JP6478974B2 - 標的設計及び製造における誘導自己組織化 - Google Patents
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Description
本願は、2013年4月10日出願の米国仮特許出願第61/810,637号、2013年4月11日出願の米国仮特許出願第61/810,995号、2013年5月30日出願の米国仮特許出願第61/829,128号、及び2013年8月16日出願の米国仮特許出願第61/866,546号の利点を主張するものであり、それらのすべてが参照によりそれらの全体において本願に組み込まれる。
[1]計測標的を、誘導自己組織化(DSA)プロセスによって製造することを含む方法であって、前記標的のうちの少なくとも1つの標的要素が、前記DSAプロセスのうちの少なくとも1つの特徴によって、前記少なくとも1つの標的要素に関連する背景と区別される、方法。
[2]前記DSAプロセスの前記少なくとも1つの特徴が、前記少なくとも1つの標的要素と前記少なくとも1つの標的要素に関連する背景との間に光学的区別を提供するように構成され、前記方法が、前記光学的区別を測定することをさらに含む、[1]に記載の方法。
[3]前記光学的区別及び前記測定が、偏光を使用して実行される、[2]に記載の方法。
[4]前記DSAにより製造された計測標的の形体を、前記測定の後に除去することをさらに含む、[2]に記載の方法。
[5]前記DSAプロセスの前記特徴が、偏光を使用して少なくとも1つの標的要素と前記少なくとも1つの標的要素に関連する背景との間の区別を可能にするように選択され、あるいは、DSAガイディングラインの存在、方向、空間周波数、及び寸法から構成されるグループから選択される、[1]に記載の方法。
[6]前記計測標的が、SCOL、AIM、AIMD、BLOSSOM、及びBiBから構成されるグループから選択された少なくとも1つの標的タイプである、[1]に記載の方法。
[7]前記計測標的の前の層及び現在の層のうちの少なくとも1つにおける標的要素に適用される、[1]に記載の方法。
[8]共に具現化されたコンピュータ可読プログラムを有するコンピュータ可読記憶媒体を備えるコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムが、[1]に記載の方法と互換性がある計測標的を設計するように構成され、あるいは、前記方法に従って製造された標的の計測光学測定を実行するように構成される、コンピュータプログラム製品。
[9]2つの隣接する標的構造を誘導自己組織化(DSA)プロセスによって製造する方法であって、複数の標的構造間の境界領域が、第1の標的構造の第1のガイディングラインと、第2の標的構造の各々のガイドラインの複数のガイディングライン端を含み、
前記第1のガイディングラインに対する指定の閾値未満の距離を維持するように前記境界領域における前記ガイディングライン端を設計することと、
前記境界領域の幅が各ガイドライン製造プロセスに関連する特定の最大プロセス不正確度閾値までの標的要素を製造することと、
を含む、方法。
[10]前記指定の閾値を選択して、前記DSAプロセスにおいて平行な自己組織化を生じることと、
前記ガイディングライン端を、前記第1のガイディングラインに平行である端部を有するように設計すること、あるいは、前記ガイディングライン端を、前記第1のガイディングラインに対して他のガイディングライン端を越えて突出するように設計することと、
をさらに含む、[9]に記載の方法。
[11][9]に記載の方法に従って複数の隣接する標的要素の対を設計することを含む、計測標的を設計する方法。
[12]
共に具現化されたコンピュータ可読プログラムを有するコンピュータ可読記憶媒体を備えるコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータ可読プログラムが、[11]に記載の計測標的を設計する前記方法を実行するように構成され、あるいは、[9]に記載の方法に従って製造された標的の計測測定を実行するように構成される、コンピュータプログラム製品。
[13]背景エリアをセグメント化することによって、標的要素をその背景エリアと区別することを含み、前記セグメント化が、[1],[9]のいずれかに記載の方法に従ったDSAプロセスによって実行される、計測標的を設計する方法。
[14]誘導自己組織化(DSA)プロセスによって製造された少なくとも1つの層を含む計測標的であって、前記少なくとも1つの層が、前記DSAプロセスのうちの少なくとも1つの特徴によって少なくとも1つの標的要素に関連する背景と区別される少なくとも1つの標的要素を含む、計測標的。
[15]前記DSAプロセスの前記少なくとも1つの特徴が、偏光を使用して、前記少なくとも1つの標的要素と前記少なくとも1つの標的要素に関連する背景との間の区別を可能にするように構成され、あるいは、DSAガイディングラインの存在、方向、空間周波数、及び寸法から構成されるグループの少なくとも1つから選択される、[14]に記載の計測標的。
[16]前記計測標的が、SCOL、AIM、AIMID、BLOSSOM、及びBiBから構成されるグループの少なくとも1つから選択される、[14]に記載の計測標的。
[17]前記少なくとも1つの層が、前記計測標的の前の層及び現在の層のうちの少なくとも1つである、[14]に記載の計測標的。
[18]誘導自己組織化(DSA)プロセスによって製造された少なくとも2つの隣接する標的構造を含む計測標的であって、前記標的構造間の境界領域が、前記標的構造の一方の第1のガイディングライン及び他方の標的構造の各々のガイドラインの複数のガイディングライン端を含み、前記境界領域での前記ガイディングライン端が、前記境界領域の幅が各ガイドライン製造プロセスに関連付けられた指定の最大プロセス不正確度閾値までである、標的要素を製造する際、前記第1のガイディングラインに対する指定の閾値未満の距離を維持するように設計される、計測標的。
[19]前記指定の閾値が、前記DSAプロセスにおいて重合体分子の平行な自己組織化を生じるように選択される、[18]に記載の計測標的。
[20]前記ガイディングライン端が、前記第1のガイディングラインに平行である端部を有するように設計され、あるいは、前記ガイディングライン端のいくつかが、前記第1のガイディングラインに対して他のガイディングライン端を越えて突出するように設計される、[18]に記載の計測標的。
[21]セグメント化された背景上の少なくとも1つの標的要素または少なくとも1つのセグメント化された標的要素を含み、前記セグメント化が、[1],[9]のいずれかに記載の方法に従ったDSAプロセスによって実行される、計測標的。
Claims (14)
- 棒状分子を、直線的に配列された重合体分子を有する規則領域と、重合体分子が直線的に配列されない無規則領域とを含む重合体表面上に結合することであって、前記棒状分子が、直線的に配列されない重合体分子よりも、直線的に配列された重合体分子により強力に結合するように選択される、結合することと、
前記棒状分子と前記直線的に配列された重合体分子との間の結合を維持しながら、直線的に配列されない重合体分子に結合される前記棒状分子を除去するように構成される解離処理を、前記結合された棒状分子を有する重合体表面に適用し、棒状分子が排他的に前記規則領域に結合された前記重合体表面を生じさせることと、を含み、
前記棒状分子を、前記結合された領域上の規則のレベルに依存する結晶形態を有するように構成されたセルロース分子とし、前記規則領域と前記無規則領域とで異なる結晶形態を有するように選択する、方法。 - 前記直線的に配列された重合体分子が計測標的要素に関連付けられ、棒状分子が前記規則領域に排他的に結合された前記生じさせられた重合体表面から、光学的測定信号を導出することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記光学的測定信号を前記導出することが、前記結合された棒状分子を前記無規則領域と区別するように構成された偏光を使用して実行される、請求項2に記載の方法。
- 前記光学的測定信号の前記導出後、前記規則領域に排他的に結合された前記棒状分子を除去することをさらに含む、請求項2に記載の方法。
- 前記無規則領域をエッチングによって取り除くことをさらに含み、前記棒状分子が前記規則領域を前記エッチングから保護し、前記棒状分子を前記重合体表面に前記結合する前に、前記無規則領域を少なくとも部分的にエッチングし、前記結合の前に、前記重合体表面を誘導自己組織化(DSA)プロセスによって製造し、前記結合の前に、前記規則領域と前記無規則領域との間の地形的差異を作成する、請求項1に記載の方法。
- 前記棒状分子を、少なくとも1つの架橋分子を含むように構成することと、前記少なくとも1つの架橋分子を、規則及び無規則領域上への結合強度を規定するように選択することと、をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの架橋分子を、前記重合体表面分子のうちの少なくとも1つとして選択することをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記棒状分子及び前記重合体表面のうちの少なくとも1つを、偏光を使用して前記棒状分子と前記無規則領域との間の区別を可能にするように構成することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 直線的に配列された重合体分子を有する規則領域と、重合体分子が直線的に配列されない無規則領域とを含む重合体表面と、
前記規則領域に結合された棒状分子であって、直線的に配列されない重合体分子よりも、直線的に配列された重合体分子により強力に結合するように選択される、棒状分子と、を含み、前記棒状分子を、前記結合された領域上の規則のレベルに依存する結晶形態を有するように構成されたセルロース分子とし、前記規則領域と前記無規則領域とで異なる結晶形態を有するように選択する、計測標的。 - 前記棒状分子及び前記重合体表面のうちの少なくとも1つが、偏光を使用して、前記棒状分子と前記無規則領域との間の区別を可能にするように構成され、前記無規則領域が少なくとも部分的にエッチングによって取り除かれ、前記棒状分子が前記規則領域を前記エッチングから保護し、前記重合体表面がDSAプロセスによって製造され、前記規則及び前記無規則領域が地形的に異なり、あるいは、少なくとも1つの架橋分子が、前記重合体表面分子のうちの少なくとも1つである、請求項9に記載の計測標的。
- 重合体表面の規則領域の上に結合された棒状分子を含むハードマスクであって、
前記重合体表面が、直線的に配列された重合体分子を有する規則領域と、重合体分子が直線的に配列されない無規則領域とを含み、前記棒状分子が、直線的に配列されない重合体分子よりも、直線的に配列された重合体分子により強力に結合するように選択され、前記棒状分子を、前記結合された領域上の規則のレベルに依存する結晶形態を有するように構成されたセルロース分子とし、前記規則領域と前記無規則領域とで異なる結晶形態を有するように選択する、ハードマスク。 - 前記重合体表面が、DSAプロセスによって製造される、請求項11に記載のハードマスク。
- 前記棒状分子が、規則及び無規則領域上への結合強度を規定するように選択される少なくとも1つの架橋分子を含む、請求項11に記載のハードマスク。
- 前記少なくとも1つの架橋分子が、前記重合体表面分子のうちの少なくとも1つである、請求項13に記載のハードマスク。
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