JP6473908B2 - ウエハ接合装置及びウエハ接合方法 - Google Patents
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Description
ウエハの接合を行う接合チャンバーの内部は、ウエハの接合時にウエハの接合面にゴミが混入しないように、清浄な状態に管理されることが好ましいが、このような従来の方式では、接合チャンバー内にウエハを設置するたびに接合チャンバー内を真空状態/大気解放状態としなければならず、接合チャンバー内を高真空とすることが非常に困難であった。
また、ロードロックチャンバー83内には、例えば1サイクル分で25枚といった、多くのウエハを一度にセットする必要があるため、大型のロードロックチャンバーが必要となる。このような大型のロードロックチャンバーでは、その内部を真空・大気解放状態とするのに要する時間が長く、ロードロックチャンバー内のウエハを交換するための操作が必要となり、スループットが低下するという問題があった。
搬送部により、ロードロックチャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを搬入する工程(A)と、
ロードロックチャンバー内を真空状態にする工程(B)と、
ゲート弁を開けることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に接続する工程(C)と、
トランスファー部により、接合チャンバーからロードロックチャンバーへ接合済ウエハを移送する工程(D)と、
トランスファー部により、ロードロックチャンバーから接合チャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを移送する工程(E)と、
ゲート弁を閉じることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に分断する工程(F)と、
ロードロックチャンバー内を大気解放する工程(G)と、
搬送部により、ロードロックチャンバーから接合済ウエハを搬出する工程(H)と、
接合チャンバーにおいて上ウエハと下ウエハとを接合して接合済ウエハとする工程(I)と、
を含むウエハ接合方法が提供される。
実施形態1として、本発明に係るウエハ接合方法について説明する。
本実施形態に係る接合方法は、ロードロックチャンバーとウエハ格納容器との間でウエハを搬送する搬送部と、上ウエハ、下ウエハ、接合済ウエハを1枚ずつ収容することが可能であるロードロックチャンバーと、ゲート弁を介してロードロックチャンバーに接続された接合チャンバーと、ロードロックチャンバーと接合チャンバーとの間でウエハを移送するトランスファー部とを含む接合装置を用いたウエハの接合方法であって、
搬送部により、ロードロックチャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを搬入する工程(A)と、
ロードロックチャンバー内を真空状態にする工程(B)と、
ゲート弁を開けることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に接続する工程(C)と、
トランスファー部により、接合チャンバーからロードロックチャンバーへ接合済ウエハを移送する工程(D)と、
トランスファー部により、ロードロックチャンバーから接合チャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを移送する工程(E)と、
ゲート弁を閉じることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に分断する工程(F)と、
ロードロックチャンバー内を大気解放する工程(G)と、
搬送部により、ロードロックチャンバーから接合済ウエハを搬出する工程(H)と、
接合チャンバーにおいて上ウエハと下ウエハとを接合して接合済ウエハとする工程(I)と、
を含むウエハ接合方法である。
トランスファー部6は、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5との間で移動することができ、ウエハを把持・移送するためのトランスファーアーム16を備える。
本実施形態に係るウエハ接合方法は、搬送部3により、ロードロックチャンバー1へ上ウエハ7及び下ウエハ8を搬入する工程を含む。
この工程では、搬送部3が備えるロボットアームにより、格納容器2(上ウエハ格納容器2a、下ウエハ格納容器2b)からウエハ(上ウエハ7、下ウエハ8)を取出し、ロードロックチャンバー1まで搬送する。
本実施形態に係るウエハ接合方法では、ロードロックチャンバー1内に1サイクル分のウエハを収容できるため、効率的である。
下ウエハ8、すなわち接合時に下側に位置するウエハは、その上面に接合面を有する。ロードロックチャンバー1内において、最上段に下ウエハ8を収容することで、上面の接合面にゴミが付着することを防ぐことができる。上ウエハ7、すなわち接合時に上側に位置するウエハは、その下面に接合面を有する。ロードロックチャンバー1内において、下ウエハ8の下段に上ウエハ7を収容することで、ウエハの搬送中などに、下ウエハ8の接合面にゴミが落下することを防ぐことができる。
ロードロックチャンバー1の上段より、下ウエハ8、上ウエハ7の順で搬入することにより、上段の下ウエハ8からのゴミの落下による上ウエハ7の汚染を防ぐことができる。
接合済ウエハ9(前のサイクル分の接合済ウエハ9)の搬出と上ウエハ7及び下ウエハ8の搬入、あるいは、上ウエハ7及び下ウエハ8の搬入に次いで、ロードロックチャンバー1内を真空状態にする工程を含む。
ウエハの搬入・搬出後に、ゲート弁11を閉める。ロードロックチャンバー1は、最大でも、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9、あるいは、クリーニング用ウエハ17の計4枚のウエハを収容するため、ロードロックチャンバー1内を真空状態にするための時間が短いという利点がある。
ロードロックチャンバー1内が真空状態になった後、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5とを接続するゲート弁4を開けることにより、ロードロックチャンバー1の内部と接合チャンバー5の内部とを空間的に接続する工程を含む。
このとき、ロードロックチャンバー1内はすでに真空状態に保たれているため、接合チャンバー5の内部を真空状態にするための時間を短くすることができる。また、真空状態のロードロックチャンバー1に接続するため、接合チャンバー5内を高真空状態に保つことができる。
次いで、トランスファー部6により、接合チャンバー5からロードロックチャンバー1へ接合済ウエハ9を移送する工程を含む。
このとき、接合済ウエハ9は、ロードロックチャンバー1内において、未接合ウエハの下方に収容されるため、この工程の間に、未接合ウエハの接合面にゴミが付着するといったことを防ぐことができる。
次いで、トランスファー部6により、ロードロックチャンバー1から接合チャンバー5へ上ウエハ7及び下ウエハ8を移送する工程を含む。
ウエハの移送は、上ウエハ7、下ウエハ8の順で行うことが好ましい。このような順序でウエハの移送を行うことにより、下ウエハ8の接合面の上方でウエハが移送されることがなく、上向きの下ウエハ8の接合面上にゴミが落下することを防ぐことができる。
次いで、ゲート弁4を閉じることにより、ロードロックチャンバー1の内部と接合チャンバー5の内部とを空間的に分断する工程を含む。
この工程により、ロードロックチャンバー1の内部と接合チャンバー5の内部とは、空間的に分断され、と接合チャンバー5の内部は次のサイクルの接合のために真空引きを行い、ロードロックチャンバー1の内部は大気解放することができる。本実施形態のウエハ接合方法では、ゲート弁の開閉を1サイクルごとに行うため、効率的である。
次いで、ロードロックチャンバー1内を大気解放する工程を含む。
次いで、搬送部3により、ロードロックチャンバー1から接合済ウエハ9を搬出する工程を含む。
接合済ウエハ9は、ロードロックチャンバー1から接合済ウエハ格納容器2cへ搬送される。
上ウエハ7及び下ウエハ8が接合チャンバー5内にセットされた後、接合チャンバー5において上ウエハ7と下ウエハ8とを接合して接合済ウエハ9とする工程を含む。
工程(I)は、工程(F)の後から次のサイクルの工程(C)までの間、すなわちゲート弁4が閉じられてから開けられるまでの間に行われればよい。
接合チャンバー5内でウエハの接合面を活性化処理することに次いで、同一のチャンバー内で接合を行うことにより、表面処理が行われた後のウエハを大気中に晒すことなく、接合を行うことができる。ウエハ接合面の活性化処理は、接合チャンバー5内の表面処理手段18によって行われる。
本実施形態のウエハ接合方法においては、ロードロックチャンバー1は、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9、あるいは、クリーニング用ウエハ17の計4枚のウエハを収容するため、1サイクルに要する時間が短いという利点がある。図2に示すタイムチャートは、1サイクル分を示しているが、このサイクルが処理を行うウエハの数に応じて繰り返される。
また、接合チャンバー5内でウエハの接合を行っている間にも、搬送部3が稼働してウエハの搬送を行うことができるため、効率的である。
次に、本発明の一実施形態として、ウエハ接合装置の構成について実施形態3として説明する。
本実施形態に係るウエハ接合装置では、図1又は図4に示すように、真空中または置換ガス雰囲気中でウエハの接合を行うためのウエハ接合装置であって、ロードロックチャンバー1とウエハ格納容器2との間でウエハを搬送する搬送部3と、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9を1枚ずつ収容することが可能であるロードロックチャンバー1と、ゲート弁4を介してロードロックチャンバー1に接続された接合チャンバー5と、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5との間でウエハを移送するトランスファー部6と、を含む。
本実施形態に係るウエハ接合装置は、ロードロックチャンバー1とウエハ格納容器2との間でウエハを搬送する搬送部を含む。
本実施形態に係るウエハ接合装置では、大気環境用のロボットアームを採用することができ、搬送部を真空チャンバー内に設置する必要がなく、装置全体のコストを抑制することができる。また、ロボットアームの大きさが制限されることがないため、複数のロードロックチャンバー、複数のウエハ収納容器、あるいはアライナーなどにアクセス可能な構成とすることができる。
ウエハ格納容器は、種々のウエハを格納・保持する。ウエハ格納容器は、それぞれ、上ウエハ、下ウエハ、接合済ウエハ、クリーニング用ウエハを種類ごとに格納するようにしてもよい。
本実施形態に係るウエハ接合装置は、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9を1枚ずつ収容することが可能であるロードロックチャンバー1を含む。ロードロックチャンバー1は、複数のウエハを収容することができる。本実施形態の例では、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9、あるいは、クリーニング用ウエハ17の計4枚のウエハを収容することができる。
本実施形態に係るウエハ接合方法では、ロードロックチャンバー1内に1サイクル分のウエハを収容できるため、効率的である。また、ロードロックチャンバー1内に収容されるウエハの数が、上ウエハ7、下ウエハ8、接合済ウエハ9の計3枚、あるいは4枚であるため、ロードロックチャンバー1の内部を真空・大気解放状態にするための時間が短いという利点がある。
下ウエハ8、すなわち接合時に下側に位置するウエハは、その上面に接合面を有する。ロードロックチャンバー1内において、最上段に下ウエハ8を収容することで、上面の接合面にゴミが付着することを防ぐことができる。上ウエハ7、すなわち接合時に上側に位置するウエハは、その下面に接合面を有する。ロードロックチャンバー1内において、下ウエハ8の下段に上ウエハ7を収容することで、ウエハの搬送中などに、下ウエハ8の接合面にゴミが落下することを防ぐことができる。また、接合済ウエハ9を上ウエハ7の下段に位置することで、未接合ウエハ(上ウエハ7、下ウエハ8)にゴミが落下することを防ぐことができる。
本実施形態に係るウエハ接合装置は、ゲート弁4を介してロードロックチャンバー1に接続された接合チャンバー5を含む。
真空中または置換ガス雰囲気中でウエハの接合を行う。
接合チャンバー5内でウエハの接合面を活性化処理することに次いで、同一のチャンバー内で接合を行うことにより、表面処理が行われた後のウエハを大気中に晒すことなく、接合を行うことができる。ウエハ接合面の活性化処理は、接合チャンバー5内の表面処理手段18によって行われる。
本実施形態に係るウエハ接合装置は、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5との間でウエハを移送するトランスファー部6を含む。
トランスファー部6は、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5との間で移動することができ、ウエハを把持・移送するためのトランスファーアーム16を備える。トランスファー部6の駆動部は大気中に存在し、トランスファーアーム16を磁性体などを介して移動させる。そのため、トランスファーアーム16は接合チャンバー5内の真空雰囲気中で移動する。トランスファー部は、ロードロックチャンバーと接合チャンバーとの間でウエハを移送するために、待避ポイントP1、ボンディングポイントP2、ロードロックポイントP3間を移動することができる。
ロードロックチャンバー1内にクリーニング用ウエハ17を収容する場合、クリーニング用ウエハ17を最下段に収容することで、他のウエハへゴミを落下させるなどといった影響を防ぐことができる。
また、2つの接合チャンバーを含む構成とすることにより、並列的な処理が可能となり、より良好なスループットが得られる。ロードロックチャンバー1及び接合チャンバー5は、それぞれゲート弁4で接続されている。すなわち、本実施形態に係るウエハ接合方法では、ロードロックチャンバー1と接合チャンバー5のペアを2つ備える。2つの接合チャンバー5は、同じ機能を備えるものを並列的に用いてもよい。すなわち、接合チャンバー5が、接合、あるいは接合と表面活性化処理とを行えるようにしてもよい。本実施形態の場合、アライナーを2基設置してもよい。
Claims (13)
- 真空中又は置換ガス雰囲気中でウエハの接合を行うためのウエハ接合装置であって、
ロードロックチャンバーとウエハ格納容器との間でウエハを搬送する搬送部と、
上ウエハ、下ウエハ、接合済ウエハを1枚ずつ収容することが可能であるロードロックチャンバーと、
ゲート弁を介してロードロックチャンバーに接続された接合チャンバーと、
ロードロックチャンバーと接合チャンバーとの間でウエハを移送するトランスファー部と、
を含むウエハ接合装置。 - ロードロックチャンバー内において、上段より、下ウエハ、上ウエハ、接合済ウエハの順に収容する請求項1に記載のウエハ接合装置。
- トランスファー部により、接合チャンバーからロードロックチャンバーへ接合済ウエハを移送し、次いで、ロードロックチャンバーから接合チャンバーへ、上ウエハ、下ウエハの順にウエハを移送する請求項1又は2に記載のウエハ接合装置。
- 搬送部がウエハを保持するための2段式アームを備える請求項1から3のいずれか一項に記載のウエハ接合装置。
- ロードロックチャンバー内の接合済ウエハの下段に、さらにステージクリーニング用ウエハを収容する請求項1から4のいずれか一項に記載のウエハ接合装置。
- 2つのロードロックチャンバー及び2つの接合チャンバーを含む請求項1から5のいずれか一項に記載のウエハ接合装置。
- 接合チャンバーに表面活性化処理機能を有する請求項1から6のいずれか一項に記載のウエハ接合装置。
- ロードロックチャンバーとウエハ格納容器との間でウエハを搬送する搬送部と、上ウエハ、下ウエハ、接合済ウエハを1枚ずつ収容することが可能であるロードロックチャンバーと、ゲート弁を介してロードロックチャンバーに接続された接合チャンバーと、ロードロックチャンバーと接合チャンバーとの間でウエハを移送するトランスファー部とを含む接合装置を用いたウエハの接合方法であって、
搬送部により、ロードロックチャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを搬入する工程(A)と、
ロードロックチャンバー内を真空状態にする工程(B)と、
ゲート弁を開けることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に接続する工程(C)と、
トランスファー部により、接合チャンバーからロードロックチャンバーへ第1接合済ウエハを移送する工程(D)と、
トランスファー部により、ロードロックチャンバーから接合チャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを移送する工程(E)と、
ゲート弁を閉じることにより、ロードロックチャンバーの内部と接合チャンバーの内部とを空間的に分断する工程(F)と、
ロードロックチャンバー内を大気解放する工程(G)と、
搬送部により、ロードロックチャンバーから前記第1接合済ウエハを搬出する工程(H)と、
接合チャンバーにおいて上ウエハと下ウエハとを接合して第2接合済ウエハとする工程(I)を含むウエハ接合方法。 - ロードロックチャンバー内において、上段より、下ウエハ、上ウエハ、接合済ウエハの順に収容する請求項8に記載のウエハ接合方法。
- ロードロックチャンバーへウエハを搬送する工程において、下ウエハ、上ウエハの順に搬送する請求項8又は9に記載のウエハ接合方法。
- 2つのロードロックチャンバー及び2つの接合チャンバーを含み、搬送部により、一方のロードロックチャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを搬入する工程に次いで、他方のロードロックチャンバーへ上ウエハ及び下ウエハを搬入する工程を経る請求項8から10のいずれか一項に記載のウエハ接合方法。
- 接合チャンバーにおいて、ウエハを接合する前に、各ウエハの接合面を活性化処理する表面活性化処理工程をさらに含む請求項8から11のいずれか一項に記載のウエハ接合方法。
- 前記工程を順次行うことを1サイクルとして、該サイクルを繰り返す請求項8から12のいずれか一項に記載のウエハ接合方法。
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