JP6483991B2 - 研磨材料の製造方法 - Google Patents
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Description
上記複数の中空球体は、熱可塑性樹脂からなる外殻を有する。
上記ポリマーは、上記複数の中空球体を含有し、プレポリマーと硬化剤の重合反応によって生成され、上記重合反応による内部蓄熱の最高温度が上記熱可塑性樹脂の軟化温度に50℃を加えた温度以下である。
上記複数の中空球体は、熱可塑性樹脂からなる外殻を有する。
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上記プレポリマーと重合反応してポリマーを生成するための硬化剤をミキサーへ供給する。
上記ミキサーによって上記プレポリマーと上記硬化剤とを混合する。
上記プレポリマーと上記硬化剤との混合物を所定形状に注型し、上記重合反応による内部蓄熱の最高温度が上記熱可塑性樹脂の軟化温度に50℃を加えた温度以下となるように維持する。
図1は、本実施形態に係る研磨パッド100を示す斜視図である。同図に示すように、研磨パッド100は、研磨層101、ベース層102及び接着層103がこの順で積層されて構成されている。
研磨層101を構成する研磨材料について説明する。図2は、研磨パッド100の模式的断面図である。同図に示すように、研磨層101は、ポリマー110に中空球体111が含有された研磨材料から構成されている。なお、図2においては溝101bの記載は省略する。
研磨材料からなる研磨パッド用シートを研磨層101として利用することができる。以下、研磨パッド用シートの製造方法について説明する。図4は、研磨材料の製造設備300を示す模式図である。同図に示すように、製造設備300は、A系貯槽301、B系貯槽302、ミキサー303及び型304から構成されている。A系貯槽301には、攪拌機構305が設けられている。また、各部には、温調設備が設けられている。
上記のように、中空球体及びプレポリマーを含有するプレポリマー混合物と硬化剤が混合されると、プレポリマーと硬化剤が重合反応を生じる。この際の反応熱によって中空球体に変形が生じるおそれがある。
101…研磨層
102…ベース層
103…接着層
110…ポリマー
111…中空球体
Claims (5)
- 熱可塑性樹脂からなる外殻を有し、加熱膨張によって外殻内に中空が形成された複数の中空球体を含有するプレポリマーをミキサーへ供給し、
前記プレポリマーと重合反応してポリマーを生成するための硬化剤をミキサーへ供給し、
前記ミキサーによって前記プレポリマーと前記硬化剤とを混合し、
前記プレポリマーと前記硬化剤との混合物を所定形状に注型し、前記重合反応による内部蓄熱の最高温度が前記熱可塑性樹脂の軟化温度に50℃を加えた温度以下となるように維持する
研磨材料の製造方法。 - 請求項1に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記プレポリマーと前記硬化剤との混合物を注型する工程では、前記重合反応による内部蓄熱の最高温度が前記熱可塑性樹脂の軟化温度以下となるように維持する
研磨材料の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記プレポリマーと前記硬化剤との混合物を注型する工程では、型を40℃以上70℃以下に加熱して注型を行う
研磨材料の製造方法。 - 請求項1から3のうちいずれか一項に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記複数の中空球体を含有するプレポリマーをミキサーへ供給する工程の前に、前記複数の中空球体を含有するプレポリマーを40℃以上80℃以下に加熱した第1の貯槽に投入する工程をさらに含み、
前記複数の中空球体を含有するプレポリマーをミキサーへ供給する工程では、前記第1の貯槽から前記ミキサーへ、前記複数の中空球体を含有するプレポリマーを供給する
研磨材料の製造方法。 - 請求項1から4のうちいずれか一項に記載の研磨材料の製造方法であって、
前記硬化剤はジオール系硬化剤であり、
前記硬化剤をミキサーへ供給する工程の前に、前記硬化剤を40℃以上110℃以下に加熱した第2の貯槽に投入する工程をさらに含み、
前記硬化剤をミキサーへ供給する工程では、前記第2の貯槽から前記ミキサーへ前記硬化剤を供給する
研磨材料の製造方法。
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