JP6292166B2 - 半導体基板の評価方法 - Google Patents
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Description
さらに、特許文献1の図4に示されているように、電流密度(電流値を接合面積で除したもの)と空乏層幅とのプロットを行う方法が知られている。特許文献1では空乏層幅をC−V法にて求めることが記載されており、C−V特性から求めた空乏層幅と電流密度をプロットすることが述べられている。しかしイオン注入のように不純物濃度のプロファイルが変化する場合は空乏層幅への換算の際に、どのようにプロファイルを扱うか困難が伴うことがある。また、このプロットの傾き(勾配)からリーク電流の発生成分(発生電流成分)を求め、発生キャリアのライフタイムを求めることができるとされているが、特許文献1では発生成分には変化が見られていない。
前記半導体基板の表面近傍にPN接合を形成する工程と、
前記PN接合に逆方向電圧(V)を大きさを変化させながら印加し、その時の逆方向電流を50℃未満の温度で測定する工程と、
前記逆方向電圧の平方根(sqrt(V))と前記逆方向電流の関係を表すグラフにおける勾配を算出する工程と、
該算出される勾配から前記半導体基板のリーク電流特性を評価解析する工程を有することを特徴とする半導体基板の評価方法を提供する。
このような温度範囲であれば、リーク電流は主に発生電流になり、発生電流成分に限定したデータの取得と評価解析が可能となり、さらに一般的なリーク電流測定装置を用いることができる。
このように、評価対象の半導体基板をシリコンウェーハとすることで、CCD、CMOSセンサ等の固体撮像素子用の高品質なシリコンウェーハのリーク電流特性を高い分解能で評価することができる。
上記のように、固体撮像素子等用の高品質ウェーハにおいて、半導体基板のリーク電流特性を従来よりも高い分解能で評価することができ、評価対象のウェーハ間の高精度な比較が可能となる半導体基板の評価方法が求められている。
前記半導体基板の表面近傍にPN接合を形成する工程と、
前記PN接合に逆方向電圧(V)を大きさを変化させながら印加し、その時の逆方向電流を50℃未満の温度で測定する工程と、
前記逆方向電圧の平方根(sqrt(V))と前記逆方向電流の関係を表すグラフにおける勾配を算出する工程と、
該算出される勾配から前記半導体基板のリーク電流特性を評価解析する工程を有することを特徴とする半導体基板の評価方法が、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
このように、I/(sqrt(V))プロットを行うことで、特許文献1のように空乏層換算を行わなくても、I/(sqrt(V))プロットの勾配から近似的に発生ライフタイムを求めることが可能になる。
図3は、本発明の半導体基板の評価方法の工程フローを示す図である。本発明の半導体基板の評価方法では、まず、評価対象の半導体基板の表面近傍にPN接合を形成する(A工程)。PN接合の形成方法は特に限定されないが、例えば、p型のシリコン基板の表面にフォトレジスト等からなる開口部を形成し、P(リン)等のn型不純物をイオン注入して開口部に拡散層を形成すると、n型の拡散層とp型のシリコン基板の間(界面)にPN接合を形成することができる。
まず、シリコンウェーハに図4に示すPN接合を含む半導体装置を以下のようにして作製した。
抵抗率10Ω・cmのボロンドープの直径200mmのシリコンウェーハを材料として、これにパイロジェニック雰囲気、1000℃、90分の処理で厚さ200nmの酸化膜を形成した。この後、フォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィー工程を実施した。フォトレジストはネガレジストを選択した。マスクには各種面積の開口部を準備しておき、接合リークの面積依存性が測定できるように工夫した。また同一面積で周辺長を変えたものも準備した。
実施例において取得したリーク電流のデータを用いて、従来のI/Vプロット図を作成して、図6に示した。図6は横軸に逆方向印加電圧Vj、縦軸にリーク電流を取り、両軸とも対数で表したグラフである(logI/log(V)プロット)。
5…接合拡散層、 6…チャネルストップ。
Claims (3)
- 半導体基板の表面近傍の電気的特性を評価するための半導体基板の評価方法であって、
前記半導体基板の表面近傍にPN接合を形成する工程と、
前記PN接合に逆方向電圧(V)を大きさを変化させながら印加し、その時の逆方向電流を50℃未満の温度で測定する工程と、
前記逆方向電圧の平方根(sqrt(V))と前記逆方向電流の関係を表すグラフにおける勾配を算出する工程と、
該算出される勾配から前記半導体基板のリーク電流特性を評価解析する工程を有することを特徴とする半導体基板の評価方法。 - 前記測定する温度を20℃以上40℃以下の範囲とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の評価方法。
- 前記半導体基板をシリコンウェーハとすることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体基板の評価方法。
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