JP2011203604A - 光学素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】反射膜をグレーティングカプラ直下にのみ形成し、グレーティングカプラの結合効率を高めるとともに、その他の領域部分には、反射膜を設けずに迷光による雑音を抑制する、光学素子を提供する。
【解決手段】支持シリコン層30、BOX層40及びSOI層50がこの順に積層されたSOI基板20と、SOI層に形成されたグレーティングカプラ54と、SOI層上に形成されたオーバークラッド層60とを備えて構成される。ここで、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層には、BOX層を露出する窓31が形成されており、窓内に露出したBOX層上に反射膜80が形成されている。
【選択図】図1
【解決手段】支持シリコン層30、BOX層40及びSOI層50がこの順に積層されたSOI基板20と、SOI層に形成されたグレーティングカプラ54と、SOI層上に形成されたオーバークラッド層60とを備えて構成される。ここで、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層には、BOX層を露出する窓31が形成されており、窓内に露出したBOX層上に反射膜80が形成されている。
【選択図】図1
Description
この発明は、光学素子、特にグレーティングカプラを備える光学素子とその製造方法に関する。
近年、光導波路が形成されたSOI(Silicon on Insulator)基板に、ガリウム砒素(GaAs)あるいはインジウム燐(InP)等の化合物半導体素子をハイブリッド集積し、光トランシーバ等の機能素子を実現する技術が注目されている(例えば、非特許文献1参照)。このような機能素子においては、当該機能素子への光入力信号あるいは当該機能素子からの光出力信号を導波する光導波路と、外部の光学素子とを光学的に結合、すなわちカップリングさせるためのカプラが必要とされる。
SOI基板に光導波路が形成されている機能素子では、光導波路と外部の光学素子とをカップリングさせるカプラとして、グレーティングカプラを利用するのが好適である(例えば、非特許文献1及び2参照)。
ここで、SOI基板上に形成された光導波路と、外部の光学素子とをカップリングする際のカップリング効率を高めるために、光反射層を備えるグレーティングカプラが提案されている(例えば、非特許文献3)。
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しかしながら、上述の非特許文献3に開示されているグレーティングカプラを備える光学素子は、金(Au)を蒸着したウェハを貼り合わせて作成されるので、ウェハ全面に反射膜が形成されてしまう。グレーティングカプラを含むシリコン細線導波路を用いた光集積回路の実現を考えた場合、グレーティングや曲がり導波路などの要素が存在すると、放
射、散乱損失が生じる。これらの放射あるいは散乱された光が、反射膜で反射されると、その反射された光が再びシリコン細線導波路に結合され、雑音となる恐れがある。
射、散乱損失が生じる。これらの放射あるいは散乱された光が、反射膜で反射されると、その反射された光が再びシリコン細線導波路に結合され、雑音となる恐れがある。
この発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、この発明の目的は、反射膜をグレーティングカプラが形成された領域のBOX層上に形成し、グレーティングカプラの結合効率を高めるとともに、その他の領域部分には反射膜を設けずに雑音を抑制する、光学素子とその製造方法を提供することにある。
上述した目的を達成するために、この発明の光学素子は、支持シリコン層、BOX層及びSOI層がこの順に積層されたSOI基板と、SOI層に形成されたグレーティングカプラと、SOI層上に形成されたオーバークラッド層とを備えて構成される。ここで、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層には、BOX層を露出する窓が形成されており、窓内に露出したBOX層上に反射膜が形成されている。
また、この発明の光学素子の製造方法は、以下の工程を備えている。先ず、支持シリコン層、BOX層及びSOI層がこの順に積層されたSOI基板を用意する。次に、SOI層に、グレーティングカプラを形成する。次に、SOI層上に、オーバークラッド層を形成する。次に、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層を除去して、BOX層を露出させる窓を形成する。次に、露出したBOX層上に反射膜を形成する。
この発明の光学素子によれば、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層に、BOX層を露出する窓が形成されていて、この露出したBOX層上に反射膜が形成されている。
例えば、SOI層に形成された導波路を伝播してグレーティングカプラに送られた光は、グレーティングカプラで回折されてオーバークラッド層側から出射される。このときグレーティングカプラではBOX層側にも回折されるが、このBOX層側への回折光はBOX層の下側に設けられた反射膜で反射され、オーバークラッド層側から出射される。
このため、SOI層に形成された導波路と、オーバークラッド層側に設けられる光学素子とのグレーティングカプラによる結合効率が改善される。
また、グレーティングカプラが形成されていない領域では、BOX層の直下には反射膜が設けられていない。このため、導波路を伝播中に、曲がり導波路などの部分で散乱された光が、反射膜で反射されて導波路に再びカップリングされる影響を抑制することができる。
以下、図を参照して、この発明の実施形態について説明するが、各構成要素の形状、大きさ及び配置関係については、この発明が理解できる程度に概略的に示したものに過ぎない。また、以下、この発明の好適な構成例につき説明するが、各構成要素の材質及び数値的条件などは、単なる好適例にすぎない。従って、この発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、この発明の構成の範囲を逸脱せずにこの発明の効果を達成できる多くの
変更又は変形を行うことができる。
変更又は変形を行うことができる。
図1を参照して、この発明の光学素子の一実施形態について説明する。図1は、光学素子を説明するための概略図であって、主要部の切断端面を示している。
この実施形態の光学素子10は、SOI基板20を用いて形成される。SOI基板20は、支持層としてのシリコン層(支持シリコン層)30、埋め込み酸化シリコン層(BOX層)40、及び、シリコン層(SOI層)50がこの順に積層されて構成される。
SOI層50を構成するシリコンが所望の形状にパターニングされて、SOI層50に、グレーティングカプラ54及び光導波路56が形成されている。ここで、グレーティングカプラ54の、グレーティングの周期Λは、利用する波長によって定まる。例えば、1.49μm帯では、いわゆるグレーティングの周期Λを800nmにすればよい。すなわち、400nmのシリコン部分(Lineに対応)と、400nmの酸化シリコン部分(Spaceに対応)とを周期的に設ければよい。なお、図1では、グレーティングカプラ54のSpaceに対応する部分のエッチング深さが、SOI層50の高さと同一となっている構成例が示されているが、これに限定されない。例えば、Spaceに対応する部分では、SOI層50の高さ方向の途中までエッチングするなど、エッチング深さとSOI層50の高さとが異なっていても良い。
グレーティングカプラ54及び光導波路56が形成されたSOI層50上には、オーバークラッド層60が形成されている。オーバークラッド層60の材質は、任意好適な低屈折率材料とすることができる。ここでは、オーバークラッド層60が酸化シリコン層として形成された場合を例にとって説明するが、これに限定されない。例えば、オーバークラッド層は、窒化シリコンや、ポリマーなどで形成されていても良い。また、グレーティングカプラ54のSpaceに対応する部分や、光導波路56の周囲の部分などSOI層50のシリコンが除去された領域については、BOX層40上に、オーバークラッド層60が形成されていても良い。
グレーティングカプラ54が形成された領域の、支持シリコン層30には、BOX層40を露出する窓31が形成されている。この窓31内に露出したBOX層40上に、反射膜80が形成されている。反射膜80は、例えば、50nm厚程度の金(Au)薄膜として形成される。なお、図1は、反射膜80が、光学素子10の裏面全面に形成された例を示しているが、これに限定されない。反射膜80は、窓31内に露出したBOX層40上のみに形成されて、他の領域部分には、反射膜80が設けられない構成にしても良い。また、ここでは、窓31の形成に用いた酸化シリコンマスク70が残存し、この酸化シリコンマスク70上にも、反射膜80が形成された例を示しているが、この酸化シリコンマスク70は除去されていても良い。
次に、図2及び図3を参照して、この発明の光学素子の製造方法の一実施形態について説明する。図2(A)〜(C)及び図3(A)〜(B)は、光学素子の製造方法を説明するための工程図であって、各工程で得られる構造体の主要部の切断端面を示している。
先ず、第1の工程において、支持シリコン層32、BOX層40及びSOI層52がこの順に積層されたSOI基板22を用意する。SOI基板22は、任意好適な従来周知のものを用いることができるが、この製造方法で製造される光学素子が1.49〜1.55μm帯の波長帯域で使用される場合は、BOX層40の厚さは、1.4μm程度であるのが望ましい。このBOX層40の厚さは、位相整合条件、反射膜での反射率、あるいは、グレーティングカプラで回折される光の回折方向などを考慮して定められる(図2(A))。
次に、第2の工程において、SOI層52をパターニングして、グレーティングカプラ54及び光導波路56を形成する。このグレーティングカプラ54及び光導波路56の形成は、任意好適な従来周知のリソグラフィ及びエッチング技術を用いて行えば良い。
例えば、先ず、SOI層52上に、レジストを塗布する。次に、EB(Electron Beam)法やi線ステッパなど任意好適な手段を用いて露光を行った後、現像することにより、レジストパターンを形成する。次に、CF4を反応ガスとして用いた、反応性イオンエッチング(RIE:Reactive Ion Etching)により、SOI層50の不要な部分を除去して、グレーティングカプラ54及び光導波路56を形成する。なお、ここでは、グレーティングカプラ54のSpaceに対応する部分のエッチング深さがSOI層50の膜厚と等しくなっているが、例えば、SOI層50の途中まで、エッチングするなどして、グレーティングカプラ54のSpaceに対応する部分のエッチング深さが、SOI層50の厚さと異なっていても良い(図2(B))。
第2の工程により、グレーティングカプラ54及び光導波路56を形成した後、第3の工程において、オーバークラッド層60を形成する。オーバークラッド層60は、グレーティングカプラ54や光導波路56などが形成されたSOI層50上に形成される。また、第2の工程において、SOI層50が除去された部分については、BOX層40上に、オーバークラッド層60が形成されても良い。
このオーバークラッド層60の形成は、例えば、従来周知のCVD(Chemical
Vapor Deposition)法により、酸化シリコンを堆積させることで行われる(図2(C))。
Vapor Deposition)法により、酸化シリコンを堆積させることで行われる(図2(C))。
次に、第4の工程において、支持シリコン層34を薄層化する。この薄層化は、任意好適な従来周知の研磨技術を用いた裏面研磨により行われ、例えば100μm程度の膜厚になるまで行われる。
次に、第5の工程において、BOX層40を露出される窓を形成する。この工程では、先ず、薄層化された支持シリコン層34の裏面34a上に、酸化シリコン膜を、CVD法を用いて、例えば1μm以上の膜厚で形成する。次に、従来周知のフォトリソグラフィ及びエッチング技術を用いて、酸化シリコン膜をパターニングして、酸化シリコンマスク70を形成する。
この酸化シリコンマスク70は、窓を形成するためのエッチングマスクとして用いられる。酸化シリコンマスク70は、グレーティングカプラ54が形成された領域の支持シリコン層34を露出し、それ以外の領域の支持シリコン層34を覆う(図3(A))。
次に、酸化シリコンマスク70を用いて、水酸化カリウム(KOH)をエッチャントして、支持シリコン層30をエッチングする。このエッチングにより、グレーティングカプラ54が形成された領域の支持シリコン層30が除去されて、その領域部分のBOX層40を露出させる窓31が形成される(図3(B))。
なお、KOHによるエッチングは異方性があるので、エッチング速度が遅い(111)面が、グレーティングの幅方向と平行になるようにグレーティングカプラ54を配置するのが望ましい。
また、エッチャントとしてKOHを用いるエッチングでは、シリコンと酸化シリコンのエッチングレートの比が100:1であるので、支持シリコン層のみを容易に除去できる
。
。
第5の工程により、窓31を形成した後、第6の工程において、反射膜80を形成して図1を参照して説明した光学素子を得る。反射膜80の形成は、従来周知の真空蒸着法を用いて行えば良く、例えば、膜厚が50nm程度のAu薄膜として形成される。
その後、反射膜80を覆う保護膜(図示を省略する。)を形成しても良い。この保護膜は、酸化アルミニウム(Al2O3)を蒸着するなどして形成することができる。最後に、CMP(Chemical Mechanical Polishing)法により、オーバークラッド層60の平坦化が行われる。
上述した光学素子によれば、グレーティングカプラが形成された領域の、支持シリコン層にBOX層を露出する窓が形成されていて、この露出したBOX層上に反射膜が形成されている。
例えば、SOI層に形成された光導波路を伝播してグレーティングカプラに送られた光は、グレーティングカプラで回折されてオーバークラッド層側から出射される。このときグレーティングカプラではBOX層側にも回折されるが、このBOX層側への回折光はBOX層の下側に設けられた反射膜で反射され、オーバークラッド層側から出射される。
このため、SOI層に形成された光導波路と、オーバークラッド層側に設けられる他の光学素子とのグレーティングカプラによる結合効率が改善される。
また、グレーティングカプラが形成されていない領域では、BOX層の直下には反射膜が設けられていない。このため、光導波路を伝播中に曲がり導波路の部分などで散乱された光が、反射膜で反射されて光導波路に再びカップリングされる影響を抑制することができる。この結果、迷光による雑音を減らすことができる。
10 光学素子
20、22 SOI基板
30、32、34 支持シリコン層
31 窓
40 埋め込み酸化シリコン層(BOX層)
50、52 シリコン層(SOI層)
54 グレーティングカプラ
56 光導波路
60 オーバークラッド層
70 酸化シリコンマスク
80 反射膜
20、22 SOI基板
30、32、34 支持シリコン層
31 窓
40 埋め込み酸化シリコン層(BOX層)
50、52 シリコン層(SOI層)
54 グレーティングカプラ
56 光導波路
60 オーバークラッド層
70 酸化シリコンマスク
80 反射膜
Claims (3)
- 支持シリコン層、BOX層及びSOI層がこの順に積層されたSOI基板と、
前記SOI層に形成されたグレーティングカプラと、
前記SOI層上に形成されたオーバークラッド層と
を備え、
前記グレーティングカプラが形成された領域の前記支持シリコン層に、前記BOX層を露出する窓が形成されており、
前記窓内に露出したBOX層上に反射膜が形成されている
ことを特徴とする光学素子。 - 支持シリコン層、BOX層及びSOI層がこの順に積層されたSOI基板を用意する工程と、
前記SOI層に、グレーティングカプラを形成する工程と、
前記SOI層上に、オーバークラッド層を形成する工程と、
前記グレーティングカプラが形成された領域の前記支持シリコン層を除去して、前記BOX層を露出させる窓を形成する工程と、
前記露出したBOX層上に反射膜を形成する工程と
を備えることを特徴とする光学素子の製造方法。 - 前記窓を形成する工程では、前記グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層を露出する酸化シリコンマスクを形成し、及び
前記酸化シリコンマスクを用いて、水酸化カリウムをエッチャントとしたエッチングにより、前記支持シリコン層を除去する
ことを特徴とする請求項2に記載の光学素子の製造方法。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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