JP6420159B2 - 形状計測装置および形状計測方法 - Google Patents
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Description
(1)計測対象物体の形状を計測する装置であって、前記計測対象物体に所定の形状の格子パターンを投影するための投影用光を発光する複数の光源と、前記投影用光を通過させて前記格子パターンを形成する格子基板とを有する格子パターン投影部と、前記格子パターンが投影された前記計測対象物体を撮影する撮影部と、撮影された前記計測対象物体の画像に対して位相解析処理を施して前記計測対象物体の形状を求める解析部とを備え、前記複数の光源は、前記格子基板からの距離が異なる複数の位置の各々に少なくとも1つ配置されていることを特徴とする形状計測装置。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明に係る形状計測装置を示している。この図における形状計測装置1は、計測対象物体Oに所定の形状の格子パターンを投影するための投影用光を発光する複数の光源11aと、投影用光を通過させて格子パターンを形成する格子基板11bとを有する格子パターン投影部11と、格子パターンが投影された計測対象物体Oを撮影する撮影部12と、撮影された計測対象物体Oの画像に対して位相解析処理を施して計測対象物体Oの形状を求める解析部13とを備える。ここで、複数の光源11aは、格子基板11bからの距離が異なる複数の位置の各々に少なくとも1つ配置されていることが肝要である。
次に、本発明に係る形状計測方法について説明する。本発明に係る形状計測方法は、上述した本発明に係る形状計測装置1を用いて、格子基板11bからの距離が異なる複数の位置毎に、光源11aを点灯して格子パターンが投影された計測対象物体Oを撮影し、次いで撮影された計測対象物体Oの画像に対して位相解析処理を施して位相分布を求め、複数の位置毎に得られた位相分布に基づいて計測対象物体の形状を求める。これにより、高速かつ高精度に、さらには広い計測範囲で計測対象物体の形状を計測することができる。
以下、本発明の実施例について説明する。
図15に示すような本発明に係る形状計測装置を作製した。この装置は、線状のLEDデバイスを用いた光源および格子基板としての投影格子パネルで構成される格子パターン投影部と、CMOSカメラからなる撮影部とを備えている。また、図には示されていないが、解析部としてのPCも備えている。格子パターン投影部の側面図を図16に示す。線状LEDデバイスは、線状LEDが0.42mm間隔で5列配置されており、任意の1列を点灯することができるように構成されている。これにより、5回の位相シフトが可能となっている。
図17にキャリブレーションの様子を示す。基準面は、その法線がz方向を向き、z軸方向に平行移動するようにステージ上に取り付けられている。ステージによって、基準面の位置をz0=0mmからzN-1=70mmまで、0.2mmずつ移動させた。
11 格子パターン投影部
11a 光源
11b 格子基板
11c 光源基板
11d 部材
12 撮影部
13 解析部
Claims (5)
- 計測対象物体の形状を計測する装置であって、
前記計測対象物体に所定の形状の格子パターンを投影するための投影用光を発光する複数の光源と、前記投影用光を通過させて前記格子パターンを形成する格子基板とを有する格子パターン投影部と、
前記格子パターンが投影された前記計測対象物体を撮影する撮影部と、
撮影された前記計測対象物体の画像に対して位相解析処理を施して前記計測対象物体の形状を求める解析部と、
を備え、
前記複数の光源は、前記格子基板からの距離が異なる複数の位置の各々に少なくとも1つ配置されていることを特徴とする形状計測装置。 - 前記複数の位置の各々に3つ以上の光源が配置されている、請求項1に記載の形状計測装置。
- 前記複数の光源から発光される光の波長は前記複数の位置毎に異なる、請求項1または2に記載の形状計測装置。
- 前記光源は線状光源である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の形状計測装置。
- 請求項1〜4に記載された形状計測装置を用いて、前記格子基板からの距離が異なる複数の位置毎に、前記光源を点灯して前記格子パターンが投影された計測対象物体を撮影し、次いで撮影された前記計測対象物体の画像に対して位相解析処理を施して位相分布を求め、前記複数の位置毎に得られた位相分布に基づいて前記計測対象物体の形状を求めることを特徴とする形状計測方法。
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