JP6446158B1 - イオン操作方法及びイオン操作装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオン操作装置イオン操作装置は、イオンを受けるための空間を画定する長手軸線方向に延在する第1の表面および第2の表面を含み、表面に結合した内側電極アレイが、RF電圧を受け、イオンが第1および第2の表面に接近することを防止する擬似電位を形成し、内側電極アレイの少なくとも2つの電極が、長手方向軸線に沿って隣接して位置付けられ、第1の外側電極アレイ及び第2の外側電極アレイが、各々、第1のDC電圧を受け、第1のDC電位を形成し、擬似電位および第1のDC電位により、第1の表面と第2の表面との間でイオンの運動を操作する。
【選択図】図1A
Description
Claims (19)
- イオン操作装置であって、
イオンを受けるための空間を画定する長手軸線方向に延在する第1の表面および第2の表面を含む少なくとも1対の表面を備え、前記第1の表面および第2の表面の各々は、
前記表面に結合した内側電極アレイであって、該内側電極アレイは、RF電圧を受け、イオンが前記第1の表面および第2の表面に接近することを防止する擬似電位を形成するように構成され、前記内側電極アレイの少なくとも2つの電極が、前記長手方向軸線に沿って隣接して位置付けられている、前記内側電極アレイと、
前記表面に結合した第1の外側電極アレイ及び第2の外側電極アレイであって、前記第1の外側電極アレイおよび前記第2の外側電極アレイは、各々、第1のDC電圧を受け、第1のDC電位を形成するように構成され、前記擬似電位および前記第1のDC電位により、前記第1の表面と第2の表面との間でイオンの運動を操作するようになっている、前記第1の外側電極アレイ及び前記第2の外側電極アレイと
を備える、イオン操作装置。 - 前記内側電極アレイは、第2のDC電圧を受け、第2のDC電位を形成するように構成され、該第2のDC電位は、イオンを前記長手軸線方向に駆動させるようになっている、請求項1に記載されたイオン操作装置。
- 前記第2のDC電圧が、前記長手軸線方向のDC勾配である、請求項2に記載されたイオン操作装置。
- 前記第2のDC電圧が、前記長手軸線方向のDC進行波である、請求項2に記載されたイオン操作装置。
- 前記第1の外側電極アレイが前記内側電極アレイの一方側に配置され、前記第2の外側電極アレイが前記内側電極アレイの他方側に配置される、請求項1に記載されたイオン操作装置。
- 前記内側電極アレイ並びに前記第1の外側電極アレイおよび前記第2の外側電極アレイが、実質的に前記長手軸線方向に延在する、請求項1に記載されたイオン操作装置。
- 少なくとも2つの隣接する電極が、位相のずれたRF電圧をうけるように構成された、請求項1に記載されたイオン操作装置。
- 前記イオン操作装置が第2の対の表面を備え、
さらに、一方の対の表面から他の対の表面へイオンを移動させるように構成された1つまたは複数のアパーチャを備える、請求項1に記載されたイオン操作装置。 - 一方の対の表面から他の対の表面へのイオンの移動が、隣接する電極間で極性が交互するDC電位およびRF電位のうちの少なくとも1つを受ける少なくとも2つの隣接する輸送電極により案内される、請求項8に記載されたイオン操作装置。
- 前記内側電極アレイ並びに前記第1の外側電極アレイおよび前記第2の外側電極アレイが、前記第1の表面上に、
T形構成の分岐部分のところでイオンを方向転換させることを可能にする概略T形構成、
Y形構成の分岐部分のところでイオンを方向転換させることを可能にする概略Y形構成、
X形又はクロス形構成の一方又は両方の側の分岐部分のところでイオンを方向転換させることを可能にする概略X形又はクロス形構成、および
構成の1つ又は複数の側の分岐部分のところでイオンを方向転換させることを可能にする複数の分岐点を有するアスタリスク(*)形構成などの概略多角形構成
のうちの少なくとも1つで配置される請求項1に記載されたイオン操作装置。 - 前記第1の表面と前記第2の表面との間の前記空間が、不活性ガス、又は、イオンと反応するガスを有する、請求項1に記載されたイオン操作装置。
- イオンを操作する方法であって、
第1の表面および第2の表面を含む少なくとも1対の表面の間に画定された空間内にイオンを射出するステップであって、第1の表面および第2の表面は長手軸線方向に延在し、
前記表面に結合した内側電極アレイであって、該内側電極アレイは、前記長手方向軸線に沿って隣接して位置付けられている、前記内側電極アレイと、
前記表面に結合した第1の外側電極アレイ及び第2の外側電極アレイとを備える、射出するステップと、
RF電圧を前記内側電極アレイに印加してイオンが前記第1の表面および第2の表面に接近することを防止する擬似電位を形成するステップと、
第1のDC電圧を前記第1の外側電極アレイ及び前記第2の外側電極アレイの各々に印加して、第1のDC電位を形成し、前記擬似電位および前記第1のDC電位により、前記第1の表面と第2の表面との間でイオンの運動を操作するステップを含む、イオンを操作する方法。 - 前記内側電極アレイは、第2のDC電圧を受け、第2のDC電位を形成するように構成され、該第2のDC電位は、イオンを前記長手軸線方向に駆動させるようになっている、請求項12に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記第2のDC電圧が、前記長手軸線方向のDC勾配である、請求項13に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記第2のDC電圧が、前記長手軸線方向のDC進行波である、請求項13に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記第1の電極アレイが前記内側電極アレイの一方側に配置され、前記第2の外側電極アレイが前記内側電極アレイの他方側に配置される、請求項12に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記内側電極アレイ並びに前記第1の外側電極アレイおよび前記第2の外側電極アレイが、実質的に前記長手軸線方向に延在する、請求項12に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記内側電極アレイの少なくとも2つの隣接する電極が、位相のずれたRF電圧を受けるように構成された、請求項12に記載されたイオンを操作する方法。
- 前記第1の表面と前記第2の表面との間に注入したイオンを、第2の対の表面に1つまたは複数のアパーチャを通って移動させるステップを更に含み、
イオンの移動が、隣接する電極間で極性が交互するDC電位およびRF電位のうちの少なくとも1つを受ける少なくとも2つの隣接する輸送電極により案内される、請求項12に記載されたイオンを操作する方法。
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