JP6415331B2 - 精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法 - Google Patents

Description

本発明は検出技術に関し、精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法に関する。

製薬用水及び注射用水などの精製水は、微生物に対する処置基準値が薬局方で定められている。例えば、注射用水に対する生菌数の処置基準としては、１０ＣＦＵ／１００ｍＬが適正とされている。精製水は、例えば、限外ろ過法、逆浸透膜法、及び精密ろ過膜法等を用いる精製水製造装置で製造される（例えば、特許文献１参照。）。精製水製造装置においては、微生物がバイオフィルムを形成し、ろ過膜を目詰まりさせる等のバイオファウリングが発生しうる（例えば、特許文献２ないし６参照。）。これに対し、特許文献７は、バイオフィルムが形成されうる透明な基板に光を透過させ、バイオフィルムの形成に伴う光の透過率の低下を測定することにより、バイオファウリング発生リスクを評価する方法を提案している。

特開２００３−２６０４６３号公報 特開２００７−１９８８６９号公報 特開２０１１−２５５３０１号公報 特開２０１４−１８１９６３号公報 国際公開第２００８／０３８５７５号 国際公開第２０１４／０５８０４１号 特開２００８−１０７３３０号公報

しかし、特許文献７で提案された方法では、厚みのあるバイオフィルムが形成されない限り、光の透過率が低下しない。そのため、特許文献７で提案された方法では、精製水製造装置内で発生した微量の微生物を検出することによってバイオフィルムの形成を予測することや、形成初期段階のバイオフィルムを検出することが困難である。また、一度形成されたバイオフィルムを除去することは困難である。

そこで、本発明は、微生物の発生を早期に検出可能な精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法を提供することを目的の一つとする。

本発明の態様によれば、（ａ）精製水製造装置で製造中又は製造された水が流れる検査パイプと、（ｂ）検査パイプ内に配置された、表面に微生物が付着しうる検査部材と、（ｃ）検査パイプを流れた水に励起光を照射し、微生物における自家蛍光を検出して、水に含まれる微生物を検出する検出装置と、（ｄ）微生物を検出した場合、精製水製造装置において微生物が発生していると判定する判定部と、を備える、精製水製造装置の監視システムが提供される。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視システムにおいて、検出装置が検出する微生物が、検査部材から脱離した微生物を含んでいてもよい。検査部材の表面が、微生物がバイオフィルムを形成しうる表面であってもよい。微生物を検出した場合、判定部が、精製水製造装置においてバイオフィルムが形成されていると判定してもよい。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視システムにおいて、検査部材が、精製水製造装置が備えるろ過膜と同じろ過膜であってもよい。あるいは、検査部材が基板であってもよい。また、検査部材の材料が、精製水製造装置が備えるろ過膜、パイプ、又は部品の材料を含んでいてもよい。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視システムは、励起光を照射された後の水の流路に設けられた、微生物を捕捉する微生物フィルタを更に備えていてもよい。

また、本発明の態様によれば、（ａ）表面に微生物が付着しうる検査部材が内部に配置された検査パイプに精製水製造装置で製造中又は製造された水を流すことと、（ｂ）検査パイプを流れた水に励起光を照射し、微生物における自家蛍光を検出して、水に含まれる微生物を検出することと、（ｃ）微生物を検出した場合、精製水製造装置において微生物が発生していると判定することと、を含む、精製水製造装置の監視方法が提供される。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視方法において、検出される微生物が、検査部材から脱離した微生物を含んでいてもよい。検査部材の表面が、微生物がバイオフィルムを形成しうる表面であってもよい。微生物を検出した場合、精製水製造装置においてバイオフィルムが形成されていると判定してもよい。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視方法において、検査部材が、精製水製造装置が備えるろ過膜と同じろ過膜であってもよい。あるいは、検査部材が基板であってもよい。また、検査部材の材料が、精製水製造装置が備えるろ過膜、パイプ、又は部品の材料を含んでいてもよい。

本発明の態様に係る精製水製造装置の監視方法は、励起光を照射された後の水の流路に設けられた微生物フィルタで微生物を捕捉することを更に含んでいてもよい。また、本発明の態様に係る精製水製造装置の監視方法は、微生物フィルタで捕捉された微生物を培養することを更に含んでいてもよい。

本発明によれば、微生物の発生を早期に検出可能な精製水製造装置の監視システム及び精製水製造装置の監視方法を提供可能である。

本発明の第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムが備える検査パイプと検査部材の模式図である。 本発明の第１の実施の形態に係るバイオフィルムの明視野顕微鏡写真である。 本発明の第１の実施の形態に係るＤＡＰＩ染色されたバイオフィルムの顕微鏡写真である。 本発明の第１の実施の形態に係る蛍光標識されたレクチンとインキュベートされたバイオフィルムの顕微鏡写真である。 本発明の第１の実施の形態に係るバイオフィルムの走査型電子顕微鏡写真である。 本発明の第１の実施の形態に係るバイオフィルムの走査型電子顕微鏡写真である。 本発明の第１の実施の形態に係る検出装置の模式図である。 本発明の第２の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の第３の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の第４の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の第５の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の第６の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムの模式図である。 本発明の実施例に係る計測結果を示すグラフである。 本発明の実施例に係る計測結果を示すグラフである。

以下に本発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号で表している。但し、図面は模式的なものである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を照らし合わせて判断するべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。

（第１の実施の形態）
本発明の第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムは、図１及び図２に示すように、精製水製造装置１００で製造中又は製造された水が流れる検査パイプ２と、検査パイプ２内に配置された、表面に細菌等の微生物が付着しうる検査部材５と、検査パイプ２を流れた水に励起光を照射し、微生物における自家蛍光を検出して、水に含まれる微生物を検出する検出装置２００と、微生物を検出した場合、精製水製造装置１００において微生物が発生していると判定する判定部３０１と、を備える。例えば、判定部３０１は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）３００に含まれる。

精製水製造装置１００で製造される精製水は、例えば、純水、製薬用水、及び注射用水等であるが、これらに限定されない。精製水製造装置１００は、例えば、限外ろ過膜、逆浸透膜、あるいは精密ろ過膜等のろ過膜を備える。精製水製造装置１００で製造中又は製造された水は、メインパイプ１を流れる。メインパイプ１に、サンプリングポート３を介して支流となる検査パイプ２が接続されている。これにより、メインパイプ１を流れている水の一部が、支流である検査パイプ２に流れ込む。

検査部材５は、精製水製造装置１００内で発生しうる微生物と同様の微生物を検査パイプ２中でも発生させるための部材である。検査部材５は、例えば、精製水製造装置１００が備えるろ過膜と同じろ過膜である。あるいは、検査部材５は、精製水製造装置１００が備えるろ過膜、パイプ、及び部品等のいずれかの材料と同じ材料を含む基板である。このような材料としては、セルロース混合エステル、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、ポリエーテルサルフォン、フッ素樹脂、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、オレフィン、ポリカーボネート、ポリウレタン、シリコン樹脂、ポリアミド、ポリフェニレンスルファイド（ＰＰＳ）等の樹脂；シリコンゴム、ニトリルゴム（ＮＢＲ）、エチレンプロピレンゴム（ＥＰＤＭ）、及びフッ素ゴム等のゴム；ステンレス鋼等の金属；及びケイ酸塩ガラス等が挙げられる。また、例えば、検査部材５の表面状態は、精製水製造装置１００が備えるろ過膜、パイプ、及び部品等のいずれかの表面状態と同じであってもよい。

精製水製造装置１００内でバイオフィルムが微生物によって形成されると、同様の状態のバイオフィルムが検査部材５上でも形成されうる。バイオフィルムとは、微生物により形成される構造体である。部材に微生物が付着し始めると、微生物は定着と脱離を繰り返しながら、部材上で徐々に増殖して生息数を増やす。さらに、微生物は細胞外多糖（ＥＰＳ：Ｅｘｔｒａｃｅｌｌｕｌａｒ ＰｏｌｙＳａｃｃｈａｒｉｄｅ）を分泌して部材上にコロニーを形成し、バイオフィルムを形成する。コロニーが巨大化するとバイオフィルムの厚みは増す。コロニー内部が過密になると、コロニーは崩壊し、崩壊したコロニーから微生物が放出される。

図３は、バイオフィルムの明視野顕微鏡写真であり、図４は、ＤＡＰＩ（ジアミジノフェニルインドール（ジヒドロクロライド））染色されたバイオフィルムの顕微鏡写真である。図３及び図４の顕微鏡写真から、バイオフィルムにおける細菌の凝集が確認される。図５は、蛍光標識されたレクチンとインキュベートされたバイオフィルムの顕微鏡写真である。レクチンは糖鎖と結合することから、バイオフィルムにおける細胞外多糖の存在が確認される。

図６及び図７は、バイオフィルムの走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）写真である。図６及び図７の顕微鏡写真からも、バイオフィルムにおける細菌の凝集が確認される。また、凝集の密な部分において、細菌が盛り上がっていることが確認される。

図１に示す精製水製造装置１００内でバイオフィルムが形成されると、ろ過膜の目詰まり等のバイオファウリングの原因となりうる。

検査パイプ２の下流に設けられた検出装置２００は、例えば図８に示すように、水に励起光を照射する光源１０と、励起光を照射された領域で生じる微生物の自家蛍光を含む蛍光帯域の光の強度を測定する蛍光測定器１０２と、励起光を照射された領域で生じる散乱光を測定する散乱光測定器１０５と、を備える。光源１０、蛍光測定器１０２及び散乱光測定器１０５は、ＣＰＵ３００に電気的に接続されている。

光源１０と、蛍光測定器１０２と、散乱光測定器１０５と、は、筐体３０に設けられている。光源１０には、光源１０に電力を供給する光源駆動電源１１が接続されている。光源駆動電源１１には、光源１０に供給される電力を制御する電源制御装置１２が接続されている。図１及び図２に示した検査パイプ２から取りこんだ、精製水製造装置１００で製造中の水、あるいは精製水製造装置１００で製造された水は、図８に示す透明なセル４０の中を流れる。セル４０を流れた水は、例えば、図１に示す排水パイプ４に排出される。

図８に示す光源１０は、セル４０の中の水流に向けて、例えば広帯域波長の励起光を照射する。光源１０としては、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）及びレーザが使用可能である。励起光の波長は、例えば２５０ないし５５０ｎｍである。励起光は、可視光であっても、紫外光であってもよい。励起光が可視光である場合、励起光の波長は、例えば４００ないし５５０ｎｍの範囲内であり、例えば４０５ｎｍである。励起光が紫外光である場合、励起光の波長は、例えば３００ないし３８０ｎｍの範囲内であり、例えば３４０ｎｍである。ただし、励起光の波長は、これらに限定されない。

セル４０の中の水流に、検査部材５から脱離して浮遊した微生物が含まれる場合、励起光を照射された微生物に含まれるニコチンアミドアデニンジヌクレオチド及びリボフラビン等が、自家蛍光を発する。また、励起光を照射された粒子状の微生物において、散乱光が生じる。

微生物が発する自家蛍光の波長及び強度は、微生物の種類によって異なる。また、微生物で生じる散乱光の強度は、微生物の粒径に依存する。微生物の粒径は、微生物の種類毎に異なる。そのため、検出した蛍光の波長及び強度、並びに散乱光の強度から、水に含まれていた微生物の種類を特定することが可能である。

蛍光測定器１０２は、微生物が発する自家蛍光等の蛍光帯域の光を検出する。蛍光測定器１０２は、蛍光帯域の光を受光する蛍光受光素子２０を備える。蛍光受光素子２０としては、フォトダイオード及び光電管等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換する。蛍光帯域の光を受光する蛍光受光素子２０は、単一の微生物が発する自家蛍光を検出可能である。

蛍光受光素子２０には、蛍光受光素子２０で生じた電流を増幅する増幅器２１が接続されている。増幅器２１には、増幅器２１に電力を供給する増幅器電源２２が接続されている。また、増幅器２１には、増幅器２１で増幅された電流を受け取り、蛍光受光素子２０が受光した光の強度を算出する光強度算出装置２３が接続されている。光強度算出装置２３には、光強度算出装置２３が算出した光の強度を保存する光強度記憶装置２４が接続されている。

蛍光測定器１０２は、例えば、連続的に蛍光の測定を続け、検出した蛍光の強度の記録を続ける。

散乱光測定器１０５は、励起光を照射された微生物で生じる散乱光を検出する。散乱光測定器１０５は、散乱光を受光する散乱光受光素子５０を備える。散乱光受光素子５０としては、フォトダイオード等が使用可能であり、光を受光すると、光エネルギーを電気エネルギーに変換する。散乱光を受光する散乱光受光素子５０は、単一の微生物で発生する散乱光を検出可能である。

散乱光受光素子５０には、散乱光受光素子５０で生じた電流を増幅する増幅器５１が接続されている。増幅器５１には、増幅器５１に電力を供給する増幅器電源５２が接続されている。また、増幅器５１には、増幅器５１で増幅された電流を受け取り、散乱光受光素子５０が受光した散乱光の強度を算出する光強度算出装置５３が接続されている。光強度算出装置５３には、光強度算出装置５３が算出した散乱光の強度を保存する光強度記憶装置５４が接続されている。

散乱光測定器１０５は、例えば、連続的に散乱光の測定を続け、検出した散乱光の強度の記録を続ける。

ＣＰＵ３００に含まれる判定部３０１は、例えば、蛍光測定器１０２が蛍光を検出し、散乱光測定器１０５が散乱光を検出したときに、精製水製造装置１００において微生物が発生していると判定する。例えば、精製水製造装置１００の稼働後初めて、あるいは精製水製造装置１００の清掃後初めて微生物を検出した場合、精製水製造装置１００内においてバイオフィルムの形成がその後開始されうる、あるいは初期状態のバイオフィルムが形成されたと判定してもよい。また、判定部３０１は、検出された微生物が増加した場合、精製水製造装置１００内において微生物が増殖し、バイオフィルムが成長していると判定してもよい。

判定部３０１は、所定の期間における、又は水の所定の体積あたりの散乱光ないしは蛍光の検出回数に基づき、水に含まれる微生物の数及び濃度を計測してもよい。また、例えば、検査パイプ２を流れる所定の体積の水に含まれる微生物の数と、メインパイプ１を流れる水の流量と検査パイプ２を流れる水の流量の流量比と、から、メインパイプ１を流れる所定の体積の水に含まれる微生物の数を特定してもよい。メインパイプ１及び検査パイプ２のそれぞれを流れる水の流量は、流量計によって計測可能である。

判定部３０１は、検出された微生物の一時的な数あるいは一時的な濃度が所定の基準値を超えた場合に警告を発してもよい。あるいは、判定部３０１は、検出された微生物の積算数あるいは積算濃度が所定の基準値を超えた場合に警告を発してもよい。基準値は、バイオフィルムの形成状態にあわせて事前に設定してもよい。

ＣＰＵ３００には、判定基準記憶装置３５１が接続されている。判定基準記憶装置３５１は、例えば、微生物について、それよりも多くの数が水に含まれていると警報を発すべき所定の基準値を保存する。なお、判定基準記憶装置３５１は、微生物の数に関する所定の基準値を複数保存していてもよい。例えば、精製水製造装置１００に殺菌剤や溶解剤を流す程度で対処できる所定の基準値と、精製水製造装置１００が備えるフィルタを交換する必要がある所定の基準値と、を、判定基準記憶装置３５１は保存していてもよい。

ＣＰＵ３００には、判定部３０１の判定結果を出力する出力装置４０１が接続されている。出力装置４０１としては、ディスプレイ、スピーカ、及びプリンタ等が使用可能である。

以上説明した第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムによれば、精製水製造装置１００において微生物が発生しているか否かをリアルタイムに監視することが可能となる。また、第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムは、単一の微生物を検出可能であるため、精製水製造装置１００においてバイオフィルムが実際に形成される前に、バイオフィルムの形成を予測することも可能である。さらに、第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムは、単一の微生物を検出可能であるため、精製水製造装置１００において初期段間のバイオフィルムが形成されていることを推測することも可能である。

さらに、第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムは、検出した微生物の数、濃度、及びそれらの増減から、精製水製造装置１００において形成されているバイオフィルムの状態を推測することも可能である。

第１の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムによって、精製水製造装置１００において微生物が発生していると判定された場合、例えば、殺菌剤や溶解剤を精製水製造装置１００に流して微生物を除去してもよい（例えば、国際公開第２００８／０３８５７５号参照。）。あるいは、精製水製造装置１００が備えるろ過膜等を交換してもよい。

（第２の実施の形態）
第２の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムにおいては、図９に示すように、励起光を照射された後の水の流路である排水パイプ４に、微生物を捕捉可能な微生物フィルタ２０１が設けられている。微生物フィルタ２０１で捕捉された微生物を培養して、目視、あるいは蛍光顕微鏡や走査型電子顕微鏡で観察することによって、精製水製造装置の監視システムが検出した微生物の種類及び数を検証することが可能である。

細菌微生物を培養する際の培地としては、トリプトソイ寒天（ＴＳＡ）培地、Ｒ２Ａ培地、及び標準寒天培地等が使用可能である。細菌微生物は、例えば、３２℃で７日間培養される。真菌微生物を培養する際の培地としては、バレイショ−ブドウ糖寒天（ＰＤＡ）培地、及びサブロー寒天培地等が使用可能である。真菌微生物は、例えば、２５℃で７日間培養される。微生物を培養する際には、微生物を捕捉している微生物フィルタ２０１を培地に接触させてもよいし、微生物フィルタ２０１から微生物を捕集して、捕集した微生物を培地にいれてもよい。

（第３の実施の形態）
第３の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムにおいては、図１０に示すように、排水パイプ４をバイパスする排水パイプ１４が設けられている。排水パイプ１４には、微生物を捕捉可能な微生物フィルタ２０１と、吸引ポンプ２０３と、が設けられている。例えば、吸引ポンプ２０３は、ＣＰＵ３００に電気的に接続されている。

第３の実施の形態において、ＣＰＵ３００は、制御部３０２をさらに備える。判定部３０１が水に微生物が含まれていると判定すると、制御部３０２は、吸引ポンプ２０３を駆動して、励起光を照射された後の水を排水パイプ１４に誘導する。これにより、水中の微生物が、排水パイプ１４に設けられた微生物フィルタ２０１に捕捉される。捕捉された微生物を観察することにより、精製水製造装置の監視システムが検出した微生物の種類及び数を検証することが可能である。

なお、排水パイプ４から排水パイプ１４に向けて常に水圧が加わっている場合は、排水パイプ１４に、吸引ポンプ２０３の代わりに、電磁弁等の弁を配置してもよい。この場合、判定部３０１が水に微生物が含まれていると判定すると、制御部３０２は、弁を開いて、励起光を照射された後の水を排水パイプ１４に誘導する。

（第４の実施の形態）
第４の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムにおいては、図１１に示すように、排水パイプ１４に、吸引ポンプ２０３と、廃液タンク２１３と、が設けられている。ＣＰＵ３００の判定部３０１が水に微生物が含まれていると判定すると、制御部３０２は、吸引ポンプ２０３を駆動して、励起光を照射された後の水を排水パイプ１４に誘導する。これにより、微生物を含む水が、廃液タンク２１３に貯められる。廃液タンク２１３に貯められた水中の微生物を観察することにより、精製水製造装置の監視システムが検出した微生物の種類及び数を検証することが可能である。

（第５の実施の形態）
第５の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムにおいては、図１２に示すように、排水パイプ４と排水パイプ１４とが分岐する箇所に、バルブ２０５が設けられている。例えば、バルブ２０５は、ＣＰＵ３００に電気的に接続されている。排水パイプ１４には、微生物を捕捉可能な微生物フィルタ２０１が設けられている。

ＣＰＵ３００の判定部３０１が水に微生物が含まれていると判定すると、制御部３０２は、バルブ２０５を駆動して、励起光を照射された後の水を排水パイプ１４に誘導する。これにより、水中の微生物が、微生物フィルタ２０１に捕捉される。捕捉された微生物を観察することにより、精製水製造装置の監視システムが検出した微生物の種類及び数を検証することが可能である。

（第６の実施の形態）
第６の実施の形態に係る精製水製造装置の監視システムにおいては、図１３に示すように、排水パイプ１４に廃液タンク２１５が設けられている。ＣＰＵ３００の判定部３０１が水に微生物が含まれていると判定すると、制御部３０２は、バルブ２０５を駆動して、励起光を照射された後の水を排水パイプ１４に誘導する。これにより、微生物を含む水が、廃液タンク２１５に貯められる。廃液タンク２１５に貯められた水中の微生物を観察することにより、精製水製造装置の監視システムが検出した微生物の種類及び数を検証することが可能である。

無菌水等の配管に用いられるステンレスパイプと同じ材料からなる清浄な基板を、超純水の配管内に配置し、当該配管を検査パイプとした。検査パイプの下流において流路を３方向に分け、第１の流路では、実施例として、第１の実施の形態に係る検出装置で１分毎に１ｍＬあたりの蛍光粒子数を計測した。第２の流路では、比較例として、６分毎に超純水をサンプリングし、サンプリングした純水を培養液に滴下して培養して生菌数（ＣＦＵ）を計測した。第３の流路では、比較例として、２分毎に超純水をサンプリングし、全有機炭素（ＴＯＣ）を計測した。計測結果を図１４に示す。

次に、無菌水等の配管に用いられるステンレスパイプと同じ材料からなる基板上に、バイオフィルムを形成させた。その後、バイオフィルムが形成された基板を、超純水の配管内に配置し、当該配管を検査パイプとした。検査パイプの下流において流路を３方向に分け、第１の流路では、実施例として、第１の実施の形態に係る検出装置で１分毎に１ｍＬあたりの蛍光粒子数を計測した。第２の流路では、比較例として、６分毎に超純水をサンプリングし、サンプリングした純水を培養液に滴下して培養してＣＦＵを計測した。第３の流路では、比較例として、２分毎に超純水をサンプリングし、ＴＯＣを計測した。計測結果を図１５に示す。

図１５に示すように、実施例においては、リアルタイムに自家蛍光を発する微生物が検出された。しかし、培養法においては、生菌が検出されない場合があった。また、バイオフィルムが形成された場合と、形成されていない場合との間において、ＴＯＣに差異は認められなかった。

以下に限定されないが、本発明は、医薬用精製水、食品用精製水、飲料用精製水、及び半導体装置製造用精製水の製造現場等で利用可能である。

１ メインパイプ
２ 検査パイプ
３ サンプリングポート
４、１４ 排水パイプ
５ 検査部材
１０ 光源
１１ 光源駆動電源
１２ 電源制御装置
２０ 蛍光受光素子
２１ 増幅器
２２ 増幅器電源
２３ 光強度算出装置
２４ 光強度記憶装置
３０ 筐体
４０ セル
５０ 散乱光受光素子
５１ 増幅器
５２ 増幅器電源
５３ 光強度算出装置
５４ 光強度記憶装置
１００ 精製水製造装置
１０２ 蛍光測定器
１０５ 散乱光測定器
２００ 検出装置
２０１ 微生物フィルタ
２０３ 吸引ポンプ
２０５ バルブ
２１３、２１５ 廃液タンク
３００ 中央演算処理装置
３０１ 判定部
３０２ 制御部
３５１ 判定基準記憶装置
４０１ 出力装置

Claims (19)

1. 精製水製造装置で製造中又は製造された水が流れる検査パイプと、
   前記検査パイプ内に配置された、表面に微生物が付着しうる検査部材と、
   前記検査パイプを流れた水に励起光を照射し、前記微生物における自家蛍光を検出して、前記水に含まれる微生物を検出する検出装置と、
   前記微生物を検出した場合、前記精製水製造装置において微生物が発生していると判定する判定部と、
   を備え、
   前記検出装置が検出する前記微生物が、前記検査部材から脱離した微生物を含む、
   精製水製造装置の監視システム。
2. 前記検査部材の表面において、前記微生物がバイオフィルムを形成しうる、請求項１に記載の精製水製造装置の監視システム。
3. 前記微生物を検出した場合、前記判定部が、前記精製水製造装置においてバイオフィルムが形成されていると判定する、請求項２に記載の精製水製造装置の監視システム。
4. 前記検査部材が、前記精製水製造装置が備えるろ過膜と同じろ過膜である、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
5. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備えるろ過膜の材料を含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
6. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備えるパイプの材料を含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
7. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備える部品の材料を含む、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
8. 前記検査部材が基板である、請求項５ないし７のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
9. 前記励起光を照射された後の水の流路に設けられた、前記微生物を捕捉する微生物フィルタを更に備える、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視システム。
10. 表面に微生物が付着しうる検査部材が内部に配置された検査パイプに精製水製造装置で製造中又は製造された水を流すことと、
    前記検査パイプを流れた水に励起光を照射し、前記微生物における自家蛍光を検出して、前記水に含まれる微生物を検出することと、
    前記微生物を検出した場合、前記精製水製造装置において微生物が発生していると判定することと、
    を含み、
    前記検出される微生物が、前記検査部材から脱離した微生物を含む、
    精製水製造装置の監視方法。
11. 前記検査部材の表面において、前記微生物がバイオフィルムを形成しうる、請求項１０に記載の精製水製造装置の監視方法。
12. 前記微生物を検出した場合、前記精製水製造装置においてバイオフィルムが形成されていると判定する、請求項１１に記載の精製水製造装置の監視方法。
13. 前記検査部材が、前記精製水製造装置が備えるろ過膜と同じろ過膜である、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
14. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備えるろ過膜の材料を含む、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
15. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備えるパイプの材料を含む、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
16. 前記検査部材の材料が、前記精製水製造装置が備える部品の材料を含む、請求項１０ないし１２のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
17. 前記検査部材が基板である、請求項１４ないし１６のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
18. 前記励起光を照射された後の水の流路に設けられた微生物フィルタで前記微生物を捕捉することを更に含む、請求項１０ないし１７のいずれか１項に記載の精製水製造装置の監視方法。
19. 前記微生物フィルタで捕捉された前記微生物を培養することを更に含む、請求項１８に記載の精製水製造装置の監視方法。