘッド２１の下降に伴い、図７に示すように、塗布ノズル２１ａが挿入孔３１から洗浄装置本体３０に挿入される。この際、記憶部９２に記憶されている挿入孔３１の位置データに基づきヘッドユニット６が制御されることにより、挿入孔３１に対して塗布ノズル２１ａが位置決めされる。 First, the head unit 6 moves above the cleaning device main body 30, and the application nozzle 21 a is inserted into the cleaning device main body 30 from the insertion hole 31 as the second head 21 descends as shown in FIG. 7. At this time, the application unit 21 a is positioned with respect to the insertion hole 31 by controlling the head unit 6 based on the position data of the insertion hole 31 stored in the storage unit 92.

洗浄装置本体３０に塗布ノズル２１ａが挿入されると、エア吐出部３４からエアが吐出されて塗布ノズル２１ａに吹き付けられ、当該塗布ノズル２１ａに付着した付着物、つまり、塗布ノズル２１ａの外周面に付着した塗布液が除去される。除去された付着物（除去物）はカップ３６に回収される。この際、除去物は、エア吐出部３４から吐出されるエアの圧力を背圧として受けつつ上記スリーブ部４６に沿ってスムーズにカップ３６内に案内されて回収される。なお、エア吐出部３４からのエアの吐出時間は予め記憶部９２に吐出時間データとして記憶されており、この吐出時間データに基づき制御される。 When the application nozzle 21a is inserted into the cleaning device main body 30, air is discharged from the air discharge portion 34 and blown to the application nozzle 21a, and adheres to the application nozzle 21a, that is, on the outer peripheral surface of the application nozzle 21a. The attached coating solution is removed. The removed deposit (removed material) is collected in the cup 36. At this time, the removed material is smoothly guided into the cup 36 and collected along the sleeve portion 46 while receiving the pressure of the air discharged from the air discharge portion 34 as a back pressure. Note that the discharge time of air from the air discharge unit 34 is stored in advance as discharge time data in the storage unit 92 and is controlled based on the discharge time data.

エア吐出部３４からのエアの吐出が停止されると、第２ヘッド２１が上昇し、これにより一連のノズル洗浄動作が終了する。 When the discharge of air from the air discharge unit 34 is stopped, the second head 21 is raised, thereby completing a series of nozzle cleaning operations.

なお、この部品実装装置１では、上記記憶部９２に記憶されているメンテナンス時期になると、上記入出力部９４を介して洗浄装置本体３０がメンテナンス時期であることが報知される。上記カップ３６に溜まった除去物は、このメンテナンスの際にオペレータによって廃棄される。この場合の具体的な作業内容は次の通りである。 In the component mounting apparatus 1, when the maintenance time stored in the storage unit 92 is reached, the cleaning device body 30 is informed via the input / output unit 94 that it is the maintenance time. The removed matter collected in the cup 36 is discarded by the operator during this maintenance. The specific work contents in this case are as follows.

まず、ロック装置６４のレバー部材６６を操作し、蓋部材４１の固定（係止）状態を解除して、蓋部材４１を洗浄部本体４０から取り外す。これにより、洗浄部本体４０の上端開口部４０ａを開放してカップ３６を交換する。この際、カップ３６を位置決めプレート７２から抜き取り、次のカップ３６を位置決めプレート７２の内側に挿入することで、カップ３６を洗浄部３２の中心に難なく位置決めすることができる。 First, the lever member 66 of the locking device 64 is operated to release the fixed (locked) state of the lid member 41, and the lid member 41 is removed from the cleaning unit main body 40. Thereby, the upper end opening 40a of the cleaning unit body 40 is opened and the cup 36 is replaced. At this time, by removing the cup 36 from the positioning plate 72 and inserting the next cup 36 inside the positioning plate 72, the cup 36 can be positioned without difficulty at the center of the cleaning unit 32.

その後、蓋部材４１を元に戻し、レバー部材６６の操作により、ロック装置６４によって蓋部材４１を洗浄部本体４０に係止する。これによりメンテナンス作業が完了する。 Thereafter, the lid member 41 is returned to its original position, and the lid member 41 is locked to the cleaning unit main body 40 by the lock device 64 by operating the lever member 66. This completes the maintenance work.

このメンテナンス作業では、上記の通り、洗浄部本体４０から蓋部材４１を一端取り外すため、メンテナンス後の挿入孔３１の位置が、記憶部９２に記憶されている位置データによる挿入孔３１の位置からずれてしまう場合がある。そのため、上記部品実装装置１では、メンテナンス作業後、最初のノズル洗浄動作に先立ち、挿入孔３１の位置を検知するための上記挿入孔検知動作が実行される。この挿入孔検知動作は次の通りである。 In this maintenance work, as described above, since the lid member 41 is once removed from the cleaning unit main body 40, the position of the insertion hole 31 after maintenance shifts from the position of the insertion hole 31 based on the position data stored in the storage unit 92. May end up. Therefore, in the component mounting apparatus 1, the insertion hole detection operation for detecting the position of the insertion hole 31 is performed prior to the first nozzle cleaning operation after the maintenance work. This insertion hole detection operation is as follows.

まず、ヘッドユニット６が洗浄装置本体３０の上方に移動し、基板認識カメラ２４により蓋部材４１（エンドプレート４７）に記されたマーク４７ｂが撮像される。そして、上記孔検知部９３において当該画像データ中のマーク４７ｂの位置が認識され、この認識位置と既知のデータ、すなわちマーク４７ｂと挿入孔３１との相対位置データとに基づき挿入孔３１の位置が求められ、この位置データが更新的に記憶部９２に記憶される。これにより、メンテナンス作業後の最初のノズル洗浄動作の際には、記憶部９２に記憶されている挿入孔３１の最新の位置データに基づきヘッドユニット６が制御されることとなる。 First, the head unit 6 moves above the cleaning apparatus main body 30, and the substrate recognition camera 24 images the mark 47b marked on the lid member 41 (end plate 47). The hole detection unit 93 recognizes the position of the mark 47b in the image data, and the position of the insertion hole 31 is determined based on the recognized position and known data, that is, relative position data between the mark 47b and the insertion hole 31. This position data is stored in the storage unit 92 in an updated manner. As a result, during the first nozzle cleaning operation after the maintenance work, the head unit 6 is controlled based on the latest position data of the insertion hole 31 stored in the storage unit 92.

なお、このような挿入孔検知動作は、例えば洗浄装置本体３０のメンテナンス時期であることが上記入出力部９４を介してオペレータに報知されたときに、オペレータが入出力部９４を介して当該情報表示を解除するための操作を行うことで、当該操作をフラグとしてメンテナンス後の最初のノズル洗浄動作の際に実行される。 Such an insertion hole detection operation is performed when the operator is informed via the input / output unit 94 when the operator is notified through the input / output unit 94 that the maintenance time of the cleaning apparatus main body 30 is, for example. By performing an operation for canceling the display, the operation is performed at the time of the first nozzle cleaning operation after maintenance using the operation as a flag.

以上説明した通り、上記洗浄装置本体３０（ノズル洗浄装置８）によれば、塗布ノズル２１ａにエアを吹き付けて付着物を除去し、この除去物をカップ３６に回収するので、除去物が洗浄部３２の各部に付着することが抑制される。しかも、蓋部材４１を洗浄部本体４０から取り外し、カップ３６を交換することで、回収した除去物を容易に廃棄することができる。そのため、この洗浄装置本体３０によれば、塗布ノズル２１ａをドライ洗浄する一方で、塗布ノズル２１ａから除去した除去物の回収を良好に行うことができ、また、メンテナンスも容易に行うことができる。 As described above, according to the cleaning device main body 30 (nozzle cleaning device 8), air is blown onto the application nozzle 21a to remove deposits, and the removed items are collected in the cup 36. Adhering to each part of 32 is suppressed. In addition, by removing the lid member 41 from the cleaning unit main body 40 and replacing the cup 36, the collected removed matter can be easily discarded. Therefore, according to this cleaning device main body 30, while the application nozzle 21a is dry-cleaned, the removed material removed from the application nozzle 21a can be recovered well, and maintenance can be easily performed.

特に、上記洗浄装置本体３０によれば、洗浄部３２に、塗布ノズル２１ａからの除去物をカップ３６の内側に導くスリーブ部４６が設けられているので、カップ３６の周囲に除去物が飛散することが抑制される。そのため、カップ３６内への除去物の回収をより確実に行うことができる。なお、塗布ノズル２１ａからの除去物は、エア吐出部３４から吐出されるエアを背圧としてスリーブ部４６に沿ってカップ３６内に案内されるため、除去物がスリーブ部４６の内壁面に付着することは比較的少ない。 In particular, according to the cleaning device main body 30, the cleaning unit 32 is provided with the sleeve portion 46 that guides the removed material from the application nozzle 21 a to the inside of the cup 36, so that the removed material scatters around the cup 36. It is suppressed. Therefore, it is possible to more reliably recover the removed material in the cup 36. The removed matter from the application nozzle 21a is guided into the cup 36 along the sleeve portion 46 by using the air discharged from the air discharge portion 34 as back pressure, so that the removed matter adheres to the inner wall surface of the sleeve portion 46. There is relatively little to do.

また、上記洗浄装置本体３０によれば、カップ３６を位置決めした状態で保持するカップホルダ４２が設けられているので、カップ３６が洗浄部３２の中心から大きくずれることに起因して、除去物がカップ３６の周辺に飛散することが抑制されるという利点もある。 In addition, according to the cleaning device main body 30, the cup holder 42 that holds the cup 36 in a positioned state is provided, so that the removed matter is caused by the cup 36 largely deviating from the center of the cleaning unit 32. There is also an advantage that scattering around the cup 36 is suppressed.

また、上記ノズル洗浄装置８によれば、洗浄装置本体３０のメンテナンスが行われた場合には、その後の最初のノズル洗浄動作に先立ち、挿入孔３１の位置を求めるための挿入孔検知動作が実行され、この挿入孔検知動作により検知された挿入孔３１の位置に基づき、その後のノズル洗浄動作が実行される。そのため、メンテナンス時の蓋部材４１の脱着に伴う挿入孔３１のずれに起因したトラブル、すなわち、塗布ノズル２１ａが蓋部材４１（エンドプレート４７）に衝突するといったトラブルを未然に回避できるという利点もある。 Further, according to the nozzle cleaning device 8, when maintenance of the cleaning device main body 30 is performed, an insertion hole detection operation for determining the position of the insertion hole 31 is performed prior to the subsequent first nozzle cleaning operation. Then, the subsequent nozzle cleaning operation is executed based on the position of the insertion hole 31 detected by the insertion hole detection operation. Therefore, there is an advantage that a trouble caused by the displacement of the insertion hole 31 accompanying the attachment / detachment of the lid member 41 during maintenance, that is, a trouble that the coating nozzle 21a collides with the lid member 41 (end plate 47) can be avoided. .

なお、上述したノズル洗浄装置８は、本発明に係るノズル洗浄装置の好ましい実施形態の例示であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 In addition, the nozzle cleaning apparatus 8 mentioned above is illustration of preferable embodiment of the nozzle cleaning apparatus which concerns on this invention, The specific structure can be suitably changed in the range which does not deviate from the summary of this invention.

１部品実装装置（塗布装置）
８ノズル洗浄装置
９制御装置
２０第１ヘッド
２１第２ヘッド
２０ａ吸着ノズル
２１ａ塗布ノズル
２４基板認識カメラ（撮像装置）
３０洗浄装置本体
３２洗浄部
３１挿入孔
３４エア吐出部
３６カップ
４０洗浄部本体
４０ａ上端開口部（出し入れ口）
４１蓋部材
４２カップホルダ
４５蓋本体部
４６スリーブ部
４７ｂマーク
５８エア供給装置
９１駆動制御部（実行部）
９２記憶部
９３孔検知部（実行部）
９４入出力部（タイミング設定部） 1 Component mounting equipment (coating equipment)
8 Nozzle cleaning device 9 Control device 20 First head 21 Second head 20a Adsorption nozzle 21a Application nozzle 24 Substrate recognition camera (imaging device)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 30 Cleaning apparatus main body 32 Cleaning part 31 Insertion hole 34 Air discharge part 36 Cup 40 Cleaning part main body 40a Upper end opening part (in / out opening)
41 Lid member 42 Cup holder 45 Lid body part 46 Sleeve part 47b Mark 58 Air supply device 91 Drive control part (execution part)
92 Storage Unit 93 Hole Detection Unit (Execution Unit)
94 I / O section (timing setting section)

Claims

A nozzle cleaning device that includes a movable head having a nozzle at the tip, is mounted on a coating device that applies a predetermined coating solution onto the substrate from the nozzle, and cleans the nozzle
A cleaning device body;
An air supply device for supplying cleaning air to the cleaning device body;
A hollow cleaning section provided in the cleaning apparatus main body and disposed in a movable range of the head, and having an insertion hole into which the nozzle is inserted,
An air discharge part for blowing air from the periphery to the nozzle inserted into the insertion hole;
A cup that is disposed inside the cleaning section and receives the removed material removed from the nozzle;
A control device that controls the coating device and the air supply device, and performs a predetermined nozzle cleaning operation by inserting the nozzle into the insertion hole and discharging air from the air discharge portion ,
The cleaning unit includes a cleaning unit main body provided with a cup outlet and a lid member capable of opening and closing the inlet and outlet .
The lid member includes the insertion hole and a mark for recognizing the insertion hole,
The coating apparatus includes an imaging device that moves with the head and images the mark,
The control device includes a timing setting unit capable of setting the timing for executing the nozzle cleaning operation by a predetermined input operation, a storage unit for storing the cleaning timing set via the timing setting unit, An execution unit that executes the nozzle cleaning operation based on the cleaning timing stored in the storage unit,
Prior to the nozzle cleaning operation, the execution unit images the mark by the imaging device, obtains the position of the insertion hole based on the position of the image, and stores the position of the insertion hole in the storage unit. A nozzle cleaning device that performs a detection operation and controls the coating device based on the position of the insertion hole stored in the storage unit in the nozzle cleaning operation .

The nozzle cleaning device according to claim 1,
The cleaning unit is provided with a sleeve unit that guides the removed material to the inside of the cup.

The nozzle cleaning device according to claim 2,
The cleaning unit main body has a cylindrical shape extending in the vertical direction with an internal space for the cup,
The lid member includes the insertion hole and the air discharge unit, and opens and closes the entrance / exit of the cleaning unit body, and extends downward from the bottom surface of the lid body part to reach the inside of the cup. A nozzle cleaning device comprising the sleeve portion.

The nozzle cleaning device according to claim 1, wherein
The cleaning unit includes a cup holder that holds the cup in a positioned state.