JP6393989B2 - ガラス基板製造方法 - Google Patents
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Description
K=t2/L4 (2)
[基本原理]
図1は、本発明の実施形態1におけるガラス基板群1を模式的に示す斜視図である。ガラス基板群1は複数のガラス基板3を含む。複数のガラス基板3には、基準姿勢で配置された状態で処理が施される。基準姿勢に基づいて傾かせた傾斜姿勢における複数のガラス基板3の撓みのばらつきが、所定範囲内にある。基準姿勢は、複数のガラス基板3に例えば成膜等の処理を施す際のガラス基板3の姿勢である。傾斜姿勢は、ガラス基板3を基準姿勢に基づいて傾かせた姿勢である。
図2(a)及び図2(b)は、それぞれ、撓み計測装置8を模式的に示した斜視図及び側面図である。撓み計測装置8は、ガラス基板3の撓みを計測する。ガラス基板3の長辺LSの長さ及び短辺SSの長さは、それぞれ、長さL及び長さWである。ガラス基板3の厚さは厚さtである。
K=t2/L4 (2)
[撓み特性の評価]
上述した正規化標準偏差Nσは、複数のガラス基板の撓み特性の評価に適用できる。製造された複数のガラス基板は梱包体(図示せず)に収納される。梱包体ごとに、収納された複数のガラス基板の撓みを計測して正規化標準偏差Nσを算出する。そして、梱包体ごとに撓み特性を評価する。ある梱包体に収納された複数のガラス基板の正規化標準偏差Nσが0.2×10-12以下である場合、その梱包体のガラス基板は良好な撓み特性を有すると評価され、例えば出荷される。一方、ある梱包体に収納された複数のガラス基板の正規化標準偏差Nσが0.2×10-12を超える場合、その梱包体のガラス基板は良好な撓み特性を有さないと評価され、例えば廃棄される。
[ガラス基板群製造装置及びガラス基板群製造方法]
図4(a)は、本発明の実施形態3におけるガラス基板群1の製造装置10の概略構成を示す縦断側面図である。図4(b)は、図4(a)のガラスリボン9及びヒータ群19(19a)を模式的に示す平面図である。以下、図4を参照して、製造装置10を説明する。
(PLPL2+PRPR2)/PRPL>0.2 (4)
TR-R2>TR2-L2 (5)
TL-L2>TR2-L2 (6)
TR-R1>TR-R2 (9)
TL-L1>TL-L2 (10)
3 ガラス基板
5 支持部材
7 レーザ測位計
8 撓み計測装置
9 ガラスリボン
10 製造装置
11 フロートバス
12 搬送方向
13 溶融錫
14 幅方向
15 リフトアウト部
17 ローラ
19(19a) ヒータ群
20(20a) 搬送経路
21 徐冷炉(レア)
23R 外側右端部
23L 外側左端部
25R 内側右端部
25L 内側左端部
27 中央部
29R 右端部
29L 左端部
31 側面
LS 長辺
SS 短辺
L 長辺の長さ
W 短辺の長さ
t 厚さ
θ 所定角度
a 距離(撓みの量)
F1 第1主面
F2 第2主面
V 区間
Claims (6)
- ガラスリボンからガラス基板を製造する方法であって、
フロートバスにて溶融ガラスを前記ガラスリボンに成形する工程と、
前記フロートバスの出口よりも下流側から徐冷炉内までの区間で、前記ガラスリボンの両側面に垂直な方向に沿って前記ガラスリボンの中央部から前記両側面に向かって温度が高くなるように、前記ガラスリボンの温度を制御する制御工程と
を含み、
前記ガラス基板は、矩形状であり、かつ、アルミノシリケートガラスからなり、
前記フロートバスの出口よりも下流側から前記徐冷炉内までの前記区間は、ガラスリボンの粘度が1011.5dPa・s以上1014.5dPa・s以下に相当する区間であることを特徴とする、ガラス基板製造方法。 - 前記制御工程は、
前記フロートバスの出口よりも下流側から前記徐冷炉内までの前記区間で、前記ガラスリボンの前記中央部の平均温度が、前記ガラスリボンの前記中央部を挟む両端部のうち一方端部の平均温度及び他方端部の平均温度の各々より低くなるように、前記ガラスリボンの前記中央部、前記一方端部、及び前記他方端部の温度を制御する工程を含むことを特徴とする、請求項1に記載のガラス基板製造方法。 - 前記ガラスリボンの前記一方端部は、第1端部及び前記第1端部より前記中央部から離れた第2端部を含み、
前記ガラスリボンの前記他方端部は、第3端部及び前記第3端部より前記中央部から離れた第4端部を含み、
前記制御工程は、
前記フロートバスの出口よりも下流側から前記徐冷炉内までの前記区間で、前記第2端部の平均温度が、前記第1端部及び前記第2端部の平均温度より高くなるように、前記第1端部及び前記第2端部の温度を制御する工程と、
前記フロートバスの出口よりも下流側から前記徐冷炉内までの前記区間で、前記第4端部の平均温度が、前記第3端部及び前記第4端部の平均温度より高くなるように、前記第3端部及び前記第4端部の温度を制御する工程と
を含むことを特徴とする、請求項2に記載のガラス基板製造方法。 - 前記制御工程では、前記ガラスリボンの前記両側面に垂直な前記方向に沿った位置PR、位置PR2、位置PL、及び位置PL2、前記方向に沿った距離PRPR2、距離PLPL2、及び距離PRPL、並びに、平均温度TR-R2、平均温度TR2-L2、及び平均温度TL-L2に基づく式(1)、式(2)、式(3)、及び式(4)を満たす第1温度制御を実行し、
前記ガラスリボンは、前記中央部と、前記中央部を挟む両端部とを有し、前記両端部は、一方端部と他方端部とを有し、
前記位置PRは、前記一方端部の両端のうち前記ガラスリボンの中央位置PCから遠い端であり、
前記位置PR2は、前記一方端部の両端のうち前記中央位置PCに近い端であり、
前記位置PLは、前記他方端部の両端のうち前記中央位置PCから遠い端であり、
前記位置PL2は、前記他方端部の両端のうち前記中央位置PCに近い端であり、
前記距離PRPR2は、前記位置PRと前記位置PR2との間の距離であり、
前記距離PLPL2は、前記位置PLと前記位置PL2との間の距離であり、
前記距離PRPLは、前記位置PRと前記位置PLとの間の距離であり、
前記平均温度TR-R2は、前記方向に沿った前記位置PRと前記位置PR2との間の平均温度であり、
前記平均温度TR2-L2は、前記方向に沿った前記位置PR2と前記位置PL2との間の平均温度であり、
前記平均温度TL-L2は、前記方向に沿った前記位置PLと前記位置PL2との間の平均温度である、請求項1に記載のガラス基板製造方法。
0.7≦PRPR2/PLPL2≦1.3 (1)
(PLPL2+PRPR2)/PRPL>0.2 (2)
TR-R2>TR2-L2 (3)
TL-L2>TR2-L2 (4) - 前記制御工程では、前記ガラスリボンの前記両側面に垂直な前記方向に沿った位置PR、位置PR2、位置PL、及び位置PL2、前記方向に沿った距離PRPR2、距離PLPL2、及び距離PRPL、並びに、平均温度TR-R2、平均温度TR2-L2、及び平均温度TL-L2に基づく式(1)、式(2)、式(3)、及び式(4)を満たす第2温度制御を実行し、
前記ガラスリボンは、前記中央部と、前記中央部を挟む両端部とを有し、前記両端部は、一方端部と他方端部とを有し、
前記位置PRは、前記一方端部の両端のうち前記ガラスリボンの中央位置PCから遠い端であり、
前記位置PR2は、前記一方端部の両端のうち前記中央位置PCに近い端であり、
前記位置PLは、前記他方端部の両端のうち前記中央位置PCから遠い端であり、
前記位置PL2は、前記他方端部の両端のうち前記中央位置PCに近い端であり、
前記距離PRPR2は、前記位置PRと前記位置PR2との間の距離であり、
前記距離PLPL2は、前記位置PLと前記位置PL2との間の距離であり、
前記距離PRPLは、前記位置PRと前記位置PLとの間の距離であり、
前記平均温度TR-R2は、前記方向に沿った前記位置PRと前記位置PR2との間の平均温度であり、
前記平均温度TR2-L2は、前記方向に沿った前記位置PR2と前記位置PL2との間の平均温度であり、
前記平均温度TL-L2は、前記方向に沿った前記位置PLと前記位置PL2との間の平均温度である、請求項1に記載のガラス基板製造方法。
0.7≦PRPR2/PLPL2≦1.3 (1)
(PLPL2+PRPR2)/PRPL>0.4 (2)
TR-R2>TR2-L2 (3)
TL-L2>TR2-L2 (4) - 前記制御工程では、前記平均温度TR-R2及び前記平均温度TL-L2、前記方向に沿った位置PR1及び位置PL1、前記方向に沿った距離PRPR1及び距離PLPL1、並びに、平均温度TR-R1及び平均温度TL-L1に基づく式(5)、式(6)、及び式(7)を満たす第3温度制御を実行し、
前記位置PR1は、前記位置PRと前記位置PR2との間の位置であり、
前記位置PL1は、前記位置PLと前記位置PL2との間の位置であり、
前記距離PRPR1は、前記位置PRと前記位置PR1との間の距離であり、
前記距離PLPL1は、前記位置PLと前記位置PL1との間の距離であり、
前記平均温度TR-R1は、前記方向に沿った前記位置PRと前記位置PR1との間の平均温度であり、
前記平均温度TL-L1は、前記方向に沿った前記位置PLと前記位置PL1との間の平均温度である、請求項4又は請求項5に記載のガラス基板製造方法。
0.7≦PRPR1/PLPL1≦1.3 (5)
TR-R1>TR-R2 (6)
TL-L1>TL-L2 (7)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014005969A JP6393989B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | ガラス基板製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014005969A JP6393989B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | ガラス基板製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018029878A Division JP6521122B2 (ja) | 2018-02-22 | 2018-02-22 | デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015134692A JP2015134692A (ja) | 2015-07-27 |
JP6393989B2 true JP6393989B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=53766863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014005969A Expired - Fee Related JP6393989B2 (ja) | 2014-01-16 | 2014-01-16 | ガラス基板製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6393989B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6902210B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2021-07-14 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス基板群及びその製造方法 |
KR20230098818A (ko) * | 2020-11-04 | 2023-07-04 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리 기판 및 전자 디바이스의 제조 방법 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007051038A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Chugai Ro Co Ltd | 平面ガラス板用連続焼成装置 |
JP2007230817A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | フロートガラス及びその製造方法並びにそのフロートガラスを用いたディスプレイ用パネル |
KR101028981B1 (ko) * | 2006-07-13 | 2011-04-12 | 아사히 가라스 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 기판 및 그 제조 방법 그리고 액정 디스플레이 패널 |
JP2012137758A (ja) * | 2011-12-19 | 2012-07-19 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス基板 |
JP5109095B2 (ja) * | 2012-04-02 | 2012-12-26 | 旭硝子株式会社 | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 |
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2014
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015134692A (ja) | 2015-07-27 |
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