JP6478763B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 31
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 11
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 8
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 7
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/1433—Structure of nozzle plates
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
- B41J2/1404—Geometrical characteristics
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14088—Structure of heating means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14145—Structure of the manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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Description
このような構成によれば、梁状突起により剛性を高めつつ、吐出口形成部材9自体が膨潤することで梁状突起3に大きな応力が発生したとしても、その応力はスリット4で吸収され緩和される。その結果、吐出口形成部材9の基板11との接合部分(特に柱状突起8)に作用する剪断応力を低減することができ、柱状突起8が基板11から剥がれることを抑制することができる。
図3(c)は、図3(a)および図3(b)に示す液体吐出ヘッド20において、熱硬化性樹脂からなる吐出口形成部材9が硬化後に体積が収縮した様子を示す断面図であり、図3(b)に対応する図である。吐出口形成部材9は、熱硬化工程において熱膨張した状態で硬化した後、温度の低下と共に収縮する。また、硬化時の乾燥によっても、その体積は収縮する。このような体積収縮により、吐出口形成部材9には収縮力が発生するが、梁状突起3では、体積が大きいため、発生する収縮力も大きくなる。その結果、梁状突起3の大きな収縮力が、吐出口形成部材9のスリット4に対応する部分4aに大きな引張応力を生じさせ、亀裂を発生させる可能性がある。吐出口形成部材9のスリット4に対応する部分4aに亀裂が発生すると、そこから液体の漏れが発生して、信頼性の低下を引き起こすことになる。
そこで、本発明の目的は、応力が発生した場合でも高い信頼性を実現する液体吐出ヘッドを提供することである。
この液体吐出ヘッドでは、一対の梁状突起に大きな収縮力が発生しても、その間隔(スリットの幅)が各梁状突起の幅よりも大きいことで、一対の梁状突起の間の部分に作用する引張応力をその部分全体に均一に分散させることができる。すなわち、一対の梁状突起の間の部分に引張応力が集中的に作用することを抑制して、その部分に亀裂が発生することを抑制することができる。
図1(a)は、本発明の第1の実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出口付近を拡大して示す平面図である。図1(b)は、図1(a)のA−A線に沿った断面図である。
液体吐出ヘッド20は、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子(ヒータ)10が設けられた基板11と、基板11のエネルギー発生素子10が設けられた面に接合された吐出口形成部材9とを有している。基板11は、例えばシリコンなどからなり、吐出口形成部材9は、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂からなる。
また、液体吐出ヘッド20は、液体を吐出するための複数の吐出口1と、各吐出口1に連通する複数の発泡室5と、各発泡室5に連通する複数の流路6と、複数の流路6に連通する供給口2とを有している。吐出口1、発泡室5、および流路6は、フォトリソグラフィ工程によって、基板11のエネルギー発生素子10に対応するように形成されている。すなわち、発泡室5が、エネルギー発生素子10を内包するように形成され、吐出口1が、発泡室5内のエネルギー発生素子10に対向する位置に形成されている。供給口2は、基板11を貫通して吐出口形成部材9が接合された面に開口し、エネルギー発生素子10すなわち吐出口1の配列方向に沿って延びるように、基板11に形成されている。エネルギー発生素子10は、供給口2の両側に所定のピッチで配列され、それに応じて、吐出口1も2つの吐出口列を構成している。例えば、エネルギー発生素子10すなわち吐出口1のピッチおよび個数は、各々600dpi(千鳥配置の場合には1200dpi)で合計1280個であり、この場合、吐出口列の長さは約1.07インチ(約2.72cm)である。
さらに、液体吐出ヘッド20は、吐出口形成部材9から基板11に向かって突出するように形成された一対の梁状突起3を有している。一対の梁状突起3は、吐出口形成部材9の供給口2に対向する位置に設けられ、供給口2が延びる方向、すなわち複数の吐出口1の配列方向に沿って並列し、その間にスリット4を備えている。また、一対の梁状突起3は、吐出口1の配列方向に沿った吐出口形成部材9の中心線に略対称に配置されている。吐出口形成部材9の梁状突起3における厚さ(以下、単に「梁状突起の厚さ」という)t3は、吐出口形成部材9の厚さに実質的に等しい。したがって、梁状突起3は、大部分が基板11に接触しておらず浮いた状態にあるが、長手方向の両端部(図示せず)では基板11に接合されている。これにより、一対の梁状突起3は、吐出口形成部材9の、吐出口1の配列方向における剛性を高めるための補強部材として機能する。一対の梁状突起3の寸法は、一例として、スリット4の幅aが42μm、梁状突起3の幅bが10μm、梁状突起3の厚さが、上述したように吐出口形成部材9の厚さに等しく、26μmである。また、吐出口形成部材9のスリット4における厚さ(以下、単に「スリットの厚さ」という)t4は、吐出口形成部材9の流路6や発泡室5における厚さt9に等しく、一例として、10μmである。
熱硬化性樹脂からなる吐出口形成部材9は、熱硬化工程において熱膨張した状態で硬化した後、温度の低下と共に熱収縮する。また、硬化時の乾燥によっても、その体積は収縮する。このように、吐出口形成部材9の体積が収縮すると、図1(c)に示すように、体積が大きい梁状突起3は大きく収縮し、それが引張力として、吐出口形成部材9のスリット4に対応する部分(以下、単に「スリット対応部分」という)4aに特に作用する。したがって、このスリット部分4aには、その両側から梁状突起3による引張力が合成力として作用する。しかしながら、本実施形態では、梁状突起3の幅bよりも大きい幅aを有する幅広のスリット4によって、このような合成力がスリット対応部分4aに集中的に作用することを抑制することができる。すなわち、スリット対応部分4aに作用する応力をその部分全体に均一に分散させることができ、その結果、スリット対応部分4aに亀裂が発生することを抑制することができる。また、スリット対応部分4aは、厚さt4が梁状突起3の厚さt3に比べて十分に薄く(例えば10μm)、柔らかく変形しやすい。そのため、幅広のスリット4の場合、従来に比べて、その変形量が大きくなり、スリット対応部分4aに作用する引張力をより吸収することができ、スリット対応部分4aが破損することを抑制することができる。このような変形は、各吐出口による液体吐出性能に影響しないため、上述の収縮が発生しても、液体の吐出不良が発生することはない。
梁状突起3は、供給口2内に滞留した気泡が吐出口1内に侵入することを抑制する機能も有しているが、上述したように、例えば、梁状突起3の幅bが10μmであれば、スリット4の幅aが42μmであっても、十分に気泡の侵入を抑制することができる。
図2(a)は、本発明の第2の実施形態に係る液体吐出ヘッドの吐出口付近を拡大して示す平面図である。図2(b)は、図2(a)のA−A線に沿った断面図である。図2(c)は、図1(c)に対応する図であり、本実施形態の液体吐出ヘッドにおける、吐出口形成部材が硬化後に体積が収縮した様子を示す断面図である。
本実施形態の液体吐出ヘッド20は、一部の柱状突起8の代わりに、各梁状突起3と一体に形成され、吐出口形成部材9から基板11に向かって突出する複数の補強リブ7を有している。複数の補強リブ7は、梁状突起3が延びる方向と交差する方向、本実施形態においては垂直な方向であって、各梁状突起3から離れる方向に延び、その先端部分が基板11に接合されている。補強リブ7は、梁状突起3が延びる方向に沿って柱状突起8と交互に配置され、柱状突起8と同様に、液体中の異物を除去するフィルタとして機能する。補強リブ7の幅cは、柱状突起8の直径と等しく、吐出口形成部材9の補強リブ7における厚さt7は、吐出口形成部材9の厚さTに等しく、一例として、26μmである。
一方で、補強リブ7は梁状突起3と一体に形成されているため、吐出口形成部材9の収縮による応力の影響は、第1の実施形態と比べて大きくなり、スリット対応部分4aに作用する引張力も、第1の実施形態と比べて大きくなる。したがって、補強リブ7に発生する収縮力がスリット対応部分4aへ伝達することを抑制するために、複数の補強リブ7は、その幅cが各梁状突起3の幅bよりも大きくなるように形成されていることが好ましい。これにより、補強リブ7に収縮力が発生しても、梁状突起3を変形させることで、その収縮力を緩和することができ、スリット対応部分4aに作用する引張力を極力低減することができる。その結果、吐出口形成部材9の破損を回避することができる。
このように、本実施形態では、吐出口形成部材の収縮による応力だけでなく、膨潤による応力の影響も効果的に抑制することができる。
また、上述した各実施形態では、一対の梁状突起3が互いに平行して延在する形態について説明したが、これに限られず、一対の梁状突起は互いに並列して延在していればよい。梁状突起の間隔や梁状突起の幅が部分によって異なる場合は、梁状突起の間隔が最も大きい部分の寸法が、梁状突起の幅が最も小さい部分の寸法より大きければよい。また、梁状突起は連続して延在する形態だけでなく、断続して延在する形態であってもよい。
2 供給口
3 梁状突起
9 吐出口形成部材
11 基板
Claims (5)
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための貫通孔であり、前記複数のエネルギー発生素子の配列方向に沿って延在する供給口と、を有する基板と、
液体を吐出するための複数の吐出口と、前記基板に向かって突出し、前記供給口と対向する位置に前記配列方向に沿って形成される互いに並列する一対の梁状突起と、を有し、熱硬化性樹脂からなる吐出口形成部材と、を含み、
前記一対の梁状突起が前記複数のエネルギー発生素子に対応する領域にわたって連続的に設けられ、前記吐出口形成部材の前記各梁状突起における厚さが、前記吐出口形成部材の前記一対の梁状突起の間のスリットにおける厚さよりも厚く、
前記一対の梁状突起の間隔が、該各梁状突起の前記配列方向と直交する方向の長さよりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記吐出口形成部材が、前記各梁状突起と一体に形成され、前記吐出口形成部材から前記基板に向かって突出し、前記各梁状突起から離れる方向に延びる複数の補強リブを有し、前記各補強リブの先端部分が基板に接合され、前記各補強リブの前記離れる方向と直交する方向の長さが、前記各梁状突起の前記配列方向と直交する方向の長さよりも大きい、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記吐出口形成部材が、該吐出口形成部材から前記基板に向かって突出し、前記基板に接合された複数の柱状突起を有し、前記複数の補強リブが、前記配列方向に沿って前記複数の柱状突起と交互に配置されている、請求項2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記一対の梁状突起は、長手方向の両端部が基板に接合されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記一対の梁状突起が、前記配列方向に沿った前記吐出口形成部材の中心線に対称に配置されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015069105A JP6478763B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 液体吐出ヘッド |
US15/058,573 US9539813B2 (en) | 2015-03-30 | 2016-03-02 | Liquid discharge head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015069105A JP6478763B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016187930A JP2016187930A (ja) | 2016-11-04 |
JP6478763B2 true JP6478763B2 (ja) | 2019-03-06 |
Family
ID=57017127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015069105A Active JP6478763B2 (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9539813B2 (ja) |
JP (1) | JP6478763B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017061102A (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびインクジェット記録装置 |
JP6914677B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-08-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7066418B2 (ja) * | 2018-01-17 | 2022-05-13 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
JP7150500B2 (ja) * | 2018-07-04 | 2022-10-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP7463196B2 (ja) | 2020-06-11 | 2024-04-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出モジュール及び液体吐出ヘッド |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4018272B2 (ja) * | 1998-11-27 | 2007-12-05 | キヤノン株式会社 | インクジェットプリントヘッド及び該ヘッドを搭載するインクジェットプリンティングデバイス |
US6575560B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid discharge recording head and liquid discharge recording apparatus |
JP3728210B2 (ja) | 2001-02-23 | 2005-12-21 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドおよびその製造方法、インクジェット記録装置 |
US7025439B2 (en) * | 2004-03-15 | 2006-04-11 | Lexmark International, Inc. | Ink jet printer with extended nozzle plate and method |
JP2007076226A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Canon Inc | 液滴吐出ヘッドおよびその製造方法 |
JP2012051235A (ja) * | 2010-09-01 | 2012-03-15 | Canon Inc | 液体吐出ヘッド |
JP6202869B2 (ja) * | 2013-04-17 | 2017-09-27 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
US9199460B2 (en) * | 2013-06-28 | 2015-12-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Apparatuses including a plate having a recess and a corresponding protrusion to define a chamber |
-
2015
- 2015-03-30 JP JP2015069105A patent/JP6478763B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-02 US US15/058,573 patent/US9539813B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016187930A (ja) | 2016-11-04 |
US9539813B2 (en) | 2017-01-10 |
US20160288502A1 (en) | 2016-10-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180827 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181022 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190205 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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