JP6419369B1 - シリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法と判別装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)4探針プローブのうちの4探針法によるシート抵抗測定値と、2探針による探針間抵抗測定値との双方により拡散層の有無の判別を行うので、拡散層の有無を正確に判別でき、拡散層の形成されていないベアウェハーが次工程に混入されるのを防ぐことができる。
(2)4探針プローブを使用した場合は、試料の多点位置における拡散層の判別を容易にかつ迅速に行うことができる。
(3)2探針法による探針間抵抗測定値のみに基づいて拡散層の有無の判別を行う場合も、ベアウェハーの抵抗値と重ならない探針間抵抗値のみを測定することができるので、拡散層の有無を正確に判別でき、拡散層の形成されていないベアウェハーが次工程に混入されるのを防ぐことができる。
(1)4探針プローブと、4探針プローブを4探針と2探針とに切替え可能な切替ユニットを備えているので、一つの4探針プローブで4探針法によるシート抵抗測定と、2探針法による探針間抵抗測定の双方を行って、拡散層の有無を正確に判別することができる。
(2)2探針で探針間抵抗を測定できるので、ベアウェハーの抵抗値と重ならない探針間抵抗値のみを測定して、拡散層の有無を正確に判別することができる。
(3)切替ユニットと、制御/データ処理ユニットと、測定ステージ駆動機構をも設けた場合は、試料を測定ステージにセットして、測定装置をスタートさせれば、拡散層の判定を全自動で行うことができる。
シリコン結晶型太陽電池のベアウェハーと拡散ウェハーの構成は図2のとおりである。通常、シリコン結晶型太陽電池の拡散層とベアウェハーのシート抵抗分布は図3のようになっている。
オーミック接触状態の探針と試料間の接触抵抗(Rc)は、図9に示すように探針と試料の接触直径(D)、試料の抵抗率(ρ)により次式で計算される。
探針と試料の接触が直径10μm(0.001cm)とすると
オーミック接触状態の2探針間の試料の抵抗(試料間抵抗:R12)は、図10に示すように探針と試料の接触直径(D)、探針間隔(S)試料のシート抵抗(ρs)、シート抵抗補正係数(F)により次式で計算される。
2探針間の試料の抵抗とシート抵抗補正係数(F)は、次式により計算される。
探針と試料の接触が直径10μm(0.001cm)、探針間隔が3mm(0.3cm)とすると
本発明のシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法の他例を以下に説明する。この判別方法は、2探針を試料に接触させて2探針法により2探針間の探針間抵抗を測定し、その測定抵抗値に基づいて拡散層が形成されているか否かを判別する方法である。この場合、2探針プローブを使用することができるが、4探針プローブのうちの2探針を使用して、探針間抵抗を測定することもできる。2探針法による測定抵抗は表2のようになるため、ベアウェハーとの判別が可能である。
本発明のシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別装置の一例を図1に基づいて説明する。図1の抵抗測定装置は、試料1を載せる測定ステージ3、測定ステージ駆動機構5、4探針プローブ2、プローブ駆動機構4、4探針/2探針切替ユニット6、抵抗測定ユニット7、制御/データ処理ユニット8を備えている。4探針プローブには汎用の4探針プローブを、プローブ駆動機構には汎用のプローブ駆動機構を使用することができる。
1.測定ステージ3の上に試料1を載せる。
2.4探針プローブ2をプローブ駆動機構4により、測定ステージ3を測定ステージ駆動機構5により駆動して、4探針プローブ2の探針を試料1の拡散層の測定位置に押し付けて接触させる。この場合、試料1の拡散層のシート抵抗を測定する場合は、4探針/2探針切替ユニット6により4探針プローブ2の4探針を選択して試料1に接触させ、試料1の探針間抵抗を測定する場合は、4探針/2探針切替ユニット6により4探針プローブ2のうちの2探針を選択して試料1に接触させる。接触させた探針は4探針/2探針切替ユニット6を経由して抵抗測定ユニット7に接続される。
3.4探針を試料1に接触させたときは拡散層のシート抵抗が抵抗測定ユニット7により測定され、2探針を試料1に接触させたときは拡散層の探針間抵抗が抵抗測定ユニット7により測定される。
4.測定ステージ3、プローブ駆動機構4、測定ステージ駆動機構5、4探針/2探針切替ユニット6、抵抗測定ユニット7の動作の制御及び測定結果による拡散層の判別、シート抵抗補正計算などのデータ処理等は制御/データ処理ユニット8により実行される。このデータ処理は前記した抵抗測定方法に記載した方法に則して実行される。
本発明のシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別装置の実施形態2は、基本的には図1の判別装置と同じであるが、4探針プローブを2探針プローブとした場合である。この場合、図1の4探針/2探針切替ユニット6は不要である。この判別装置では2探針プローブの2探針を試料に接触させて、抵抗測定ユニット7により両探針間の探針間抵抗を測定し、その測定値を制御/データ処理ユニット8により処理して、拡散層の有無を判別することになる。この場合使用するのは2探針であるが、プローブとしては4探針プローブを用意してもよく、その4探針のうちの2探針のみを使用して抵抗測定するようにしてもよい。
2 4探針プローブ
3 測定ステージ
4 プローブ駆動機構
5 測定ステージ駆動機構
6 4探針/2探針切替ユニット
7 抵抗測定ユニット
8 制御/データ処理ユニット
Claims (4)
- シリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法において、
前記拡散層は、前記ウェハーの表面において、前記ウェハーと逆導電型の高不純物濃度で形成されており、探針とオーミック接触が得られ、
4探針プローブの4探針を試料の拡散層に接触させて拡散層のシート抵抗を測定し、
前記4探針プローブの4探針のうちの2探針を試料の拡散層に切替えて接触させ、その2探針間の探針間抵抗を2探針法により測定し、前記両測定抵抗値に基づいて拡散層が形成されているか否かを、前記拡散層が形成されている場合と前記拡散層が形成されていない場合とで、前記2探針間の探針間抵抗が重ならないことを利用して、判別する、
ことを特徴とするシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法。 - シリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法において、
前記拡散層は、前記ウェハーの表面において、前記ウェハーと逆導電型の高不純物濃度で形成されており、探針とオーミック接触が得られ、
4探針プローブの2探針又は2探針プローブの2探針を試料の拡散層に接触させて、2探針間の探針間抵抗を2探針法により測定し、その測定抵抗値に基づいて拡散層が形成されているか否かを、前記拡散層が形成されている場合と前記拡散層が形成されていない場合とで、前記2探針間の探針間抵抗が重ならないことを利用して、判別する、
ことを特徴とするシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別方法。 - シリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層の有無の判別に使用できる判別装置であり、
前記拡散層は、前記ウェハーの表面において、前記ウェハーと逆導電型の高不純物濃度で形成されており、探針とオーミック接触が得られ、
4探針プローブと、4探針プローブの4探針のうち試料の拡散層に接触させる探針を4探針と2探針に切替え可能な切替ユニットと、プローブ駆動機構と、抵抗測定ユニットと、測定ステージ駆動機構と、制御/データ処理ユニットを備え、
抵抗測定ユニットは試料の拡散層に接触させた4探針プローブの4探針によりシート抵抗を測定可能であり、試料の拡散層に接触させた4探針プローブの2探針により探針間抵抗を測定可能であり、
制御/データ処理ユニットは駆動機構や他の機構の制御、測定した両抵抗値に基づく拡散層の有無の判別を、前記拡散層が形成されている場合と前記拡散層が形成されていない場合とで、前記2探針間の探針間抵抗が重ならないことを利用して、行うことができる、
ことを特徴とするシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別装置。 - シリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層の有無の判別に使用できる判別装置であり、
前記拡散層は、前記ウェハーの表面において、前記ウェハーと逆導電型の高不純物濃度で形成されており、探針とオーミック接触が得られ、
4探針プローブ又は2探針プローブと、プローブ駆動機構と、抵抗測定ユニットと、制御/データ処理ユニットを備え、
抵抗測定ユニットは試料の拡散層に接触させた、4探針プローブの2探針又は2探針プローブの2探針により探針間抵抗を測定可能であり、
制御/データ処理ユニットは駆動機構や他の機構の制御、測定した探針間抵抗値に基づく拡散層の有無の判別を、前記拡散層が形成されている場合と前記拡散層が形成されていない場合とで、前記2探針間の探針間抵抗が重ならないことを利用して、行うことができる、
ことを特徴とするシリコン結晶型太陽電池ウェハーの拡散層判別装置。
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