JP6407833B2 - Treatment liquid supply device - Google Patents
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Description
本発明は、処理液を用いて基板の液処理を行う液処理部を備えた基板処理システムに対して、処理液を供給する処理液供給装置に関する。 The present invention relates to a processing liquid supply apparatus that supplies a processing liquid to a substrate processing system including a liquid processing unit that performs liquid processing on a substrate using the processing liquid.
例えば半導体デバイスの製造工程におけるフォトリソグラフィー工程では、ウェハ上にレジスト液を塗布してレジスト膜を形成したり、現像液を供給してレジスト膜を現像処理したりするために、様々な液処理が行われる。これら一連の液処理は、各種液処理装置や装置間でウェハを搬送する搬送機構などを搭載した基板処理システムにより行われる。 For example, in a photolithography process in a semiconductor device manufacturing process, a resist solution is applied on a wafer to form a resist film, or a developing solution is supplied to develop a resist film. Done. These series of liquid processing are performed by a substrate processing system equipped with various liquid processing apparatuses and a transport mechanism for transporting wafers between the apparatuses.
このような基板処理システムで用いられる各種処理液の一部は、当該基板処理システム内に配置された、処理液を貯留する容器から各液処理装置に供給される。そして容器内の処理液が無くなった場合、作業員により使用済みの容器と新たな容器との交換作業が行われる。この交換作業は、通常各液処理装置に設けられた処理液供給部に作業員がアクセスして、例えば容器が設置されたトレーを引き出して容器の交換を行っていた。 Some of the various processing liquids used in such a substrate processing system are supplied to each liquid processing apparatus from a container for storing the processing liquid, which is arranged in the substrate processing system. When the processing liquid in the container is exhausted, the worker replaces the used container with a new container. In this replacement operation, a worker usually accesses a processing liquid supply unit provided in each liquid processing apparatus, and, for example, pulls out a tray on which the container is installed to replace the container.
しかし、従来の構成ではトレーの引き出しストロークに見合う長さの余裕を配管に持たせる必要があるので、配管の全長が長くなり、処理液のリークや品質劣化の恐れがあった。この点について、特許文献1には、従来別々に搭載されていた、容器と送液手段とを一緒に可動台に載せて配管長を短くする技術が記載されている。
However, in the conventional configuration, since it is necessary to provide the pipe with a margin of length corresponding to the tray drawing stroke, the total length of the pipe becomes long, and there is a risk of leakage of the processing liquid and quality deterioration. In this regard,
しかしながら、クリーンルーム内には同一型式の基板処理システムが複数設置されるのが通常であり、作業員は各基板処理システムの自動交換機構に対して容器を補充する必要があるため、作業員の作業負担が大きい。 However, it is normal that a plurality of substrate processing systems of the same type are installed in the clean room, and the worker needs to replenish containers to the automatic exchange mechanism of each substrate processing system. The burden is heavy.
かかる場合、例えば基板処理システムに対して外部から処理液を補充するための処理液供給装置を、複数の基板処理システムに対して共通して1台設け、この1台の処理液供給装置に対して容器を補充することで、作業員の負担軽減を図ることが考えられる。 In such a case, for example, one processing liquid supply device for replenishing the processing liquid from the outside to the substrate processing system is provided in common for the plurality of substrate processing systems, and the single processing liquid supply device is provided. It may be possible to reduce the burden on the workers by refilling the container.
しかしながら、複数の基板処理システムの外部に共通の処理液供給装置を設けた場合、処理液供給装置と各基板処理システムとを接続する配管の全長が長くなり処理液のリークや品質劣化といった不具合が生じる恐れがある。 However, when a common processing liquid supply apparatus is provided outside a plurality of substrate processing systems, the total length of piping connecting the processing liquid supply apparatus and each substrate processing system becomes long, causing problems such as processing liquid leakage and quality deterioration. May occur.
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、複数の基板処理システムに対して設けられた共通の装置から一括して処理液を供給するにあたり、配管長が長くなっても、配管長が長いことから生じる不都合を低減することを目的としている。 The present invention has been made in view of such a point, and when supplying a processing liquid collectively from a common apparatus provided for a plurality of substrate processing systems, the pipe length is increased even if the pipe length is increased. The purpose is to reduce inconvenience caused by the long period.
前記の目的を達成するため、本発明は、処理液を用いて基板の液処理を行う液処理部を備えた複数の基板処理システムに対して、複数の容器内に貯留された複数種の処理液を、前記基板処理システムの外部から供給する処理液供給装置であって、前記処理液が貯留されている容器を載置する複数の容器載置部と、前記容器載置部に配置された前記容器と、複数の前記基板処理システムとを接続する複数の処理液流路と、前記容器内の処理液を、前記処理液流路を介して複数の前記基板処理システムに対して圧送する処理液供給部と、前記基板処理システムに接続する複数の前記処理液流路を、前記基板処理システム毎に一括して囲繞する複数の配管ダクトと、を有し、前記各配管ダクト内には、処理液のリークを検出するリークセンサが設置されていることを特徴としている。 In order to achieve the above object, the present invention provides a plurality of types of processing stored in a plurality of containers for a plurality of substrate processing systems provided with a liquid processing unit that performs processing of a substrate using a processing liquid. A processing liquid supply apparatus for supplying a liquid from outside the substrate processing system, wherein a plurality of container mounting parts for mounting a container in which the processing liquid is stored are disposed on the container mounting part. A plurality of processing liquid flow paths connecting the container and the plurality of substrate processing systems, and a process of pumping the processing liquid in the container to the plurality of substrate processing systems via the processing liquid flow paths A plurality of piping ducts that collectively surround each of the substrate processing systems with a plurality of the processing liquid flow paths connected to the substrate processing system, and in each of the piping ducts, A leak sensor is installed to detect leaks in processing liquid. It is characterized in that it is.
本発明によれば、処理液供給装置が、容器と複数の基板処理システムとの間を接続する処理液流路を、前記基板処理システム毎に一括して囲繞する複数の配管ダクトを有している。そのため、例えば各基板処理システムに接続される処理液流路ごとに個別に配管ダクトに収容して敷設することで、例えばどの基板処理システムに接続されている処理液流路からのリークであるかを、配管ダクト内のリークの有無を確認することで特定できるので、配管長が長いことから生じるリーク検知等の不都合を低減することができる。 According to the present invention, the processing liquid supply apparatus has a plurality of piping ducts that collectively surround the processing liquid flow path connecting the container and the plurality of substrate processing systems for each of the substrate processing systems. Yes. For this reason, for example, each processing liquid flow path connected to each substrate processing system is individually accommodated and laid in a piping duct, for example, which processing liquid flow path is connected to which substrate processing system. Can be identified by confirming the presence or absence of leakage in the piping duct, so that it is possible to reduce inconveniences such as leakage detection caused by the long piping length.
前記処理液流路の接続部には、当該接続部からのリークを検出するリークセンサが設置されていてもよい。 A leak sensor that detects a leak from the connection portion may be installed in the connection portion of the processing liquid flow path.
前記処理液流路における前記処理液供給部側に設けられた、当該処理液流路内を流れる処理液の流量を測定する第1の流量計と、前記処理液流路における前記基板処理システム側に設けられた、当該処理液流路内を流れる処理液の流量を測定する第2の流量計と、前記第1の流量計の測定値と前記第2の流量計の測定値の差分を算出し、当該差分が所定の閾値よりも大きければ、前記第1の流量計と前記第2の流量計との間でリークが発生していると判断する制御部と、を有していてもよい。
A first flow meter for measuring a flow rate of the processing liquid flowing in the processing liquid flow path provided on the processing liquid supply side in the processing liquid flow path, and the substrate processing system side in the processing liquid flow path And a second flow meter for measuring the flow rate of the processing liquid flowing in the processing liquid flow path, and a difference between the measured value of the first flow meter and the measured value of the second flow meter. and, if the difference is greater than a predetermined threshold, and a control unit that determines that there is a leak between the second flowmeter and said first flowmeter, it may have a .
前記配管ダクトは、遮光部材により形成されていてもよい。 The piping duct may be formed of a light shielding member.
本発明によれば、複数の基板処理システムに対して設けられた共通の装置から一括して処理液を供給するにあたり、配管長さが長くなっても、配管長が長いことから生じるリーク検知等の不都合を解消することができる。 According to the present invention, when processing liquids are collectively supplied from a common apparatus provided for a plurality of substrate processing systems, even if the pipe length is long, leak detection caused by the long pipe length, etc. Can be eliminated.
以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかる処理液供給装置1の側面の説明図であり、図2は、処理液供給装置1の平面の説明図である。処理液供給装置1により供給される処理液は、例えば半導体製造用の、例えばレジスト液や現像液、反射防止膜を形成するための処理液等である。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is an explanatory view of a side surface of the processing
処理液供給装置1は、処理液が貯留された容器(新たな容器)2の搬入、及び使用済みの容器3の搬出を行う、容器載置部としての搬入出部10と、新たな容器2内の処理液を、処理液供給装置1外部に設置された複数の、例えば4台の基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4に対して圧送する処理液供給部11と、処理液供給部11内の新たな容器2と各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4を接続する配管として、処理液流路12を有している。なお、ここでいう「新たな容器2」とは、未開封の状態で処理液が満杯となっている状態のものと、処理液流路12に接続され、各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4に対して処理液を供給可能な状態となっているもの両方を含んだものである。
The processing
また、基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4は、例えば基板としての半導体ウェハに対して液処理を行う液処理部としての液処理装置や、加熱処理を行う加熱処理装置、各種処理装置間で半導体ウェハの搬送を行う搬送装置などを備えたシステムである。本実施の形態では、例えば各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4は、クリーンルームCL内に設置されており、処理液供給装置1はクリーンルームCLの外部に設置されている。そして、処理液供給装置1と各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4とを接続する処理液流路12は、当該処理液流路を囲繞する配管ダクトD内に敷設されている。換言すれば、処理液供給装置1の処理液供給部11と各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4との間は、配管ダクトDにより個別に接続されている。
The substrate processing systems PR1, PR2, PR3, and PR4 are, for example, a liquid processing apparatus as a liquid processing unit that performs liquid processing on a semiconductor wafer as a substrate, a heat processing apparatus that performs heat processing, and various processing apparatuses. A system including a transfer device for transferring a semiconductor wafer. In the present embodiment, for example, the substrate processing systems PR1, PR2, PR3, and PR4 are installed in the clean room CL, and the processing
配管ダクトDは、例えばアルミニウムやステンレスなどの金属で可撓性のある部材(例えばアルミニウムやステンレス製のベローズ等)、や黒色の樹脂などの遮光部材により形成される。これにより、配管ダクトD内の処理液流路12を流通する処理液が感光性であっても、クリーンルームCLの光により感光することはない。各配管ダクトD内には、概ね配管ダクトDの全長にわたる長さのリークセンサLSが設置されている。各リークセンサLSは、後述する制御部4に接続されている。なお、本実施の形態では、基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4が同一の構成を有し、同一の処理を行うものである場合を例にして説明する。
The piping duct D is formed of a light-shielding member such as a flexible member made of a metal such as aluminum or stainless steel (for example, a bellow made of aluminum or stainless steel) or a black resin. Thereby, even if the processing liquid flowing through the processing
また、処理液供給装置1には、図1に示すように制御部4が設けられている。制御部4は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部(図示せず)を有している。プログラム格納部には処理液供給装置1内に設けられた、下記の各種駆動機構や弁などの動作を制御して、処理液供給装置1による処理液の供給を実行するためのプログラムが格納されている。なお、前記プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスク(FD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体に記録されていたものであって、その記憶媒体から制御部4にインストールされたものであってもよい。
Further, the processing
搬入出部10は、例えば図2に示すように、処理液供給装置1内に複数設けられている。本実施の形態では、例えば4つの搬入出部10a、10b、10c、10dが並行に配置された状態を描図している。なお、本実施の形態において、各搬入出部10a、10b、10c、10dで扱われる処理液はそれぞれ異なっている。換言すれば、各各搬入出部10a、10b、10c、10dにはそれぞれ異なる種類の容器2が搬入される。なお、搬入出部10の配置や設置数は本実施の形態の内容に限定されるものではなく、任意に設定できるが、後述するように、搬入出部10の設置数と、処理液供給部11から供給できる処理液の種類の数は基本的に一致するので、搬入出部10の設置数は、供給する処理液の数に応じて適宜設定される。
For example, as shown in FIG. 2, a plurality of carry-in /
搬入出部10は、例えば複数の容器2、3を同時に搬送可能なベルトコンベヤであり、搬入出部10上に載置された容器2、3は、図1、図2のX方向負方向側からX方向正方向側に向かって搬送される。また、新たな容器2は、例えば図1、図2のX方向負方向側から、例えば作業員OPにより搬入出部10から搬入され、使用済みの容器3は、図1、図2のX方向正方向側から処理液供給装置1の外部に搬出される。
The loading /
例えば図2に示すように、各搬入出部10a〜10dのY方向正方向側には、新たな容器2を載置する容器載置台20が設置されている。なお、この容器載置台20も本発明の容器載置部の一部を構成している。また、容器載置台20及び搬入出部10における容器載置台20のY方向正方向側の位置は隔壁21より区画されている。隔壁21における搬入出部10に対応する位置のX方向正方向側及び負方向側には、開閉シャッタ21aが設けられており、当該開閉シャッタ21aを開けることで隔壁21と外部との間で容器2、3のやり取りを行うことができる。また、開閉シャッタ21aを閉じることで、隔壁21に囲まれた空間を外部から遮蔽することができる。この開閉シャッタ21aの動作は、制御部4により制御される。また、例えば図1に示すように、隔壁21のX方向負方向側には、搬入出部10上の新たな容器2の有無を検出する容器センサSが設置されている。この容器センサSは、隔壁21内に搬送される直前の新たな容器2の有無を検出可能な位置に配置されている。
For example, as illustrated in FIG. 2, a container mounting table 20 on which a
図3、図4に示すように、隔壁21の内部には、搬入出部10上を搬送される新たな容器2と、容器載置台20上の使用済みの容器3との自動交換を行う容器交換機構22が設置されている。なお、図3、図4は、例えば図1のX方向正方向側から容器交換機構22を見た場合の側面の説明図である。容器交換機構22は、容器載置台20と搬入出部との間で容器2、3を搬送する容器搬送機構23と、容器載置台20に載置された新たな容器2を密閉するキャップ2aの着脱を行うキャップ着脱機構24と、各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4への処理液流路12の一部を構成する吸引ノズル25と、容器2、3に対して吸引ノズル25の着脱を行うノズル着脱機構26と、を有している。
As shown in FIGS. 3 and 4, inside the
容器搬送機構23は、容器2、3を把持する搬送アーム30と、搬送アーム30を支持して当該搬送アーム30を昇降させる昇降機構31と、昇降機構31を支持し且つ隔壁21の天井部に配置されたY方向に延伸するレール32に沿って当該昇降機構31を移動させる移動機構33を有している。そのため、容器搬送機構23により、容器載置台20に載置された使用済みの容器3を搬入出部10に、搬入出部10の新たな容器2を容器載置台20に、それぞれ移動させることができる。
The
キャップ着脱機構24は、キャップ2aの開閉を行う開閉部40と、開閉部40を支持する支持部材41と、支持部材41を支持して昇降させる昇降機構42を有している。開閉部40は、キャップ2aの外周部に密着する開口を備えており、支持部材41内に設けられた図示しない回転機構により鉛直軸周りに回転可能となっている。したがって、開閉部40をキャップ2aに密着させた状態で当該開閉部40をキャップ2aの開方向及び閉方向に回転させることで、キャップ2aの着脱を行うことができる。また、各支持部材41の両端部もそれぞれ鉛直軸周りに回転可能となっており、たとえば図4に示すように、開閉部40及び支持部材41を容器載置台20に載置された容器2、3の上方から退避させることができる。そのため、支持部材41や開閉部40は、ノズル着脱機構26により吸引ノズル25を容器2、3との間で着脱させるときや、容器2、3を容器載置台20と搬入出部10との間で搬送する際に、干渉しない位置まで退避可能となっている。
The cap attaching /
ノズル着脱機構26は、キャップ2aを外した後の新たな容器2の開口を上方から抑えることで気密に塞ぎ、且つ吸引ノズル25を保持するゴム製の保持部50と、保持部50を支持する支持部材51と、支持部材51を支持して昇降させる昇降機構52を有している。吸引ノズル25は、保持部50側の端部が、図3、図4では図示しない処理液流路12を介して処理液供給部11に接続されている。また、図3、図4では図示していないが、保持部50には、後述する加圧気体供給源72に連通する加圧管76が接続されている。各支持部材51は、キャップ着脱機構24の支持部材41と同様に、両端部がそれぞれ鉛直軸周りに回転可能となっている。そのため、たとえば図3、図4に示すように、保持部50及び吸引ノズル25を、容器載置台20に載置された容器2、3の上方の位置と、容器2、3の交換やキャップ2a取り外しの際にキャップ着脱機構24、容器2、3あるいは容器搬送機構23と干渉しない位置との間で移動させることができる。
The nozzle attaching /
隔壁21には、当該隔壁21の内部に、例えば不活性ガスを供給するガス供給管60が挿通して設けられている。ガス供給管60には、清浄な不活性ガスを供給する不活性ガス供給源61が接続されており、隔壁21内部を清浄な不活性ガス雰囲気とすることができる。これにより、例えば新たな容器2のキャップ2aを外した際に、容器2内部の処理液が酸素などに触れて変質したり、パーティクルが付着、混入したりすることを防止できる。不活性ガスとしては、例えば窒素ガスなどを用いることができる。
In the
処理液供給部11は、図5に示すように、複数のポンプユニット70a、70b、70c、70dを有している。ポンプユニット70の設置数は、例えば搬入出部10の設置数と同一に設定されている。換言すれば、処理液供給装置1から供給する処理液の種類の数と同一に設定されており、本実施の形態では、搬入出部10a〜10dの設置数と同数の4つのポンプユニット70a、70b、70c、70dが設けられている。
As shown in FIG. 5, the processing
ポンプユニット70aは、複数のポンプ71a、71b、71c、71dと、新たな容器2内に清浄気体を供給して新たな容器2内を加圧する加圧気体供給源72と、加圧された新たな容器2内から圧送される処理液を一旦貯留する中間貯槽73を有している。中間貯槽73と各ポンプ71a、71b、71c、71dは、処理液流路12を介して接続されている。即ち、処理液流路12は、中間貯槽73の下流であって各ポンプ71の上流側で分岐され、分岐された処理液流路12が各ポンプ71に接続さている。なお、加圧気体供給源72から供給される清浄気体は、新たな容器2内の処理液を変質させないため、例えば窒素などの不活性ガスが用いられる。
The
1つのポンプユニット70a内に設置されるポンプ71の設置台数は、処理液供給装置1による処理液の供給対象となる基板処理システムPR、即ち、処理液流路12及び配管ダクトDを介して処理液供給装置1に接続された基板処理システムPRの設置数と同数以上に設定されている。本実施の形態では4台の基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4が接続されているので、各ポンプユニット70aには少なくも4台のポンプ71a、71b、71c、71dが設置される。なお、他のポンプユニット70b、70c、70dについてもポンプユニット70aと同様の構成であるため、以下ではポンプユニット70aについてのみ説明し、他のポンプユニット70b、70c、70dについては説明を省略する。
The number of
中間貯槽73は、例えば各ポンプ71a、71b、71c、71dよりも上方に設置され、各ポンプ71a、71b、71c、71dに対して水頭圧を作用させるヘッドタンクとして機能する。なお、各ポンプ71a、71b、71c、71dが、下方から処理液を自吸できる機能を有していれば、中間貯槽73は必ずしもヘッドタンクとして機能させる必要はなく、任意の高さに配置できる。中間貯槽73には、内部の処理液の液面高さを測定する、液面測定機構としての液面計74が設けられている。
The
ここで、液面計74での検出結果に基づく、制御部4による制御について説明する。制御部4では、液面計74で検出する液面高さに応じて、加圧気体供給源72と容器2との間に配置された加圧弁75を開操作する。具体的には、液面計74で検出した処理液の液面高さが図5に示す高さLを下回った場合、制御部4は中間貯槽73への処理液の補充が必要と判断して、加圧弁75を開操作する。これにより、容器2内に加圧管76を介して清浄気体が供給され、容器2内が加圧されて、吸引ノズル25と接続された配管77を介して中間貯槽73に供給される。そして、液面計74で検出する液面高さが図5に示す高さHに到達すると、制御部4は処理液の補充が完了したと判断し、加圧弁75や配管77に設けられた切替弁78の閉操作を行う。なお、配管77は、処理液流路12の一部を形成している。
Here, the control by the
また、加圧弁75を開操作しても、容器2内に処理液がない状態では、ポンプ71a、71b、71c、71dの稼働に応じて中間貯槽73内の処理液は徐々に減少していく。そのため制御部4では、液面計74で検出する液面高さが図5に示す高さLLに到達した場合、容器載置台20上の容器が使用済みの容器3であると判定して、容器交換機構22により、搬入出部10上の新たな容器2と、当該使用済みの容器3を交換する。この際、加圧弁75や切替弁78は一旦閉止される。そして、容器載置台20の容器2と容器3の交換が完了すると、制御部4により、再び加圧弁75や切替弁78が開操作され、中間貯槽73へ処理液が補充される。
Further, even if the pressurizing
また、制御部4は、液面計74で検出された液面高さが高さLLを示したときに、搬入出部10の上方に配置された容器センサSにより新たな容器2が検出されない場合は、交換のための新たな容器2が搬入出部10に存在しないと判断し、例えば容器補充を促すための警報を発する。制御部4から発した警報は、例えば図示しない中央操作室のホストコンピュータ上に表示される。なお、容器センサSが、隔壁21内に搬送される直前の新たな容器2の有無を検出可能な位置に配置されている場合、新たな容器2の補充が滞ると基板処理システムPR側への処理液の補充が停止してしまう恐れがある。そのため、例えば図1に示す容器センサSよりも、搬入出部10のさらに上流側(図1のX方向負方向側)に容器センサSを設け、新たな容器2が搬入出部10から無くなる前に、補充を促す警報を発するようにしてもよい。また、警報を発する高さLLの設定にあたっては、例えば警報発報後に、新たな容器2を直ちに補充しなくとも、各ポンプ71からの処理液の供給に影響しない設定されることが好ましく、高さLLは、中間貯槽73の容量を考慮して適宜設定される。
Further, when the liquid level height detected by the
また、ポンプユニット70aの配管77における容器2、3と切替弁78の間には、洗浄液供給源80に連通する洗浄液供給管81が接続されている。洗浄液供給管81における配管77との接続点と、洗浄液供給源80との間には、洗浄液の供給を制御する洗浄液切替弁81aが設けられている。したがって、例えば使用済みの容器3を、当該使用済みの容器3から供給した処理液とは異なる処理液を貯留する新たな容器2に交換する際に、配管77や中間貯槽73内を洗浄液により洗浄して、古い処理液が、当該古い処理液とは異なる新たな処理液に混入することを防止できる。洗浄液供給管81を介して供給された洗浄液は、例えば処理液流路12から分岐して設けられたドレン管82を介して排出される。ドレン管82には、ドレン弁83が設置されており、洗浄液の排出時に適宜開閉操作される。なお、洗浄液供給源80から供給される洗浄液は、容器2、3内の処理液に応じて適宜選択され、例えば処理液の溶剤や純水などが用いられる。また、図5では、洗浄液供給源80がポンプユニット70aに内部に設けられているように図示しているが、洗浄液供給源80は必ずしもポンプユニット70a内に設置されている必要はなく、処理液供給装置1の外部に配置されていてもよい。
A cleaning
また、洗浄液供給管81及び加圧管76は、処理液流路12におけるポンプ71の上流側に設けられたバルブユニット90に接続されている。バルブユニット90は、例えば図5に示すように、処理液流路12、洗浄液供給管81及び加圧管76とポンプ71との接続状態を切り替え可能に構成されており、バルブユニット90を操作することで、例えば処理液流路12を洗浄液により洗浄したり、加圧気体供給源72から供給された清浄気体によりフラッシングしたりすることができる。なお、図5に示す各弁の開閉状態は、中間貯槽73に対して高さL以上の処理液が供給されており、各ポンプ71により基板処理システムPRへ処理液を供給している場合のものを描図している。
The cleaning
各ポンプ71の下流側の処理液流路12は、例えば継手CPを介して基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4内の各液処理装置WTに接続されている。液処理装置WTには、処理液供給装置1から供給される処理液を一旦貯留する中間貯槽TK、中間貯槽TK内の処理液を処理液ノズルNに圧送するポンプPが設けられている。例えば基板処理システムPRが互いに異なる処理液を用いた液処理を行う4台の液処理装置WT1、WT2、WT3、WT4を有している場合、図5に示すように、液処理装置WT1にはポンプユニット70a内の1のポンプ71aが接続される。同様に、液処理装置WT2には、ポンプユニット70b内のポンプ71aが、液処理装置WT3には、ポンプユニット70c内のポンプ71aが、液処理装置WT4には、ポンプユニット70d内のポンプ71aがそれぞれ接続される。これにより、異なる4種類の処理液を供給するポンプユニット70a、70b、70c、70dから、異なる4種類の処理液による液処理を行う液処理装置WT1、WT2、WT3、WT4に対して独立して処理液を供給することができる。
The processing
なお、図5では、基板処理システムPR1にのみ処理液流路12が接続された状態を描図しているが、図示の都合上、他の基板処理システムPR2〜PR4と処理液供給装置1とを接続する処理液流路12等を省略して記載しており、処理液供給装置1と他の基板処理システムPR2〜PR4との間も、適宜処理液流路12及び配管ダクトDにより接続されている。即ち、例えば基板処理システムPR2の液処理装置WT1には、ポンプユニット70aのポンプ71bが、基板処理システムPR3の液処理装置WT1には、ポンプユニット70aのポンプ71cが、基板処理システムPR4の液処理装置WT1には、ポンプユニット70aのポンプ71dが、それぞれ接続されており、他の液処理装置WT2〜WT4についても、同様のルールに基づいてそれぞれ処理液流路12により接続されている。そして、各処理液流路12は、各基板処理システムPR1〜PR4毎に設けられた配管ダクトD内に、それぞれ敷設されている。そして、各配管ダクトD内には既述の通り、それぞれリークセンサLSが設置されている。
In FIG. 5, the state in which the processing
なお、リークセンサLSの設置個所については本実施の内容に限定されるものではなく、リークの可能性のある箇所に対して適宜設置することが好ましい。例えば、各ポンプユニット70内の配管や弁は、通常、継手(図示せず)により接続されるため、リークの可能性がある。そのため、例えば各ポンプユニット70内でリークの可能性のある箇所、より具体的には、継手などの接続部にリークセンサLSを設けるようにしてもよい。 Note that the installation location of the leak sensor LS is not limited to the contents of the present embodiment, and it is preferable to install the leak sensor LS as appropriate in a location where there is a possibility of leakage. For example, pipes and valves in each pump unit 70 are usually connected by a joint (not shown), and thus there is a possibility of leakage. Therefore, for example, the leak sensor LS may be provided at a location where there is a possibility of leakage in each pump unit 70, more specifically, at a connection portion such as a joint.
各ポンプ71a、71b、71c、71dについても、上述の制御部4により動作の制御が行われる。各ポンプ71の制御について説明する。例えば各基板処理システムPRの液処理装置WTに設けられた中間貯槽TKには、ポンプユニット70の中間貯槽73と同様に、内部の処理液の液面高さを測定する液面計(図示せず)が設けられている。そして、この液面計により中間貯槽TK内の処理液の液面が、処理液の補充が必要となる高さまで低下すると、基板処理システムPRに設けられた図示しない制御部から、処理液供給装置1の制御部4に対して処理液補充を要求する信号が伝送される。そして制御部4が処理液補充の要求信号を受信すると、制御部4は処理液の補充対象となる中間貯槽TKに接続されたポンプ71を起動させる。例えば基板処理システムPR1の液処理装置WT1からの要求信号を受信した場合、ポンプユニット70のポンプのうち、液処理装置WT1の中間貯槽TKに接続された、ポンプ71aを起動させる。
The operation of each
そして、中間貯槽TKの液面高さが所定の値に到達すると、例えば基板処理システムPR1からの要求信号が消失し、当該要求信号の消失を検知した制御部4は、ポンプ71を停止させる。また、要求信号に基づいてポンプ71が起動しているにも関わらず、液処理装置WT1からの要求信号が所定の時間以上継続する、或いは、中間貯槽TKの液面高さがさらに所定の値低下した場合、何らかの異常により中間貯槽TKに対して処理液が供給されていないことが考えられるので、制御部4は、処理液の補充が不調である旨の警報を発する。制御部4から発した警報は、例えば図示しない中央操作室のホストコンピュータ上に表示される。なお、処理液の補充が不調となる原因としては、例えば処理液流路12のリークや、ポンプ71の故障などが考えられる。
When the liquid level in the intermediate storage tank TK reaches a predetermined value, for example, the request signal from the substrate processing system PR1 disappears, and the
また、例えば基板処理システムPR1に接続された配管ダクトD内のリークセンサLSによりリークが検出された場合、制御部4は、リーク発生の警報を発すると共に、それ以上リークが生じないように、基板処理システムPR1に接続されたポンプ71aの動作をインターロックにより停止する。また、例えばポンプユニット70a内のリークセンサLSでリークが検出された場合は、当該リークのあったポンプユニット70aのポンプ71をインターロックにより停止させるようにしてもよい。
For example, when a leak is detected by the leak sensor LS in the pipe duct D connected to the substrate processing system PR1, the
本実施の形態に係る処理液供給装置1は以上のように構成されている。次に、この処理液供給装置1による複数の基板処理システムPRへの処理液の供給について説明する。
The processing
処理液供給装置1からの処理液の供給にあたっては、先ず各搬入出部10に対して、作業員OPにより、処理液を貯留した新たな容器2が搬入される。新たな容器2が搬入されると、各搬入出部10により新たな容器2が適宜隔壁21内に搬送される。
When supplying the processing liquid from the processing
隔壁21内の搬入出部10上の新たな容器2は、容器交換機構22の容器搬送機構23により、搬入出部10上から容器載置台20上へ載置される。容器載置台20上に新たな容器2が搬送されると、隔壁21の開閉シャッタ21aが閉じられ、ガス供給管60により隔壁21内に清浄な不活性ガスが供給される。これにより、隔壁21内が清浄な不活性ガス雰囲気となる。
The
その後、新たな容器2は、キャップ着脱機構24によりキャップ2aが取り外される。次いで、ノズル着脱機構26により、キャップ2aを外した後の新たな容器2に対して吸引ノズル25が挿入されると共に、新たな容器2の開口が保持部50により気密に塞がれる。この際、隔壁21内は清浄な不活性ガスの雰囲気となっているため、新たな容器2内の処理液が酸素により変質したり、容器2内にパーティクルが混入したりすることがない。
Thereafter, the
次いで、中間貯槽73の液面が高さLを下回っていれば、加圧弁75が開操作されて、新たな容器2から中間貯槽73に対して処理液が圧送される。そして、中間貯槽73の液面高さがHに到達すると、加圧弁75が閉操作される。これにより、ポンプ71により基板処理システムPRに対して処理液が供給可能となる。そして、基板処理システムPR側からの信号に基づいて、ポンプ71により液処理装置WTの中間貯槽TKに対して適宜処理液が供給される。
Next, if the liquid level in the
その後、各ポンプ71により順次各液処理装置WTに対して処理液が供給され、新たな容器2内の処理液が空になり、中間貯槽73に処理液が供給されなくなると、中間貯槽73の液面高さがLLに到達する。そうすると、先ずノズル着脱機構26により容器載置台20上の使用済みの容器3から吸引ノズル25が取り外される。この際、隔壁21の開閉シャッタ21aは閉じた状態であり、ガス供給管60から清浄な不活性ガスの供給も引き続き行われる。その後、不活性ガスの供給を停止し、隔壁21の開閉シャッタ21aが一時的に開放され、使用済みの容器3は容器交換機構22により搬入出部10に対して搬送される。
Thereafter, the processing liquid is sequentially supplied to each liquid processing apparatus WT by each
次に、搬入出部10により使用済みの容器3が図1のX方向正方向側に搬送されて当該容器3が処理液供給装置1の外部に搬出されると共に、搬入出部10上の新たな容器2が隔壁21内に搬入される。そして、隔壁21内の搬入出部10上の新たな容器2は、容器交換機構22により容器載置台20上に載置される。次いで、開閉シャッタ21aが再び閉じられると共に、ガス供給管60により隔壁21内に再度清浄な不活性ガスが供給される。
Next, the used
その後、キャップ着脱機構24により新たな容器2のキャップ2aが取り外され、次いで、ノズル着脱機構26により、キャップ2aを外した後の新たな容器2に対して吸引ノズル25が挿入されると共に、新たな容器2の開口が保持部50により気密に塞がれる。
Thereafter, the
そして、この新たな容器2と使用済みの容器3との交換作業が繰り返し行われると、搬入出部10上の新たな容器2が所定の数を下回る。それにより、処理液供給装置1への容器補充を促すための警報が発せられ、警報を確認した作業員OPにより、順次新たな容器2が搬入出部10に対して補充される。この際、処理液供給装置1は複数の基板処理システムPRに対して共通して設けられているので、複数の基板処理システムPRに対して処理液を供給する場合であっても、作業員OPは処理液供給装置1に対して新たな容器2を補充すれば足りる。
When the replacement operation of the
また、例えば基板処理システムPR側で使用する処理液を変更する場合、例えば洗浄液供給源80から洗浄液供給管81を介して洗浄液を供給して、吸引ノズル25及び使用済みの容器3を洗浄する。次いで、洗浄液により洗浄された容器3内に加圧気体供給源72から清浄気体を供給して、配管77、中間貯槽73を介してドレン管82から洗浄液を排出する。そして、加圧気体供給源72から清浄気体を継続して供給し、各配管内のパージを行う。そして、必要に応じてこの作業を繰り返して行って、ポンプユニット70内の洗浄を行う。
For example, when changing the processing liquid used on the substrate processing system PR side, for example, the cleaning liquid is supplied from the cleaning
そして、搬入出部10に異なる処理液を貯留した新たな容器2を搬入し、容器交換機構22、キャップ着脱機構24及びノズル着脱機構26による一連の作業が行われ、異なる処理液が供給可能となる。
And the
そして、この処理液供給において、リークセンサLSによりリークが検出された場合は、制御部4により、リークに関連する箇所のポンプ71が適宜停止される。そして作業員OPは、リークセンサLSがリークを検出した箇所について適宜検査を行う。例えば基板処理システムPR2に接続された配管ダクトD内のリークセンサLSによりリークが検出された場合、当該リークセンサLSが設置されていた配管ダクトD内の検査が行われる。この際、配管ダクトD内には基板処理システムPR2に接続された処理液流路12のみが敷設されており、処理液流路12の数は限定されているので、比較的容易にリーク箇所を発見することができる。
In this processing liquid supply, if a leak is detected by the leak sensor LS, the
そして、リーク箇所が特定されると、作業員OPにより適宜復旧作業が行われ、再び基板処理システムPR2に対する処理液の供給が行われる。 When the leak location is specified, the operator OP appropriately performs a recovery operation, and the processing liquid is again supplied to the substrate processing system PR2.
以上の実施の形態によれば、処理液供給装置1が、容器2、3と複数の基板処理システムPRとの間を接続する処理液流路12を囲繞する配管ダクトDを有しており、各配管ダクトDは各基板処理システムPRに対して個別に設けられている。例えばどの基板処理システムPRに接続されている処理液流路12からのリークであるかを、配管ダクトD内のリークの有無を確認することで特定できる。したがって、複数の基板処理システムに対して設けられた共通の処理液供給装置から一括して処理液を供給するにあたり、容易にリーク箇所の特定を行うことができるので、配管長、即ち処理液流路12が長いことから生じるリーク検知等の不都合を低減することができる。
According to the above embodiment, the processing
また、各配管ダクトDにリークセンサLSを設置することで、どの配管ダクトDでリークが生じているかを遠方から監視、特定することができるので、リークが発生した場合でも、該当の配管ダクトD内を目視検査することで、容易に具体的なリーク箇所を特定することができる。 In addition, by installing a leak sensor LS in each pipe duct D, it is possible to monitor and identify which pipe duct D is leaking from a distance, so even if a leak occurs, the corresponding pipe duct D By visually inspecting the inside, a specific leak location can be easily identified.
また、処理液流路12を流れる処理液が例えばレジスト液などの光による変質のおそれのある液体であっても、処理液流路12を遮光部材から形成される配管ダクトDで囲繞することで、処理液流路12を外部の光から遮蔽して、処理液の感光を防止することができる。
Further, even if the processing liquid flowing through the processing
さらには、各処理液流路12が配管ダクトD内に敷設されているので、例えば処理液流路12から処理液のリークがあった場合も、例えばクリーンルームCL内に処理液がリークしてクリーンルームCLを汚染することがない。
Furthermore, since each processing
加えて、処理液供給装置1が基板処理システムPRの外部に別途設けられているので、処理液供給装置1をクリーンルームCLの外部に設置すれば、クリーンルームCLのフットプリントを低減することができる。そして、容器交換機構22が、清浄な不活性ガス雰囲気に区画できる隔壁21内に配置されているのでクリーンルームの外部であっても、新たな容器2内の処理液等がパーティクルに汚染されることもない。なお、例えば処理液が酸素による変質を伴うものでなかったり、処理液供給装置1がクリーンルームCL内に設置されるため、処理液供給装置1の設置環境そのものが清浄であったりする場合、隔壁21は必ずしも設ける必要はない。
In addition, since the processing
以上の実施の形態では、処理液供給装置1にリークセンサLSを設けていたが、例えば処理液の供給先である基板処理システムPR内にもリークセンサLSを設けてもよい。例えば基板処理システムPR内の各液処理装置WTにリークセンサを設置し、液処理装置WTでリークが検出された場合、当該液処理装置WTに接続されたポンプ71を停止することで、リークの拡大を事前に防止できる。
In the above embodiment, the leak sensor LS is provided in the processing
また、配管ダクトD内のリークをさらに確実に検知するため、処理液供給装置1から送液される処理液の流量と、基板処理システムPRに導入される処理液の流量との差分により、リークを検出してもよい。例えば図5に示すように流量センサFS1、FS2を、処理液供給装置1内に配置される処理液流路12と、基板処理システムPRの入口に配置される処理液流路12にそれぞれ設置し、各々流量を検出する。そして、例えば制御部4により、流量センサFS1と流量センサFS2との差分を算出し、当該差分が予め設定した閾値よりも大きければ、流量センサFS1と流量センサFS2との間でリークが発生していると判断するようにする。
Further, in order to detect the leak in the pipe duct D more reliably, the leak is determined by the difference between the flow rate of the processing liquid fed from the processing
なお、以上の実施の形態では、容器載置台20上で吸引ノズル25が接続された新たな容器2内の処理液の有無を、例えば中間貯槽73に設けられた液面計74の測定結果に基づいて制御部4で判定していたが、例えば吸引ノズル25の先端部近傍にレベルスイッチ等の液面検出機構を設け、当該レベルスイッチの検出結果に基づいて判定するようにしてもよい。また、例えば吸引ノズル25や、当該吸引ノズル25と中間貯槽73を接続する配管77に流量センサ等を設置し、容器2の内部を加圧しても流量センサにより流量が検出されない場合は、容器2内に処理液が無いと判断するようにしてもよい。
In the above-described embodiment, the presence or absence of the processing liquid in the
以上の実施の形態では、ポンプユニット70a内に設置されるポンプ71の設置台数を、処理液流路12を介して処理液供給装置1に接続された基板処理システムPRの設置数と同数以上に設定したが、ポンプ71の設置台数は必ずしも本実施の形態の内容に限定されるものではなく、ポンプユニット70が複数の各基板処理システムPRに対して処理液を供給可能に構成されていれば、ポンプ71の設置台数は任意に設定できる。即ち、ポンプユニット70あたりのポンプ71の設置台数は、基板処理システムPRの設置数以上であってもよいし、基板処理システムPRの設置数よりも少なくてもよい。
In the above embodiment, the number of installed
ポンプ71の設置台数を基板処理システムPRの設置数以上とする場合、基板処理システムPRの各液処理装置WTは、少なくとも1つ以上のポンプとそれぞれ接続される。また、ポンプユニット70あたりのポンプ71の設置台数を、供給対象となる基板処理システムPRよりも少なくできる場合としては、例えば図6に示すように、例えば4台の基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4に対して同時に処理液を供給できる容量を備えたポンプ71を各基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4に共通して設ける例が挙げられる。なお、ポンプ71を共通化する場合、ポンプ71が故障すると全ての基板処理システムPR1、PR2、PR3、PR4に対する処理液の供給が停止するおそれがある。そのため、例えば図6に示すように、ポンプユニット70内に2台のポンプ71を並列に設置して、一方のポンプ71に異常が生じた場合、他方のポンプ71によりバックアップ可能に構成することが好ましい。なお、処理液流路12の各基板処理システムPRへの分岐は必ずしもポンプユニット70内に設けなくてもよく、ポンプユニット70の外部であって各基板処理システムPRの近傍に分岐を設けるようにしてもよい。かかる場合、ポンプユニット70の外部であって分岐前の処理液流路12については共通する配管ダクトD内に敷設し、例えば基板処理システムPRの近傍で処理液流路12を分岐させた後に、基板処理システム毎に分岐後の処理液流路を一括して囲繞するように配管ダクトDについても分岐させることが好ましい。
When the number of installed pumps 71 is equal to or greater than the number of installed substrate processing systems PR, each liquid processing apparatus WT of the substrate processing system PR is connected to at least one pump. Moreover, as a case where the number of installed
なお、以上の実施の形態では、搬入出部10が複数の容器2、3を搬送可能に構成されていたが、搬入出部10は必ずしも複数の容器2、3を搬送可能に構成される必要はない。搬入出部10の機能としては、最低限、容器交換機構22により容器載置台20との間で交換を行う容器2、3を載置するための場所が確保されていればよい。つまり、例えば図2に示す隔壁21と搬入出部10とが接続するエリアさえ確保されていれば、搬入出部10としての機能は満足する。但し、搬入出部10に載置可能な新たな容器2の数は、処理液供給装置1にストックできる新たな容器2の数と同義であり、ストックできる新たな容器2の数が多いほど処理液供給装置1への新たな容器2の補充の頻度を低下させることができる。したがって、搬入出部10は、複数の新たな容器2を設置可能に構成することが好ましい。
In the above embodiment, the loading /
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。以上の実施の形態では、処理液供給装置1が半導体ウェハ製造用の処理液を貯留する容器を収容する場合を例に説明したが、処理液としては、半導体ウェハ製造用の処理液に限らず、例えば半導体ウェハ同士を貼り合せる接合プロセスに用いる接着剤を処理液とする場合などにおいても、当然に適用できる。
The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood. The present invention is not limited to this example and can take various forms. In the above embodiment, the case where the processing
本発明は、基板処理システムに対して処理液を供給する際に有用である。 The present invention is useful when supplying a processing liquid to a substrate processing system.
1 処理液供給装置
2 新たな容器
3 使用済みの容器
10 搬入出部
11 処理液供給部
12 処理液流路
20 容器載置台
21 隔壁
22 容器交換機構
23 容器搬送機構
24 キャップ着脱機構
25 吸引ノズル
26 ノズル着脱機構
30 搬送アーム
40 開閉部
50 保持部
60 ガス供給管
61 不活性ガス供給源
70 ポンプユニット
71 ポンプ
80 洗浄液供給源
CL クリーンルーム
D ダクト
S 容器センサ
PR 基板処理システム
TW 液処理装置
DESCRIPTION OF
Claims (4)
前記処理液が貯留されている容器を載置する複数の容器載置部と、
前記容器載置部に配置された前記容器と、複数の前記基板処理システムとを接続する複数の処理液流路と、
前記容器内の処理液を、前記処理液流路を介して複数の前記基板処理システムに対して圧送する処理液供給部と、
前記基板処理システムに接続する複数の前記処理液流路を、前記基板処理システム毎に一括して囲繞する複数の配管ダクトと、を有し、
前記各配管ダクト内には、処理液のリークを検出するリークセンサが設置されていることを特徴とする、処理液供給装置。 A plurality of types of processing liquids stored in a plurality of containers are supplied from the outside of the substrate processing system to a plurality of substrate processing systems including a liquid processing unit that performs a liquid processing of a substrate using a processing liquid. A processing liquid supply device,
A plurality of container placement portions for placing containers in which the processing liquid is stored;
A plurality of processing liquid flow paths connecting the container disposed in the container mounting portion and the plurality of substrate processing systems;
A processing liquid supply unit that pumps the processing liquid in the container to the plurality of substrate processing systems via the processing liquid flow path;
A plurality of piping ducts that collectively surround the plurality of processing liquid flow paths connected to the substrate processing system for each of the substrate processing systems;
A treatment liquid supply apparatus, wherein a leak sensor for detecting a leakage of the treatment liquid is installed in each pipe duct .
前記処理液が貯留されている容器を載置する複数の容器載置部と、
前記容器載置部に配置された前記容器と、複数の前記基板処理システムとを接続する複数の処理液流路と、
前記容器内の処理液を、前記処理液流路を介して複数の前記基板処理システムに対して圧送する処理液供給部と、
前記基板処理システムに接続する複数の前記処理液流路を、前記基板処理システム毎に一括して囲繞する複数の配管ダクトと、を有し、
前記処理液流路の接続部には、当該接続部からのリークを検出するリークセンサが設置されていることを特徴とする、処理液供給装置。 A plurality of types of processing liquids stored in a plurality of containers are supplied from the outside of the substrate processing system to a plurality of substrate processing systems including a liquid processing unit that performs a liquid processing of a substrate using a processing liquid. A processing liquid supply device,
A plurality of container placement portions for placing containers in which the processing liquid is stored;
A plurality of processing liquid flow paths connecting the container disposed in the container mounting portion and the plurality of substrate processing systems;
A processing liquid supply unit that pumps the processing liquid in the container to the plurality of substrate processing systems via the processing liquid flow path;
A plurality of piping ducts that collectively surround the plurality of processing liquid flow paths connected to the substrate processing system for each of the substrate processing systems;
A treatment liquid supply apparatus , wherein a leak sensor for detecting a leak from the connection portion is installed at a connection portion of the treatment liquid flow path .
前記処理液が貯留されている容器を載置する複数の容器載置部と、
前記容器載置部に配置された前記容器と、複数の前記基板処理システムとを接続する複数の処理液流路と、
前記容器内の処理液を、前記処理液流路を介して複数の前記基板処理システムに対して圧送する処理液供給部と、
前記基板処理システムに接続する複数の前記処理液流路を、前記基板処理システム毎に一括して囲繞する複数の配管ダクトと、を有し、
前記処理液流路における前記処理液供給部側に設けられた、当該処理液流路内を流れる処理液の流量を測定する第1の流量計と、
前記処理液流路における前記基板処理システム側に設けられた、当該処理液流路内を流れる処理液の流量を測定する第2の流量計と、
前記第1の流量計の測定値と前記第2の流量計の測定値の差分を算出し、当該差分が所定の閾値よりも大きければ、前記第1の流量計と前記第2の流量計との間でリークが発生していると判断する制御部と、をさらに有することを特徴とする、処理液供給装置。 A plurality of types of processing liquids stored in a plurality of containers are supplied from the outside of the substrate processing system to a plurality of substrate processing systems including a liquid processing unit that performs a liquid processing of a substrate using a processing liquid. A processing liquid supply device,
A plurality of container placement portions for placing containers in which the processing liquid is stored;
A plurality of processing liquid flow paths connecting the container disposed in the container mounting portion and the plurality of substrate processing systems;
A processing liquid supply unit that pumps the processing liquid in the container to the plurality of substrate processing systems via the processing liquid flow path;
A plurality of piping ducts that collectively surround the plurality of processing liquid flow paths connected to the substrate processing system for each of the substrate processing systems;
A first flow meter provided on the processing liquid supply unit side in the processing liquid channel and measuring a flow rate of the processing liquid flowing in the processing liquid channel;
A second flow meter provided on the substrate processing system side in the processing liquid flow path for measuring the flow rate of the processing liquid flowing in the processing liquid flow path;
The difference between the measured value of the first flow meter and the measured value of the second flow meter is calculated, and if the difference is greater than a predetermined threshold, the first flow meter and the second flow meter And a control unit that determines that a leak has occurred between the two.
Priority Applications (2)
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