JP6479433B2 - 運転モード変更システム - Google Patents

Description

本発明は、空調室を使用する場合に実施される通常風量運転と、空調室を非使用の場合に実施される少風量運転と、通常風量運転から少風量運転に切り替える切替運転とを行う運転モード変更システムに関する。

クリーンルームを有する施設では、給気ダクトに設置されてクリーンルームに清浄空気を給気する給気ファンと、排気ダクトに設置されてクリーンルームから空気を排気する排気ファンと、給気ファンの下流側に延びる給気ダクトに設置されてクリーンルームに給気する空気の風量を調節する定風量装置（ＣＡＶ）と、排気ファンの上流側に延びる排気ダクトに設置されてクリーンルームから排気する空気の風量を調節するモータダンパ（ＭＤ）とを備えた空調システムが利用されている。

クリーンルームの使用時における通常風量運転では、定風量装置やモータダンパによって空気の入出量バランスを調節することでクリーンルームの室内気圧が目標室圧に保持される。また、クリーンルームの非使用時における少風量運転では、給気ファンや排気ファンの給排気風量を減少させるとともに、定風量装置の風量を減少させてクリーンルームへ送る空気の風量を減少させ、クリーンルーム内を清浄に保ちつつ、給排気ファンで消費される電力を少なくする。

通常風量運転から少風量運転に切り替わる切替運転において、クリーンルームの室内気圧を考慮せずに、給排気ファンの風量を所定の時間内に連続して一律に減少させるとともに、モータダンパの開度を所定の時間内に連続して一律に小さくすると、図１５（ｂ）に示すように、クリーンルームの室内気圧が大きく上昇または大きく下降し、クリーンルームの室内気圧が目標室圧から大きく外れ、クリーンルームの室内気圧が不安定になる場合がある。室内気圧が不安定となることを回避するためには、図１６に示すように、モータダンパの開度を時間をかけてゆっくりと閉じる必要があるが、通常風量運転から少風量運転への切替に長時間を要するという問題がある。なお、図１５（ａ）および図１６（ａ）のグラフでは、縦軸が定風量装置の風量を表し、横軸が経過時間を表す。図１５（ｂ）および図１６（ｂ）のグラフでは、縦軸が室内気圧を表し、横軸が経過時間を表す。

そのような問題を解決するために、給気ファンとクリーンルームとの間の給気ダクト内の動圧を測定し、その圧力偏差によって圧力制御ダンパを制御し、給気風量を一定に保持する制御方法が開示されている（特許文献１参照）。前記特許文献１に開示の室圧制御ダンパを用いる制御方法は、通常風量運転から少風量運転に切り替える切替運転の切替時間を短縮することができる。

特開２０１０−１６９３０７号公報

なお、通常風量運転から少風量運転への切替運転中にクリーンルームの室内気圧が大きく変動し、クリーンルームの室内気圧が目標室圧から外れると、クリーンルームの室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなったり、圧力の正負が逆転したりすると、隣接する空間の空気がクリーンルームに不用意に進入し、進入した隣接空間の空気によってクリーンルームが汚染される場合がある。

本発明の目的は、通常風量運転から少風量運転に切り替える切替運転時または少風量運転から通常風量運転に切り替える切替運転時における空調室の室内気圧の大きな変動を防ぐことができるとともに、切替運転の運転時間を短縮することができる運転モード変更システムを提供することにある。本発明の他の目的は、通常風量運転から少風量運転への切替運転中または少風量運転から通常風量運転への切替運転中に室内気圧と基準圧との圧力差が所定量を確保できなくなることがないとともに、室内圧力の正負が逆転することがなく、切替運転中における空調室への隣接空間の空気の不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによる空調室が汚染を防ぐことができる運転モード変更システムを提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて空調室から空気を排気する排気装置と、空調室に給気する空気の風量または空調室から排気する空気の風量を増減させる風量変更装置と、空調室の室圧を計測する室圧センサと、室圧センサが計測した室圧によってそれら装置を制御するコントローラとを備え、空調室を使用する場合に実施される通常風量運転と、空調室を非使用の場合に実施され、空調室に給気する空気の風量および空調室から排気する空気の風量が通常風量運転よりも少ない少風量運転と、風量変更装置を利用して空気の風量を次第に減少させ、通常風量運転から少風量運転に切り替える第１切替運転とを行う運転モード変更システムである。

前記第１の前提における本発明の第１の特徴として、第１切替運転においてコントローラは、風量変更装置の風量が通常風量運転の通常風量運転目標風量から少風量運転の少風量運転目標風量に切り替わる間であって風量変更装置が風量を減少させる風量減少過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、風量変更装置に風量減少を一時停止させる風量減少停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、風量減少停止手段を中断して風量変更装置に風量減少を再開させる風量減少再開手段とを有し、第１切替運転においてコントローラは、空調装置からの空気の給気量を次第に減少させ、空調装置からの空気の給気量が通常風量運転の通常風量運転目標給気量から少風量運転の少風量運転目標給気量に切り替わる間であって、空調装置が空気の給気量を減少させる給気量減少過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、空調装置に給気量減少を一時停止させる給気量減少停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、給気量減少停止手段を中断して空調装置に給気量減少を再開させる給気量減少再開手段とを有し、第１切替運転においてコントローラは、排気装置からの空気の排気量を次第に減少させ、排気装置からの空気の排気量が通常風量運転の通常風量運転目標排気量から少風量運転の少風量運転目標排気量に切り替わる間であって、排気装置が空気の排気量を減少させる排気量減少過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、排気装置に排気量減少を一時停止させる排気量減少停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、排気量減少停止手段を中断して排気装置に排気量減少を再開させる排気量減少再開手段とを有することにある。

前記第１の特徴を有する本発明の一例として、風量減少停止手段においてコントローラは、風量変更装置に所定の時間間隔で風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返させる。

前記第１の特徴を有する本発明の他の一例としては、空調室が複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、風量変更装置が給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置から形成され、第１切替運転においてコントローラは、第１風量変更装置から第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

前記第１の特徴を有する本発明の他の一例としては、空調室が複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、風量変更装置が給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置をグループ分けした第１〜第ｎ風量変更装置グループから形成され、第１切替運転においてコントローラは、第１風量変更装置グループから第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて空調室から空気を排気する排気装置と、空調室に給気する空気の風量または空調室から排気する空気の風量を増減させる風量変更装置と、空調室の室圧を計測する室圧センサと、室圧センサが計測した室圧によってそれら装置を制御するコントローラとを備え、空調室を使用する場合に実施される通常風量運転と、空調室を非使用の場合に実施され、空調室に給気する空気の風量または空調室から排気する空気の風量が通常風量運転よりも少ない少風量運転と、風量変更装置を利用して空気の風量を次第に増加させ、少風量運転から通常風量運転に切り替える第２切替運転とを行う運転モード変更システムである。

前記第２の前提における本発明の第２の特徴として、第２切替運転においてコントローラは、風量変更装置の風量が少風量運転の少風量運転目標風量から通常風量運転の通常風量運転目標風量に切り替わる間であって風量変更装置が風量を増加させる風量増加過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、風量変更装置に風量増加を一時停止させる風量増加停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、風量増加停止手段を中断して風量変更装置に風量増加を再開させる風量増加再開手段とを有し、第２切替運転においてコントローラは、空調装置からの空気の給気量を次第に増加させ、空調装置からの空気の給気量が少風量運転の少風量運転目標給気量から通常風量運転の通常風量運転目標給気量に切り替わる間であって、空調装置が空気の給気量を増加させる給気量増加過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、空調装置に給気量増加を一時停止させる給気量増加停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、給気量増加停止手段を中断して空調装置に給気量増加を再開させる給気量増加再開手段とを有し、第２切替運転においてコントローラは、排気装置からの空気の排気量を次第に増加させ、排気装置からの空気の排気量が少風量運転の少風量運転目標排気量から通常風量運転の通常風量運転目標排気量に切り替わる間であって、排気装置が空気の排気量を増加させる排気量増加過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、空調装置に給気量増加を一時停止させる給気量増加停止手段と、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合に、排気量増加停止手段を中断して排気装置に排気量増加を再開させる排気量増加再開手段とを有することにある。

前記第２の特徴を有する本発明の一例として、風量増加停止手段においてコントローラは、風量変更装置に所定の時間間隔で風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返させる。

前記第２の特徴を有する本発明の他の一例としては、空調室が複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、風量変更装置が給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置から形成され、第２切替運転においてコントローラは、第１風量変更装置から第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

前記第２の特徴を有する本発明の他の一例としては、空調室が複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、風量変更装置が給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置をグループ分けした第１〜第ｎ風量変更装置グループから形成され、第２切替運転においてコントローラは、第１風量変更装置グループから第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

前記第１および第２の特徴を有する本発明の一例としては、風量変更装置が定風量装置（ＣＡＶ）、可変定風量装置（ＶＡＶ）、モータダンパ（ＭＤ）のいずれかである。

前記第１の特徴を有する本発明の運転モード変更システムによれば、通常風量運転から少風量運転への第１切替運転における風量変更装置の風量減少過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合、風量変更装置に風量減少を一時停止させるから、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、第１切替運転中において空調室の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気の空調室への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによる空調室の汚染を防ぐことができる。運転モード変更システムは、第１切替運転における風量減少停止手段の実施中に、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合、風量変更装置の風量減少停止を中断して風量変更装置に風量減少を再開させるから、空調室の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができ、第１切替運転の運転時間を短縮することができる。

運転モード変更システムは、空調装置の給気量減少過程や排気装置の排気量減少過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合であって、風量減少停止手段によって風量変更装置に風量減少を一時停止させる場合、空調装置に給気量減少を一時停止させる給気量減少停止手段と排気装置に排気量減少を一時停止させる排気量減少停止手段とのうちの少なくとも一方を実施するから、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、第１切替運転中において空調室の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気の空調室への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによる空調室の汚染を防ぐことができる。運転モード変更システムは、第１切替運転における風量減少停止手段の実施中や給気量減少停止手段と排気量減少停止手段とのうちの少なくとも一方を実施中に、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合であって、風量減少再開手段によって風量変更装置に風量減少を再開させる場合、空調装置に給気量減少を再開させる給気量減少再開手段と排気装置に排気量減少を再開させる排気量減少再開手段とのうちの少なくとも一方を実施するから、空調室の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができ、第１切替運転の運転時間を短縮することができるとともに、通常風量運転から少風量運転へ切り替えることで空調室の非使用時における給気装置や排気装置の搬送動力の消費電力を少なくすることができる。

風量変更装置に風量減少を停止させる風量減少停止手段において、風量変更装置に所定の時間間隔で風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返させる運転モード変更システムは、風量減少停止手段において風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返すことで、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、風量減少停止手段から風量減少再開手段に速やかに移行することができるから、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができ、第１切替運転の運転時間を短縮することができる。

給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに第１〜第ｎ風量変更装置が設置されている場合に、それらすべての第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段と風量減少再開手段とを同時に実施すると、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが互いに干渉し、ダクトのダクト内圧力が大きく変動し、空調室の室内気圧が大きく変動する場合がある。この場合、第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施しても、空調室の室内気圧を規定室圧の範囲内に保持することが困難になる。しかし、この運転モード変更システムは、第１切替運転において第１風量変更装置から第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で風量減少停止手段と風量減少再開手段とを順番に実施するから、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが干渉することはなく、ダクトのダクト内圧力の変動を防ぐことができる。その結果、空調室の室内気圧が大きく変動することはなく、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができるとともに、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができる。

給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに第１〜第ｎ風量変更装置が設置されている場合に、それらすべての第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段と風量減少再開手段とを同時に実施すると、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが互いに干渉し、ダクトのダクト内圧力が大きく変動し、空調室の室内気圧が大きく変動する場合がある。この場合、第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施しても、空調室の室内気圧を規定室圧の範囲内に保持することが困難になる。しかし、この運転モード変更システムは、第１切替運転において第１風量変更装置グループから第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で風量減少停止手段と風量減少再開手段とを順番に実施するから、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが干渉することはなく、ダクトのダクト内圧力の変動を防ぐことができる。その結果、空調室の室内気圧が大きく変動することはなく、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができるとともに、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができる。

前記第２の特徴を有する本発明の運転モード変更システムによれば、少風量運転から通常風量運転への第２切替運転における風量変更装置の風量増加過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合、風量変更装置に風量増加を一時停止させるから、第２切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、第２切替運転中において空調室の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気の空調室への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによる空調室の汚染を防ぐことができる。運転モード変更システムは、第２切替運転における風量増加停止手段の実施中に、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合、風量変更装置の風量増加停止を中断して風量変更装置に風量増加を再開させるから、空調室の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができ、第２切替運転の運転時間を短縮することができるとともに、空調室において作業を速やかに開始することができる。

運転モード変更システムは、空調装置の給気量増加過程および排気装置の排気量増加過程において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合であって、風量増加停止手段によって風量変更装置に風量増加を一時停止させる場合、空調装置に給気量増加を一時停止させる給気量増加停止手段と排気装置に排気量増加を一時停止させる排気量増加停止手段とのうちの少なくとも一方を実施するから、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、第２切替運転中において空調室の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気の空調室への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによる空調室の汚染を防ぐことができる。運転モード変更システムは、第２切替運転中における風量増加停止手段の実施中や給気量増加停止手段と排気量増加停止手段とのうちの少なくとも一方を実施中に、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合であって、風量増加再開手段によって風量変更装置に風量増加を再開させる場合、空調装置に給気量増加を再開させる給気量増加再開手段と排気装置に排気量増加を再開させる排気量増加再開手段とのうちの少なくとも一方を実施するから、空調室の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができ、第２切替運転の運転時間を短縮することができるとともに、空調室において作業を速やかに開始することができる。

風量変更装置に風量増加を停止させる風量増加停止手段において、風量変更装置に所定の時間間隔で風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返させる運転モード変更システムは、風量増加停止手段において風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返すことで、第１切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、風量増加停止手段から風量増加再開手段に速やかに移行することができるから、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができ、第２切替運転の運転時間を短縮することができる。

給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに第１〜第ｎ風量変更装置が設置されている場合に、それらすべての第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段と風量減少再開手段とを同時に実施すると、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが互いに干渉し、ダクトのダクト内圧力が大きく変動し、空調室の室内気圧が大きく変動する場合がある。この場合、第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施しても、空調室の室内気圧を規定室圧の範囲内に保持することが困難になる。しかし、この運転モード変更システムは、第２切替運転において第１風量変更装置から第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で風量増加停止手段と風量増加再開手段とを順番に実施するから、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが干渉することはなく、ダクトのダクト内圧力の変動を防ぐことができる。その結果、空調室の室内気圧が大きく変動することはなく、第２切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができるとともに、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができる。

給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに第１〜第ｎ風量変更装置が設置されている場合に、それらすべての第１〜第ｎ風量変更装置に風量減少停止手段と風量減少再開手段とを同時に実施すると、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが互いに干渉し、ダクトのダクト内圧力が大きく変動し、空調室の室内気圧が大きく変動する場合がある。この場合、第１〜第ｎ風量変更装置に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施しても、空調室の室内気圧を規定室圧の範囲内に保持することが困難になる。しかし、この運転モード変更システムは、第２切替運転において第１風量変更装置グループから第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で風量増加停止手段と風量増加再開手段とを順番に実施するから、第１〜第ｎ風量変更装置どうしが干渉することはなく、ダクトのダクト内圧力の変動を防ぐことができる。その結果、空調室の室内気圧が大きく変動することはなく、第２切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができるとともに、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができる。

風量変更装置が定風量装置（ＣＡＶ）、可変定風量装置（ＶＡＶ）、モータダンパ（ＭＤ）のいずれかである運転モード変更システムは、通常風量運転から少風量運転への第１切替運転または少風量運転から通常風量運転への第２切替運転において、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合、定風量装置または可変定風量装置あるいはモータダンパに風量減少または風量増加を一時停止させるから、第１切替運転中または第２切替運転中に空調室の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。運転モード変更システムは、第１切替運転中または第２切替運転中に、室圧センサが計測した空調室の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合、定風量装置または可変定風量装置あるいはモータダンパに風量減少または風量増加を再開させるから、空調室の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、通常風量運転から少風量運転または少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができ、第１切替運転または第２切替運転の運転時間を短縮することができる。

一例として示す運転モード変更システムの概念構成図。 通常風量運転または少風量運転あるいは第１および第２切替運転の状態で示す運転モード変更システムの構成図。 第１切替運転を説明するフローチャート。 図３から続くフローチャート。 図４から続くフローチャート。 （ａ）は、第１切替運転における定風量装置の風量の時間的変化を示すグラフ、（ｂ）は、第１切替運転におけるクリーンルームの室内気圧の時間的変化を示すグラフ。 第２切替運転を説明するフローチャート。 図７から続くフローチャート。 図８から続くフローチャート。 （ａ）は、第２切替運転における定風量装置の風量の経時変化を示すグラフ、（ｂ）は、第２切替運転におけるクリーンルームの室内気圧の経時変化を示すグラフ。 他の一例として示す運転モード変更システムの概念構成図。 他の一例として示す運転モード変更システムの概念構成図。 （ａ）は、第１切替運転における定風量装置の風量の経時変化を示すグラフ、（ｂ）は、第１切替運転におけるクリーンルームの室内気圧の経時変化を示すグラフ。 （ａ）は、第２切替運転における定風量装置の風量の経時変化を示すグラフ、（ｂ）は、第２切替運転におけるクリーンルームの室内気圧の経時変化を示すグラフ。 （ａ）は、背景技術における定風量装置の風量の経時変化を示すグラフ、（ｂ）は、背景技術におけるクリーンルームの室内気圧の経時変化を示すグラフ。 （ａ）は、背景技術における定風量装置の風量の経時変化を示すグラフ、（ｂ）は、背景技術におけるクリーンルームの室内気圧の経時変化を示すグラフ。

一例として示す運転モード変更システム１０Ａの概念構成図である図１等の添付の図面を参照し、本発明にかかる運転モード変更システムの詳細を説明すると、以下のとおりである。図１では、クリーンルーム１１（空調室）をその側方から示している。

運転モード変更システム１０Ａは、建造物に施設されたクリーンルーム１１（空調室）を使用する場合に実施される通常風量運転を行うとともに、クリーンルーム１１を非使用の場合に実施される少風量運転を行う。さらに、通常風量運転から少風量運転に切り替える第１切替運転を行うとともに、少風量運転から通常風量運転に切り替える第２切替運転を行う。なお、また、このシステム１０Ａは、クリーンルーム１１のみならず、他のあらゆる種類の空調室に利用することができる。

クリーンルーム１１を使用する場合とは、クリーンルーム１１の内部において作業者が所定の作業を行う場合であり、主に日中の作業時間内に通常風量運転が行われる。クリーンルーム１１を非使用の場合とは、作業者がクリーンルーム１１から外出し、クリーンルーム１１の内部における作業が中断している場合であり、主に夜間の非作業時間内に少風量運転が行われる。運転モード変更システム１０Ａは、第１切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の変動を防止しつつ、通常風量運転から少風量運転に速やかに切り替えるとともに、第２切替運転中におけるクリーンルーム１１の室内気圧の変動を防止しつつ、少風量運転から通常風量運転に切り替える。

運転モード変更システム１０Ａは、屋外の空気をクリーンルーム１１に送る給気ダクト１２と、クリーンルーム１１から屋外に空気を送り出す排気ダクト１３と、給気ダクト１２に設置された空調装置１４と、排気ダクト１３に設置された排気ファン１５（排気装置）と、空調装置１４の下流側に延びる給気ダクト１２に設置された定風量装置（ＣＡＶ）１６（風量変更装置）と、排気ファン１５の上流側に延びる排気ダクト１３に設置された室圧制御用モータダンパ（ＭＤ）１７と、クリーンルーム１１の室圧を計測する室圧センサ１８（圧力センサ）と、コントローラ１９とから形成されている。なお、図１では、定風量装置（ＣＡＶ）１６を図示しているが、定風量装置（ＣＡＶ）１６に替えて、可変定風量装置（ＶＡＶ）（風量変更装置）またはモータダンパ（ＭＤ）（風量変更装置）を使用することもできる。

クリーンルーム１１は、天井および床と前後壁および側壁とに囲繞された所定容積の清浄な空調空間を有し、天井、床、それら壁によって室外と仕切られている。天井には、給気ダクト１２から供給される空気をクリーンルーム１１に取り入れるための給気口（図示せず）が施設されている。床または側壁には、クリーンルーム１１の空気を排気ダクト１３に取り入れるための排気口（図示せず）が施設されている。クリーンルーム１１には、図示はしていないが、そこに出入りするための扉が設置されている。

クリーンルーム１１は、その室内気圧が厳密に管理され、通常風量運転や少風量運転において室内気圧が目標室圧（陽圧）に保持されている。または目標室圧（陰圧）に保持されている場合もあり、その場合は隣室との圧力差を確保することによって隣室への空気の漏洩を防止することが重要となる。給気ダクト１２は、クリーンルーム１１の天井に施設された給気口につながり、屋外とクリーンルーム１１とを連結している。給気ダクト１２には、図示はしていないが、ダクト１２を通流する空気の流量を計測する流量計が設置されている。流量計は、制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。排気ダクト１３は、クリーンルーム１１の床や側壁に施設された排気口につながり、クリーンルーム１１と屋外とを連結している。排気ダクト１３には、ダクト１３を通流する空気の流量を計測する流量計が設置されている。流量計は、制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。

空調装置１４は、その制御部（図示せず）が制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。空調装置１４には、給気ファン２１（給気装置）が内蔵されている。空調装置１４の給気ファン２１は、その周波数がインバータによって制御されている。通常風量運転において空調装置１４は、あらかじめ設定された通常風量運転目標給気量の空気（空調空気）をクリーンルーム１１に強制的に給気する。少風量運転において空調装置１４は、あらかじめ設定された少風量運転目標給気量の空気（空調空気）をクリーンルーム１１に強制的に給気する。

第１切替運転において空調装置１４は、通常風量運転の通常風量運転目標給気量から少風量運転の少風量運転目標給気量に切り替わるまでの間、クリーンルーム１１に給気する空気（空調空気）の給気量を次第に減少させ、少風量運転に切り替わった後、少風量運転目標給気量を保持する。第１切替運転では、空調装置１４の給気風量の増減の可否／現状維持がコントローラ１９によって制御される。

第２切替運転において空調装置１４は、少風量運転の少風量運転目標給気量から通常風量運転の通常風量運転目標給気量に切り替わるまでの間、クリーンルーム１１に給気する空気（空調空気）の給気量を次第に増加させ、通常風量運転に切り替わった後、通常風量運転目標給気量を保持する。第２切替運転では、第２切替運転では、空調装置１４の給気風量の増減の可否／現状維持がコントローラ１９によって制御される。

排気ファン１５は、その制御部（図示せず）が制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。排気ファン１５は、その周波数がインバータによって制御されている。通常風量運転において排気ファン１５は、あらかじめ設定された通常風量運転目標排気量の空気をクリーンルーム１１から強制的に排気する。少風量運転において排気ファン１５は、あらかじめ設定された少風量運転目標排気量の空気をクリーンルーム１１から強制的に排気する。

第１切替運転において排気ファン１５は、通常風量運転の通常風量運転目標排気量から少風量運転の少風量運転目標排気量に切り替わるまでの間、クリーンルーム１１から排気する空気の排気量を次第に減少させ、少風量運転に切り替わった後、少風量運転目標排気量を保持する。第１切替運転では、排気ファン１５の給気風量の増減の可否／現状維持がコントローラ１９によって制御される。

第２切替運転において排気ファン１５は、少風量運転の少風量運転目標排気量から通常風量運転の通常風量運転目標排気量に切り替わるまでの間、クリーンルーム１１から排気する空気の排気量を次第に増加させ、通常風量運転に切り替わった後、通常風量運転目標排気量を保持する。第２切替運転では、排気ファン１５の給気風量の増減の可否／現状維持がコントローラ１９によって制御される。

定風量装置（ＣＡＶ）１６は、クリーンルーム１１の天井近傍に延びる給気ダクト１２に設置されている。定風量装置１６は、その制御部（図示せず）が制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。定風量装置１６は、旋回羽根（開閉機構）と、旋回羽根の旋回によって開閉される空気流路と空気流路内の風速を検知する検知部と、その風速に空気流路の断面積を掛けて空気流路内の風量を演算する演算部と、その空気流路内の風量と目標風量を比較して旋回羽根の開閉動作を判断する判断部を有し、旋回羽根によって空気流路の開度（空気流路の空気通過量）を変更することで、空気流路を通過する空気の風量を調節する。

定風量装置１６では、通常風量運転および少風量運転に対応する目標風量があらかじめ設定されている。通常風量運転において定風量装置１６は、旋回羽根によって空気流路の開度を調節し、クリーンルーム１１に給気される空気の風量をあらかじめ設定された通常風量運転目標風量に保持する。少風量運転において定風量装置１６は、旋回羽根によって空気流路の開度を調節し、クリーンルーム１１に給気される空気の風量をあらかじめ設定された少風量運転目標風量に保持する。

第１切替運転において定風量装置１６は、通常風量運転の通常風量運転目標風量から少風量運転の少風量運転目標風量に切り替わるまでの間、空気流路の開度を次第に小さくし、クリーンルーム１１に給気される空気の風量を減少させる。定風量装置１６は、少風量運転に切り替わった後、少風量運転に対応する旋回羽根の開度を保持する。第１切替運転では、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作がコントローラ１９によって制御される。

第２切替運転において定風量装置１６は、少風量運転の少風量運転目標風量から通常風量運転の通常風量運転目標風量に切り替わるまでの間、空気流路の開度を次第に大きくし、クリーンルーム１１に給気される空気の風量を増加させる。定風量装置１６は、通常風量運転に切り替わった後、通常風量運転に対応する旋回羽根の開度を保持する。第２切替運転では、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作がコントローラ１９によって制御される。

室圧制御用モータダンパ（ＭＤ）１７は、クリーンルーム１１の床近傍に延びる排気ダクト１３に設置されている。モータダンパ１７は、その制御部（図示せず）が制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。モータダンパ１７は、旋回羽根（開閉機構）と、旋回羽根の旋回によって開閉される空気流路とを有し、旋回羽根によって空気流路の開度（空気流路の空気通過量）を変更することで、空気流路を通過する空気の風量を調節する。

室圧制御用モータダンパ１７では、通常風量運転および少風量運転に対応する目標室圧があらかじめ設定されている。通常風量運転においてモータダンパ１７は、旋回羽根によって空気流路の開度を調節し、空気流路を通過する空気の風量を増減してクリーンルーム１１の室内気圧をあらかじめ設定された目標室圧に保持する。少風量運転においてモータダンパ１７は、旋回羽根によって空気流路の開度を調節し、空気流路を通過する空気の風量を増減してクリーンルーム１１の室内気圧をあらかじめ設定された目標室圧に保持する。

室圧センサ１８は、制御信号線２０を介してコントローラ１９に接続されている。室圧センサ１８は、クリーンルーム１１の室内気圧を計測し、計測した室内気圧を示す室圧信号をコントローラ１９に送信する。コントローラ１９は、演算処理を行う中央処理装置（ＣＰＵまたはＭＰＵ）と各種データを記憶可能なメモリとを有するコンピュータである。コントローラ１９には、各種データや運転条件を入力するための入力装置、入力確認のための表示装置が接続されている（図示せず）。

コントローラ１９のメモリには、通常風量運転や少風量運転におけるクリーンルーム１１の目標室圧、空調装置１４の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧、空調装置１４の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧、排気ファン１５の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧、排気ファン１５の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧、定風量装置１６の通常風量運転目標風量、定風量装置１６の少風量運転目標風量が格納されている。それら目標値は、入力装置からコントローラ１９に入力され、入力装置を介して任意に設定される。目標室圧は、通常風量運転や少風量運転において同一である。

コントローラ１９のメモリには、クリーンルーム１１の規定室圧の上限値、規定室圧の下限値が格納されている。規定室圧の上限値や下限値は、入力装置からコントローラ１９に入力され、入力装置を介して任意に設定される。なお、規定室圧の上限値は、目標室圧の上限値よりも小さく、規定室圧の下限値は、目標室圧の下限値よりも小さい。従って、規定室圧は、目標室圧の範囲内にある。規定室圧は、入力装置からコントローラ１９に入力され、入力装置を介して目標室圧の範囲内で任意に設定される。

第１切替運転においてコントローラ１９は、空調装置１４の給気ファン２１の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧を空調装置１４の制御部に送信し、給気ファン２１の給気量減少を一時停止させる給気量減少停止信号を空調装置１４の制御部に送信する。または、第１切替運転においてコントローラ１９は、空調装置１４の給気ファン２１の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧に切替える少風量運転指令を空調装置１４の制御部に送信し、給気ファン２１の給気量減少を一時停止させる給気量減少停止信号を空調装置１４の制御部に送信する。この場合、空調装置１４のメモリには少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧が格納されている。さらに、一時停止させた給気ファン２１の給気量減少を再開させる給気量減少再開信号を空調装置１４の制御部に送信する。

第２切替運転においてコントローラ１９は、空調装置１４の給気ファン２１の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧を空調装置１４の制御部に送信し、給気ファン２１の給気量増加を一時停止させる給気量増加停止信号を空調装置１４の制御部に送信する。または、第２切替運転においてコントローラ１９は、空調装置１４の給気ファン２１の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧に切替える通常風量運転指令を空調装置１４の制御部に送信し、給気ファン２１の給気量増加を一時停止させる給気量増加停止信号を空調装置１４の制御部に送信する。この場合、空調装置１４のメモリには通常風量運転目標給気量が格納されている。さらに、一時停止させた給気ファン２１の給気量増加を再開させる給気量増加再開信号を空調装置１４の制御部に送信する。

第１切替運転においてコントローラ１９は、排気ファン１５の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧を排気ファン１５の制御部に送信し、排気ファン１５の排気量減少を一時停止させる排気量減少停止信号を排気ファン１５の制御部に送信する。または、第１切替運転においてコントローラ１９は、排気ファン１５の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧に切替える少風量運転指令を排気ファン１５の制御部に送信し、排気ファン１５の排気量減少を一時停止させる排気量減少停止信号を排気ファン１５の制御部に送信する。さらに、一時停止させた排気ファン１５の排気量減少を再開させる排気量減少再開信号を排気ファン１５の制御部に送信する。

第２切替運転においてコントローラ１９は、排気ファン１５の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧を排気ファン１５の制御部に送信し、排気ファン１５の排気量増加を一時停止させる排気量増加停止信号を排気ファン１５の制御部に送信する。または、第２切替運転においてコントローラ１９は、排気ファン１５の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧に切替える通常風量運転指令を排気ファン１５の制御部に送信し、排気ファン１５の排気量増加を一時停止させる排気量増加停止信号を排気ファン１５の制御部に送信する。さらに、一時停止させた排気ファン１５の排気量増加を再開させる排気量増加再開信号を排気ファン１５の制御部に送信する。

第１切替運転においてコントローラ１９は、定風量装置１６の少風量運転目標風量を定風量装置１６の制御部に送信し、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を一時停止させる開閉動作停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。または、第１切替運転においてコントローラ１９は、定風量装置１６の少風量運転目標風量に切替える少風量運転指令を定風量装置１６の制御部に送信し、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を一時停止させる開閉動作停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。さらに、一時停止させた定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を再開させる開閉動作再開信号を定風量装置１６の制御部に送信する。なお、定風量装置１６は定風量装置１６の風量をコントローラ１９に送信する。

第２切替運転においてコントローラ１９は、定風量装置１６の通常風量運転目標風量を定風量装置１６の制御部に送信し、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を一時停止させる開閉動作停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。または、第2切替運転においてコントローラ１９は、定風量装置１６の通常風量運転目標風量に切替える通常風量運転指令を定風量装置１６の制御部に送信し、定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を一時停止させる開閉動作停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。さらに、一時停止させた定風量装置１６の旋回羽根の開閉動作を再開させる開閉動作再開信号を定風量装置１６の制御部に送信する。なお、定風量装置１６は定風量装置１６の風量をコントローラ１９に送信する。

通常風量運転および少風量運転では、空調装置１４、排気ファン１５、定風量装置１６、室圧制御用モータダンパ１７、室圧センサ１８、コントローラ１９が稼働し、空調装置１４によって空調された所定量の空気がクリーンルーム１１に給気され、排気ファン１５によって所定量の空気がクリーンルーム１１から屋外に排気されている。通常風量運転や少風量運転では、室圧センサ１８からクリーンルーム１１の室内気圧がコントローラ１９に送信され、コントローラ１９からモータダンパ１７に制御信号が送信され、モータダンパ１７がその制御信号に基づいて旋回羽根の開度を調節することで、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持されている。または、室圧制御用モータダンパ１７がクリーンルーム１１の室内気圧を検知し、その旋回羽根の開度を調節することで、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持されている。

図２は、通常風量運転または少風量運転あるいは第１および第２切替運転の状態で示す運転モード変更システム１０Ａの構成図であり、図３は、第１切替運転を説明するフローチャートであり、図４は、図３から続くフローチャートである。図５は、図４から続くフローチャートである。図６（ａ）は、第１切替運転における定風量装置１６の風量の経時変化を示すグラフであり、図６（ｂ）は、第１切替運転におけるクリーンルーム１１の室内気圧の経時変化を示すグラフである。図２では、第１切替運転における風量の変化を示す。図６（ａ）のグラフでは、縦軸が定風量装置１６の風量を表し、横軸が経過時間を表す。図６（ｂ）のグラフでは、縦軸が室内気圧を表し、横軸が経過時間を表す。

それらフローチャートに基づいて、第１切替運転において運転モード変更システム１０Ａが実施する各手段を説明すると、以下のとおりである。運転モード変更システム１０Ａでは、クリーンルーム１１の内部において作業者が所定の作業を行う使用時間に通常風量運転が実施される（Ｓ−１０）。通常風量運転では、空調装置１４が通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧で運転され、排気ファン１５が通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧で運転されるとともに、定風量装置１６が通常風量運転目標風量で運転される。通常風量運転では、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される（Ｓ−１１）。

クリーンルーム１１での作業が中断する非使用時間では、省エネルギー化を図るために少風量運転が行われる。コントローラ１９は、通常風量運転の実施中に、通常風量運転から少風量運転へ切り替える切替指示があったかを判断する（Ｓ−１２）。通常風量運転から少風量運転への切替指示がない場合、コントローラ１９は、通常風量運転を継続する。通常風量運転から少風量運転への切替指示があった場合、コントローラ１９は、第１切替運転を実施し、通常風量運転から少風量運転に切り替える。

コントローラ１９は、メモリから空調装置１４の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧を読み出し、少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧を空調装置１４の制御部に送信する。空調装置１４の制御部は、コントローラ１９から少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧を受信した後、通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧を少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧に変更する（Ｓ−１３）。空調装置１４の制御部は、通常風量運転の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧から少風量運転の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧に切り替わるまでの間、給気ファン２１をインバータ制御し、クリーンルーム１１に給気する空気（空調空気）の給気量を次第に減少させる（Ｓ−１４）。

コントローラ１９は、メモリから排気ファン１５の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧を読み出し、少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧を排気ファン１５の制御部に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９から少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧を受信した後、通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧を少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧に変更する（Ｓ−１３）。排気ファン１５の制御部は、通常風量運転の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧から少風量運転の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧に切り替わるまでの間、排気ファン１５をインバータ制御し、クリーンルーム１１から排気する空気の排気量を次第に減少させる（Ｓ−１４）。なお、排気ダクト１３を通流する空気の流量信号が流量計からコントローラ１９に送信されている。

コントローラ１９は、メモリから定風量装置１６の少風量運転目標風量を読み出し、読み出した少風量運転目標風量を定風量装置１６の制御部に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９から少風量運転目標風量を受信した後、通常風量運転目標風量を少風量運転目標風量に変更するとともに（Ｓ−１３）、少風量運転目標風量に対応した旋回羽根の開閉動作による風量減少を開始する。定風量装置１６の制御部は、通常風量運転の通常風量運転目標風量から少風量運転の少風量運転目標風量に切り替わるまでの間、旋回羽根を旋回させて空気流路の開度を次第に小さくし、クリーンルーム１１に給気される空気の風量を次第に減少させる（Ｓ−１４）。

コントローラ１９は、空調装置１４の給気量減少過程（給気量減少継続中）や排気ファン１５の排気量減少過程（排気量減少継続中）、定風量装置１６の風量減少過程（風量減少継続中）において、室圧センサ１８から送信された室圧信号によってクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したかを判断する（Ｓ−１５）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達しておらず、室内気圧が規定室圧の範囲内にあると判断した場合、空調装置１４の給気量減少を継続させ、排気ファン１５の排気量減少を継続させるとともに、定風量装置１６の風量減少を継続させる（Ｓ−１６）。

次に、コントローラ１９は、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になったかを判断する（Ｓ−１７）。コントローラ１９は、ステップ１７（Ｓ−１７）において、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になっていないと判断した場合、ステップ１４（Ｓ−１４）に戻り、ステップ１４（Ｓ−１４）からの手順を繰り返す。コントローラ１９は、ステップ１７（Ｓ−１７）において、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になったと判断した場合、その状態で少風量運転を実施する（Ｓ−１８）。

少風量運転では、空調装置１４が少風量運転目標給気量を保持し、排気ファン１５が少風量運転目標排気量を保持するとともに、定風量装置１６が少風量運転目標風量を保持し、室圧制御用モータダンパ１７によってクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される。運転モード変更システム１０Ａでは、定風量装置１６が通常風量運転目標風量（通常風量運転）から少風量運転目標風量（少風量運転）に切り替わるまでの時間が３００〜９００秒の範囲にある。したがって、通常風量運転から少風量運転に切り替わるまでの時間が３００〜９００秒の範囲にある。

ステップ１５（Ｓ−１５）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の下限値に達していると判断した場合、給気量減少停止信号を空調装置１４の制御部に送信し、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値に達していると判断した場合、排気量減少停止信号を排気ファン１５の制御部に送信するとともに、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達していると判断した場合、風量減少停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。風量減少停止信号には、所定の時間間隔で風量減少停止と風量減少再開とを交互に繰り返させる繰り返し指令が含まれる場合と、繰り返し指令が含まれない場合とがある。

空調装置１４の制御部は、コントローラ１９からの給気量減少停止信号にしたがって空調装置１４の給気量減少を一時停止し（給気量減少停止手段）（Ｓ−１９）、給気量減少停止実施信号をコントローラ１９に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９からの排気量減少停止信号にしたがって排気ファン１５の排気量減少を一時停止し（排気量減少停止手段）（Ｓ−１９）、排気量減少停止実施信号をコントローラ１９に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９からの風量減少停止信号にしたがって定風量装置１６の風量減少を一時停止し（風量減少停止手段）（Ｓ−１９）、風量減少停止実施信号をコントローラ１９に送信する。空調装置１４の給気量減少停止と排気ファン１５の排気量減少停止と定風量装置１６の風量減少停止とはそれらが独立して行われる。

風量減少停止信号に繰り返し指令が含まれない場合、定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９から風量減少再開信号が送信されるまで風量減少を停止する。風量減少停止信号に繰り返し指令が含まれる場合、定風量装置１６の制御部は、定風量装置１６に所定の時間間隔で風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返させる。たとえば、風量減少を２秒停止させた後、風量減少を再開させ、風量減少を３秒行わせた後、風量減少を再び停止させ、その後、風量減少を再開させる。

風量減少停止手段において風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返す場合、第１切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

次に、コントローラ１９は、室圧センサ１８から送信された室圧信号によってクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回ったかまたは下限値を上回ったかを判断する（Ｓ−２０）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回っておらずまたは下限値を上回っていないと判断した場合、空調装置１４の給気量減少停止を継続させ、排気ファン１５の排気量減少停止を継続させるとともに、定風量装置１６の風量減少停止を継続させ（Ｓ−２１）、ステップ２０（Ｓ−２０）からの手順を繰り返す。

ステップ２０（Ｓ−２０）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは下限値を上回ったと判断した場合、空調装置１４の制御部に給気量減少再開信号を送信し、排気ファン１５の制御部に排気量減少再開信号を送信するとともに、定風量装置１６の制御部に閉動作再開信号を送信する。

空調装置１４の制御部は、コントローラ１９からの給気量減少再開信号にしたがって空調装置１４の給気量減少を再開し（給気量減少再開手段）（Ｓ−２２）、給気量減少再開実施信号をコントローラ１９に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９からの排気量減少再開信号にしたがって排気ファン１５の排気量減少を再開し（排気量減少再開手段）（Ｓ−２２）、排気量減少再開実施信号をコントローラ１９に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９からの風量減少再開信号にしたがって定風量装置１６の風量減少を再開し（風量減少再開手段）（Ｓ−２２）、風量減少再開実施信号をコントローラ１９に送信する。空調装置１４の給気量減少再開と排気ファン１５の排気量減少再開と定風量装置１６の風量減少再開とはそれらが独立して行われる。

空調装置１４が給気量減少を再開し、排気ファン１５が排気量減少を再開するとともに、定風量装置１６の風量減少を再開した後、コントローラ１９は、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になったかを判断する（Ｓ−２３）。コントローラ１９は、ステップ２３（Ｓ−２３）において、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になっていないと判断した場合、ステップ１５（Ｓ−１５）に戻り、ステップ１５（Ｓ−１５）からの手順を繰り返す。コントローラ１９は、ステップ２３（Ｓ−２３）において、定風量装置１６の風量が少風量運転目標風量になったと判断した場合、ステップ１７（Ｓ−１７）と同様に、その状態で少風量運転を実施する（Ｓ−１８）。

運転モード変更システム１０Ａは、通常風量運転から少風量運転への第１切替運転における空調装置１４の給気量減少過程、排気ファン１５（排気装置）の排気量減少過程、定風量装置１６（風量変更装置）の風量減少過程において、室圧センサ１８が計測したクリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の下限値に達した場合、空調装置１４に給気量減少を一時停止させ、クリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の上限値に達した場合、排気ファン１５に排気量減少を一時停止させるとともに、クリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合、定風量装置１６に風量減少を一時停止させるから、第１切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

運転モード変更システム１０Ａは、第１切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気のクリーンルーム１１への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによるクリーンルーム１１の汚染を防ぐことができる。

運転モード変更システム１０Ａは、第１切替運転における給気量減少停止手段や排気量減少停止手段、風量減少停止手段の実施中に、室圧センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合、空調装置１４に給気量減少を再開させ、排気ファン１５に排気量減少を再開させるとともに、定風量装置１６に風量減少を再開させるから、クリーンルーム１１の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができ、第１切替運転の運転時間を短縮することができる。

運転モード変更システム１０Ａは、給気量減少停止から給気量減少再開に速やかに移行することができ、排気量減少停止から排気量減少再開に速やかに移行することができるとともに、風量減少停止から風量減少再開に速やかに移行することができるから、図１５，１６に示す背景技術と比較し、図６（ａ），（ｂ）に示すように、通常風量運転から少風量運転への切替時にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を上回ることがなく、室内気圧が規定室圧の下限値を下回ることがないとともに、通常風量運転から少風量運転への切替時間が背景技術のそれと比較して短い。

図７は、第２切替運転を説明するフローチャートであり、図８は、図７から続くフローチャートである。図９は、図８から続くフローチャートである。図１０（ａ）は、第２切替運転における定風量装置１６の風量の経時変化を示すグラフであり、図１０（ｂ）は、第２切替運転におけるクリーンルーム１１の室内気圧の経時変化を示すグラフである。図７では、第２切替運転における風量の変化を示す。図１０（ａ）のグラフでは、縦軸が定風量装置１６の風量を表し、横軸が経過時間を表す。図１０（ｂ）のグラフでは、縦軸が室内気圧を表し、横軸が経過時間を表す。

それらフローチャートに基づいて、第２切替運転において運転モード変更システム１０Ａが実施する各手段を説明すると、以下のとおりである。クリーンルーム１１での作業が中断している非使用時間ではたとえば省エネルギーのために少風量運転が実施される（Ｓ−３０）。少風量運転では、空調装置１４が少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧で運転され、排気ファン１５が少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧で運転されるとともに、定風量装置１６が少風量運転目標風量で運転される。少風量運転では、クリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される（Ｓ−３１）。

クリーンルーム１１で作業が行われる使用時間になると、通常風量運転が行われる。コントローラ１９は、少風量運転の実施中に、少風量運転から通常風量運転へ切り替える切替指示があったかを判断する（Ｓ−３２）。少風量運転から通常風量運転への切替指示がない場合、コントローラ１９は、少風量運転を継続する。少風量運転から通常風量運転への切替指示があった場合、コントローラ１９は、第２切替運転を実施し、少風量運転から通常風量運転に切り替える。

コントローラ１９は、メモリから空調装置１４の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧を読み出し、通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧を空調装置１４の制御部に送信する。空調装置１４の制御部は、コントローラ１９から通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧を受信した後、少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧を通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧に変更する（Ｓ−３３）。空調装置１４の制御部は、少風量運転の少風量運転目標給気量または少風量運転目標静圧から通常風量運転の通常風量運転目標給気量または通常風量運転目標静圧に切り替わるまでの間、給気ファン２１をインバータ制御し、クリーンルーム１１に給気する空気（空調空気）の給気量を次第に増加させる（Ｓ−３４）。

コントローラ１９は、メモリから排気ファン１５の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧を読み出し、通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧を排気ファン１５の制御部に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９から通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧を受信した後、少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧を通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧に変更する（Ｓ−３３）。排気量増加開始信号にしたがって排気量増加を開始し、排気量増加開始信号をコントローラ１９に送信する。排気ファン１５の制御部は、少風量運転の少風量運転目標排気量または少風量運転目標静圧から通常風量運転の通常風量運転目標排気量または通常風量運転目標静圧に切り替わるまでの間、排気ファン１５をインバータ制御し、クリーンルーム１１から排気する空気の排気量を次第に増加させる（Ｓ−３４）。なお、排気ダクト１３を通流する空気の流量信号が流量計からコントローラ１９に送信されている。

コントローラ１９は、メモリから定風量装置１６の通常風量運転目標風量を読み出し、読み出した通常風量運転目標風量を定風量装置１６の制御部に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９から通常風量運転目標風量を受信した後、少風量運転目標風量を通常風量運転目標風量に変更するとともに（Ｓ−３３）、通常風量運転目標風量に対応した旋回羽根の開閉動作による風量増加を開始する。定風量装置１６の制御部は、少風量運転の少風量運転目標風量から通常風量運転の通常風量運転目標風量に切り替わるまでの間、旋回羽根を旋回させて空気流路の開度を次第に大きくし、クリーンルーム１１に給気される空気の風量を次第に増加させる（Ｓ−３４）。

コントローラ１９は、空調装置１４の給気量増加過程（給気量増加継続中）や排気ファン１５の排気量増加過程（排気量増加継続中）、定風量装置１６の風量増加過程（風量増加継続中）において、室圧センサ１８から送信された室圧信号によってクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したかを判断する（Ｓ−３５）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達しておらず、室内気圧が規定室圧の範囲内にあると判断した場合、空調装置１４の給気量増加を継続させ、排気ファン１５の排気量増加を継続させるとともに、定風量装置１６の風量増加を継続させる（Ｓ−３６）。

次に、コントローラ１９は、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になったかを判断する（Ｓ−３７）。コントローラ１９は、ステップ３７（Ｓ−３７）において、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になっていないと判断した場合、ステップ３４（Ｓ−３４）に戻り、ステップ３４（Ｓ−３４）からの手順を繰り返す。コントローラ１９は、ステップ３７（Ｓ−３７）において、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になったと判断した場合、その状態で通常風量運転を実施する（Ｓ−３８）。

通常風量運転では、空調装置１４が通常風量運転目標給気量を保持し、排気ファン１５が通常風量運転目標排気量を保持するとともに、定風量装置１６が通常風量運転目標風量を保持し、室圧制御用モータダンパ１７によってクリーンルーム１１の室内気圧が目標室圧に保持される。運転モード変更システム１０Ａでは、定風量装置１６の少風量運転目標風量（少風量運転）から通常風量運転目標風量（通常風量運転）に切り替わるまでの時間が３００〜９００秒の範囲にある。したがって、少風量運転から通常風量運転に切り替わるまでの時間が３００〜９００秒の範囲にある。

ステップ３５（Ｓ−３５）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値に達していると判断した場合、給気量増加停止信号を空調装置１４の制御部に送信し、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の下限値に達していると判断した場合、排気量増加停止信号を排気ファン１５の制御部に送信するとともに、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達していると判断した場合、風量増加停止信号を定風量装置１６の制御部に送信する。風量増加停止信号には、所定の時間間隔で風量増加停止と風量増加再開とを交互に繰り返させる繰り返し指令が含まれる場合と、繰り返し指令が含まれない場合とがある。

空調装置１４の制御部は、コントローラ１９からの給気量増加停止信号にしたがって空調装置１４の給気量増加を一時停止し（給気量増加停止手段）（Ｓ−３９）、給気量増加停止実行信号をコントローラ１９に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９からの排気量増加停止信号にしたがって排気ファン１５の排気量増加を一時停止し（排気量増加停止手段）（Ｓ−３９）、排気量増加停止実施信号をコントローラ１９に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９からの風量増加停止信号にしたがって定風量装置１６の風量増加を一時停止し（風量増加停止手段）（Ｓ−３９）、風量増加停止実施信号をコントローラ１９に送信する。空調装置１４の給気量増加停止と排気ファン１５の排気量増加停止と定風量装置１６の風量増加停止とはそれらが独立して行われる。

風量増加停止信号に繰り返し指令が含まれない場合、定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９から風量増加再開信号が送信されるまで風量増加を停止する。風量増加停止信号に繰り返し指令が含まれる場合、定風量装置１６の制御部は、定風量装置１６に所定の時間間隔で風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返させる。たとえば、風量増加を２秒停止させた後、風量増加を再開させ、風量増加を３秒行わせた後、風量増加を再び停止させ、その後、風量増加を再開させる。

風量増加停止手段において風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返す場合、第２切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

次に、コントローラ１９は、室圧センサ１８から送信された室圧信号によってクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回ったかまたは下限値を上回ったかを判断する（Ｓ−４０）。コントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回っておらずまたは下限値を上回っていないと判断した場合、空調装置１４の給気量増加停止を継続させ、排気ファン１５の排気量増加停止を継続させるとともに、定風量装置１６の風量増加停止を継続させ（Ｓ−４１）、ステップ４０（Ｓ−４０）からの手順を繰り返す。

ステップ４０（Ｓ−４０）においてコントローラ１９は、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは下限値を上回ったと判断した場合、空調装置１４の制御部に給気量増加再開信号を送信し、排気ファン１５の制御部に排気量増加再開信号を送信するとともに、定風量装置１６の制御部に開動作再開信号を送信する。

空調装置１４の制御部は、コントローラ１９からの給気量増加再開信号にしたがって空調装置１４の給気量増加を再開し（給気量増加再開手段）（Ｓ−４２）、給気量増加再開実施信号をコントローラ１９に送信する。排気ファン１５の制御部は、コントローラ１９からの排気量増加再開信号にしたがって排気ファン１５の排気量増加を再開し（排気量増加再開手段）（Ｓ−４２）、排気量増加再開実施信号をコントローラ１９に送信する。定風量装置１６の制御部は、コントローラ１９からの風量増加再開信号にしたがって定風量装置１６の風量増加を再開し（風量増加再開手段）（Ｓ−４２）、風量増加再開実施信号をコントローラ１９に送信する。空調装置１４の給気量増加再開と排気ファン１５の排気量増加再開と定風量装置１６の風量増加再開とはそれらが独立して行われる。

空調装置１４が給気量増加を再開し、排気ファン１５が排気量増加を再開するとともに、定風量装置１６の風量増加を再開した後、コントローラ１９は、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になったかを判断する（Ｓ−４３）。コントローラ１９は、ステップ４３（Ｓ−４３）において、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になっていないと判断した場合、ステップ３５（Ｓ−３５）に戻り、ステップ３５（Ｓ−３５）からの手順を繰り返す。コントローラ１９は、ステップ４３（Ｓ−４３）において、定風量装置１６の風量が通常風量運転目標風量になったと判断した場合、ステップ３７（Ｓ−３７）と同様に、その状態で通常風量運転を実施する（Ｓ−３８）。

運転モード変更システム１０Ａは、少風量運転から通常風量運転への第２切替運転における空調装置１４の給気量増加過程、排気ファン１５（排気装置）の排気量増加過程、定風量装置１６（風量変更装置）の風量増加過程において、室圧センサ１８が計測したクリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の上限値に達した場合、空調装置１４に給気量増加を一時停止させ、クリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の下限値に達した場合、排気ファン１５に排気量増加を一時停止させるとともに、クリーンルーム１１（空調室）の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合、定風量装置１６に風量増加を一時停止させるから、第２切替運転中にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができるとともに、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができる。

運転モード変更システム１０Ａは、第２切替運転中においてクリーンルーム１１の室内気圧と基準圧との圧力差が小さくなることで所定量を確保できなくなることはなく、圧力の正負が逆転することもないから、隣接空間の空気のクリーンルーム１１への不用意な進入を防ぐことができ、隣接空間の空気が進入することによるクリーンルーム１１の汚染を防ぐことができる。

運転モード変更システム１０Ａは、第２切替運転における給気量増加停止手段や排気量増加停止手段、風量増加停止手段の実施中に、室圧センサ１８が計測したクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を下回りまたは規定室圧の下限値を上回った場合、空調装置１４に給気量増加を再開させ、排気ファン１５に排気量増加を再開させるとともに、定風量装置１６に風量増加を再開させるから、クリーンルーム１１の室内気圧を規定室圧の上限値と下限値との間の範囲内に保持しつつ、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができ、第２切替運転の運転時間を短縮することができるとともに、クリーンルーム１１において作業者が作業を速やかに開始することができる。

運転モード変更システム１０Ａは、給気量増加停止から給気量増加再開に速やかに移行することができ、排気量増加停止から排気量増加再開に速やかに移行することができるとともに、風量増加停止から風量増加再開に速やかに移行することができるから、図１５，１６に示す背景技術と比較し、図１０（ａ），（ｂ）に示すように、少風量運転から通常風量運転への切替時にクリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を上回ることがなく、室内気圧が規定室圧の下限値を下回ることがないとともに、少風量運転から通常風量運転への切替時間が背景技術のそれと比較して短い。

図１１は、他の一例として示す運転モード変更システム１０Ｂの概念構成図であり、図１２は、他の一例として示す運転モード変更システム１０Ｃの概念構成図である。図１３（ａ）は、第１切替運転における定風量装置１６の風量の経時変化を示すグラフであり、図１３（ｂ）は、第１切替運転におけるクリーンルーム１１の室内気圧の経時変化を示すグラフである。図１４（ａ）は、第２切替運転における定風量装置１６の風量の経時変化を示すグラフであり、図１４（ｂ）は、第２切替運転におけるクリーンルーム１１の室内気圧の経時変化を示すグラフである。

図１３（ａ）および図１４（ａ）のグラフでは、縦軸が定風量装置１６の風量を表し、横軸が経過時間を表す。図１３（ｂ）および図１４（ｂ）のグラフでは、縦軸が室内気圧を表し、横軸が経過時間を表す。運転モード変更システム１０Ｂおよび運転モード変更システム１０Ｃにおける通常風量運転や少風量運転、第１および第２切替運転の手順は、図１の運転モード変更システム１０Ａのそれらと同一であるから、図１の運転モード変更システム１０Ａの説明を援用することで、各運転の手順の説明は省略する。

図１１に示す運転モード変更システム１０Ｂは、第１クリーンルーム１１ａおよび第２クリーンルーム１１ｂ（第１〜第ｎ空調室）を備え、基幹給気ダクト１２と基幹給気ダクト１２から分岐して第１および第２クリーンルーム１１ａ，１１ｂにつながる第１および第２分岐給気ダクト１２ａ，１２ｂ（第１〜第ｎ分岐給気ダクト）とを備えているとともに、基幹排気ダクト１３と基幹排気ダクト１３から分岐して第１および第２クリーンルーム１１ａ，１１ｂにつながる第１および第２分岐排気ダクト１３ａ，１３ｂ（第１〜第ｎ分岐給気ダクト）とを備えている。

さらに、第１分岐給気ダクト１２ａに設置された第１定風量装置１６ａと第２分岐給気ダクト１２ｂに設置された第２定風量装置１６ｂ（第１〜第ｎ風量変更装置）とを備え、第１分岐排気ダクト１３ａに設置された第１室圧制御用モータダンパ１７ａと第２分岐排気ダクト１３ｂに設置された第２室圧制御用モータダンパ１７ｂとを備えているとともに、第１クリーンルーム１１ａの室内気圧を計測する第１室圧センサ１８ａと第２クリーンルーム１１ｂの室内気圧を計測する第２室圧センサ１８ｂとを備えている。なお、クリーンルームの室数を２室に限定するものではなく、３室以上のクリーンルームが存在する場合もある。

運転モード変更システム１０Ｂでは、第１切替運転において第１定風量装置１６ａ（第１風量変更装置）から第２定風量装置１６ｂ（第ｎ風量変更装置）に向かって所定の間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。その一例として、第１切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置１６ａに風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施してから所定時間経過後（たとえば、２０〜６０秒経過後）に第２定風量装置１６ｂに風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かって所定の時間間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

他の一例として、第１切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置１６ａ（第１風量変更装置）に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施してから、第１定風量装置１６ａの風量が少風量運転目標風量に達した後、または、第１定風量装置１６ａの風量が少風量運転目標風量の３０％〜５０％に達した後、第２定風量装置１６ｂ（第ｎ風量変更装置）に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かって直前の定風量装置の少風量運転目標風量に対する風量に応じて風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

運転モード変更システム１０Ｂでは、第２切替運転において第１定風量装置１６ａ（第１風量変更装置）から第２定風量装置１６ｂ（第ｎ風量変更装置）に向かって所定の間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。その一例として、第２切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置１６ａに風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施してから所定時間経過後（たとえば、２０〜６０秒経過後）に第２定風量装置１６ｂに風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かって所定の時間間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

他の一例として、第２切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置１６ａ（第１風量変更装置）に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施してから、第１定風量装置１６ａの風量が少風量運転目標風量に達した後、または、第１定風量装置１６ａの風量が少風量運転目標風量の３０％〜５０％に達した後、第２定風量装置１６ｂ（第ｎ風量変更装置）に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施する。このように、第２切替運転では、第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かって直前の定風量装置の少風量運転目標風量に対する風量に応じて風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

図１２に示す運転モード変更システム１１Ｃは、第１クリーンルーム１１ａ〜第４クリーンルーム１１ｄ（第１〜第ｎ空調室）を備え、基幹給気ダクト１２と基幹給気ダクト１２から分岐して第１〜第４クリーンルーム１１ａ〜１１ｄにつながる第１〜第４分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄ（第１〜第ｎ分岐給気ダクト）とを備えているとともに、基幹排気ダクト１３と基幹排気ダクト１３から分岐して第１〜第４クリーンルーム１１ａ〜１１ｄにつながる第１〜第４分岐排気ダクト１３ａ〜１３ｄ（第１〜第ｎ分岐給気ダクト）とを備えている。

さらに、第１〜第４分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄに設置された第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄ（第１〜第ｎ風量変更装置）を備え、第１〜第４分岐排気ダクト１３ａ〜１３ｄに設置された第１〜第４室圧制御用モータダンパ１７ａ〜１７ｄを備えているとともに、第１〜第４クリーンルーム１１ａ〜１１ｄの室内気圧を計測する第１〜第４室圧センサ１８ａ〜１８ｄを備えている。運転モード変更システム１１Ｃでは、第１および第２定風量装置１６ａ，１６ｂが第１定風量装置グループＧ１（第１風量変更装置グループ）を形成し、第３および第４定風量装置１６ｃ，１６ｄが第２定風量装置グループＧ２（第ｎ風量変更装置グループ）を形成している。なお、定風量装置グループを２つのグループに限定するものではなく、３つ以上のグループが存在する場合がある。また、定風量装置グループを形成する定風量装置の台数に限定はなく、３台以上（各グループの定風量装置の台数が等しくなくてもよい）の定風量装置が１つのグループを形成してもよい。

運転モード変更システム１０Ｃでは、第１切替運転において第１定風量装置グループＧ１（第１風量変更装置グループ）から第２定風量装置グループＧ２（第ｎ風量変更装置グループ）に向かって所定の間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。その一例として、第１切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置グループＧ１に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施してから所定時間経過後（たとえば、２０〜６０秒経過後）に第１定風量装置グループＧ２に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置グループから第ｎ定風量装置グループに向かって所定の時間間隔で風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

他の一例として、第１切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置グループＧ１（第１風量変更装置グループ）に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施してから、第１定風量装置グループＧ１の風量が少風量運転目標風量に達した後、または、第１定風量装置グループＧ１の風量が少風量運転目標風量の３０％〜５０％に達した後、第２定風量装置グループＧ２（第ｎ風量変更装置グループ）に風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置グループから第ｎ風量装置グループに向かって直前の定風量装置グループの少風量運転目標風量に対する風量に応じて風量減少停止手段および風量減少再開手段を順番に実施する。

運転モード変更システム１０Ｃでは、第２切替運転において第１定風量装置グループＧ１（第１風量変更装置グループ）から第２定風量装置グループＧ２（第ｎ風量変更装置グループ）に向かって所定の間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。その一例として、第２切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置グループＧ１に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施してから所定時間経過後（たとえば、２０〜６０秒経過後）に第２定風量装置グループＧ２に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施する。このように、第１切替運転では、第１定風量装置グループから第ｎ定風量装置グループに向かって所定の時間間隔で風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

他の一例として、第２切替運転においてコントローラ１９は、第１定風量装置グループＧ１（第１風量変更装置グループ）に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施してから、第１定風量装置グループＧ１の風量（開度）が少風量運転目標風量（少風量運転目標風量対応開度）に達した後、または、第１定風量装置グループＧ１の風量（開度）が少風量運転目標風量（少風量運転目標風量対応開度）の３０％〜５０％に達した後、第２定風量装置グループＧ２（第ｎ風量変更装置グループ）に風量増加停止手段および風量増加再開手段を実施する。このように、第２切替運転では、第１定風量装置グループから第ｎ定風量装置グループに向かって直前の定風量装置グループの少風量運転目標風量（少風量運転目標風量対応開度）に対する風量（開度）に応じて風量増加停止手段および風量増加再開手段を順番に実施する。

基幹給気ダクト１２から分岐する第１〜第４分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄに第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄが設置されている場合、第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄに風量減少停止手段と風量減少再開手段とを同時に実施し、または、風量増加停止手段と風量増加再開手段とを同時に実施すると、第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄどうしが互いに干渉し、基幹給気ダクト１２や分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄのダクト内圧力が大きく変動し、クリーンルーム１１ａ〜１１ｄの室内気圧が大きく変動する場合がある。この場合、第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄに風量減少停止手段および風量減少再開手段を実施しても、クリーンルーム１１ａ〜１１ｄの室内気圧を規定室圧の範囲内に保持することが困難になる。

しかし、運転モード変更システム１０Ｂ，１０Ｃは、第１切替運転において第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かってまたは第１定風量装置グループから第ｎ定風量装置グループに向かって所定の間隔で風量減少停止手段と風量減少再開手段とを順番に実施し、または、第２切替運転において第１定風量装置から第ｎ定風量装置に向かってまたは第１定風量装置グループから第ｎ定風量装置グループに向かって所定の間隔で風量増加停止手段と風量増加再開手段とを順番に実施するから、第１〜第ｎ定風量装置どうしが干渉することはなく、第１〜第ｎ定風量装置グループどうしが干渉することはなく、ダクト内圧力の変動を防ぐことができる。その結果、クリーンルームの室内気圧が大きく変動することはなく、第１切替運転中や第２切替運転中にクリーンルームの室内気圧が規定室圧の上限値または下限値に達したとしても、規定室圧の上限値に対して室内気圧を速やかに下回らせることができ、規定室圧の下限値に対して室内気圧を速やかに上回らせることができるとともに、通常風量運転から少風量運転へ迅速に切り替えることができ、少風量運転から通常風量運転へ迅速に切り替えることができる。運転モード変更システム１０Ｂ，１０Ｃは、図１３，１４に示すように、通常風量運転から少風量運転への切替時や少風量運転から通常風量運転への切替時に、クリーンルーム１１の室内気圧が規定室圧の上限値を上回ることがなく、室内気圧が規定室圧の下限値を下回ることがない。

図１や図１２、図１３に示す運転モード変更システム１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃでは、定風量装置１６（第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄ）が給気ダクト１２（第１〜第４分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄ）に設置されているが、定風量装置１６（第１〜第４定風量装置１６ａ〜１６ｄ）が排気ダクト１３（第１〜第４分岐排気ダクト１３ａ〜１３ｄ）に設置され、室圧制御用モータダンパ１７（第１〜第４室圧制御用モータダンパ１７ａ〜１７ｄ）が給気ダクト１２（第１〜第４分岐給気ダクト１２ａ〜１２ｄ）に設置された状態で、第１および第２切替運転における既述の各手段を実施することもできる。

図１や図１２、図１３に示す運転モード変更システム１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃでは、空調装置１４が給気量減少停止手段、給気量減少再開手段、給気量増加停止手段、給気量増加再開手段を実施し、排気ファン１５が排気量減少停止手段、排気量減少再開手段、排気量増加停止手段、排気量増加再開手段を実施する場合を例として説明したが、空調装置１４が給気量減少停止手段、給気量減少再開手段、給気量増加停止手段、給気量増加再開手段を実施し、排気ファン１５が排気量減少停止手段、排気量減少再開手段、排気量増加停止手段、排気量増加再開手段を実施しない場合があり、また、空調装置１４が給気量減少停止手段、給気量減少再開手段、給気量増加停止手段、給気量増加再開手段を実施せず、排気ファン１５が排気量減少停止手段、排気量減少再開手段、排気量増加停止手段、排気量増加再開手段を実施する場合がある。

１０Ａ 運転モード変更システム
１０Ｂ 運転モード変更システム
１０Ｃ 運転モード変更システム
１１ クリーンルーム（空調室）
１１ａ〜１１ｄ 第１〜第４クリーンルーム（第１〜第ｎ空調室）
１２ 給気ダクト（基幹給気ダクト）
１２ａ〜１２ｄ 第１〜第４分岐給気ダクト（第１〜第ｎ分岐給気ダクト）
１３ 排気ダクト（基幹排気ダクト）
１３ａ〜１３ｄ 第１〜第４分岐排気ダクト（第１〜第ｎ分岐排気ダクト）
１４ 空調装置
１５ 排気ファン（排気装置）
１６ 定風量装置（風量変更装置）
１６ａ〜１６ｄ 第１〜第４定風量装置（第１〜第ｎ風量変更装置）
１７ 室圧制御用モータダンパ
１７ａ〜１７ｄ 第１〜第４室圧制御用モータダンパ
１８ 室圧センサ
１８ａ〜１８ｄ 第１〜第４室圧センサ
１９ コントローラ
２１ 給気ファン（給気装置）

Claims (9)

1. 給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて前記空調室から空気を排気する排気装置と、前記空調室に給気する空気の風量または該空調室から排気する空気の風量を増減させる風量変更装置と、前記空調室の室圧を計測する室圧センサと、前記室圧センサが計測した室圧によってそれら装置を制御するコントローラとを備え、前記空調室を使用する場合に実施される通常風量運転と、前記空調室を非使用の場合に実施され、前記空調室に給気する空気の風量および該空調室から排気する空気の風量が前記通常風量運転よりも少ない少風量運転と、前記風量変更装置を利用して前記空気の風量を次第に減少させ、前記通常風量運転から前記少風量運転に切り替える第１切替運転とを行う運転モード変更システムにおいて、
   前記第１切替運転においてコントローラは、前記風量変更装置の風量が前記通常風量運転の通常風量運転目標風量から前記少風量運転の少風量運転目標風量に切り替わる間であって該風量変更装置が風量を減少させる風量減少過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記風量変更装置に風量減少を一時停止させる風量減少停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記風量減少停止手段を中断して前記風量変更装置に風量減少を再開させる風量減少再開手段とを有し、
   前記第１切替運転においてコントローラは、前記空調装置からの空気の給気量を次第に減少させ、前記空調装置からの空気の給気量が前記通常風量運転の通常風量運転目標給気量から前記少風量運転の少風量運転目標給気量に切り替わる間であって、該空調装置が前記空気の給気量を減少させる給気量減少過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記空調装置に給気量減少を一時停止させる給気量減少停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記給気量減少停止手段を中断して前記空調装置に給気量減少を再開させる給気量減少再開手段とを有し、
   前記第１切替運転においてコントローラは、前記排気装置からの空気の排気量を次第に減少させ、前記排気装置からの空気の排気量が前記通常風量運転の通常風量運転目標排気量から前記少風量運転の少風量運転目標排気量に切り替わる間であって、該排気装置が前記空気の排気量を減少させる排気量減少過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記排気装置に排気量減少を一時停止させる排気量減少停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記排気量減少停止手段を中断して前記排気装置に排気量減少を再開させる排気量減少再開手段とを有することを特徴とする運転モード変更システム。
2. 前記風量減少停止手段においてコントローラは、前記風量変更装置に所定の時間間隔で風量減少の停止と風量減少の再開とを交互に繰り返させる請求項１に記載の運転モード変更システム。
3. 前記空調室が、複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、前記風量変更装置が、前記給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは前記排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置から形成され、前記第１切替運転においてコントローラは、前記第１風量変更装置から前記第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で前記風量減少停止手段および前記風量減少再開手段を順番に実施する請求項１または請求項２に記載の運転モード変更システム。
4. 前記空調室が、複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、前記風量変更装置が、前記給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは前記排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置をグループ分けした第１〜第ｎ風量変更装置グループから形成され、前記第１切替運転においてコントローラは、前記第１風量変更装置グループから前記第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で前記風量減少停止手段および前記風量減少再開手段を順番に実施する請求項１または請求項２に記載の運転モード変更システム。
5. 給気ダクトに設置されて空調室に空気を給気する空調装置と、排気ダクトに設置されて前記空調室から空気を排気する排気装置と、前記空調室に給気する空気の風量または該空調室から排気する空気の風量を増減させる風量変更装置と、前記空調室の室圧を計測する室圧センサと、前記室圧センサが計測した室圧によってそれら装置を制御するコントローラとを備え、前記空調室を使用する場合に実施される通常風量運転と、前記空調室を非使用の場合に実施され、前記空調室に給気する空気の風量または該空調室から排気する空気の風量が前記通常風量運転よりも少ない少風量運転と、前記風量変更装置を利用して前記空気の風量を次第に増加させ、前記少風量運転から前記通常風量運転に切り替える第２切替運転とを行う運転モード変更システムにおいて、
   前記第２切替運転においてコントローラは、前記風量変更装置の風量が前記少風量運転の少風量運転目標風量から前記通常風量運転の通常風量運転目標風量に切り替わる間であって該風量変更装置が風量を増加させる風量増加過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記風量変更装置に風量増加を一時停止させる風量増加停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記風量増加停止手段を中断して前記風量変更装置に風量増加を再開させる風量増加再開手段とを有し、
   前記第２切替運転においてコントローラは、前記空調装置からの空気の給気量を次第に増加させ、前記空調装置からの空気の給気量が前記少風量運転の少風量運転目標給気量から前記通常風量運転の通常風量運転目標給気量に切り替わる間であって、該空調装置が前記空気の給気量を増加させる給気量増加過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記空調装置に給気量増加を一時停止させる給気量増加停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記給気量増加停止手段を中断して前記空調装置に給気量増加を再開させる給気量増加再開手段とを有し、
   前記第２切替運転においてコントローラは、前記排気装置からの空気の排気量を次第に増加させ、前記排気装置からの空気の排気量が前記少風量運転の少風量運転目標排気量から前記通常風量運転の通常風量運転目標排気量に切り替わる間であって、該排気装置が前記空気の排気量を増加させる排気量増加過程において、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が所定の規定室圧の上限値または下限値に達した場合に、前記空調装置に給気量増加を一時停止させる給気量増加停止手段と、前記室圧センサが計測した前記空調室の室内気圧が前記規定室圧の上限値を下回りまたは該規定室圧の下限値を上回った場合に、前記排気量増加停止手段を中断して前記排気装置に排気量増加を再開させる排気量増加再開手段とを有することを特徴とする運転モード変更システム。
6. 前記風量増加停止手段においてコントローラは、前記風量変更装置に所定の時間間隔で風量増加の停止と風量増加の再開とを交互に繰り返させる請求項５に記載の運転モード変更システム。
7. 前記空調室が、複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、前記風量変更装置が、前記給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは前記排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置から形成され、前記第２切替運転においてコントローラは、前記第１風量変更装置から前記第ｎ風量変更装置に向かって所定の間隔で前記風量増加停止手段および前記風量増加再開手段を順番に実施する請求項５または請求項６に記載の運転モード変更システム。
8. 前記空調室が、複数の第１〜第ｎ空調室から形成され、前記風量変更装置が、前記給気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐給気ダクトまたは前記排気ダクトから分岐して第１〜第ｎ空調室につながる第１〜第ｎ分岐排気ダクトに設置された第１〜第ｎ風量変更装置をグループ分けした第１〜第ｎ風量変更装置グループから形成され、前記第２切替運転においてコントローラは、前記第１風量変更装置グループから前記第ｎ風量変更装置グループに向かって所定の間隔で前記風量増加停止手段および前記風量増加再開手段を順番に実施する請求項５または請求項６に記載の運転モード変更システム。
9. 前記風量変更装置が、定風量装置（ＣＡＶ）、可変定風量装置（ＶＡＶ）、モータダンパ（ＭＤ）のいずれかである請求項１ないし請求項８いずれかに記載の運転モード変更システム。

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