JP6428776B2 - グレーティングカプラ及び光導波路装置 - Google Patents
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Description
12 第1のクラッド層
131〜133 グレーティング
14 低屈折率層
15 コア層
16 第2のクラッド層
20,40 SOI基板
21,41,61,71,81 単結晶Si基板
22,42 BOX層
23,43 単結晶Si層
24,27,28,30,441〜443,49 レジストパターン
251〜253,451〜453,651〜653、751〜753,84,841,842 グレーティング
26,461〜463,631,632,741〜744,83,831〜835 低屈折率層
29,48,66,73,85 コア層
31,50,67,76,86 上部クラッド層
471,472,64 多結晶Si層
62,72,82 下部クラッド
91 光導波路
92 下部クラッド層
93 上部クラッド層
94 グレーティングカプラ部
95 グレーティング
96 光ファイバ
97 コア
98 クラッド
Claims (9)
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層上に設けられたコア層と、
前記コア層上に設けられた第2のクラッド層と
前記コア層と前記第1のクラッド層或いは第2のクラッド層のいずれかとの間に設けられ、屈折率が前記コア層と異なる材料で形成されたストライプ状部材が複数の区画に区分されて配置されたグレーティングと、
を有し、
前記各区画内に配置されたストライプ状部材は同じ本数の複数本であり、
前記ストライプ状部材の前記コア層に対向する面の反対側の面と前記コア層との間隔が、グレーティングカプラの端部に向かって前記区画毎に順次減少し、
且つ、前記各区画内において前記ストライプ状部材の光の導波方向の寸法が前記端部に向かって順次増大していることを特徴とするグレーティングカプラ。 - 前記コア層と前記ストライプ状部材の間に、前記コア層より屈折率の低い低屈折率層が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のグレーティングカプラ。
- 前記低屈折率層が前記第1のクラッド層及び前記第2のクラッド層と同じ素材からなることを特徴とする請求項2に記載のグレーティングカプラ。
- 前記コア層の前記ストライプ状部材に対向する面が、面一の平坦面であることを特徴とする請求項3に記載のグレーティングカプラ。
- 前記グレーティングが、前記コア層と前記第2のクラッド層との間に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のグレーティングカプラ。
- 前記コア層の前記ストライプ状部材に対向する面が、前記各区画毎に前記コア層の厚さの異なる段差面であることを特徴とする請求項1に記載のグレーティングカプラ。
- 基板と、
前記基板上に設けられた第1のクラッド層と、
前記第1のクラッド層上に設けられたコア層と、
前記コア層上に設けられた第2のクラッド層と
前記コア層と前記第1のクラッド層或いは第2のクラッド層のいずれかとの間に設けられ、屈折率が前記コア層と異なる材料で形成されたストライプ状部材が複数の区画に区分されて配置されたグレーティングと、
を有し、前記各区画内に配置されたストライプ状部材は同じ本数の複数本であり、
前記ストライプ状部材の前記コア層に対向する面の反対側の面と前記コア層との間隔が、グレーティングカプラの端部に向かって前記区画毎に順次増大し、
前記各区画内において前記ストライプ状部材の光の導波方向の寸法及び前記ストライプ状部材の光の導波方向の厚さが前記端部に向かって順次増大していることを特徴とするグレーティングカプラ。
- 前記ストライプ状部材が配置された区画数が2乃至4であることを特徴とする請求項1に記載のグレーティングカプラ。
- 請求項1または請求項7に記載のグレーティングカプラと、
前記グレーティングカプラの端部において前記グレーティングと光結合する光ファイバと
前記グレーティングカプラの前記端部と反対方向に延在する光導波路と
を有することを特徴とする光導波路装置。
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