JP6395138B2 - 粒子計測装置および粒子計測方法 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態による粒子計測装置1の構成の一例を示すブロック図である。粒子計測装置1は、第1供給部10と、第2供給部20と、攪拌部25と、光源30と、光検知部40と、ポンプ50と、第1バルブ60と、第2バルブ70と、制御部80と、ユーザインタフェース83と、記憶部85と、表示部87と、フィルタ90、95とを備えている。
F2=Fp−F1 (式1)
このように、本実施形態による粒子計測装置1は、清浄気体を被計測気体に補充することによって流量の少ない被計測気体をポンプ50の吸引流量に等しい混合気体にすることができる。これにより、粒子計測装置1は、被計測気体内に含まれる粒子数を正確に計測することができる。
図3は、第2の実施形態によるによる粒子計測装置2の構成の一例を示すブロック図である。粒子計測装置2は、入力部89をさらに備えている。入力部89は、計測の対象となる環境100におけるパラメータの測定値を受け取る。環境100におけるパラメータは、例えば、半導体製造装置のチャンバ内の気圧、気体濃度、温度等でよい。入力部89は、例えば、半導体製造装置に設けられた圧力センサ(図示せず)と接続されており、その圧力センサからチャンバ内の気圧の測定値を受け取る。あるいは、入力部89は、例えば、半導体製造装置に設けられた濃度センサ(図示せず)と接続されており、その濃度センサからチャンバ内の気体濃度の測定値を受け取る。あるいは、入力部89は、例えば、半導体製造装置に設けられた温度計(図示せず)と接続されており、その温度計からチャンバ内の温度の測定値を受け取る。尚、第2実施形態では、入力部89は、オンラインで計測対象の装置と接続されている。しかし、環境100のパラメータの測定値は、オペレータが測定し、オペレータがマニュアルで入力部89あるいはユーザインタフェース83から入力してもよい。
Claims (7)
- 第1気体を導入する第1供給部と、
濾過された第2気体を導入する第2供給部と、
前記第1気体と前記第2気体との混合気体に光を照射する光源と、
前記混合気体からの反射光を検知し、前記混合気体に含まれる粒子数を計測する光検知部と、
前記混合気体を吸引するポンプと、
前記第1供給部に設けられた第1バルブと、
前記第2供給部に設けられた第2バルブと、
予め設定された前記第1気体の第1流量、並びに、前記ポンプによって吸引される前記混合気体の吸引流量を記憶する記憶部と、
前記第1流量の前記第1気体を供給するように前記第1バルブを制御し、並びに、前記吸引流量から前記第1流量を減算した第2流量の第2気体を供給するように前記第2バルブを制御する制御部と、
計測の対象となる環境における或るパラメータの測定値を入力する入力部とを備え、
前記記憶部は、予め設定された前記パラメータの設定条件を格納し、
前記制御部は、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合している場合に、前記第1気体の前記第1流量を所定流量だけ増大させるように前記第1バルブを制御し、
前記第1気体の前記第1流量を前記所定流量だけ増大させた後に、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合しなくなった場合に、前記制御部は、前記第1気体の前記第1流量を所定流量だけ低下させて固定するように前記第1バルブを制御する、粒子計測装置。 - 前記第1供給部と前記第2供給部との間に接続され、前記第1気体に前記第2気体を混合し前記混合気体とする攪拌部をさらに備えた、請求項1に記載の粒子計測装置。
- 前記第2供給部に設けられ、外部からの気体を通過させて前記第2気体を生成するフィルタをさらに備えている、請求項1または請求項2に記載の粒子計測装置。
- 前記制御部は、前記光検知部によって計測された粒子数と前記第1流量とに基づいて、前記第1気体に含まれる粒子の濃度を算出する、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の粒子計測装置。
- 前記第1流量が前記吸引流量よりも小さい場合に、前記制御部は、前記第2流量の第2気体を供給するように前記第2バルブを制御し、
前記第1流量が前記吸引流量以上の場合に、前記制御部は、前記第2気体を供給しないように前記第2バルブを閉じる、請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の粒子計測装置。 - 計測の対象となる環境における或るパラメータの測定値を入力する入力部をさらに備え、
前記記憶部は、予め設定された前記パラメータの設定条件を格納し、
前記制御部は、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合していない場合に、前記第1気体の前記第1流量を所定流量だけ低減させるように前記第1バルブを制御し、
前記第1気体の前記第1流量を前記所定流量だけ低減させた後に、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合した場合に、前記制御部は、前記第1気体の前記第1流量を固定する、請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の粒子計測装置。 - 第1気体を導入する第1供給部と、
濾過された第2気体を導入する第2供給部と、
前記第1気体と前記第2気体との混合気体に光を照射する光源と、
前記混合気体からの反射光を検知し、前記混合気体に含まれる粒子数を計測する光検知部と、
前記混合気体を吸引するポンプと、
前記第1供給部に設けられた第1バルブと、
前記第2供給部に設けられた第2バルブと、
予め設定された前記第1気体の第1流量、並びに、前記ポンプによって吸引される前記混合気体の吸引流量を記憶する記憶部と、
前記第1流量の前記第1気体を供給するように前記第1バルブを制御し、並びに、前記吸引流量から前記第1流量を減算した第2流量の第2気体を供給するように前記第2バルブを制御する制御部と、
計測の対象となる環境における或るパラメータの測定値を入力する入力部とを備え、
前記記憶部は、予め設定された前記パラメータの設定条件を格納し、
前記制御部は、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合していない場合に、前記第1気体の前記第1流量を所定流量だけ低減させるように前記第1バルブを制御し、
前記第1気体の前記第1流量を前記所定流量だけ低減させた後に、前記パラメータの測定値が該パラメータの設定条件に適合した場合に、前記制御部は、前記第1気体の前記第1流量を固定する、粒子計測装置。
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