JP6412075B2 - サーボモータ制御装置、サーボモータ制御方法、及びサーボモータ制御用プログラム - Google Patents

サーボモータ制御装置、サーボモータ制御方法、及びサーボモータ制御用プログラム Download PDF

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Description

本発明は、サーボモータの動力により駆動する被駆動体の位置を補正する機能を有するサーボモータ制御装置、サーボモータ制御方法、及びサーボモータ制御用プログラムに関する。
従来より、テーブルの上に非加工物(ワーク)を搭載し、テーブルを、サーボモータで連結機構を介して移動させるサーボモータ制御装置がある。テーブル及びワークは被駆動体となる。連結機構は、モータサーボに連結されたカップリングと、カップリングに固定されるボールねじとを有する。ボールねじはナットに螺合される。
このようなサーボモータ制御装置において、サーボモータの動力により駆動する被駆動体(移動体ともいう)の位置を補正する機能を有するサーボモータ制御装置がある。
例えば特許文献1には、連結機構の連結部において被駆動体に作用する駆動力を推定し、推定された駆動力に基づき、位置指令値を補正することの記載がある。また、特許文献2には、サーボモータから移動体までの距離と、トルク指令値とからボールねじの伸縮量を計算し、その伸縮量からボールねじに螺着された移動体の位置補正量を計算し、その位置補正量によって位置指令値を補正することの記載がある。
特開2014−109785公報 特開2014−13554号公報
本発明者らは、位置指令値を補正する場合に、停止、低速動作時において、推定される駆動力に反応して機械動作と関係のない補正が位置指令値に加わり、補正量の振れが生ずることを見出した。
本発明は、工作機械や産業機械において、さらに精度の高い被駆動体の位置制御が可能なサーボモータ制御装置、サーボモータ制御方法、及びサーボモータ制御用プログラムを提供することを目的とする。
(1)本発明に係るサーボモータ制御装置は、
サーボモータと、
前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、
前記被駆動体の位置指令値を生成する位置指令生成部と、
前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御するモータ制御部と、
前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定する力推定部、及び前記力推定部により推定された駆動力に基づき、前記位置指令生成部により生成された前記位置指令値を補正する補正量を生成する補正量生成部を有する位置指令補正部と、
を具備し、
前記位置指令補正部は、前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限する制限部を有するサーボモータ制御装置である。
(2)本発明のサーボモータ制御方法は、
サーボモータと、
前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、を備えたサーボモータ制御装置のサーボモータ制御方法において、
前記被駆動体の位置指令値を生成し、
前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定し、
推定された前記駆動力に基づき、前記位置指令値を補正するための補正量を生成し、
前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限し、
更新が制限された前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御するサーボモータ制御方法である。
(3)本発明のサーボモータ制御用プログラムは、サーボモータと、
前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、を備えたサーボモータ制御装置のサーボモータ制御をコンピュータに実行させるサーボモータ制御用プログラムであって、
前記コンピュータに、
前記被駆動体の位置指令値を生成する処理と、
前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定する処理と、
推定された前記駆動力に基づき、前記位置指令値を補正するための補正量を生成する処理と、
前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限する処理と、
更新が制限された前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御する処理と、
を実行させるサーボモータ制御用プログラムである。
本発明によれば、停止、低速動作時においても、推定される駆動力に反応して機械動作と関係のない補正が位置指令値に加わって生ずる補正量の振れを防止し、精度の高い被駆動体の位置制御が可能となる。
前提技術となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 補正量の振れを説明する図である。 本発明の第1の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 補正量の更新の停止を説明するための図である。 補正量の大きさが増加する更新を停止する場合を説明するための図である。 補正量の更新の停止を行う制限部の構成を示すブロック図である。 補正量の大きさが増加する更新の停止を行う制限部の構成を示すブロック図である。 位置指令補正部の一構成例を含むサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 モータ制御部の一構成例及びボールねじの長さ(バネ要素の長さ)を求める距離計算部を含むサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 速度指令作成部の一構成例を示すブロック図である。 トルク指令作成部の一構成例を示すブロック図である。 図3に示したサーボモータ制御装置の図4に示した更新の停止動作を示すフローチャートである。 図3に示したサーボモータ制御装置の図5に示した更新の停止動作を示すフローチャートである。 本発明の第2の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 フィルタとフィルタの切り替えスイッチを示す図である。 フィルタの切り替え動作を示すフローチャートである。 本発明の第3の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。 トルク指令作成部の構成を示すブロック図である。 積分器の切り替え動作を示すフローチャートである。
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。
まず、本発明の実施形態の説明に先立って前提技術となるサーボモータ制御装置について説明する。
図1は前提技術となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。サーボモータ制御装置は、サーボモータ50で連結機構60を介してテーブル70を移動させ、テーブル70の上に搭載された被加工物(ワーク)を加工する。連結機構60は、サーボモータ50に連結されたカップリング601と、カップリングに固定されるボールねじ602とを有し、ボールねじ602にナット603が螺合されている。サーボモータ50の回転駆動によって、ボールねじ602に螺着されたナット603がボールねじ602の軸方向に移動する。
サーボモータ50の回転角度位置は、サーボモータ50に関連付けられた、位置検出部となるエンコーダ40によって検出され、検出された位置(位置検出値)は位置フィードバックとして利用される。なお、エンコーダ40は回転速度を検出可能であり、検出された速度(速度検出値)は速度フィードバックとして利用可能である。
サーボモータ制御装置は、図示しない上位制御装置や外部入力装置等から入力されるプログラムや命令に従って、サーボモータ50の位置指令値を作成する位置指令作成部10と、位置指令作成部10が作成した位置指令値とエンコーダ40が検出した位置検出値との差を求める減算器80と、この差と位置指令補正部30から出力される補正値とを加算する加算器90と、この加算値を用いてサーボモータ50のトルク指令値を作成するモータ制御部20と、を有する。
サーボモータ50の駆動時には、連結機構60とテーブル70とに駆動力が作用し、これらは弾性変形するが、連結機構60はテーブル70と比較して剛性が低いため、全体の弾性変形のうち、連結機構60の弾性変形が大部分の割合を占める。連結機構60が弾性変形すると、サーボモータ50を指令値通りに回転させた場合であっても、テーブル70の位置に弾性変形量分の誤差が生じる。このため、この誤差を解消するために、連結機構60の弾性変形量分だけ位置指令値を補正する。連結機構60の弾性変形量は、テーブル70(ナット603)と連結機構60との連結部においてテーブル70に作用する駆動力に比例し、駆動力は連結部において作用する駆動トルクにより表すことができる。
位置指令補正部30は、補正量生成部301と力推定部302とを有する。力推定部302は、トルク指令値を用いて連結部において駆動体に作用する駆動力(駆動トルク)を推定する。補正量生成部301は、力推定部302により推定された駆動力に基づき、位置指令生成部10により生成された位置指令値を補正するための補正量を生成し補正値を出力する。
本発明者らは図1に示した前提技術のサーボモータ制御装置は、停止、低速動作時においても、推定される駆動力に反応して機械動作と関係のない補正が位置指令値に加わり、図2に示すように補正量の振れが生ずる場合があることを見出した。
以下、補正量の振れを防止する本発明のサーボモータ制御装置の実施形態について説明する。以下に説明する本実施形態のサーボモータ制御装置が適用される機械は、レーザー加工機、放電加工機、切削加工機等の工作機械であるが、本発明のサーボモータ制御装置はロボット等の産業機械等にも適用可能である。
(第1の実施形態)
図3は本発明の第1の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。図3において、図1のサーボモータ装置の構成部材と同一構成部材については同一符号を付して説明を省略する。
図3に示すように、位置指令補正部31は、位置指令作成部10が作成した位置指令値を受け、位置指令値の指令加速度が所望の値以下(0を含む)のときに、または、位置指令値の指令速度が所望の値以下(0を含む)のときに、補正量の更新を制限する制限部303を有する。以下の説明では、位置指令値の指令加速度を用いて補正量の更新を制限する場合について説明するが、位置指令値の指令速度を用いて補正量の更新を制限してもよい。制限部303は、位置指令値の指令加速度が所望の値以下(0を含む)かどうかを検出し、補正量生成部301から出力される補正量を加算器90に出力する。図3では力推定部302は、トルク指令値を用いて連結部において駆動体に作用する駆動力(駆動トルク)を推定しているが、駆動力の推定はこれに限定されず、例えば特許文献1(特開2014−109785号公報)に記載されるように、加減速トルク、外乱トルク等をさらに加えて駆動力を推定したり、トルク指令値でなく、モータ電流を検出する電流検出部の出力を用いてモータトルクを算出して駆動力を推定してもよい。
制限部303は図2に示すように補正量の振れを防止するように制御されればよく、図4に示すように補正量の更新を停止してもよく、図5に示すように補正量の大きさが増加する更新を停止し、補正量の大きさが減少する方向の更新は有効にしてもよい。補正量の大きさが減少する方向のみの更新を有効にすることにより、更新を停止する時点の補正量が大きい場合に大きい補正量を持続的にいれないで済む。なお、補正量の大きさが減少する更新を停止し、補正量の大きさが増加する方向の更新は有効にしてもよく、この場合でも図2に示すように補正量の振れを防止することができる。
図4に示すような補正量の更新の停止は図6に示す構成の制限部303により行われる。図6において、位置指令値の指令加速度を順次入力される位置指令値を用いて指令加速度生成部3031で求め、制御部3032で指令加速度が所望の値以下(0を含む)かどうかを判断し、指令加速度が所望の値以下(0を含む)の場合は、補正量保持部3033で保持されている補正量の更新を停止する。その場合図4に示すように一定の補正量が出力される。指令加速度が所望の値を超える場合は、補正量の更新を維持する。位置指令値の指令加速度の代わりに位置指令値の指令速度を用いる場合には、指令加速度生成部3031を指令速度生成部に置き換える。
図5に示すような補正量の大きさが増加する更新の停止は図7に示す構成の制限部303により行われる。図7において、位置指令値の指令加速度を順次入力される位置指令値を用いて指令加速度生成部3031で求め、制御部3032で指令加速度が所望の値以下(0を含む)かどうかを判断し、また補正量の大きさが増加しているかどうかを補正量増加検出器3034で判断する。そして、指令加速度が所望の値以下(0を含む)で、補正量の大きさが増加する場合は、補正量保持部3033で保持されている補正量の更新を停止する。指令加速度が所望の値を超える場合又は補正量の大きさが減少する場合は、補正量の更新を維持する。補正量の停止後に補正量の大きさが減少する方向となったときは更新を再開する。位置指令値の指令加速度の代わりに位置指令値の指令速度を用いる場合には、指令加速度生成部3031を指令速度生成部に置き換える。また補正量の大きさが減少しているかどうかを判断する場合には補正量増加検出器3034を補正量減少検出器に置き換える。
図8は位置指令補正部31の一構成例を含むサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。図6の推定負荷トルク計算部307は図3の力推定部302に対応し、図6のねじれ係数乗算部304、ボールねじ長さ乗算部306、形状係数乗算部305は補正量生成部301に対応する。形状係数はボールねじの単位長さあたりの伸縮量を示す。本実施形態では、連結機構(カッブリング、ボールねじ)に発生する回転軸まわりのねじり弾性変形と軸方向の伸縮弾性変形を推定される負荷トルクに基づいて算出し、弾性変形に起因するロストモーションを位置指令値に補正する。この際、軸方向の弾性変形はサーボモータから被駆動体までの距離に依存し、移動位置の積算値によりこの距離を推定する。
推定負荷トルクをT、ねじれ係数をαとすると、連結部のねじれに関する補正量はα・Tとなり、推定負荷トルクをT、ボールねじの長さをd、形状係数をβとするとボールねじの伸縮に関する補正量はd・β・Tとなる。そして、合計の補正量がα・T+d・β・Tとなる。
図9はモータ制御部20の一構成例及びボールねじの長さ(バネ要素の長さ)を求める距離計算部80を含むサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。図6のボールねじ長さ乗算部306で乗算されるボールねじの長さ(バネ要素の長さ)は距離計算部80により算出される。図6のモータ制御部20は速度指令作成部201と減算部とトルク指令作成部202とを有する。
図10は速度指令作成部201の一構成例を示すブロック図である。位置指令作成部10は位置指令値を作成し、位置指令値と位置フィードバックされた検出位置との差を減算器80で求め、その差に補正量を加算器90で加え、補正量を加えた差を、微分器2011と位置制御ゲイン2013とに入力する。加算器2014は、微分器2011の出力に係数を乗算した係数部2012の出力と、位置制御ゲイン2013の出力との加算値を速度指令値として出力する。速度指令値は速度フィードバックされた検出速度との差を減算器100で求める。
図11はトルク指令作成部202の一構成例を示すブロック図である。トルク指令作成部202は、減算器100と接続される比例ゲイン2023及び積分器2021、積分器2021と接続される積分ゲイン2022、及び比例ゲイン2023の出力と積分ゲイン2022の出力とを加算し、トルク指令としてサーボモータ50に出力する加算器2024を備えている。積分器2021は入力を積分する。積分ゲイン2022は積分器2021の出力に係数を乗算し、比例ゲイン2023は入力に係数を乗算する。なお、積分ゲイン2022と積分器2021は並び順を変えてもよい。
図12は図3に示したサーボモータ制御装置の図4に示した更新の停止動作を示すフローチャートである。ステップS101において、力推定部302及び補正量生成部301を用いて推定された駆動力に基づき位置指令値の補正量を生成する。ステップS102において、制限部303の制御部3032は位置指令値の指令加速度が所望の値以下(0を含む)かどうかを判断し、指令加速度が所望の値以下(0を含む)の場合(ステップS102のYESの場合)は、ステップS105において補正量保持部3033で保持されている補正量の更新を停止する。そして、ステップS106において、位置指令生成部10からの位置指令値と位置フィードバックの検出位置との差を、更新が停止された補正量で補正する。
一方、ステップS102において、指令加速度が所望の値を超える場合(ステップS102のNOの場合)は、ステップS103において、補正量の更新を続け、ステップS104において、位置指令生成部10からの位置指令値と位置フィードバックの検出位置との差を、更新された補正量で補正する。そして、ステップS104又はステップS106で補正された、位置指令値と検出位置との差に基づいてモータ制御部20によりサーボモータ50を制御する。
図13は図3に示したサーボモータ制御装置の図5に示した更新の停止動作を示すフローチャートである。図13のフローチャートは図12のフローチャートに、補正量の大きさが増加するかどうかを判断するステップS108が加わっている。
位置指令値の指令加速度が所望の値以下(0を含む)(ステップS102のYES)で、補正量の大きさが増加する場合(ステップS108のYES)は、ステップS105において補正量保持部3033で保持されている補正量の更新を停止する。指令加速度が所望の値を超える場合(ステップS102のNO)又は補正量の大きさが減少する場合(ステップS108のNO)は、ステップS103において、補正量の更新を続ける。
(第2の実施形態)
第1の実施形態のサーボ制御装置では、補正量の更新を停止させると、再開時に補正量が不連続に変わる。この補正量の不連続を防止するために位置指令補正部31の出力にフィルタ110を設ける。
図14は本発明の第2の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。図14のサーボモータ制御装置の構成は、フィルタ110が設けられている点を除くと図3のサーボモータ制御装置の構成と同じであり、同一の構成部材については同一符号を付し説明を省略する。フィルタ110としてはローパスフィルタを用いることができる。
フィルタ110は、図15に示す切り替えスイッチ120により、補正量の更新の再開時のみ制限部303と加算器90との間に接続し、再開後は制限部303と加算器90との間を接続してフィルタ110を介さないようにしてもよい。切り替えスイッチ120の切り替えは図6及び図7に示す制御部3032が、指令加速度生成部3031の出力を用いて位置指令値の指令加速度が所望の値を超えたと判断したときに、停止していた補正量の更新を再開するときに行う。
図16はフィルタ110の切り替え動作を示すフローチャートである。ステップS201で制御部3032が位置指令値の指令加速度が所望の値を超えたと判断した場合に(ステップS201のYES)、ステップ202で停止していた補正量の更新を再開させ、フィルタをかけるように切り替えスイッチ120を切り替え、その後、補正量の不連続が解消されたときに、ステップ203でフィルタをかけないように切り替えスイッチ120を切り替える。
(第3の実施形態)
第2の実施形態のサーボ制御装置では、補正量の不連続を防止するために位置指令補正部31の出力にフィルタ110を設けたが、フィルタの代わりにトルク指令作成部202の積分器2011の書き換えを行い、トルク指令値に不連続を生じないようにしてもよい。再開時に位置指令値を補正する補正量が入ると、速度指令値の変化が発生する。この速度指令値の変化によりトルク指令値が変化しないように、積分器の書き換えを行い、トルク指令値が不連続でなくなるようにする。
図17は本発明の第3の実施形態となるサーボモータ制御装置の構成を示すブロック図である。図17のサーボモータ制御装置の構成は、位置指令補正部32がトルク指令作成部202に積分器の書き換え指示を送っている点を除くと図9のサーボモータ制御装置の構成と同じであり、同一の構成部材については同一符号を付し説明を省略する。図18はトルク指令作成部202の構成を示すブロック図である。図18に示すように、積分器2021に書き換え指示が送られる。
書き換え指示は図6及び図7に示す制御部3032が、指令加速度生成部3031の出力から位置指令値の指令加速度が所望の値を超えたと判断したときに、停止していた補正量の更新を再開するときに送る。制御部3032は以下のように積分器2021の書き換えを指示する。
トルク指令値TCMDは、Vcndを速度指令値、Vfdを検出速度、kpを比例ゲイン、kiを積分ゲインとすると、
Figure 0006412075
であらわされる。
補正量の更新停止から補正量の更新を再開ときに、トルク指令値TCMDはTCMD(1)からTCMD(2)になる。
Figure 0006412075
本実施形態では、トルク指令値TCMD(2)のTCMD(1)+(Vcnd(2) - Vfd(2))を以下の数3に書き換える。
Figure 0006412075
すると、書き換えられたトルク指令値TCMD’(2)はTCMD(1)と同じになり、トルク指令の不連続は生じない。
図19は積分器2021の切り替え動作を示すフローチャートである。ステップS301で制御部3032が位置指令値の指令加速度が所望の値を超えたと判断した場合に(ステップS301のYES)、ステップ302で停止していた補正量の更新を再開させ、積分器の書き換えを行う。その後、補正量の不連続が解消されたときに、ステップ303で積分器の書き換えを元に戻す。
以上、本発明の実施形態について説明したが、サーボモータ制御装置はその機能の全部又は一部をハードウェア、ソフトウェア又はこれらの組み合わせにより実現することができる。ここで、ソフトウェアによって実現されるとは、コンピュータがプログラムを読み込んで実行することにより実現されることを意味する。ハードウェアで構成する場合、サーボモータ制御装置の補正量生成部301、力推定部302、制限部303、位置指令生成部10、モータ制御部20の一部又は全部を、例えば、LSI(Large Scale Integrated circuit)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)、ゲートアレイ、FPGA(Field Programmable Gate Array)等の集積回路(IC)で構成することができる。
ソフトウェアによって実現する場合、サーボモータ制御装置の一部又は全部を、CPUとプログラムを記憶したハードディスク、ROM等の記憶部とを含むコンピュータで構成して、図3、図6−図11のブロック図と図12、図13のフローチャートに沿ったプログラム、図14のブロック図と図16のフローチャートに沿ったプログラム、図17及び図18のブロック図と図19のフローチャートのフローチャートに沿ったプログラムに従い、演算に必要な情報をRAM等の第2の記憶部に記憶し、処理を実行することでサーボモータ制御装置の一部又は全部の動作をプログラムで実行ことができる。プログラムは、プログラムが記録されたCD−ROM、DVD、フラッシュメモリ等の外部記憶媒体からハードディスク等の記憶部に読み込むことができる。
10 位置指令生成部
20 モータ制御部
30、31 位置指令補正部
40 エンコーダ
50 サーボモータ
60 連結機構
70 テーブル
301 補正量生成部
302 力推定部
303 制限部

Claims (11)

  1. サーボモータと、
    前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
    前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、
    前記被駆動体の位置指令値を生成する位置指令生成部と、
    前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御するモータ制御部と、
    前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定する力推定部、及び前記力推定部により推定された駆動力に基づき、前記位置指令生成部により生成された前記位置指令値を補正する補正量を生成する補正量生成部を有する位置指令補正部と、
    を具備し、
    前記位置指令補正部は、前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限する制限部を有するサーボモータ制御装置。
  2. 前記制限部による前記補正量の更新の制限は、前記補正量の大きさが増加する更新を停止することである請求項1に記載のサーボモータ制御装置。
  3. 前記制限部による前記補正量の更新を制限は、前記補正量の更新を停止することである請求項1に記載のサーボモータ制御装置。
  4. 前記制限部が前記補正量の更新を再開するときの、制限されていた補正量から更新後の補正量への変化を抑制するフィルタを有する請求項1から3のいずれか1項に記載のサーボモータ制御装置。
  5. 前記モータ制御部は、速度指令作成部とトルク指令作成部とを有し、
    前記トルク指令作成部は少なくとも速度偏差を積算する積分器を有し、
    前記制限部は、前記補正量の更新を再開するとき、前記積分器の書き換えを行う請求項1から3のいずれか1項に記載のサーボモータ制御装置。
  6. サーボモータと、
    前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
    前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、を備えたサーボモータ制御装置のサーボモータ制御方法において、
    前記被駆動体の位置指令値を生成し、
    前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定し、
    推定された前記駆動力に基づき、前記位置指令値を補正するための補正量を生成し、
    前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限し、
    更新が制限された前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御するサーボモータ制御方法。
  7. 前記補正量の更新の制限は、前記補正量の大きさが増加する更新を停止することである請求項6に記載のサーボモータ制御方法。
  8. 前記補正量の更新を制限は、前記補正量の更新を停止することである請求項6に記載のサーボモータ制御方法。
  9. 前記補正量の更新を再開するときの、制限されていた補正量から更新後の補正量への変化をフィルタで抑制する請求項6から8のいずれか1項に記載のサーボモータ制御方法。
  10. 更新が制限された前記位置指令値を用いて速度指令を作成し、作成された速度指令を用いてトルク指令を作成し、該トルク指令を用いて前記サーボモータを制御し、
    前記トルク指令の作成は少なくとも速度偏差を積算する積分器を用いて行い、
    前記補正量の更新を再開するとき、前記積分器の書き換えを行う請求項6から8のいずれか1項に記載のサーボモータ制御方法。
  11. サーボモータと、
    前記サーボモータにより駆動される被駆動体と、
    前記サーボモータと前記被駆動体とを連結し、前記サーボモータの動力を前記被駆動体へ伝える連結機構と、を備えたサーボモータ制御装置のサーボモータ制御をコンピュータに実行させるサーボモータ制御用プログラムであって、
    前記コンピュータに、
    前記被駆動体の位置指令値を生成する処理と、
    前記連結機構との連結部において前記被駆動体に作用する駆動力を推定する処理と、
    推定された前記駆動力に基づき、前記位置指令値を補正するための補正量を生成する処理と、
    前記位置指令値の指令加速度が所望の値以下のときに、または、前記位置指令値の指令速度が所望の値以下のときに、前記補正量の更新を制限する処理と、
    更新が制限された前記位置指令値を用いて前記サーボモータを制御する処理と、
    を実行させるサーボモータ制御用プログラム。
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