JP6469688B2 - 高温低圧環境用の細長い容量結合プラズマ源 - Google Patents

Description

本発明の実施形態は、一般に、基板を処理する装置に関する。より具体的には、本発明の実施形態は、バッチプロセッサのような処理チャンバと共に使用するためのモジュール式の容量結合プラズマ源に関する。

半導体デバイス形成は、一般に、複数のチャンバを含む基板処理プラットフォーム内で行われる。場合によっては、マルチチャンバの処理プラットフォーム又はクラスタツールの目的は、制御された環境内で２つ以上の処理を１枚の基板に対して連続して実行することである。別の場合には、マルチチャンバの処理プラットフォームで、単一の処理だけを複数の基板に対して実行することができ、プラットフォームに追加したチャンバは、このプラットフォームによって基板に対してなされる処理速度を増大するのに供される。後者の場合、基板に対して実行される処理は通常、バッチ処理であり、比較的多数の基板、例えば２５又は５０枚の基板が、所与のチャンバ内で同時に処理される。バッチ処理は、原子層堆積（ＡＬＤ）処理及び一部の化学気相堆積（ＣＶＤ）処理など、経済性が確保される方法で個々の基板上で実行するには時間がかかりすぎる処理にとって、特に有益である。

基板処理プラットフォーム又はシステムの有効性は、所有コスト（ＣＯＯ）によって定量化されることが多い。ＣＯＯは、多くの要因による影響を受けるが、主に、システムの設置面積、すなわち製造工場でシステムを動作させるのに必要な延べ床面積、及びシステムのスループット、すなわち１時間に処理される基板の数による影響を受ける。通常、設置面積は、システムに隣接する保守に必要なアクセス領域を含む。したがって、基板処理プラットフォームは比較的小さくすることができるが、操作および保守のためにすべての側面からのアクセスが必要とされる場合、システムの有効設置面積はやはり非常に大きくなることがある。

容量結合プラズマ源は広く知られており、半導体製造の際によく用いられる。この種のプラズマ源を中圧（１−２５トル）で作動させる際に、浮遊プラズマの点火を回避するうえで、ＲＦ熱電極と接地面との間の間隙を制御することが重要になる場合がある。絶縁体の間の小さな間隙でさえも、電場が十分である場合、「ライトアップする」可能性がある。プラズマの点火は、図１のパッシェン曲線によって図示される、圧力と間隙距離との積により決まる。点火電圧は、圧力と間隙距離との積がおよそ１−１０トル−ｃｍのときに最小となる。対象となる１−２５トルの圧力範囲について、最低点火電圧は、０．４ｍｍ−１ｃｍの間隙内となるだろう。スプリアスプラズマを避けるために、間隙がおよそ０．２５ｍｍで制御され得る。経験豊かな機械設計者にとって、このことは、容易に実現できる。しかしながら、いくつかの用途に対して、プラズマ源の構造は、室温から高温度（例えば、２００℃）までの間で動作する必要があり得る。熱膨張を収容する必要性から、新たな設計には、間隙を制御し、スプリアスプラズマを回避することが要求されるだろう。

したがって、バッチリアクタと共に使用するためのモジュール式の容量結合プラズマ源に関する技術が求められている。

本発明の一又は複数の実施形態は、細長いハウジング、細長いＲＦ熱電極、端誘電体、スライド式接地接続、密閉ホイル及び同軸ＲＦ供給線を含む、モジュール式のプラズマ源アセンブリを対象にする。細長いハウジングは、側壁、電気的に接地された正面及びガス容積を有する。細長いＲＦ熱電極は、ハウジング内部にあり、正面、背面、細長い側面、及び細長い軸を画定する第１の端及び第２の端を有する。細長いＲＦ熱電極は、ＲＦ熱電極の正面と細長いハウジングの正面との間に間隙を形成するために、正面から間隔を空けている。端誘電体は、ＲＦ熱電極の第１の端及び第２の端の各々と接触し、ＲＦ熱電極と側壁との間にある。スライド式接地接続は、ＲＦ熱電極の第１の端及び第２の端のうちの一又は複数の端に対して端誘電体に対向して配置される。スライド式接地接続は、端誘電体によってＲＦ熱電極との直接的接触から分離される。密閉ホイルは、端誘電体に対向する各スライド式接地接続において配置される。密閉ホイルは、細長いハウジングの正面とスライド式接地接続との間に電気的接続を形成する。同軸ＲＦ供給線は、細長いハウジングを貫通し、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含む。外部導体は、電気接地に結合し、内部導体は、細長いＲＦ熱電極と電気的に結合している。

本発明の更なる実施形態は、細長いハウジング、ハウジング内部の細長いＲＦ熱電極、誘電体スペーサ、接地プレート及び同軸ＲＦ供給線を含む、モジュール式のプラズマ源アセンブリを対象にする。細長いハウジングは、側壁、電気的に接地された正面及びガス容積を有する。細長いＲＦ熱電極は、正面、背面、細長い側面、及び細長い軸を画定する第１の端及び第２の端を有する。細長いＲＦ熱電極は、ＲＦ熱電極の正面と細長いハウジングの正面との間に間隙を形成するために、正面から間隔を空けている。誘電体スペーサは、ハウジング内部にあり、かつ細長いＲＦ熱電極の背面に隣接して配置される。接地プレートは、ハウジング内部にあり、かつＲＦ熱電極から誘電体スペーサの裏側に配置され、電気接地に接続される。チャネルは、接地プレート及び誘電体スペーサを通って延びる。同軸ＲＦ供給線は、細長いハウジングを貫通し、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含む。外部導体は、接地プレートと電気的に結合し、内部導体は、接地プレート及び誘電体スペーサのチャネルを貫通し、細長いＲＦ熱電極と電気的に結合する。チャネルは、間隙が減圧下にあるとき、大気圧下にある。

更なる実施形態は、くさび形の細長いハウジング、くさび形のＲＦ熱電極、端誘電体、スライド式接地接続、密閉ホイル及び同軸ＲＦ供給線を含む、モジュール式のプラズマ源アセンブリを対象にする。くさび形の細長いハウジングは、内側周囲の端、外側周囲の端、内側周囲の端及び外側周囲の端を接続する２つの側壁、貫通する複数の開口を含む電気的に接地された正面及びガス容積を含む。くさび形のＲＦ熱電極は、ハウジング内部にあり、正面、背面、細長い側面、内側周囲の端に隣接する第１の端及び外側周囲の端に隣接する第２の端を含む本体を有し、ＲＦ熱電極の正面は、間隙を形成するためにハウジングの正面から間隔を空ける。端誘電体は、ＲＦ熱電極の第１の端及び第２の端の各々と接触している。スライド式接地接続は、ＲＦ熱電極の第２の端に対して端誘電体の反対側に配置され、端誘電体によってＲＦ熱電極との直接的接触から分離される。密閉ホイルは、端誘電体に対向するスライド式接地接続に隣接して配置され、細長いハウジングの正面とスライド式接地接続との間に電気的接続を形成する。ＲＦ供給線は、細長いハウジングを貫通し、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含む。外部導体は、電気接地と結合し、内部導体は、ＲＦ熱電極と電気的に結合する。

本発明の上述のような特徴が詳細に理解されるように、上記で簡単に概説した本発明のより具体的な記載が、実施形態を参照することによって得られ、これら実施形態の幾つかは添付の図面で示される。しかし、発明は他の等しく有効な実施形態も許容し得るため、添付の図面は本発明の典型的な実施形態のみを示しており、従って発明の範囲を限定すると見なすべきではないことに留意されたい。

アルゴンのパッシェン曲線を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、ローディングステーションを有する４つのガス射出器アセンブリ及び４つの容量結合されたくさび形のプラズマ源で構成される基板処理システムの概略平面図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、パイ形状のプラズマ領域を介してウエハを回転させるプラテンの概略図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、プラズマ源アセンブリの概略図を示す。 図４のプラズマ源アセンブリの一部の拡大図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、プラズマ源アセンブリの一部の概略図を示す。 図４のプラズマ源アセンブリの一部の拡大図を示す。 図４のプラズマ源アセンブリの一部の拡大図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、くさび形のプラズマ源アセンブリの一部の概略図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、くさび形のプラズマ源アセンブリの部分斜視図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、くさび形のプラズマ源アセンブリの断面斜視図を示す。 本発明の一又は複数の実施形態による、くさび形のプラズマ源アセンブリの正面図を示す。

本発明の実施形態は、スループットを最大にして処理効率を改善する連続基板堆積のための基板処理システムを提供する。この基板処理システムはまた、堆積前及び堆積後のプラズマ処理に使用することができる。

本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「基板」及び「ウエハ」は、置き換えて使用することができ、処理がなされる表面、又は表面の一部の双方を指す。また、当業者には明らかなように、基板としては、文脈が別途、明記しない限り、基板の一部だけを指す場合も含まれる。また、基板に堆積するという場合の基板としては、ベア基板の場合の他、一又は複数の膜又は特徴が堆積済み若しくは形成済みの基板の場合も含まれる。

本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「反応性ガス」「前駆体」「反応物」などは、置き換えて使用することができ、基板表面と反応性の高い各種を含むガスを意味する。例えば、第１の「反応性ガス」は、基板の表面上に簡単に吸収され、第２の反応性ガスとの更なる化学反応に利用可能であり得る。

回転プラテンチャンバには、多くの用途が考慮されている。そのようなチャンバにおいて、一又は複数のウエハは、回転ホルダ（「プラテン」）上に置かれる。プラテンが回転すると、ウエハは、様々な処理領域の間を移動する。例えば、ＡＬＤでは、処理領域は、ウエハを前駆体及び反応物に露出するだろう。また、プラズマの露出には、改善された膜成長のために膜又は表面を適切に処理すること、又は所望の膜特性を得ることが必要であり得る。本発明のいくつかの実施形態は、回転プラテンＡＬＤチャンバを使用するときに、ＡＬＤ膜の均一な堆積及び後処理（例えば、高密度化）を提供する。

回転するプラテンＡＬＤチャンバは、ウエハ全体が第１のガスに曝露され、パージされ、次いで第２のガスに曝露される従来の時間領域処理によって、又はウエハの一部が第１のガスに曝露され、一部が第２のガスに曝露され、これらのガス流を通るウエハの移動が層を堆積させる空間的ＡＬＤによって、膜を堆積することができる。

本発明の実施形態は、直線的処理システム又は回転処理システムのどちらかと共に使用することができる。直線的処理システムでは、プラズマがハウジングを出るエリアの幅は、正面の全長にわたり実質的に同一である。回転処理システムでは、ハウジングは、概して「パイ形状」又は「くさび形」であり得る。くさび形のセグメントにおいて、プラズマがハウジングを出るエリアの幅は、パイ形状に一致するように変わる。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「パイ形状の」及び「くさび形の」は、置き換えて使用することができ、概して扇形である本体のことを言う。例えば、くさび形のセグメントは、円の断片又はディスク形状の物体であり得る。パイ形状のセグメントの内側エッジは、先を細くすることができ、又は先を切り取って平らなエッジにすることも曲線的にすることもできる。基板の経路は、ガスポートに垂直とすることができる。いくつかの実施形態では、ガス射出器アセンブリの各々は、基板が横切る経路に実質的に垂直な方向に延びる、複数の細長いガスポートを備える。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「実質的に垂直な」は、基板移動の一般的な方向がガスポートの軸に対しておよそ垂直な（例えば、約４５度から９０度）平面に沿っていることを意味する。くさび形のガスポートに関して、ガスポートの軸は、ポートの長さに沿って延びるポートの幅の中心点として画定される線と見なすことができる。

複数のウエハが同一の処理フローを経験するように、複数のガス射出器を有する処理チャンバを使用して、それらのウエハを同時に処理することがでる。例えば、図２に示すように、処理チャンバ１０は、４つのガス射出器アセンブリ３０及び４つのウエハ６０を有する。処理の初めに、これらのウエハ６０を射出器アセンブリ３０の間に配置することができる。カルーセルのサセプタを４５度回転させると、各ウエハ６０は膜の堆積のために射出器アセンブリ３０に移動させられることとなる。更に４５度回転させると、ウエハ６０は射出器アセンブリ３０から離れる方へ移動させられるだろう。これは、図に２に示される位置である。空間的ＡＬＤ射出器で、ウエハが射出器アセンブリに対して移動する間に、ウエハ上に膜が堆積される。いくつかの実施形態では、ウエハ６０が射出器アセンブリ３０の下で停止しないように、サセプタ６６は回転される。ウエハ６０及びガス射出器アセンブリ３０の数は、同一であっても異なっていてもよい。いくつかの実施形態では、ガス射出器アセンブリと同数の処理対象となるウエハがある。一又は複数の実施形態では、処理対象となるウエハの数は、ガス射出器アセンブリの数の整数倍である。例えば、４つのガス射出器アセンブリがある場合、処理されるウエハは４の倍数（４×）であり、この場合、×は１以上の整数値である。

図２に示す処理チャンバ１０は、単に１つの可能な構成を表すものであり、本発明の範囲を限定すると見なされるべきではない。ここで、処理チャンバ１０は、複数のガス射出器アセンブリ３０を含む。図示の実施形態では、処理チャンバ１０の周りに均等に間隔を空けた４つのガス射出器アセンブリ３０がある。図示の処理チャンバ１０は八角形であるが、これは１つの可能な形状にすぎず、本発明の範囲を限定すべきではないことは、当業者には明白である。図示のガス射出器アセンブリ３０は長方形であるが、ガス射出器アセンブリは、プラズマ源８０のようなくさび形のセグメントとすることができることも当業者には当然である。プラズマ源の選択肢としては、容量結合プラズマである。この種のプラズマは、高プラズマ密度及び低プラズマ電位を有する。容量結合プラズマは、導体中のＲＦ電流を介して生成される。導体を担持するＲＦは、誘電体ウインドウを介してプラズマから分離され、膜の金属汚染の可能性を最小にし得る。

処理チャンバ１０は、円形サセプタ６６若しくはサセプタアセンブリ又はプラテンとして示される基板支持体装置を含む。基板支持装置又はサセプタ６６は、ガス射出アセンブリ３０の各々の下で複数のウエハ６０を移動させることが可能である。基板（ウエハ６０とも呼ばれる）をチャンバ１０からローディング／アンローディングすることを可能にするために、ロードロック８２が、処理チャンバ１０の側面に接続されてもよい。

いくつかの実施形態では、処理チャンバ１０は、ガス射出器アセンブリ３０（ガス分布プレート又はガス分布アセンブリとも呼ばれる）とプラズマ源８０との間に配置される複数のガスカーテン（図示されず）を備える。各ガスカーテンは、処理チャンバの他の領域内への処理ガスの拡散を防止又は最小にするためのバリアを作る。例えば、ガスカーテンは、ガス射出器アセンブリ３０からの反応性ガスの拡散が、ガス分布アセンブリ領域からプラズマ源８０領域に又はその逆に移動することを防止又は最小にすることができる。ガスカーテンは、個々の処理区間を隣接する区間から分離できるガス及び／又は真空流の任意の適した組み合わせを含むことができる。いくつかの実施形態では、ガスカーテンは、パージ（又は不活性）ガス流である。一又は複数の実施形態では、ガスカーテンは、処理チャンバからガスを除去する真空流である。いくつかの実施形態では、ガスカーテンは、パージガスと真空流の組合せであり、したがってパージガス流、真空流、及びパージガス流が順番にある。一又は複数の実施形態では、ガスカーテンは、真空流とパージガス流の組合せであり、したがって真空流、パージガス流、及び真空流が順番にある。

いくつかの原子層堆積システムは、モジュール式のプラズマ源、即ち、システム内に容易に挿入することができる源を使用する。そのような源は、原子層堆積処理と同一の圧力レベル、典型的には１−５０トルで動作するそのハードウエアのすべて又はほとんどを有するだろう。つまり、一又は複数の実施形態によるプラズマ源は、大気圧で保持される主要なＦＲ供給を含む。これは、同軸供給のスプリアスプラズマ点火の可能性を排除する。ＲＦ熱電極は、先述の熱電極と接地される電極との間で８．５ｍｍの間隙（間隙は、３ｍｍから２５ｍｍの範囲であり得る）にプラズマを作成する。

電極の上方部分は、厚い誘電体（例えば、セラミック）により覆われ、次に接地された表面によって覆われる。ＲＦ熱電極、及び接地構造は、アルミニウムなどの良導体で作られる。熱膨張を収容するために、２ピースの誘電体（例えば、セラミック）がＲＦ熱電極の長い端に置かれる。例えば、接地されたＡｌのピースは、間に間隙を含まずに誘電体に隣接して置かれる。接地されたピースは、構造内部にスライドでき、ばねでセラミックに対して保持される。ばねは、全く間隙を含まずにＲＦ熱電極に対して接地されたＡｌ／誘電体の「サンドイッチ」全体を圧縮するので、スプリアスプラズマの可能性を排除又は最小にする。ＲＦ熱電極は、例えば、厚いセラミックとすることができ、接地プレートは、接地プレート上に押し下げられるばねによって一体的に保持される。これにより、部品が一体的に保持され、間隙が排除され、なおも熱膨張のためいくらかスライドすることが可能となる。

同軸ＲＦは、外部導体が接地プレート上で終結するように、構築され得る。内部導体は、ＲＦ熱プレート上で終結することができる。供給が大気圧にあるので、源内部で中圧が可能となるように、供給構造の底にＯリングが存在し得る。ガスは、同軸供給の外側周囲で源に供給することができる。

プラズマ容積に達するために、接地プレート、厚いセラミック、及びＲＦ熱プレートは、貫通孔で貫通され得る。孔のサイズは、孔内部の点火を防止するのに十分なほど小さくすることができる。接地プレート及びＲＦ熱プレートについて、いくつかの実施形態の孔の直径は、１ｍｍ未満、例えば、約０．５ｍｍである。誘電体内部の高い電場は、システムが孔での浮遊プラズマの可能性を排除するように設計されることを意味する。厚い誘電体は、３つの層に分割され得る。各層は、隣接する層の孔からずらされる直径０．７５ｍｍの貫通孔を有する。ガスがずらされた孔の間を流れることができるように、０．５ｍｍの間隙が層に機械加工される。

ＲＦ供給は、同軸伝送線の形態であり得る。外部導体は、接地プレートの中で接続／終結され、内部導体は、ＲＦ熱プレートに接続される。接地プレートは、金属ガスケットを含むがこれに限定されない任意の適する方法によって、金属筐体又はハウジングに接続することができる。これは、リターン電流の対称的な形状寸法を保証する助けとなる。全てのリターン電流は、供給の外部導体を逆流し（ｆｌｏｗ ｕｐ）、ＲＦノイズを最小にする。

一又は複数の実施形態のプラズマ源は、形状を長方形とすることができ、又は他の形状に構成することができる。回転ウエハプラテンを用いる空間的ＡＬＤ適用に関して、形状は、図３に示されるように、先が切り取られたくさび形のものであり得る。設計は、大気の同軸ＲＦ供給及びずらされたガス供給孔を有する誘電体層を保持する。プラズマ均一性は、ＲＦ熱プレートと接地出口プレートとの間の間隔を調節することによって、かつＲＦ供給ポイントの位置を調節することによって、調整することができる。

いくつかの実施形態では、源は中圧（１−２５トル）で操作され、同軸供給はなおも大気圧で維持される。一又は複数の実施形態では、誘電体アイソレータの２つのＯリング及び特徴は、真空密閉を提供する。

いくつかの実施形態では、ガス供給は、接地プレート、ＲＦ熱プレート及び誘電体アイソレータの貫通孔又は孔を介する。いくつかの実施形態の誘電体アイソレータは、３つの層に分割される。誘電体層の孔は、互いからずらされてもよく、ガスがずらされた孔の間を流れることができるように、層の間に薄いセットバックがあってもよい。誘電体層のずらされた孔は、点火の可能性を最小にする。源アセンブリへのガス供給は、同軸ＲＦの外部導体の外側周囲で起こる。

いくつかの実施形態では、ＲＦ供給は、対称的なＲＦ供給電流を熱プレートに供給し、更に対称的なリターン電流を供給するように設計される。全てのリターン電流は、外部導体に逆流し、ＲＦノイズを最小にし、かつ源設置の動作への影響を最小にする。

図４から図８を参照すると、本発明の一又は複数の実施形態は、モジュール式の容量結合プラズマ源１００を対象とする。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「モジュール式の」は、プラズマ源１００を処理チャンバに取り付けることができること、又は処理チャンバから取り外すことができることを意味する。モジュール式の源は、概して、一人の人間によって移動、取り外し又は取り付けることができ、約２５ポンド、２０ポンド、１５ポンド又は１０ポンド未満の重量を有し得る。

プラズマ源１００は、正面１１２及びガス容積１１３を有するハウジング１１０を含む。正面１１２は、電気的に接地され、熱電極と連動して、間隙１１６にプラズマを形成する。正面１１２は、貫通する複数の開孔１１４を含む厚さを有し、間隙１１６で点火されたプラズマが、開孔１１４を通過して、間隙１１６とは反対側である正面１１２の裏側にある処理領域に導かれる。ハウジング１１０は、細長いハウジングとすることができ、それは、正面１１２の面を見ると、長軸と短軸があることを意味している。例えば、２つの長い側面と２つの短い側面とを有する長方形は、その２つの長い側面の間を延びる細長い軸で細長い形状を作り出すだろう。

プラズマ源１００は、細長いＲＦ熱電極１２０を含む。この電極１２０はまた、「熱電極」、「ＲＦ熱」などとも呼ばれる。細長いＲＦ熱電極１２０は、正面１２１、背面１２２及び細長い側面１２３を有する。熱電極１２０はまた、細長い軸を画定する第１の端１２４及び第２の端１２５を含む。間隙１１６が熱電極１２０の正面１２１とハウジング１１０の正面１１２との間に形成されるように、細長いＲＦ熱電極１２０は、ハウジングの正面１１２から間隔を空けている。細長いＲＦ熱電極１２０は、アルミニウムを含むがこれに限定されない任意の適する誘電性材料から作ることができる。

図５の拡大図に示されるように、いくつかの実施形態は、ＲＦ熱電極１２０の第１の端１２４及び第２の端１２５のうちの一又は複数と接触する端誘電体１３０を含む。端誘電体１３０の外形は、ＲＦ熱電極１２０とハウジング１１０の側壁１１１との間に配置される。一又は複数の実施形態では、端誘電体１３０は、熱電極１２０の第１の端１２４と第２の端１２５の双方と接触する。図４及び図５は、プラズマ源１００の断面図を示す。図６は、細長い形状を示す長方形の細長いＲＦ熱電極１２０の正面図を示す。熱電極１２０の左端（第１の端１２４）及び右端（第２の端１２５）は、それらに隣接する端誘電体１３０を有する。しかしながら、また端誘電体１３０が隣接した状態である前端１２６及び後端１２７もある。端誘電体１３０は、セラミックを含むがこれに限定されない任意の適する誘電体材料から作ることができる。図面に示される端誘電体１３０はＬ形状であるが、任意の適する形状を使用することができる。

スライド式接地接続１４０は、ＲＦ熱電極１２０の第１の端部１２４及び第２の端部１２５のうちの一又は複数において配置される。スライド式接地接続１４０は、熱電極１２０の端誘電体１３０の対向する側に配置される。スライド式接地接続１４０は、端誘電体１３０によってＲＦ熱電極１２０との直接的接触から分離される。スライド式接地接続１４０及び端誘電体１３０は、ガス密閉を維持し、電極側面周囲にガス漏れを起こす余地なく、熱電極１２０を拡大可能にするために協働する。スライド式接地接続１４０は、導電性材料であり、アルミニウムを含むがこれに限定されない任意の適する材料で作ることができる。スライド式接地接続１４０は、接地された終端を端誘電体１３０の側面に提供し、間隙１１６に電場がなく、間隙１１６の浮遊プラズマの可能性を最小にすることを保証する。

密閉ホイル１５０は、端誘電体１３０の裏側のスライド式接地接続１４０において配置される。密閉ホイル１５０は、スライド式接地接続１４０が正面１１２でスライドすると、ハウジング１１０の正面１１２とスライド式接地接続１４０との間に電気的接続を形成する。密閉ホイル１５０は、アルミニウムを含むがこれに限定されない任意の適する導電性材料から作ることができる。密閉ホイル１５０は、正面とスライド式接地接続との間の電気的接続が維持される限り、熱電極１２０の拡大及び短縮で移動することができる薄いフレキシブルな材料とすることができる。

プラズマ源１００の１つの端を示す図５を参照すると、クランプ面１５２及びナット１５４は、熱電極１２０、端誘電体１３０、スライド式接地接続１４０及び密閉ホイル１５０の組み合わせの端に配置される。他のクランプ面１５２及びナット１５４は、プラズマ源のサイズや形状に応じて、その組み合わせの任意の側面に設けてよく、各側面に沿って複数個設けられてよい。クランプ面１５２及びナット１５４により、この構成要素の組み合わせに対して内側への圧力が発生して、内側が密閉され、端誘電体１３０とスライド式接地接続１４０との間に間隙ができないようにしているため、間隙を介してプラズマガスが熱電極１２０の背後に回り込む可能性が防止される。クランプ面１５２及びナット１５４は、アルミニウム及びステンレス鋼を含むがこれらに限定されない任意の適する金属から作ることができる。

いくつかの実施形態では、誘電体スペーサ１７０は、細長いＲＦ熱電極１２０の背面１２２に隣接して配置される。誘電体スペーサ１７０は、セラミック材料を含むがこれに限定されない任意の適する誘電体材料で作ることができる。誘電体スペーサ１７０により、ＲＦ熱電極１２０とハウジング１１０の最上部分との間は非導電性スペーサとなる。この非導電性スペーサがなければ、ＲＦ熱電極１２０とハウジング１１０との間の容量結合のため、プラズマがガス容積１１３で形成され得る可能性がある。

誘電体スペーサ１７０は、任意の適する厚さであり、任意の数の個々の層から構成することができる。図４に示される実施形態では、誘電体スペーサ１７０は、１つの層から構成される。図５、図７及び図８に示される代替的な実施形態では、誘電体スペーサ１７０は、３つの個々の誘電体スペーサ副層１７０ａ、１７０ｂ、１７０ｃを備える。これらの副層の組み合わせが、誘電体スペーサ１７０全体の厚さを構成する。個々の副層の各々は、同一の厚さとすることができ、又は各々は、独立して決定された厚さを有することができる。

いくつかの実施形態では、先述の誘電体スペーサ１７０上方に、ハウジング１１０内部かつＲＦ熱電極１２０から誘電体スペーサ１７０の裏側に配置された接地プレート１８０がある。接地プレート１８０は、電気接地に接続することができる、アルミニウムを含むがこれに限定されない任意の適する導電性材料で作られる。この接地プレート１８０は、ガス容積１１３又はプラズマ形成を目的とする間隙１１６以外の領域でのプラズマ形成を防止するために、ガス容積１１３からＲＦ熱電極１２０を更に分離させる。

図面には、誘電体スペーサ１７０又は個々の誘電体スペーサ層の合計とほぼ同一の厚さである接地プレート１８０が示されるが、これは、単なる１つの可能な実施形態である。接地プレート１８０の厚さは、プラズマ源の特定の構成次第で、任意の適する厚さとすることができる。いくつかの実施形態での接地プレートの厚さは、例えば、ガス孔の掘削をより容易にするのに十分な薄さだが、先述の様々なばねの力に耐えるのに十分な厚さに基づき選択される。加えて、接地プレート１８０の厚さは、典型的には溶接結合される同軸供給が適切に取り付けられることを保証するために、調整されてもよい。

本発明のいくつかの実施形態は、複数の圧縮要素１８５を含む。圧縮要素１８５は、ＲＦ熱電極１２０の方向に、接地プレート１８０の背面１８１に対して力を向ける。圧縮力により、接地プレート１８０、誘電体スペーサ１７０及びＲＦ熱電極１２０が共に押圧され、各隣接する構成要素の間で任意の間隔を最小にする又は除去する。圧縮力は、ガスが浮遊プラズマになり得るＲＦ熱電極である空間内に流れ込むことを防止するのに役立つ。適する圧縮要素１８５は、接地プレート１８０の背面１８１に特定の力を提供するために調節又は調整することができるものであり、ばね及びねじを含むがこれらに限定されない。

図７を参照すると、本発明のいくつかの実施形態は、接地プレート１８０、誘電体スペーサ１７０及びＲＦ熱電極１２０のうちの一又は複数を通って延びる複数の孔１９０、１９１ａ、１９１ｂ、１９１ｃ、１９２を含む。図７の実施形態は、３つの層１７０ａ、１７０ｂ、１７０ｃを有する誘電体スペーサ１７０を示すが、任意の数の誘電体スペーサ１７０の層が存在する可能性があり、これは単なる１つの可能な構成であることが理解されよう。孔によって、ガスは、ガス容積１１３からＲＦ熱電極１２０の正面１２１に隣接する間隙１１６に移動することができる。

図７に示される実施形態では、ＲＦ熱電極１２０の複数の孔１９０は、誘電体スペーサ１７０ａの第１の層の複数の孔１９１ａからずらされ、複数の孔１９１ａは、誘電体スペーサ１７０ｂの第２の層の複数の孔１９１ｂからずらされ、複数の孔１９１ｂは、誘電体スペーサ１７０ｃの第３の層の複数の孔１９１ｃからずらされ、複数の孔１９１ｃは、接地プレート１８０の複数の孔１９２からずらされる。ＲＦ熱電極１２０と接地プレート１８０又はガス容積１１３との間に真っすぐな線がないので、このずらされたパターンは、間隙１１６外部での浮遊プラズマ形成の可能性を防止する又は最小にするのに役立つ。如何なる特定の動作理論にも縛られずに、副層は、ガス供給孔でのプラズマ点火の可能性を最小にすると考えられる。圧力及び厚さの積が、実際の制限範囲内で、可能な限り図１のパッシェン曲線の最小値から離れるように、誘電体スペーサ１７０の厚さが選択され得る。各副層の孔が他の副層の孔からずらされるので、各副層の絶縁破壊特性を別々に分析することができる。

チャネル１９３、１９４ａ、１９４ｂ、１９４ｃ、１９５は、ＲＦ熱電極１２０の背面１２２及び誘電体スペーサ１７０の各層の背面の各々に形成することができる。これにより、隣接する複数の孔から流れるガスは、隣接する構成要素の複数の孔と流体連通することができる。チャネル１９５が接地プレート１８０の背面１８１に示されるが、このチャネル１９５は、ガス容積１１３と間隙１１６との間に流体連通を提供するために必要ではないことが理解されよう。

複数の孔１９０、１９１ａ、１９１ｂ、１９１ｃ、１９２のサイズは、変更することができ、ガス容積１１３から間隙１１６までのガスの流量の影響を及ぼす。直径が大きな孔は、直径が小さな孔より多くのガス流を可能にするだろう。しかしながら、直径が大きな孔はまた、孔内部での浮遊プラズマの点火を可能にし得る又は可能性をより高くし得る。いくつかの実施形態では、複数の孔１９０、１９１ａ、１９１ｂ、１９１ｃ、１９２の各々は、約１．５ｍｍ未満、約１．４ｍｍ未満、約１．３ｍｍ未満、約１．２ｍｍ未満、約１．１ｍｍ未満、又は約１ｍｍ未満の直径を独立して有している。

同様に、チャネル１９３、１９４、１９５の深さもまた、ガスの流量及び浮遊プラズマ形成の可能性に影響を与え得る。いくつかの実施形態では、チャネル１９３、１９４、１９５の各々は、約１ｍｍ未満、約０．９ｍｍ未満、約０．８ｍｍ未満、約０．７ｍｍ未満、約０．６ｍｍ未満、若しくは約０．５ｍｍ未満、又は約０．５ｍｍの深さを独立して有している。個々のチャネル各々の深さは、それぞれの構成要素の背面から測定される。例えば、接地プレート１８０のチャネル１９５の深さは、接地プレート１８０の背面１８１から測定される。いくつかの実施形態では、誘電体スペーサ層１７０ａ、１７０ｂ、１７０ｃの各々及びＲＦ熱電極１２０を貫通する複数の孔１９０、１９１ａ、１９１ｂ、１９１ｃは、それぞれの構成要素の中のチャネル１９３、１９４ａ、１９４ｂ、１９４ｃの深さより大きな直径を有する。

図４及び図８を参照すると、同軸ＲＦ供給線１６０は、細長いハウジング１１０を貫通し、間隙１１６でプラズマを発生させるために、ＲＦ熱電極１２０に電力を供給する。同軸ＲＦ供給線１６０は、絶縁体１６６によって分離される外部導体１６２と内部導体１６４とを含む。外部導体１６２は、電気接地と電気的に結合し、内部導体１６４は、細長いＲＦ熱電極１２０と電気的に結合する。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「電気的結合」は、電気抵抗がほとんどないようにして、構成要素が直接的にあるいは中間構成要素を介して接続されることを意味する。

図８は、同軸ＲＦ供給線１６０の外部導体１６４が接地プレート１８０と結合され、内部導体１６２がＲＦ熱電極１２０と結合される本発明の１つの実施形態を示す。内部導体１６２は、接地プレート１８０の中の導管１８７、誘電体スペーサ１７０の中の導管１７７を通り、ＲＦ熱電極１２０との電気接続が行われるＲＦ熱電極１２０の凹部１２９内に延びる。絶縁体１６６は、接地プレート１８０の中の導管１８７を通り、誘電体スペーサ１７０の中の導管１７７を少なくとも部分的に通って延び、内部導体１６４及び外部導体１６２の電気的分離を維持する。

図８に示される実施形態では、誘電体スペーサの底層１７０ａは、先ほどの層とは異なる形状である。ここで、誘電体スペーサの底層１７０ａは、それを通して導管１７７が形成される垂直部分１７８を有する。この垂直部分１７８は、完全に任意選択であり、それを通して導管１７７が延びる単一の表面だけを提供することによって、ＲＦ熱電極１２０と接地プレート１８０との間に統一された誘電体材料があることを保証する助けとなり得る。

ＲＦ熱電極１２０の凹部１２９が誘電体スペーサ１７０の導体１７７と整列する領域は、ＲＦ熱電極真空密閉１６７で密閉される。ＲＦ熱電極真空密閉１６７は、細長いＲＦ熱電極１２０への接続において内部導体１６４周囲を延び、構成要素間の空間を密閉するＯリングとして作用する。ＲＦ熱電極真空密閉１６７は、圧縮可能な材料を含むがこれに限定されない任意の適する材料で作ることができる。高温及び／又は腐食性ガスが、異なるＯリング材料、並びにＯリング捕捉溝（Ｏリングが載置される溝）及び密閉表面（Ｏリング上に圧力を掛ける表面）に対する正しい寸法決定から恩恵を受けることを当業者は理解するだろう。誘電体スペーサ１７０ａの垂直部分１７８と接地プレート１８０との間のインターフェースは、導管周囲に誘電体真空密閉１６８を有し、接地プレート１８０と誘電体スペーサ１７０との間に密閉を形成する。底層上に垂直部分１７８を含まない誘電体スペーサの複数の層が存在したら、各インターフェースは、同軸ＲＦ供給線１６０周囲に耐圧環境が確実に存在するように、密閉リング又はＯリングを含むだろう。間隙１１６が減圧下にある一方で、この気密環境によって、同軸ＲＦ供給線１６０は大気圧下にあることが可能になる。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「減圧」は、約１００トル未満、約７５トル未満、約５０トル未満、約２５トル未満の圧力を意味する。例えば、約１トルから約２５トルの範囲と定義される「中圧」は、減圧である。

任意のプラズマ処理は、ウエハがプラズマ領域を移動するときに、ウエハ全域で均一に発生する必要があるだろう。図２に示されるカルーセル型の実施形態では、ウエハは、プラズマ領域を介して回転しており、ウエハ表面全域でのプラズマへの露出を、直線的に移動するウエハに対してより多様にする。プラズマ処理の均一性を保証する他の方法は、図３に示されるように、均一のプラズマ密度の「くさび形」又は「パイ形状」（扇形）のプラズマ領域を有することである。図３の実施形態は、単一のウエハ６０を有する、サセプタ又はサセプタアセンブリとも呼ばれる、単純なプラテン構造を示す。サセプタ６６がアーチ形経路１８に沿ってウエハ６０を回転させると、ウエハ６０は、くさび形を有するプラズマ領域６８を通過する。サセプタが軸６９周囲を回転しているので、ウエハの外側周囲エッジが内側周囲エッジより高速に移動して、ウエハ６０の異なる部分が異なる環状速度を有することになるだろう。したがって、ウエハのすべての部分がプラズマ領域でほぼ同一の滞留時間を有することを保証するために、プラズマ領域は、内側周囲エッジでより外側周囲エッジでの方が幅が広い。

本発明のいくつかの実施形態は、処理チャンバの中のアーチ形経路に沿って配置される少なくとも１つの容量結合されたくさび形のプラズマ源１００を備える処理チャンバを対象とする。本明細書及び添付された特許請求の範囲で使用されるように、用語「アーチ形経路」は、円形又は楕円形の経路の少なくとも一部を進む任意の経路を意味する。アーチ形経路は、少なくとも約５度、１０度、１５度、２０度の経路の一部に沿った基板の移動を含むことができる。

図９から図１２を参照すると、くさび形のハウジング１１０を含むプラズマ源アセンブリの実施形態が示される。ここで、ハウジングは、２つの細長い側面１１７と共に、内側周囲エッジ１１８及び外側周囲エッジ１１９を有する。くさび形の部分の内側周囲エッジ１１８は、外側周囲エッジ１１９より狭い。ＲＦ熱電極１２０、誘電体スペーサ１７０及び接地プレート１８０の各々は、内側周囲エッジ、外側周囲エッジ、及び２つの細長い側面を有するくさび形の形状である。

図９は、くさび形ハウジング１１０を含むくさび形プラズマ源アセンブリ１００の図を示す。ＲＦ熱電極１２０及び端誘電体１３０が示される。ＲＦ熱電極１２０の第１の端１２４は、内側周囲エッジ１１８を画定し、第２の端１２５は、ＲＦ熱電極１２０及びハウジング１１０の外側周囲エッジを画定する。図９に示される実施形態では、ＲＦ熱電極１２０は、端誘電体１３０によって、内側誘電体エッジ１１８、外側誘電体エッジ１１９及び各側面１１７を囲まれている。くさび形のばね２１０は、ＲＦ熱電極１２０の外側周囲エッジ１１９に沿って配置される。くさび形のばね２１０によって、ＲＦ熱電極１２０の内側周囲エッジ１１８から離れた方向への拡張的な異動が可能になり、したがって、実質的に外側周囲エッジ１１９に向かう方向への拡張も起こる。いくつかの実施形態のくさび形ばね２１０は、波形の金属薄板片に似ている。いくつかの実施形態では、くさび形ばね２１０は、プラズマ源の本体に対する接地接続１４０の接地を提供する。

図１０は、くさび形プラズマ源アセンブリ１００の最上部分の斜視図を示す。同軸ＲＦ供給線１６０は、ＲＦ熱電極１２０全域に均一な電場を提供するために、アセンブリ１００の任意の適する部分に接続することができる。図１０及び図１１に示される実施形態では、同軸ＲＦ供給線１６０は、細長い側面１１７の間、かつ内側周囲エッジ１１８よりも外側周囲エッジ１１９に近い点で、ＲＦ熱電極に接続する。接続点は、例えば、ＲＦ熱電極１２０の質量中心、又はＲＦ熱電極１２０全域の電流密度が実質的に均一であるデバイスの一部分とすることができる。

図１０に示される実施形態では、ガス容積１１３及び接地プレート１８０の最上部を見ることができるように、最上部が取り除かれている。加えて、接地プレート１８０の背面に向けられる力を提供する圧縮要素１８５を見ることができる。これらの圧縮要素１８５がガス容積１１３に示されるが、これは単なる１つの可能な構成であり、圧縮要素１８５をガス容積１１３から分離することができると理解されるだろう。図１１は、同軸ＲＦ供給線１６０の中心軸に沿った図１０の実施形態の断面図を示す。単一の圧縮要素１８５が、トラック１８６を含む協働配置に示される。このトラック１８６により、接地プレート１８０に印加される圧縮力を接地プレート１８０全域で均一化できるように、圧縮要素１８５を、側面１１７又は内側周囲エッジ１１８若しくは外側周囲エッジ（図示されず）の長さに沿って移動させることができる。

図１２は、くさび形プラズマ源アセンブリ１００の別の実施形態の正面図を示す。ここで、複数の開孔１１４の配置を見ることができる。示される実施形態では、開孔１１４は、正面１１２の中心軸２１２に対して傾斜した列に均等に分布されている。別の言い方をすれば、ハウジング１１０の正面１１２は、ハウジングの細長い軸とも呼ばれる中心軸２１２に対してある角度で回転された孔パターンを形成する複数の開孔１１４を有する。プラズマ源アセンブリの表面を横切るウエハの移動方向が、矢印２１５で示される。基板表面上の任意の所与の点がプラズマ源を横断する間に開口の線に「遭遇する（ｓｅｅ）」ことのないように、開孔１１４の線を中心軸２１２に対して傾斜させることができる。これは、最終製品にはっきりとした縞模様のない、より均一なプラズマ露出を提供し得る。

本発明の追加の実施形態は、複数の基板を処理する方法を対象とする。複数の基板は、処理チャンバの基板支持体上に装着される。基板支持体を回転させ、複数の基板の各々にガス分布アセンブリを通過させ、膜を基板上に堆積させる。基板支持体を回転させ、プラズマ領域に実質的に均一なプラズマを生成する容量結合されたパイ形状のプラズマ源に隣接したプラズマ領域に基板を移動させる。所定の厚さの膜が形成されるまで、これを繰り返すことができる。

カルーセルの回転は、連続又は非連続とすることができる。連続処理の際、ウエハは、射出器の各々に順に露出されるように常に回転している。非連続処理において、ウエハを射出器領域へ移動させて停止させることができ、次いで射出器間の領域８４へ移動させて停止させることができる。たとえば、カルーセルは、ウエハが射出器を越えて射出器間領域から移動し（又は射出器に隣接して停止し）、次の射出器間領域へ移動し、そこでカルーセルが再び休止できるように回転することができる。射出器間の休止は、各層堆積間に、追加の処理（例えば、プラズマへの露出）に時間を提供し得る。

プラズマの周波数は、使用されている特定の反応性核種に応じて調整され得る。適当な周波数は、２ＭＨｚ、１３．５６ＭＨｚ、４０ＭＨｚ、６０ＭＨｚ及び１００ＭＨｚを含むが、これらに限定されない。

一又は複数の実施形態によれば、基板は、層を形成する前及び／又は後に、処理を受ける。この処理は、同一のチャンバの中で又は一又は複数の別々の処理チャンバの中で、実行することができる。いくつかの実施形態において、基板は、第１のチャンバから、更なる処理用の別の第２のチャンバへ移動される。基板を第１のチャンバから別の処理チャンバへ直接移動させることができ、又は第１のチャンバから一又は複数の移送チャンバへ移動させることができ、次に別の処理チャンバへ移動させることができる。従って、処理装置は、移送ステーションと結合する複数のチャンバを備え得る。この種の装置は、「クラスタツール」又は「クラスタシステム」などと呼ばれることもある。

概して、クラスタツールは、基板の中心測定及び配向、ガス抜き、アニール、堆積、及び／又は、エッチングを含む様々な機能を実行する複数のチャンバを備えるモジュールシステムである。一又は複数の実施形態によれば、クラスタツールは、少なくとも第１のチャンバ及び中央移送チャンバを含む。中央移送チャンバは、複数の処理チャンバ及び複数のロードロックチャンバの間で基板を往復搬送することができるロボットを収納し得る。移送チャンバは、真空条件に通常維持され、１つのチャンバから別のチャンバへ、及び／又はクラスタツールの前端において配置されたロードロックチャンバへ、基板を往復搬送するための中間段階を提供する。本発明に適合され得る２つのよく知られたクラスタツールは、その双方がカリフォルニア州サンタクララのＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．から入手可能なＣｅｎｔｕｒａ（登録商標）及びｔｈｅ Ｅｎｄｕｒａ（登録商標）である。１つのそのような段階的真空の基板処理装置の詳細が、１９９３年２月１６日発行の、Ｔｅｐｍａｎ他の「Ｓｔａｇｅｄ−Ｖａｃｕｕｍ Ｗａｆｅｒ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ａｎｄ Ｍｅｔｈｏｄ」という名称の、米国特許第５１８６７１８号において開示されている。しかしながら、チャンバの正確な配置及び組合せは、本明細書に記載されているような特定の処理を実行するために、変更されてもよい。使用され得る他の処理チャンバは、周期的層堆積（ＣＬＤ）、原子層堆積（ＡＬＤ）、化学気相堆積（ＣＶＤ）、物理的気相堆積（ＰＶＤ）、エッチ、前洗浄、化学洗浄、ＲＴＰなどの熱処理、プラズマ窒化、ガス抜き、配向、ヒドロキシル化、及びその他の基板処理を含むが、これらに限定されない。クラスタツール上のチャンバ内で処理を実行することにより、その次の膜を堆積させる前に酸化することなく、空気中の不純物との基板の表面汚染を回避することができる。

１又は複数の実施形態によれば、基板は、連続的に真空又はロードロック条件下にあり、１つのチャンバから次のチャンバへ移動されるときに、周囲空気に曝露されない。移送チャンバは、従って真空下にあり、真空圧力下で「ポンプダウン」される。不活性ガスが、処理チャンバ又は移送チャンバの中に存在し得る。いくつかの実施形態において、基板の表面上に層を形成した後に、反応物の一部又は全てを除去するために、不活性ガスがパージガスとして使用される。一又は複数の実施形態によれば、反応物が堆積チャンバから移送チャンバ及び／又は追加の処理チャンバへ移動するのを防止するために、堆積チャンバの出口でパージガスが射出される。従って、不活性ガスの流れが、チャンバの出口でカーテンを形成する。

処理の間、基板を加熱又は冷却することができる。そのような加熱又は冷却は、基板支持体（例えば、サセプタ）の温度を変化させること、及び加熱又は冷却されたガスを基板表面へ流すことを含むが、これらに限定されない、任意の適する手段により達成することができる。いくつかの実施形態では、基板支持体は、伝導的に基板温度を変化させるように制御することができるヒータ／クーラを含む。一又は複数の実施形態では、基板温度を局所的に変化させるために、使用されるガス（反応性ガス又は不活性ガスのいずれか）は加熱又は冷却される。幾つかの実施形態では、基板温度を対流で変化させるために、ヒータ／クーラはチャンバ内部で基板表面に隣接して配置される。

基板はまた、処理の間、静止又は回転させることができる。回転する基板は、連続的に又は不連続なステップで、回転させることができる。例えば、基板は、処理全体を通して回転させてもよいし、又は基板は、様々な反応性ガス又はパージガスへの曝露の間に、少量ずつ回転させることもできる。処理の間に基板を（連続的又は段階的のいずれかで）回転させることは、例えば、ガス流の形状寸法における局所的な変動性の効果を最小化することにより、より均一な堆積又はエッチングを生成することに役立ち得る。

上記は本発明の実施形態を対象とするが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他の更なる実施形態を考案することもでき、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。

Claims (13)

1. モジュール式のプラズマ源アセンブリであって、
   側壁、電気的に接地された正面及びガス容積を有する細長いハウジングと、
   前記ハウジング内部の細長いＲＦ熱電極であって、正面、背面、細長い側面、及び細長い軸を画定する第１の端及び第２の端を有し、前記ＲＦ熱電極の前記正面と前記細長いハウジングの前記正面との間に間隙を形成するために、前記正面から間隔を空けた細長いＲＦ熱電極と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第１の端及び前記第２の端の各々と接触し、前記ＲＦ熱電極と前記側壁との間にある端誘電体と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第１の端及び前記第２の端のうちの一又は複数に対して前記端誘電体に対向して配置されるスライド式接地接続であって、前記端誘電体によって前記ＲＦ熱電極との直接的接触から分離されたスライド式接地接続と、
   前記端誘電体に対向する各スライド式接地接続において配置される密閉ホイルであって、前記細長いハウジングの前記正面と前記スライド式接地接続との間に電気的接続を形成する密閉ホイルと、
   前記細長いハウジングを貫通する同軸ＲＦ供給線であって、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含み、前記外部導体は電気接地と結合し、前記内部導体は前記細長いＲＦ熱電極と電気的に結合する、同軸ＲＦ供給線と、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記細長いＲＦ熱電極の前記背面に隣接して配置される誘電体スペーサと、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記ＲＦ熱電極から前記誘電体スペーサの裏側に配置される接地プレートであって、電気接地に接続される接地プレートと
   を備える、モジュール式のプラズマ源アセンブリ。
2. 前記同軸ＲＦ供給線の前記外部導体は、前記接地プレートに接続される、請求項１に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
3. 前記内部導体は、前記接地プレート及び前記誘電体スペーサの中のチャネルを通って延び、前記細長いＲＦ熱電極に接続する、請求項１に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
4. 前記間隙が減圧下にあるとき、前記接地プレートを通って延びる前記チャネルが大気圧下にあるように、前記細長いＲＦ熱電極への前記接続において前記内部導体周囲にＲＦ熱電極真空密閉と、前記誘電体スペーサ及び前記接地プレートのインターフェースにおいて前記チャネル周囲に誘電体真空密閉とを更に含む、請求項３に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
5. 前記ハウジング並びに前記ＲＦ熱電極、誘電体スペーサ及び接地プレートの各々は、内側周囲のエッジ、並びに外側周囲のエッジ及び２つの細長い側面を有するくさび形であり、前記第１の端は、前記ハウジングの前記内側周囲のエッジを画定し、前記第２の端は、前記ハウジングの前記外側周囲のエッジを画定する、請求項１に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
6. 前記ハウジングの前記正面は、貫通する複数の開口を含み、前記複数の開口は、前記ハウジングの前記細長い軸に対してある角度で回転する孔パターンを形成する、請求項５に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
7. モジュール式のプラズマ源アセンブリであって、
   側壁、電気的に接地された正面及びガス容積を有する細長いハウジングと、
   前記ハウジング内部の細長いＲＦ熱電極であって、正面、背面、細長い側面、及び細長い軸を画定する第１の端及び第２の端を有し、前記ＲＦ熱電極の前記正面と前記細長いハウジングの前記正面との間に間隙を形成するために、前記正面から間隔を空けた細長いＲＦ熱電極と、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記細長いＲＦ熱電極の前記背面に隣接して配置される誘電体スペーサと、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記ＲＦ熱電極から前記誘電体スペーサの裏側に配置される接地プレートであって、電気接地に接続される接地プレートと、
   前記接地プレート及び前記誘電体スペーサを通って延びるチャネルと、
   前記細長いハウジングを貫通する同軸ＲＦ供給線であって、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含み、前記外部導体は、接地プレートと電気的に結合し、前記内部導体は、前記接地プレート及び前記誘電体スペーサの前記チャネルを貫通し、前記細長いＲＦ熱電極と電気的に結合する、同軸ＲＦ供給線であって、前記間隙が減圧下にあるとき、前記チャネルは大気圧下にある、同軸ＲＦ供給線と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第１の端及び前記第２の端の各々と接触し、前記ＲＦ熱電極と前記側壁との間にある端誘電体と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第１の端及び前記第２の端のうちの一又は複数に対して前記端誘電体に対向して配置されるスライド式接地接続であって、前記端誘電体によって前記ＲＦ熱電極との直接的接触から分離されたスライド式接地接続と、
   前記端誘電体に対向する各スライド式接地接続に配置される密閉ホイルであって、前記細長いハウジングの前記正面と前記スライド式接地接続との間に電気的接続を形成する密閉ホイルと
   を備えるモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
8. モジュール式のプラズマ源アセンブリであって、
   内側周囲の端、外側周囲の端、前記内側周囲の端及び前記外側周囲の端を接続する２つの側壁、貫通する複数の開口を含む電気的に接地された正面及びガス容積を含む、くさび形の細長いハウジングと、
   正面、背面、細長い側面、前記内側周囲の端に隣接する第１の端及び前記外側周囲の端に隣接する第２の端を含む本体を有する前記ハウジング内部のくさび形のＲＦ熱電極であって、前記ＲＦ熱電極の前記正面は、間隙を形成するために前記ハウジングの前記正面から間隔を空けた、くさび形のＲＦ熱電極と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第１の端及び前記第２の端の各々と接触している端誘電体と、
   前記ＲＦ熱電極の前記第２の端に対して前記端誘電体に対向して配置されるスライド式接地接続であって、前記端誘電体によって前記ＲＦ熱電極との直接的接触から分離されたスライド式接地接続と、
   前記端誘電体に対向する前記スライド式接地接続に隣接して配置される密閉ホイルであって、前記細長いハウジングの前記正面と前記スライド式接地接続との間に電気的接続を形成する密閉ホイルと、
   前記細長いハウジングを貫通する同軸ＲＦ供給線であって、絶縁体によって分離される外部導体及び内部導体を含み、前記外部導体は、電気接地と結合し、前記内部導体は前記ＲＦ熱電極と電気的に結合する、同軸ＲＦ供給線と、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記ＲＦ熱電極の前記背面に隣接して配置されるくさび形の誘電体スペーサと、
   前記ハウジング内部にあり、かつ前記ＲＦ熱電極から前記誘電体スペーサの裏側に配置されるくさび形の接地プレートであって、電気接地に接続される接地プレートと
   を備える、モジュール式のプラズマ源アセンブリ。
9. 前記同軸ＲＦ供給線の前記外部導体は、前記接地プレートに接続される、請求項８に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
10. 前記誘電体スペーサの方向に、前記接地プレートに圧縮力を提供するための複数の圧縮要素を更に備える、請求項１から９の何れか一項に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
11. 前記誘電体スペーサ及び前記ＲＦ熱電極の各々は、前記ガス容積のガスが前記誘電体スペーサ及び前記ＲＦ熱電極を貫通して前記間隙に至るように、貫通する複数の孔を含む、請求項１から９の何れか一項に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
12. 前記誘電体スペーサは、２以上の誘電体スペーサ層を備え、各誘電体スペーサ層は、貫通する複数の孔を有する、請求項１１に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。
13. 前記誘電体スペーサ層の各々の前記複数の孔は、前記隣接する誘電体スペーサ層の前記複数の孔からずらされ、少なくとも１つのチャネルは、各誘電体スペーサ層の背面上に形成され、前記少なくとも１つのチャネルは、前記隣接する誘電体スペーサ層又はＲＦ熱電極を含む前記誘電体スペーサ層の各々の前記複数の孔の間で流体接続を形成する、請求項１２に記載のモジュール式のプラズマ源アセンブリ。

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