JP6441059B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6441059B2 JP6441059B2 JP2014252018A JP2014252018A JP6441059B2 JP 6441059 B2 JP6441059 B2 JP 6441059B2 JP 2014252018 A JP2014252018 A JP 2014252018A JP 2014252018 A JP2014252018 A JP 2014252018A JP 6441059 B2 JP6441059 B2 JP 6441059B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lamp mounting
- lamp
- substrate
- individual
- mounting groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 94
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 32
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 123
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 11
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 8
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- -1 tungsten halogen Chemical class 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67115—Apparatus for thermal treatment mainly by radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
Description
また、本発明の他の目的は、大型基板に対して熱処理を行うことのできる基板処理装置を提供するところにある。
さらに、本発明のさらに他の目的は、加熱ランプから発せられる光を効率よく透過させることのできる基板処理装置を提供するところにある。
200:基板支持台
300:ガス噴射器
400:加熱ブロック
500:個別透光板
600:加熱ランプ
Claims (9)
- 基板に対して熱処理を行う空間を有する熱処理チャンバと、
前記熱処理空間において前記基板を支持する基板支持台と、
前記基板と向かい合うランプ取付面に刻設された多数のランプ取付溝ごとに加熱ランプが取り付けられている加熱ブロックと、
前記ランプ取付溝ごとに設けられて前記加熱ランプから発せられる光を透過させる個別透光板と、
各ランプ取付溝の内部面に形成される雌ねじ山と、
前記ランプ取付溝の内部面を取り囲み、前記加熱ランプから発せられる光を反射するリフレクタと、
を備え、
前記雌ねじ山は、前記リフレクタの表面に形成される、基板処理装置。 - 前記個別透光板の周面に形成される雄ねじ山をさらに備え、前記個別透光板の雄ねじ山と前記雌ねじ山を螺合することにより前記個別透光板がランプ取付溝に嵌合される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記ランプ取付溝の内部面に形成される段差をさらに備える請求項1に記載の基板処理装置。
- 雄ねじ山が形成された周面を有する固定リングをさらに備え、前記段差に前記個別透光板を嵌設した後に前記固定リングの雄ねじ山と前記雌ねじ山を螺合することにより前記個別透光板が前記ランプ取付溝に嵌合される請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記個別透光板は、波長帯域別に選択的に光を透過させる帯域別透光フィルムで前記個別透光板の表面が選択的に被覆される請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記加熱ブロックのランプ取付面に刻設されたランプ取付溝のうちの一部のランプ取付溝に前記帯域別透光フィルムで選択的に被覆された個別透光板が嵌合される請求項5に記載の基板処理装置。
- 基板に対して熱処理を行う空間を有する熱処理チャンバと、
前記熱処理空間において前記基板を支持する基板支持台と、
前記基板と向かい合うランプ取付面に刻設された多数のランプ取付溝ごとに加熱ランプが取り付けられている加熱ブロックと、
前記ランプ取付溝ごとに設けられて前記加熱ランプから発せられる光を透過させ、凸状レンズ状を呈する凸状レンズ個別透光板及び凹状レンズ状を呈する凹状レンズ個別透光板のうちのいずれか一方以上を有する個別透光板と、
各ランプ取付溝の内部面に形成される雌ねじ山と、
前記ランプ取付溝の内部面を取り囲み、前記加熱ランプから発せられる光を反射するリフレクタと、
を備え、
前記雌ねじ山は、前記リフレクタの表面に形成される、基板処理装置。 - 前記加熱ブロックのランプ取付面に刻設されたランプ取付溝のうちの一部のランプ取付溝に前記凸状レンズ個別透光板が嵌合され、残りのランプ取付溝に前記凹状レンズ個別透光板が嵌合される請求項7に記載の基板処理装置。
- 前記加熱ブロックのランプ取付面の最外縁部に配設されるランプ取付溝にのみ前記凸状レンズ個別透光板が嵌合され、残りのランプ取付溝には前記凹状レンズ個別透光板が嵌合される請求項7に記載の基板処理装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130158211A KR101572662B1 (ko) | 2013-12-18 | 2013-12-18 | 기판 처리 장치 |
KR10-2013-0158211 | 2013-12-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015119180A JP2015119180A (ja) | 2015-06-25 |
JP6441059B2 true JP6441059B2 (ja) | 2018-12-19 |
Family
ID=53457134
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014252018A Expired - Fee Related JP6441059B2 (ja) | 2013-12-18 | 2014-12-12 | 基板処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6441059B2 (ja) |
KR (1) | KR101572662B1 (ja) |
CN (1) | CN104733350A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101719747B1 (ko) | 2016-04-04 | 2017-03-24 | 에이피에스홀딩스 주식회사 | 히터블록 조립체 제조 방법, 히터블록 조립체 및 열처리 장치 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223549A (ja) * | 1997-02-07 | 1998-08-21 | Citizen Watch Co Ltd | ランプアニール装置 |
US6771895B2 (en) * | 1999-01-06 | 2004-08-03 | Mattson Technology, Inc. | Heating device for heating semiconductor wafers in thermal processing chambers |
JP2002270533A (ja) * | 2001-03-14 | 2002-09-20 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及びランプ出力制御方法 |
US6600138B2 (en) * | 2001-04-17 | 2003-07-29 | Mattson Technology, Inc. | Rapid thermal processing system for integrated circuits |
JP2003031517A (ja) * | 2001-07-19 | 2003-01-31 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の熱処理装置 |
JP4423874B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2010-03-03 | ウシオ電機株式会社 | ベース付きフラッシュランプ及びランプアニール装置 |
KR20090057729A (ko) * | 2007-12-03 | 2009-06-08 | 에이피시스템 주식회사 | 급속열처리장치의 히터블록 |
JP2009164321A (ja) * | 2008-01-04 | 2009-07-23 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 半導体装置の製造方法とその製造装置、結晶化方法、結晶化装置、半導体装置及び表示装置 |
US8548311B2 (en) * | 2008-04-09 | 2013-10-01 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for improved control of heating and cooling of substrates |
KR100906711B1 (ko) | 2008-10-08 | 2009-07-07 | (주)앤피에스 | 급속열처리 장치 |
US9449858B2 (en) * | 2010-08-09 | 2016-09-20 | Applied Materials, Inc. | Transparent reflector plate for rapid thermal processing chamber |
JP2012151389A (ja) * | 2011-01-21 | 2012-08-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
KR101155026B1 (ko) | 2011-11-28 | 2012-06-12 | 남원식 | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판 처리 방법 |
-
2013
- 2013-12-18 KR KR1020130158211A patent/KR101572662B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-12-12 JP JP2014252018A patent/JP6441059B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-12-18 CN CN201410796415.4A patent/CN104733350A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104733350A (zh) | 2015-06-24 |
JP2015119180A (ja) | 2015-06-25 |
KR101572662B1 (ko) | 2015-11-27 |
KR20150071325A (ko) | 2015-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5497992B2 (ja) | 熱処理装置 | |
US9318359B2 (en) | Apparatus for substrate treatment and heating apparatus | |
JP2009535858A5 (ja) | ||
JP2009164525A (ja) | 熱処理装置 | |
KR101689987B1 (ko) | 광조사 장치 | |
TWI663628B (zh) | 吸收性燈頭面 | |
CN106024670A (zh) | 加热器区块及基板处理装置 | |
US9117858B2 (en) | Heater block and heat treatment apparatus having the same | |
JP2009123807A (ja) | 熱処理装置 | |
JP6441059B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP6499432B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2015088749A (ja) | 基板処理装置 | |
TW202004951A (zh) | 加熱器塊以及熱處理設備和方法 | |
CN109963813A (zh) | 水处理装置 | |
JP2015226069A (ja) | ヒーターブロックおよび基板熱処理装置 | |
CN111816795A (zh) | 激光装置 | |
JP5891255B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP4401753B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR102121406B1 (ko) | 웨이퍼 가열장치 | |
KR20150113874A (ko) | 조사 장치 | |
JP2017524238A5 (ja) | ||
JP5616006B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2009123810A (ja) | 熱処理装置 | |
KR101292710B1 (ko) | 오븐 타입 ∪∨ 경화 장치 | |
KR20120035782A (ko) | 실런트 경화 장치 및 실런트 경화장치용 엘이디 배열구조 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171005 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180731 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181023 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20181106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6441059 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |