JP6393685B2 - 顕微鏡、及び顕微鏡による試料検査方法 - Google Patents
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Description
具体的には、上記の課題を解決するために、本発明の第1の視点により、試料のための照明光を生成するための1又は複数のレーザと、試料からの検出信号のための検出装置を有する顕微鏡、とりわけ共焦点顕微鏡が提供される。該顕微鏡においては、該検出装置が予め設定可能な異なる波長領域を検出するために調整可能な複数のスペクトル検出チャンネルを有するよう構成され、
前記複数のスペクトル検出チャンネルに夫々複数の時間的検出ウィンドウが割り当て可能に構成され、前記複数のスペクトル検出チャンネルに夫々割り当て可能に構成された前記複数の時間的検出ウィンドウは、測定中に調整可能である(形態1・第1基本構成)。
(形態2)上記の顕微鏡において、前記スペクトル検出チャンネルの波長領域及び/又は前記時間的検出ウィンドウは、測定中、調整可能及び/又は描出ないし表示可能であることが好ましい。
(形態3)上記の顕微鏡において、前記波長領域及び/又は前記時間的検出ウィンドウは夫々異なる値を有することが好ましい。
(形態4)上記の顕微鏡において、各スペクトル検出チャンネルに対し、1つの独立の評価電子装置又は独立の評価チャンネルが割り当てられるか又は複数の独立の評価チャンネルが割り当てられ、有利には各評価チャンネルに対し、1つの時間的検出ウィンドウ又は複数の時間的検出ウィンドウが割り当てられることが好ましい。
(形態5)上記の顕微鏡において、前記評価電子装置における前記1つの評価チャンネルにおける又は前記複数の評価チャンネルにおける評価は、前記時間的検出ウィンドウに時間的に関連する制御信号によって活性化可能又は不活性化可能であることが好ましい。
(形態6)上記の顕微鏡において、2又は3以上の時間的検出ウィンドウが、データ取り込み中又はデータ取り込み後に互いに関連付け可能であり、有利には、該関連付けの結果は描出ないし表示可能であることが好ましい。
(形態7)上記の顕微鏡において、異なる時間的検出ウィンドウに対し異なるレーザが割り当て可能であることが好ましい。
更に、上記の課題を解決するために、顕微鏡、とりわけ共焦点顕微鏡、とりわけ上記形態1〜7の何れかの顕微鏡、によって試料を検査するための方法が提供される。該方法においては、該顕微鏡が、試料のための照明光を生成するための1又は複数のレーザと、該試料からの検出信号のための検出装置を有し、該検出装置が、予め設定可能な異なる波長領域の検出のために調整可能な複数のスペクトル検出チャンネルを有し、
前記複数のスペクトル検出チャンネルに夫々複数の時間的検出ウィンドウが割り当て可能であり、かくして、検出信号が前記複数の時間的検出ウィンドウに取り込まれ、前記複数のスペクトル検出チャンネルに夫々割り当て可能に構成された前記複数の時間的検出ウィンドウは、測定中に調整可能である(形態8・第2基本構成)。
(形態9)上記の方法において、取り込まれるべき検出信号の評価は並行的又は順次的に実行されることが好ましい。
(形態10)上記の方法において、各スペクトル検出チャンネルに対し、1つの独立の評価電子装置又は独立の評価チャンネルが割り当てられるか又は複数の独立の評価チャンネルが割り当てられ、有利には各評価チャンネルに対し、1つの時間的検出ウィンドウ又は複数の時間的検出ウィンドウが割り当てられることが好ましい。
(形態11)上記の方法において、前記評価電子装置における前記1つの評価チャンネルにおける又は前記複数の評価チャンネルにおける評価は、前記時間的検出ウィンドウに時間的に関連する制御信号によって活性化又は不活性化されることが好ましい。
(形態12)上記の方法において、順次的評価の場合、時間的検出ウィンドウの終端において前記制御信号を不活性化する毎に、アドレスカウンタがインクリメントされることが好ましい。
(形態13)上記の方法において、時間的検出ウィンドウの評価された画像情報を含む各記憶セルは、個別に予め設定可能なマークが配されることが好ましい。
(形態14)上記の方法において、取り込まれるべき検出信号の評価は、トラック・アンド・ホールド回路によって実行され、ゲーティングパルスの各スタートによって、データ蓄積が開始されることが好ましい。
(形態15)上記の方法において、2又は3以上の時間的検出ウィンドウは、データ取り込み中又はデータ取り込み後に互いに関連付けられ、有利には、該関連付けの結果が描出ないし表示されることが好ましい。
(形態16)上記の方法において、異なる時間的検出ウィンドウに対し異なるレーザが割り当てられることが好ましい。
2 波長領域
Ch.1 検出チャンネル
Ch.2 検出チャンネル
Ch.1.1 検出ウィンドウ
Ch.1.2 検出ウィンドウ
Ch.1.3 検出ウィンドウ
Ch.2.1 検出ウィンドウ
Ch.2.2 検出ウィンドウ
Ch.2.3 検出ウィンドウ
Claims (16)
- 試料のための照明光を生成するための1又は複数のレーザと、試料からの検出信号のための検出装置を有する顕微鏡又は共焦点顕微鏡であって、
該検出装置が予め設定可能な異なる波長領域(1、2)を検出するために調整可能な複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)を有するよう構成され、
前記複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に夫々複数の時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)が割り当て可能に構成され、
前記複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に夫々割り当て可能に構成された前記複数の時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)は、測定中に調整可能である、
顕微鏡。 - 前記スペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)の波長領域(1、2)及び/又は前記時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)は、測定中、調整可能及び/又は描出ないし表示可能である、
請求項1に記載の顕微鏡。 - 前記波長領域(1、2)及び/又は前記時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)は夫々異なる値を有する、
請求項1又は2に記載の顕微鏡。 - 各スペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に対し、1つの独立の評価電子装置又は独立の評価チャンネルが割り当てられるか又は複数の独立の評価チャンネルが割り当てられる、
請求項1〜3の何れかに記載の顕微鏡。 - 前記評価電子装置における前記1つの評価チャンネルにおける又は前記複数の評価チャンネルにおける評価は、前記時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)に時間的に関連する制御信号によって活性化可能又は不活性化可能である、
請求項4に記載の顕微鏡。 - 2又は3以上の時間的検出ウィンドウが、データ取り込み中又はデータ取り込み後に互いに関連付け可能である、
請求項1〜5の何れかに記載の顕微鏡。 - 異なる時間的検出ウィンドウに対し異なるレーザが割り当て可能である、
請求項1〜6の何れかに記載の顕微鏡。 - 顕微鏡又は共焦点顕微鏡又は請求項1〜7の何れかに記載の顕微鏡によって試料を検査するための方法であって、
該顕微鏡が、試料のための照明光を生成するための1又は複数のレーザと、該試料からの検出信号のための検出装置を有し、該検出装置が、予め設定可能な異なる波長領域(1、2)の検出のために調整可能な複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)を有し、
前記複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に夫々複数の時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)が割り当て可能であり、かくして、検出信号が前記複数の時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)に取り込まれ、
前記複数のスペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に夫々割り当て可能に構成された前記複数の時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)は、測定中に調整可能である、
方法。 - 取り込まれるべき検出信号の評価は並行的又は順次的に実行される、
請求項8に記載の方法。 - 各スペクトル検出チャンネル(Ch.1、Ch.2)に対し、1つの独立の評価電子装置又は独立の評価チャンネルが割り当てられるか又は複数の独立の評価チャンネルが割り当てられる、
請求項8又は9に記載の方法。 - 前記評価電子装置における前記1つの評価チャンネルにおける又は前記複数の評価チャンネルにおける評価は、前記時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)に時間的に関連する制御信号によって活性化又は不活性化される、
請求項10に記載の方法。 - 順次的評価の場合、時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)の終端において前記制御信号を不活性化する毎に、アドレスカウンタがインクリメントされる、
請求項9〜11の何れかに記載の方法。 - 時間的検出ウィンドウ(Ch.1.1、Ch.1.2、Ch.1.3、Ch.2.1、Ch.2.2、Ch.2.3)の評価された画像情報を含む各記憶セルは、個別に予め設定可能なマークが配される、
請求項8〜12の何れかに記載の方法。 - 取り込まれるべき検出信号の評価は、トラック・アンド・ホールド回路によって実行され、ゲーティングパルスの各スタートによって、データ蓄積が開始される、
請求項8に記載の方法。 - 2又は3以上の時間的検出ウィンドウは、データ取り込み中又はデータ取り込み後に互いに関連付けられ、有利には、該関連付けの結果が描出ないし表示される、
請求項8〜14の何れかに記載の方法。 - 異なる時間的検出ウィンドウに対し異なるレーザが割り当てられる、
請求項8〜15の何れかに記載の方法。
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