CN102983065B - 图案、掩模图案形成方法和半导体器件制造方法 - Google Patents

图案、掩模图案形成方法和半导体器件制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种图案形成方法、掩模图案形成方法和半导体器件制造方法，涉及半导体工艺技术领域。该图案形成方法包括：提供衬底；在衬底上形成包括嵌段共聚物的聚合物薄膜，其中构成嵌段共聚物的组分彼此之间不混溶；通过压模压印聚合物薄膜形成第一图案；对第一图案内的共聚物进行定向自组装形成分别由共聚物的不同组分组成的域；选择性地去除共聚物的组分组成的域以形成第二图案。本发明的实施例中，将压印技术与DSA工艺结合，获得更精细的节距图案，上述过程不需要曝光，和现有技术相比具有工艺简单的优点。此外，压印所用的压模可以具有相对宽的节距，使得压模容易制造和对准。

Description

图案、掩模图案形成方法和半导体器件制造方法
技术领域
本发明涉及半导体工艺技术领域，尤其涉及一种图案形成方法、掩模图案形成方法和半导体器件制造方法。
背景技术
随着技术工艺按比例缩小，用当前的平版印刷技术(Lithography)很难获得更精细的节距(Pitch)图案，双图案技术是一种具有可行性的潜在解决方案。目前双图案技术关注于LELE(LITHO-ETCH-LITHO-ETCH，光刻-蚀刻-光刻-蚀刻)、LFLE(LITHO-FREEZE-LITHO-ETCH，光刻-冻结-光刻-蚀刻)、和侧壁间隔物(SIDEWALLSPACER)。
然而，使用常规光学平版印刷，甚至昂贵和复杂的双图案形成方法，也很难越过22nm关键点。
作为制作更小尺寸图案问题的可能解决方案，DSA(Directedself-assembly，定向自组装)技术已经引起人们的关注。DSA技术是将嵌段共聚合物(BlockCopolymer，BCP)或是聚合物混合物沉积在衬底上，通常采用旋转涂布，并经由退火过程以‘指挥’其形成有序的结构。DSA能够形成小节距图案。在正确条件下，此类共聚物相的嵌段分离为微域(也称为“域”(domain))，且在此过程中，形成不同的化学组合物的纳米级特征。嵌段共聚物形成此类特征的能力使它们可用在纳米图案形成中，且达到形成具有更小特征尺寸(CD)的特征，这应该能够构建使用常规平版印刷难以印刷的特征。
DSA作为可能的备选方案，其通过在平版印刷限定的已形成图案的衬底上产生自组装纳米级域来扩大目前平版印刷的分辨率极限。这种方法将自组装方面与平版印刷限定的基板结合，以控制特定自组装BCP域的空间排列。
一种DSA工艺是制图外延法(Graphoepitaxy)，其中自组装由平版印刷已预先形成图案的衬底的形貌特征(Topographicalfeature)所引导。制图外延法提供子平版印刷的、自组装的特征，其具有比预图案本身特征尺寸更小的特征尺寸。
图1A至图1E示意性地示出现有技术的制图外延法中嵌段共聚物自组装的图案形成流程。
如图1A所示，通过掩模版114对正性光刻胶113进行曝光，其中，在衬底111上依次形成ARC(Anti-reflectionCoating，抗反射层)/PS(polystyrene，聚苯乙烯)刷层(Brushlayer)112和光刻胶113层。
如图1B所示，对光刻胶113进行曝光后，曝光的光刻胶113区域在显影液中被去除，暴露位于光刻胶层下方的刷层112。
如图1C所示，在暴露的刷层112上方涂布包括嵌段共聚物的聚合物薄膜115。
如图1D所示，聚合物薄膜115中的嵌段共聚物进行定向自组装，形成不同的组分组成的域116和117。
如图1E所示，选择性地去除例如域117，形成由域116构成的图案。
另外一种DSA技术是表面化学图案法(Surfacechemicalpattern)。图2A至图2G示意性地示出现有技术的表面化学图案法中嵌段共聚物自组装的图案形成流程。
如图2A所示，通过掩模版214对正性光刻胶213进行曝光，其中，在衬底211上依次形成ARC/PS刷层212和光刻胶213层。
如图2B所示，对光刻胶213进行曝光后，形成图案化光刻胶213层，暴露位于光刻胶层下方的刷层212。
如图2C所示，对暴露的刷层212进行氧化获得氧化的刷层215。
如图2D所示，去除光刻胶层213，暴露出图案化的刷层212。
如图2E所示，在图案化的刷层212上涂布包括嵌段共聚物的聚合物薄膜216。
如图2F所示，图案化的刷层212作为模板控制聚合物薄膜216中的嵌段共聚物进行定向自组装，形成不同的组分组成的域217和218。
如图2G所示，选择性地去除例如域217，形成由域218构成的图案。
但是，现有技术中的DSA技术通常都需要曝光，需要制造掩模版等工艺，工艺复杂，成本高。
发明内容
鉴于以上问题提出本发明。
本发明的一个目的是提供一种图案形成方法，能够形成更精细的节距，工艺简单。
根据本发明的一个方面，提供一种图案形成方法，包括：提供衬底；在衬底上形成包括嵌段共聚物的聚合物薄膜，其中构成嵌段共聚物的组分彼此之间不混溶；通过压模压印聚合物薄膜形成第一图案；对第一图案内的共聚物进行定向自组装，形成分别由共聚物的不同组分组成的域；选择性地去除共聚物的组分组成的域以形成第二图案。
优选地，嵌段共聚物为二嵌段共聚物。
优选地，嵌段共聚物选自以下物质组成的组：聚(苯乙烯-b-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-b-丁二烯)、聚(苯乙烯-b-异戊二烯)、聚(苯乙烯-b-甲基丙稀酸甲酯)、聚(苯乙烯-b-烯基芳族化合物)、聚(异戊二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(乙烯-丙稀))、聚(环氧乙烷-b-己内酯)、聚(丁二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(甲基)丙稀酸叔丁酯)、聚(甲基丙稀酸甲酯-b-甲基丙稀酸叔丁酯)、聚(环氧乙烷-b-环氧丙烷)、聚(苯乙烯-b-四氢呋喃)和前述嵌段共聚物的组合。
优选地，衬底包括在包括嵌段共聚物的聚合物薄膜下的掩模层。
优选地，掩模层包括聚合物、金属、氧化物、氮化物、和碳化物材料中的至少一种。
优选地，在掩模层上依次形成刷层、包括嵌段共聚物的聚合物薄膜。
优选地，通过干法刻蚀或者湿法刻蚀选择性地去除共聚物的组分组成的域。
优选地，嵌段共聚物为PS-b-PMMA；选择性地去除共聚物的组分组成的域以形成第二图案包括：选择性地去除PMMA组成的域以形成第二图案。
优选地，选择性地去除PMMA组成的域以形成第二图案包括：通过湿法刻蚀选择性地去除PMMA组成的域以形成第二图案。
优选地，压印为纳米压印(nano-imprint)。
优选地，纳米压印采用热压印(HEL)、紫外压印(UV-NIL)、步进-闪光压印(S-FIL)、或微接触印刷(μCP)。
优选地，压模由Si，SiO2，氮化硅、或金刚石材料形成。
优选地，第一图案内的共聚物通过分子交互作用(MolecularInteraction)进行定向自组装。
优选地，第一图案内的共聚物通过分子交互作用进行定向自组装包括：第一图案内的共聚物根据模板在氧化还原剂(REDOX)作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物根据模板在溶剂(SOLVENT)作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物在pH值条件、和金属离子作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物在温度条件下发生温度引发的DNA株(Strain)的变性(Denaturation)；或者，第一图案内的共聚物在光条件下发生光致异构化。
优选地，通过外部场第一图案内的共聚物进行定向自组装。其中，外部场包括：电场、磁场、流体场(FlowField)、液体界面(Liquidinterfaces)、或者上述场的组合。
根据本发明的一个方面的图案方法，将压印技术与DSA工艺结合，从而获得更精细的节距图案，且工艺简单。
根据本发明的另一方面，还提供一种掩模图案形成方法，包括：使用上述的图案形成方法形成聚合物薄膜的第二图案；利用第二图案对掩模层蚀刻形成掩模图案。
根据本发明的又一方面，还提供一种半导体器件的制造方法，包括：使用形成有上述的掩模图案的掩模蚀刻衬底上形成的半导体层，从而对半导体层进行图案化。
通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
构成说明书的一部分的附图描述了本发明的实施例，并且连同说明书一起用于解释本发明的原理。
参照附图，根据下面的详细描述，可以更加清楚地理解本发明，其中：
图1A至图1E示意性地示出现有技术的制图外延法中嵌段共聚物自组装的图案形成流程；
图2A至图2G示意性地示出现有技术的表面化学图案法中嵌段共聚物自组装的图案形成流程；
图3A至图3F示意性地示出本发明第一实施例的半导体器件制造方法的各个步骤的截面图；
图4A至图4H示意性地示出本发明第二实施例的半导体器件制造方法的各个步骤的截面图。
具体实施方式
现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。
同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。
以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。
对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。
在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
下面参考图3A至图3F和图4A至图4H所示出的各个阶段的截面图，描述根据本发明的制造半导体器件的方法。
图3A至图3F示意性地示出本发明第一实施例的半导体器件制造方法的各个步骤的截面图。
如图3A所示，提供衬底311，在衬底311上形成有包括嵌段共聚物的聚合物薄膜313，共聚物的组分彼此之间不混溶。嵌段共聚物可以是二嵌段共聚物(DiblockCopolymer)，例如PS-b-PMMA(聚(苯乙烯-b-甲基丙稀酸甲酯))。在一个实施例中，在衬底311包括位于聚合物薄膜313下的掩模层312。标号320表示压模，压模例如由Si，SiO2，氮化硅、或金刚石材料形成。
如图3B所示，通过压模320压印聚合物薄膜313形成聚合物薄膜313的第一图案330。
如图3C所示，对第一图案330内的共聚物进行定向自组装(DSA)形成分别由共聚物的不同组分组成的域，例如，域316和域317。在一个实施例中，域316和域317分别对应于由PS和PMMA组成的域。
如图3D所示，例如通过干法刻蚀或者湿法刻蚀选择性地去除共聚物的组分组成的域317以形成第二图案340。在一个实施例中，通过干法刻蚀去除由PMMA组成的域317，形成由PS组成的域316构成的第二图案340。
上述实施例中，将压印技术与DSA工艺结合，获得更精细的节距图案，上述过程不需要曝光，和现有技术相比具有工艺简单的优点。此外，压印所用的压模可以具有相对宽的节距，使得压模容易制造和对准(Alignment)。
在形成第二图案后，可以将第二图案传递到衬底中。进一步，该方法还可以包括：
如图3E所示，通过刻蚀将第二图案340转移到掩模层312中。掩模层可以包括聚合物、金属、氧化物、氮化物、和碳化物材料中的至少一种。
如图3F所示，去除掩模312上由共聚物的组分组成的域316。
通过将图案转移到掩模层，通过图案化的掩模层蚀刻半导体材料形成半导体器件，可以更好地控制半导体制造工艺。
需要指出，本发明的实施例中的嵌段共聚物可以选自以下物质组成的组：聚(苯乙烯-b-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-b-丁二烯)、聚(苯乙烯-b-异戊二烯)、聚(苯乙烯-b-甲基丙稀酸甲酯)、聚(苯乙烯-b-烯基芳族化合物)、聚(异戊二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(乙烯-丙稀))、聚(环氧乙烷-b-己内酯)、聚(丁二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(甲基)丙稀酸叔丁酯)、聚(甲基丙稀酸甲酯-b-甲基丙稀酸叔丁酯)、聚(环氧乙烷-b-环氧丙烷)、聚(苯乙烯-b-四氢呋喃)，以及上述嵌段共聚物的组合。
图4A至图4H示意性地示出本发明第二实施例的半导体器件制造方法的各个步骤的截面图。
如图4A所示，提供衬底411，衬底411上为掩模层412，掩模412上形成刷层413。刷层413例如是氧化的刷层(Oxygenatedbrushlayer)，作为后续DSA的模板(Template)。可以通过现有方式或者其他方式形成刷层。
如图4B所示，在刷层413上形成包括嵌段共聚物的聚合物薄膜414，该嵌段共聚物例如是PS-b-PMMA。
如图4C所示，通过纳米压模420对聚合物薄膜414进行纳米压印。
如图4D所示，通过压印在聚合物薄膜414上形成第一图案430。
如图4E所示，以刷层413作为模板进行自组装，形成分别由共聚物的不同组分PS和PMMA组成的域415和416。
如图4F所示，通过湿法刻蚀选择性地去除由PMMA组成的域416，形成由PS组成的域415构成的第二图案440。
如图4G所示，根据第二图案440对刷层413和掩模层412进行刻蚀，将第二图案440转移到掩模层412。
如图4H所示，通过干法去除聚合物薄膜层415和刷层413的剩余部分。
在上述实施例中，通过刷层作为模板对聚合物层得DSA进行控制，可以更好地获得期望的图案。
需要指出，虽然在图3A-3F和图4A-4H的实施例中只示出由共聚物的两种不同组分形成的域，本领域的技术人员应当理解，本发明的实施例中并不限于两种域。图3A-3F和图4A-4H中图案仅仅是示意性的，可以根据需要形成不同的第一图案和第二图案。
本领域的技术人员可以理解，第一图案内的共聚物可以通过分子交互作用进行定向自组装。例如，第一图案内的共聚物根据模板在氧化还原剂作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物根据模板在溶剂作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物在pH值条件、和金属离子作用下进行定向自组装；或者，第一图案内的共聚物在温度条件下发生温度引发的DNA株的变性；或者，第一图案内的共聚物在光条件下发生光致异构化。此外，还可以通过外部场所述第一图案内的共聚物进行定向自组装，外部场例如包括：电场、磁场、流体场、液体界面、或者上述场的组合。
在本发明的实施例中，压印为纳米压印，纳米压印例如采用热压印(HEL)、紫外压印(UV-NIL)、步进-闪光压印(S-FIL)、或微接触印刷(μCP)。
至此，已经详细描述了根据本发明的制造半导体器件的方法和所形成的半导体器件。为了避免遮蔽本发明的构思，没有描述本领域所公知的一些细节。本领域技术人员根据上面的描述，完全可以明白如何实施这里公开的技术方案。
可能以许多方式来实现本发明的方法和半导体器件。用于所述方法的步骤的上述顺序仅是为了进行说明，本发明的方法的步骤不限于以上具体描述的顺序，除非以其它方式特别说明。
本发明的描述是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显然的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (16)

1.一种图案形成方法，其特征在于，包括：
提供衬底；
在所述衬底上形成包括嵌段共聚物的聚合物薄膜，其中构成所述嵌段共聚物的组分彼此之间不混溶；
通过纳米压模对所述聚合物薄膜进行纳米压印，形成第一图案；
对所述第一图案内的共聚物进行定向自组装(DSA)，形成分别由所述共聚物的不同组分组成的域；
选择性地去除所述共聚物的组分组成的域以形成第二图案；
其中，所述纳米压印采用热压印、紫外压印、步进－闪光压印、或微接触印刷。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述嵌段共聚物为二嵌段共聚物。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述嵌段共聚物选自以下物质组成的组：聚(苯乙烯-b-乙烯基吡啶)、聚(苯乙烯-b-丁二烯)、聚(苯乙烯-b-异戊二烯)、聚(苯乙烯-b-甲基丙稀酸甲酯)、聚(苯乙烯-b-烯基芳族化合物)、聚(异戊二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(乙烯－丙稀))、聚(环氧乙烷-b-已内酯)、聚(丁二烯-b-环氧乙烷)、聚(苯乙烯-b-(甲基)丙稀酸叔丁酯)、聚(甲基丙稀酸甲酯-b-甲基丙稀酸叔丁酯)、聚(环氧乙烷-b-环氧丙烷)、聚(苯乙烯-b-四氢呋喃)和前述嵌段共聚物的组合。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底包括在所述包括嵌段共聚物的聚合物薄膜下的掩模层。
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述掩模层包括聚合物、金属、氧化物、氮化物、和碳化物材料中的至少一种。
6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述掩模层上依次形成刷层、所述包括嵌段共聚物的聚合物薄膜。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过干法刻蚀或者湿法刻蚀选择性地去除所述共聚物的组分组成的域。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述嵌段共聚物为聚(苯乙烯-b-甲基丙稀酸甲酯)PS-b-PMMA；
所述选择性地去除所述共聚物的组分组成的域以形成第二图案包括：
选择性地去除所述PMMA组成的域以形成第二图案。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述选择性地去除所述PMMA组成的域以形成第二图案包括：
通过湿法刻蚀选择性地去除所述PMMA组成的域以形成第二图案。
10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压模由Si，SiO2，氮化硅、或金刚石材料形成。
11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一图案内的共聚物通过分子交互作用进行定向自组装。
12.根据权利要求11所述的方法，所述第一图案内的共聚物通过分子交互作用进行定向自组装包括：
所述第一图案内的共聚物根据模板在氧化还原剂作用下进行定向自组装；
或者，
所述第一图案内的共聚物根据模板在溶剂作用下进行定向自组装；
或者，
所述第一图案内的共聚物在pH值条件、和金属离子作用下进行定向自组装；
或者，
所述第一图案内的共聚物在温度条件下发生温度引发的DNA株的变性；
或者，
所述第一图案内的共聚物在光条件下发生光致异构化。
13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过外部场所述第一图案内的共聚物进行定向自组装。
14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述外部场包括：电场、磁场、流体场、液体界面、或者上述场的组合。
15.一种掩模图案形成方法，其特征在于，包括：
使用权利要求4的图案形成方法形成所述聚合物薄膜的第二图案；
利用所述第二图案对掩模层蚀刻形成掩模图案。
16.一种半导体器件的制造方法，其特征在于，包括：
使用形成有通过权利要求15的掩模图案形成方法所形成的掩模图案的掩模蚀刻衬底上形成的半导体层，从而对半导体层进行图案化。
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