JP2015121787A - 集積フォトニックカプラ - Google Patents
集積フォトニックカプラ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015121787A JP2015121787A JP2014253046A JP2014253046A JP2015121787A JP 2015121787 A JP2015121787 A JP 2015121787A JP 2014253046 A JP2014253046 A JP 2014253046A JP 2014253046 A JP2014253046 A JP 2014253046A JP 2015121787 A JP2015121787 A JP 2015121787A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grating
- wavelength
- integrated
- waveguide
- sub
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 36
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 34
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 32
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 26
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 21
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 19
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 10
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 11
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 5
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 array Substances 0.000 description 1
- 239000012237 artificial material Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/124—Geodesic lenses or integrated gratings
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/136—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by etching
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12083—Constructional arrangements
- G02B2006/12107—Grating
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B2006/12166—Manufacturing methods
- G02B2006/12176—Etching
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
【解決手段】集積フォトニックデバイス1は、基板10と、基板10上に形成され、予め定めた波長の光を伝達するように構成された集積導波路12と、集積導波路12と光学的に接続され、少なくとも1つの第1空間方向に屈折率の第1周期変動を提供するサブ波長グレーティング13と、基板10に対してサブ波長グレーティング13の上方に配置され、または、サブ波長グレーティング13内に部分的にエッチングされた回折グレーティング14であって、少なくとも1つの第2空間方向に屈折率の第2周期変動を提供する回折グレーティング14とを備える。第1周期変動は、予め定めた波長の半分より小さい第1ピッチを有し、第2周期変動は、予め定めた波長の少なくとも半分の第2ピッチを有する。
【選択図】図1
Description
前記基板上に形成され、予め定めた波長の光を伝達するように構成された集積導波路と、
前記集積導波路と光学的に接続され、少なくとも1つの第1空間方向に屈折率の第1周期変動を提供するサブ波長グレーティングと、
基板に対してサブ波長グレーティングの上方に配置され、または、前記サブ波長グレーティング内に部分的にエッチングされた回折グレーティングであって、前記サブ波長グレーティングを経由して、前記集積導波路の入力及び/又は出力において前記予め定めた波長の光を結合するために、少なくとも1つの第2空間方向に屈折率の第2周期変動を提供する回折グレーティングとを備え、
前記第1周期変動は、前記予め定めた波長の半分より小さい第1ピッチを有し、
前記第2周期変動は、前記予め定めた波長の少なくとも半分の第2ピッチを有する。
本発明の実施形態の利点は、当業者に知られているサブ波長プロセス技術が使用可能であること、即ち、サブ波長グレーティングを発生するための既存の技術が使用可能であることである。
・基板を用意するステップ。該基板は、その上に堆積した埋め込み酸化物層と、前記埋め込み酸化物層の上にある導波路材料層とを有する。
・集積導波路を前記導波路材料層に設けるステップ。該集積導波路は、予め定めた波長の光を伝達するように構成される。
・前記集積導波路と光学的に接続されたサブ波長グレーティングを形成するステップ。該サブ波長グレーティングは、少なくとも1つの第1空間方向に屈折率の第1周期変動を提供する。
・前記サブ波長グレーティングを経由して、前記集積導波路の入力及び/又は出力において前記予め定めた波長の光を結合するために、回折グレーティングを、基板に対してサブ波長グレーティングの上方に配置し、または、前記サブ波長グレーティング内に部分的にエッチングするステップ。該回折グレーティングは、少なくとも1つの第2空間方向に屈折率の第2周期変動を提供する。
・前記第1周期変動は、前記予め定めた波長の半分より小さい第1ピッチを有し、前記第2周期変動は、前記予め定めた波長の少なくとも半分の第2ピッチを有する。
Claims (14)
- 基板(10)と、
前記基板上に形成され、予め定めた波長の光を伝達するように構成された集積導波路(12)と、
前記集積導波路と光学的に接続され、少なくとも1つの第1空間方向に屈折率の第1周期変動を提供するサブ波長グレーティング(13)と、
基板に対してサブ波長グレーティングの上方に配置され、または、前記サブ波長グレーティング内に部分的にエッチングされた回折グレーティング(14)であって、前記サブ波長グレーティングを経由して、前記集積導波路の入力及び/又は出力において前記予め定めた波長の光を結合するために、少なくとも1つの第2空間方向に屈折率の第2周期変動を提供する回折グレーティング(14)とを備え、
前記第1周期変動は、前記予め定めた波長の半分より小さい第1ピッチを有し、
前記第2周期変動は、前記予め定めた波長の少なくとも半分の第2ピッチを有する、集積フォトニックデバイス(1)。 - サブ波長グレーティング(13)は、前記集積導波路(12)内に集積されている請求項1記載の集積フォトニックデバイス。
- サブ波長グレーティング(13)は、予め定めた波長の光に関して有効屈折率を局所的に低下させるために、集積導波路(12)の材料内に形成されたナノホール及び/又はトレンチを含む請求項1〜2のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。
- 前記第1ピッチは、回折グレーティング(14)およびサブ波長グレーティング(13)を経由して集積導波路に光を供給したり、集積導波路から光を受けたりするために、サブ波長グレーティングの光パワープロファイルを、ファイバのあるモードの光パワープロファイルと整合させるように、場所の関数として変化している請求項1〜3のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。
- 第2ピッチは、回折グレーティング(14)およびサブ波長グレーティング(13)を経由して集積導波路に光を供給したり、集積導波路から光を受けたりするために、回折グレーティングの光パワープロファイルを、ファイバのあるモードの光パワープロファイルと整合させるように、場所の関数として変化している請求項1〜4のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。
- 前記予め定めた波長の前記光のうち上向きに回折した部分と建設的に干渉するように、前記予め定めた波長の前記光のうち下向きに回折した部分を反射するために、前記基板(9)と前記サブ波長グレーティング(13)との間に配置された反射エレメント(19)をさらに備える請求項1〜5のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。
- 前記反射エレメント(19)は、分布ブラッグミラーを含む請求項6記載の集積フォトニックデバイス。
- サブ波長グレーティング(13)は、導波路有効屈折率を有する媒体を通じて、予め定めた波長の光を伝達するように構成され、
前記第1周期変動は、前記導波路有効屈折率より低い有効屈折率を提供するようにした請求項1〜7のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。 - 基板は、半導体・オン・インシュレータの一部であり、
集積導波路(16)は、前記半導体・オン・インシュレータ層の半導体層に形成される請求項1〜8のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。 - 半導体層は、シリコン層であり、
集積導波路(16)は、シリコン導波路である請求項9記載の集積フォトニックデバイス。 - 回折グレーティング(14)は、金属ライン・グレーティングである請求項1〜10のいずれかに記載の集積フォトニックデバイス。
- 集積フォトニックデバイス(1)を製造する方法(20)であって、
・上に堆積した埋め込み酸化物層(11)と、前記埋め込み酸化物層(11)の上にある導波路材料層(12)とを有する基板(10)を用意するステップ(21)と、
・予め定めた波長の光を伝達するように構成された集積導波路(16)を、前記導波路材料層(12)に設けるステップ(22)と、
・前記集積導波路(16)と光学的に接続され、少なくとも1つの第1空間方向に屈折率の第1周期変動を提供するサブ波長グレーティング(13)を形成するステップ(23)と、
・前記サブ波長グレーティング(13)を経由して、前記集積導波路の入力及び/又は出力において前記予め定めた波長の放射を結合するために、少なくとも1つの第2空間方向に屈折率の第2周期変動を提供する回折グレーティング(14)を、基板に対して前記サブ波長グレーティング(13)の上方に配置するステップ(24)とを含み、
前記第1周期変動は、前記予め定めた波長の半分より小さい第1ピッチを有し、
前記第2周期変動は、前記予め定めた波長の少なくとも半分の第2ピッチを有する、方法。 - 前記サブ波長グレーティング(13)を形成するステップ(23)は、エッチング停止層として機能する埋め込み酸化物層(11)に至るまで、導波路材料層(12)において導波路を完全にエッチングすることを含み、
前記エッチングは、前記第1周期変動に対応したエッチングパターンに合致している請求項12記載の方法。 - 基板を用意するステップは、シリコン・オン・インシュレータを用意することを含み、
集積導波路は、シリコン・オン・インシュレータのシリコン層に形成される請求項13記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP13199256.2A EP2887110A1 (en) | 2013-12-20 | 2013-12-20 | Integrated photonic coupler |
EP13199256.2 | 2013-12-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015121787A true JP2015121787A (ja) | 2015-07-02 |
JP6518434B2 JP6518434B2 (ja) | 2019-05-22 |
Family
ID=49920052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014253046A Active JP6518434B2 (ja) | 2013-12-20 | 2014-12-15 | 集積フォトニックカプラ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9632248B2 (ja) |
EP (1) | EP2887110A1 (ja) |
JP (1) | JP6518434B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019124712A (ja) * | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 富士通株式会社 | グレーティングカプラ及び光送信器 |
JP2021507290A (ja) * | 2018-11-30 | 2021-02-22 | 三菱電機株式会社 | グレーティングカプラシステム及び一体型グレーティングカプラシステム |
US11079541B2 (en) * | 2016-01-22 | 2021-08-03 | National University Corporation Yokohama National University | Optical deflection device and LIDAR apparatus |
JP7026854B1 (ja) * | 2020-12-14 | 2022-02-28 | 三菱電機株式会社 | グレーティングカプラ |
JP7187623B1 (ja) | 2021-06-30 | 2022-12-12 | ジュニパー ネットワークス, インコーポレーテッド | エタロン補償を備えた高帯域幅フォトニック集積回路 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9791622B2 (en) * | 2013-09-12 | 2017-10-17 | Oclaro Japan, Inc. | Optical semiconductor resonator, optical semiconductor device, and optical module |
US9678273B2 (en) * | 2015-06-01 | 2017-06-13 | International Business Machines Corporation | Device for propagating light and method for fabricating a device |
US9658400B2 (en) | 2015-06-01 | 2017-05-23 | International Business Machines Corporation | Method for fabricating a device for propagating light |
US9690051B2 (en) * | 2015-06-30 | 2017-06-27 | International Business Machines Corporation | Backside binary grated lens coupled to front side waveguide |
US10866360B2 (en) * | 2015-08-19 | 2020-12-15 | President And Fellows Of Harvard College | Broadband multifunctional efficient meta-gratings based on dielectric waveguide phase shifters |
US9933576B2 (en) * | 2015-12-29 | 2018-04-03 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Electro-optic device with an optical grating coupler having a grating period variation and methods of formation thereof |
US10067303B1 (en) * | 2016-01-14 | 2018-09-04 | Finisar Corporation | Optical grating |
US10012798B2 (en) | 2016-06-30 | 2018-07-03 | International Business Machines Corporation | Sacrificial coupler for testing V-grooved integrated circuits |
EP3285052A1 (en) | 2016-08-19 | 2018-02-21 | IMEC vzw | Photonic circuit with integrated light coupler |
CN108227080A (zh) * | 2016-12-22 | 2018-06-29 | 中兴通讯股份有限公司 | Swg桥接耦合器件、参数确定方法及装置 |
FR3071626B1 (fr) * | 2017-09-26 | 2019-11-01 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Dispositif de couplage optique pour un circuit photonique. |
US10185092B1 (en) * | 2018-07-11 | 2019-01-22 | Globalfoundries Inc. | Hybrid grating couplers that overlap via an interconnect structure having a metallization layer |
US10955614B1 (en) * | 2020-01-14 | 2021-03-23 | Globalfoundries U.S. Inc. | Optical fiber coupler structure having manufacturing variation-sensitive transmission blocking region |
DE102020117491B4 (de) * | 2020-07-02 | 2024-01-04 | Carl Zeiss Ag | Integrierte optische Schaltung mit Wellenleiterlinse |
US11719885B2 (en) * | 2020-10-14 | 2023-08-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus for optical coupling and system for communication |
US11762145B2 (en) * | 2020-10-21 | 2023-09-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Apparatus for optical coupling and system for communication |
US11815718B2 (en) | 2021-01-21 | 2023-11-14 | Honeywell International Inc. | Integrated photonics vertical coupler based on subwavelength grating |
CN117222926A (zh) * | 2021-02-24 | 2023-12-12 | 香港中文大学 | 高耦合效率闪耀波导光栅耦合器 |
CN113093331A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-07-09 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种硅基光波导传感器及其制备方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0483204A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-17 | Omron Corp | 複合グレーティング・カプラおよびその作製方法 |
JPH11281828A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Minolta Co Ltd | 光導波路デバイス |
JP2010524022A (ja) * | 2007-04-05 | 2010-07-15 | アイメック | マルチプレクサ導波路結合方法およびシステム |
CN101995609A (zh) * | 2010-09-15 | 2011-03-30 | 中国科学院半导体研究所 | 绝缘体上硅的缓变阶梯型波导光栅耦合器及制作方法 |
JP2011203604A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Oki Electric Industry Co Ltd | 光学素子とその製造方法 |
US8200054B1 (en) * | 2009-04-19 | 2012-06-12 | Western Digital (Fremont), Llc | High efficiency grating coupling for light delivery in EAMR |
WO2012144997A1 (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Sub-wavelength grating-based optical elements |
EP2634605A1 (en) * | 2012-02-29 | 2013-09-04 | Caliopa NV | A diffractive coupling grating for perpendicular coupling |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6788863B2 (en) * | 1997-05-16 | 2004-09-07 | Mesophotonics Limited | Optical delay device |
JP3941334B2 (ja) * | 2000-04-20 | 2007-07-04 | 株式会社日立製作所 | 光伝送モジュールおよびそれを用いた光通信システム |
US20080193079A1 (en) * | 2007-02-13 | 2008-08-14 | National Research Council Of Canada | Interface Device For Performing Mode Transformation in Optical Waveguides |
US7680371B2 (en) * | 2007-02-13 | 2010-03-16 | National Research Council Of Canada | Interface device for performing mode transformation in optical waveguides |
FR2922031B1 (fr) * | 2007-10-03 | 2011-07-29 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif optique a circuits photoniques superposes, pour couplage avec un ou plusieurs guides optiques. |
US8682128B2 (en) * | 2008-08-21 | 2014-03-25 | International Business Machines Corporation | Optical waveguide with periodic sub-wavelength sized regions |
US7929815B2 (en) * | 2008-08-27 | 2011-04-19 | International Business Machines Corporation | Optical coupling device |
EP2529262B1 (en) * | 2010-01-29 | 2019-11-06 | Hewlett-Packard Enterprise Development LP | Grating-based optical fiber-to-waveguide interconnects |
US8842363B2 (en) * | 2010-01-29 | 2014-09-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Dynamically varying an optical characteristic of light by a sub-wavelength grating |
CA2728879C (en) * | 2011-01-19 | 2018-03-20 | National Research Council Of Canada | Composite subwavelength-structured waveguide in optical systems |
US8682120B2 (en) * | 2011-03-05 | 2014-03-25 | Alcatel Lucent | Polarization-independent grating optical coupler |
US9052447B2 (en) * | 2011-11-30 | 2015-06-09 | Oracle International Corporation | Optical device with echelle grating and wavefront tailoring |
KR20140082854A (ko) * | 2011-12-09 | 2014-07-02 | 휴렛-팩커드 디벨롭먼트 컴퍼니, 엘.피. | 광학 연결부 |
-
2013
- 2013-12-20 EP EP13199256.2A patent/EP2887110A1/en not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-12-15 JP JP2014253046A patent/JP6518434B2/ja active Active
- 2014-12-22 US US14/580,029 patent/US9632248B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0483204A (ja) * | 1990-07-26 | 1992-03-17 | Omron Corp | 複合グレーティング・カプラおよびその作製方法 |
JPH11281828A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Minolta Co Ltd | 光導波路デバイス |
JP2010524022A (ja) * | 2007-04-05 | 2010-07-15 | アイメック | マルチプレクサ導波路結合方法およびシステム |
US8200054B1 (en) * | 2009-04-19 | 2012-06-12 | Western Digital (Fremont), Llc | High efficiency grating coupling for light delivery in EAMR |
JP2011203604A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Oki Electric Industry Co Ltd | 光学素子とその製造方法 |
CN101995609A (zh) * | 2010-09-15 | 2011-03-30 | 中国科学院半导体研究所 | 绝缘体上硅的缓变阶梯型波导光栅耦合器及制作方法 |
WO2012144997A1 (en) * | 2011-04-20 | 2012-10-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Sub-wavelength grating-based optical elements |
EP2634605A1 (en) * | 2012-02-29 | 2013-09-04 | Caliopa NV | A diffractive coupling grating for perpendicular coupling |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
FENG ET AL.: "High efficiency compact grating coupler for integrated optical circuits", PROC. OF SPIE, vol. 6351, JPN6018039483, 4 October 2006 (2006-10-04), US, pages 1 - 63511, ISSN: 0003894442 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11079541B2 (en) * | 2016-01-22 | 2021-08-03 | National University Corporation Yokohama National University | Optical deflection device and LIDAR apparatus |
JP2019124712A (ja) * | 2018-01-11 | 2019-07-25 | 富士通株式会社 | グレーティングカプラ及び光送信器 |
JP2021507290A (ja) * | 2018-11-30 | 2021-02-22 | 三菱電機株式会社 | グレーティングカプラシステム及び一体型グレーティングカプラシステム |
JP7026854B1 (ja) * | 2020-12-14 | 2022-02-28 | 三菱電機株式会社 | グレーティングカプラ |
WO2022130442A1 (ja) * | 2020-12-14 | 2022-06-23 | 三菱電機株式会社 | グレーティングカプラ |
JP7187623B1 (ja) | 2021-06-30 | 2022-12-12 | ジュニパー ネットワークス, インコーポレーテッド | エタロン補償を備えた高帯域幅フォトニック集積回路 |
JP2023007264A (ja) * | 2021-06-30 | 2023-01-18 | ジュニパー ネットワークス, インコーポレーテッド | エタロン補償を備えた高帯域幅フォトニック集積回路 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6518434B2 (ja) | 2019-05-22 |
US20150285996A1 (en) | 2015-10-08 |
EP2887110A1 (en) | 2015-06-24 |
US9632248B2 (en) | 2017-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6518434B2 (ja) | 集積フォトニックカプラ | |
CA2619385C (en) | Interface device for performing mode transformation in optical waveguides | |
Asaduzzaman et al. | Multiple layers of silicon–silica (Si–SiO 2) pair onto silicon substrate towards highly efficient, wideband silicon photonic grating coupler | |
CA2728879C (en) | Composite subwavelength-structured waveguide in optical systems | |
US9411106B2 (en) | Polarization-independent grating coupler for silicon on insulator | |
US20200003970A1 (en) | Grating couplers for a silicon on insulator waveguide, and methods of designing, fabricating and using the grating couplers | |
US7123804B2 (en) | Optical control element | |
US20080193079A1 (en) | Interface Device For Performing Mode Transformation in Optical Waveguides | |
He et al. | A high-efficiency nonuniform grating coupler realized with 248-nm optical lithography | |
Benedikovic et al. | Sub-decibel silicon grating couplers based on L-shaped waveguides and engineered subwavelength metamaterials | |
US9764352B2 (en) | Stress-tuned planar lightwave circuit and method therefor | |
EP3296783A1 (en) | Integrated photonics waveguide grating coupler | |
WO2005024469A2 (en) | Interfacing multiple wavelength sources to thin optical waveguides utilizing evanescent coupling | |
JP2015118372A (ja) | 放射線カプラ | |
US9297956B2 (en) | Optical device, optical transmitter, optical receiver, optical transceiver, and method of manufacturing optical device | |
JP6402519B2 (ja) | 光導波路素子 | |
JP2011203604A (ja) | 光学素子とその製造方法 | |
Zhang et al. | High efficiency silicon nitride grating coupler | |
Schmid et al. | Subwavelength grating structures in silicon-on-insulator waveguides | |
WO2019212414A1 (en) | Subwavelength grating coupler for mid-infrared silicon photonics integration | |
US20240053543A1 (en) | High coupling efficiency blazed waveguide grating coupler | |
CA2578541C (en) | Interface device for performing mode transformation in optical waveguides | |
Ong | Photonic Grating Coupler Designs for Optical Benching | |
US11962351B2 (en) | Multilayer photonic devices with metastructured layers | |
Wu et al. | Silicon reflective arrayed waveguide grating with multimode interference reflectors |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181009 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181206 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190326 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190422 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6518434 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |