JP6488854B2 - 半導体積層体および受光素子 - Google Patents
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Description
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。本願の半導体積層体は、III−V族化合物半導体からなる基板と、III−V族化合物半導体からなり、導電型がp型であるp型層と、III−V族化合物半導体からなる量子井戸受光層と、III−V族化合物半導体からなり、導電型がn型であるn型層と、を備える。上記基板、上記p型層、上記量子井戸受光層および上記n型層は、この順に積層される。そして、量子井戸受光層内におけるp型不純物の濃度は5×1015cm−3以下である。
(実施の形態1)
次に、本発明にかかる半導体積層体の一実施の形態である実施の形態1を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。
次に、本発明にかかる半導体積層体および受光素子の他の実施の形態である実施の形態2について説明する。図8は、実施の形態2における半導体積層体10の構造を示す概略断面図である。また、図9は、実施の形態2における赤外線受光素子1の構造を示す概略断面図である。図8および図9、ならびに図1および図2を参照して、本実施の形態の半導体積層体10および赤外線受光素子1は、基本的には実施の形態1の場合と同様の構造を有し、同様の効果を奏する。しかし、本実施の形態の半導体積層体10および赤外線受光素子1は、バッファ層30の構造において実施の形態1の場合とは異なっている。
次に、本発明にかかる受光素子の他の実施の形態である実施の形態3における受光素子およびセンサについて説明する。図10および図2を参照して、実施の形態3の赤外線受光素子1は、図2に示す構造を単位構造とし、当該単位構造が、基板20の一方の主面20Aが延在する方向に複数繰り返される構造を有している。そして、赤外線受光素子1は、画素に対応する複数のn側電極92を有する。一方、p側電極91は1つだけ配置される。
10 半導体積層体
20 基板
20A 主面
30 バッファ層
30A 第1主面
31 低p型濃度領域
40 量子井戸構造
40A 主面
41 第1要素層
42 第2要素層
50 コンタクト層
50A 主面
70 読み出し回路
71 本体
72,73 バンプ
75 配線
80 パッシベーション膜
81 開口部
82 開口部
91 p側電極
92 n側電極
99 トレンチ
99A 側壁
99B 底壁
100 赤外線センサ
Claims (8)
- 半導体積層体と、
前記半導体積層体上に形成された電極と、を備え、
前記半導体積層体は、
III−V族化合物半導体からなる基板と、
III−V族化合物半導体からなり、導電型がp型であるp型層と、
III−V族化合物半導体からなる量子井戸受光層と、
III−V族化合物半導体からなり、導電型がn型であるn型層と、を含み、
前記基板、前記p型層、前記量子井戸受光層および前記n型層は、この順に積層され、
前記量子井戸受光層内におけるp型不純物の濃度は5×1015cm−3以下であり、
前記p型層の前記量子井戸受光層側の主面である第1主面を含む領域には、p型不純物の濃度が5×10 17 cm −3 以下である低p型濃度領域が形成されており、
前記低p型濃度領域の厚みは50nm以上であり、
前記半導体積層体には、前記n型層、前記量子井戸受光層および前記低p型濃度領域を貫通し、底壁が前記p型層内に位置するトレンチが形成されており、
前記電極は、前記トレンチの底壁において露出する前記p型層に接触して配置される、受光素子。 - 前記p型層に含まれるp型不純物は、C、Be、ZnおよびMgからなる群から選択される1種以上の元素である、請求項1に記載の受光素子。
- 前記量子井戸受光層はSbを含む、請求項1または請求項2に記載の受光素子。
- 前記量子井戸受光層は、InxGa1−xAs(xは0.38以上1以下)層とGaAs1−ySby(yは0.36以上1以下)層とのペア、またはGa1−uInuNvAs1−v(uは0.4以上0.8以下、vは0を超え0.2以下)層とGaAs1−ySby(yは0.36以上0.62以下)層とのペアを含む多重量子井戸構造である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記量子井戸受光層は、InAs層とGaSb層とのペアを含む多重量子井戸構造である、請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記基板は、GaAs、GaP、GaSb、InP、InAs、InSb、AlSb、またはAlAsからなる、請求項4または請求項5に記載の受光素子。
- 前記p型層と前記量子井戸受光層との界面、および前記量子井戸受光層と前記n型層との界面における、酸素の濃度、炭素の濃度および水素の濃度は、いずれも1×1017cm−3以下である、請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の受光素子。
- 前記p型層、前記量子井戸受光層および前記n型層は有機金属気相成長法により形成されている、請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の受光素子。
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