JP6393459B2 - キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法及び製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサ等の積層型セラミック電子部品の製造に広く用いられているキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法に関する。

セラミックグリーンシートは、積層型セラミック電子部品を製造する際の取り扱いを容易にすること等を理由として、その一面がキャリアフィルムによって支えられた状態、即ち、キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートとして提供されている。

このキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートは、一般に、キャリアフィルム上にセラミックスラリーを連続的に塗工し、塗工されたセラミックスラリーを連続的に乾燥してセラミックグリーンシートを作製することによって製造されている。因みに、製造後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートは巻取ローラに巻き取られ、該巻取ローラは積層型セラミック電子部品の製造ラインに搬入される。

前記製造方法は１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを作製する方法であるが、最近では、製造効率を高めること等を理由として、２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する方法も提案されている。

具体例を挙げて説明すれば、後記特許文献１には、キャリアフィルム上に塗工されたセラミックスラリーの一部を掻き取り、吸い取り、又は拭き取りによって長さ方向に除去して未塗工部を形成した後、或いは、長さ方向の未塗工部が形成されるようにキャリアフィルム上にセラミックスラリーをストライプ状に塗工した後にセラミックスラリーを乾燥し、この後にカット刃を用いてキャリアフィルムのみを未塗工部において切断することによって、２つ以上のセラミックグリーンシートを同時に作製する製造方法が開示されている。

しかしながら、特許文献１に開示されている製造方法では、塗工されたセラミックスラリーを長さ方向に除去して未塗工部を形成しているため、塗工スラリーの未塗工部隣接部分に除去に基づく外力が加わることを原因として、該未塗工部隣接部分に広い幅範囲で厚さバラツキを生じ易い。また、セラミックスラリーをストライプ状に塗工して未塗工部を形成しているため、塗工スラリーの未塗工部隣接部分に塗工時の厚さ分布に準じた厚さムラを生じることを原因として、該未塗工部隣接部分に広い幅範囲で厚さバラツキを生じ易い。

要するに、特許文献１に開示されている製造方法によって同時作製された２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにあっては、各々のセラミックグリーンシートに確保可能な厚さが一様な幅領域、即ち、積層型セラミック電子部品を製造する際に使用できる有効幅領域が減少し易い。この有効幅領域はセラミックグリーンシートに求められる重要な要件であり、該有効幅領域が小さいと積層型セラミック電子部品を製造する際の部品取り数が低下すると共に廃棄シート量が増加してしまう。

特開２００２−２７３７１４号公報

本発明の目的は、２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する方法及び装置でありつつも、各セラミックグリーンシートの有効幅領域が減少することを極力防止できるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法及び装置を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明（キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法）は、１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造する方法であって、切断刃を用いて前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおけるセラミックグリーンシートを少なくとも被切断箇所が熱軟化した状態で長さ方向に連続的に切断すると共にキャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断することより、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを幅方向に分断して２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する工程を備える。

また、本発明（キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置）は、１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造する装置であって、切断刃を用いて前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおけるセラミックグリーンシートを少なくとも被切断箇所が熱軟化した状態で長さ方向に連続的に切断すると共にキャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断することより、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを幅方向に分断して２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製するための手段を備える。

本発明によれば、２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する方法及び装置でありつつも、各セラミックグリーンシートの有効幅領域が減少することを極力防止できるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法及び装置を提供することができる。

本発明の前記目的及び他の目的と、各目的に応じた特徴と効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなる。

図１は本発明を適用した製造装置（第１実施形態）の構成図である。 図２（Ａ）は図１に示した切断ガイドローラ及び切断刃の部分拡大断面図、図２（Ｂ）は図１に示した切断ガイドローラの部分拡大上面図である。 図３（Ａ）はキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの部分上面図、図３（Ｂ）は熱軟化部位形成後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの部分上面図、図３（Ｃ）は分断後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの部分上面図、図３（Ｄ）は図３（Ｃ）の部分拡大断面図である。 図４は本発明を適用した製造装置（第２実施形態）の構成図である。 図５は本発明を適用した製造装置（第３実施形態）の構成図である。 図６（Ａ）は分断後のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの他の例を示す部分上面図、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の部分拡大断面図である。

《第１実施形態》
先ず、図１〜図３を引用して、本発明を適用した製造装置（第１実施形態）の構成について説明する。図１〜図３中の符号１１はキャリアフィルム、符号１２はセラミックグリーンシート、符号１１-1及び１１-2は分断後のキャリアフィルム、符号１２-1及び１２-2は分断後のセラミックグリーンシート、符号１３は繰出ローラ、符号１４は切断ガイドローラ、符号１５は巻取ガイドローラ、符号１６は第１巻取ローラ、符号１７は第２巻取ローラ、符号１８はスラリータンク、符号１９は塗工ヘッド、符号２０はポンプ、符号２１は乾燥炉、符号２２は加熱器、符号２３は切断刃である。

繰出ローラ１３は、予め巻き付けられたキャリアフィルム１１を繰り出す役目を果たす。切断ガイドローラ１４は、切断時においてキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２をその外周面の一部で支持する役目を果たす。この切断ガイドローラ１４の外周面には、切断刃２３の一部が非接触状態で入り込む円形溝１４ａが設けられている。巻取ガイドローラ１５は、分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2をその外周面の一部で支持する役目を果たす。

第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７は、分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2を個別に巻き取る役目を果たす。第１巻取ローラ１６と直径と第２巻取ローラ１７の直径は同じであり、しかも、第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７は分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2を幅方向に変位させずに巻き取れるように離れて配置されている。図示を省略したが、第１巻取ローラ１６の軸と第２巻取ローラ１７の軸にはモータ駆動の回転機構から回転動力が伝達される。つまり、第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７の同期回転に基づく引き込み力によってキャリアフィルム１１が繰出ローラ１３から一定速度で繰り出され、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２も同一速度で切断ガイドローラ１４に向かって移動し、分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2も同一速度で第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７に向かって移動するようになっている。

スラリータンク１８は、予め調合されたセラミックスラリーを貯蔵する役目を果たし、塗工ヘッド１９はセラミックスラリーをキャリアフィルム１１上に塗工する役目を果たし、ポンプ２０はスラリータンク１８内のセラミックスラリーを塗工ヘッド１９に圧送する役目を果たす。つまり、キャリアフィルム１１の移動に同期してポンプ２０を作動させることによって、塗工ヘッド１９から吐出されたセラミックスラリーをキャリアフィルム１１上に連続的に塗工できるようになっている。

乾燥炉２１は、キャリアフィルム上１１に塗工されたセラミックスラリーを連続的に乾燥する役目を果たす。図示を省略したが、乾燥炉２１内には所望の乾燥温度（炉内温度）を確保するための電熱ヒータと送風機等が設けられている。

加熱器２２は、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２の移動に同期してセラミックグリーンシート１２の幅方向一部（図３（Ｂ）の熱軟化部位１２ａを参照）を連続的に加熱する役目を果たす。図示を省略したが、加熱器２２としては、電熱ヒータで加熱された空気を送風機によって吹き出し口からセラミックグリーンシート１２に吹き付けて該セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を連続的に加熱するようにした温風吹き出しタイプや、赤外線ヒータ（遠赤外線ヒータ及び近赤外線ヒータを含む）からの赤外線（遠赤外線及び近赤外線を含む）を直接セラミックグリーンシート１２に照射して該セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を連続的に加熱するようにした輻射熱タイプが選択的に使用できる。

切断刃２３は、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過する過程でキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２を二分するように連続的に切断する役目を果たす。この切断刃２３は好ましくは従動回転型の円形刃であり、その外周部分の一部が切断ガイドローラ１４の円形溝１４ａ内に非接触で入り込むように配置されている。前記加熱器２２によってセラミックグリーンシート１２に形成される熱軟化部位１２ａ（図３（Ｂ）を参照）の幅は切断ガイドローラ１４の円形溝１４ａの幅（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）を参照）と略同じか若干大きく、該熱軟化部位１２ａは円形溝１４ａ上を通過するように設定されているため、切断刃２３は熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２を長さ方向の連続的に切断すると共にキャリアフィルム１１も長さ方向の連続的に切断するようになっている。

次に、図１〜図３を引用し、積層セラミックコンデンサを製造する際に用いられるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを例に挙げて、前記製造装置（第１実施形態）によって実現される製造方法（第１実施形態）について説明する。

製造に際しては、キャリアフィルム１１を用意して繰出ローラ１３に巻き付けておくと共にセラミックスラリーを用意してスラリータンク１８に貯蔵しておく。

キャリアフィルム１１は可撓性と耐熱性に優れたプラスチックフィルム、例えばポリエチレンフタレート（ＰＥＴ）から成るものが使用できる。また、キャリアフィルム１１の厚さは例えば２０〜６０μｍの範囲内にあり、幅は例えば２００〜８００μｍの範囲内にある。

セラミックスラリーは積層セラミックコンデンサ用のセラミックグリーンシートとして適した成分、例えば誘電体セラミック粉末（例えばチタン酸バリウム粉末）と溶剤（例えばエタノール、イソプロピルアルコール、メタノール、トルエン等）とバインダ（例えばポリビニルブチラール）と添加剤（可塑剤や分散剤等）を含んでいる。

そして、キャリアフィルム１１を繰出ローラ１３から引き出して、該キャリアフィルム１１を図１において塗工ヘッド１９の下側、乾燥炉２１内、加熱器２２の下側、切断ガイドローラ１４の外周面上を順に通過するように配置し、且つ、分断後のキャリアフィルム１１-1及び１１-2を巻取ガイドローラ１５の外周面上を通過するように配置して、キャリアフィルム１１-1の先端を第１巻取ローラ１６の外周面に固着し、キャリアフィルム１１-2の先端を第２巻取ローラ１７の外周面に固着する。

そして、第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７を同期回転させて、キャリアフィルム１１と分断後のキャリアフィルム１１-1及び１１-2を一定速度（例えば３０〜７０ｍ／ｍｉｎの範囲内）で移動させる。

前記移動により、キャリアフィルム１１が塗工ヘッド１９の下側を通過するときには、塗工ヘッド１９から吐出されたセラミックスラリーがキャリアフィルム１１上に連続的に塗工される。ここで塗工されるセラミックスラリーの厚さは例えば０．１〜３０μｍの範囲内にあり、幅は例えばキャリアフィルム１１の幅の９７〜９９％の範囲内にある。

また、前記移動により、セラミックスラリーが塗工されたキャリアフィルム１１が乾燥炉２１内を通過するときには、キャリアフィルム１１上に塗工されたセラミックスラリーが連続的に乾燥される。ここでの乾燥温度（炉内温度）は例えば３５〜１００℃の範囲内にあり、乾燥時間は例えば２０〜９０ｓｅｃの範囲内にある。これにより、塗工されたセラミックスラリー内の溶剤の殆どが消失すると共に添加剤の一部が消失してセラミックグリーンシート１２が作製される（図３（Ａ）を参照）。ここで作製されるセラミックグリーンシート１２の厚さは例えば０．１〜３０μｍの範囲内にあり、幅は例えばキャリアフィルム１１の幅の９７〜９９％の範囲内にある。

さらに、前記移動により、キャリアフィルム１１上に作製されたセラミックグリーンシート１２が加熱器２２の下側を通過するときには、セラミックグリーンシート１２の幅方向一部が加熱されて略帯状の熱軟化部位１２ａが長さ方向に連続的に形成される（図３（Ｂ）を参照）。この熱軟化部位１２ａの温度は好ましくはキャリアフィルムが熱軟化せずにセラミックグリーンシート１２のみが熱軟化する温度（例えば７０℃）とする。

さらに、前記移動により、熱軟化部位１２ａが形成されたセラミックグリーンシート１２を支えるキャリアフィルム１１が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過するときには、切断刃２３によって、熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２が長さ方向に連続的に切断されると共にキャリアフィルム１１も長さ方向に連続的に切断される。先に述べたように切断刃２３は従動回転型の円形刃であり、その厚さは０．１〜０．６ｍｍの範囲内にある。これにより、キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２が幅方向に分断されて、２つのキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2が同時に作製される。セラミックグリーンシート１２に形成された熱軟化部位１２ａは経時的な温度低下に伴って再び硬化するため、分断後のセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2には熱軟化部位１２ａは残存せず、分断後のセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2の間には切断刃２３の厚さに略相当する僅かな隙間（切れ目）ＣＧが形成される（図３（Ｃ）及び図３（Ｄ）を参照）。

この後、分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2は、各々のキャリアフィルム１１-1及び１１-2が巻取ガイドローラ１５の外周面上を通過した後に図１において左右に分けられ、一方のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1は幅方向に変位せずに第１巻取ローラ１６に巻き取られ、他方のキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2は幅方向に変位せずに第２巻取ローラ１７に巻き取られる。

次に、前記製造装置及び製造方法（第１実施形態）によって得られる効果について説明する。

（Ｅ１）セラミックグリーンシート１２の被切断箇所が熱軟化した状態で該セラミックグリーンシート１２をキャリアフィルム１１と一緒に切断刃２３を用いて切断するため、切断時の応力によって隙間（切れ目）ＣＧに隣接した部分ＣＰ、特に隙間（切れ目）ＣＧに近い部分に若干の厚さ低下は生じるものの（図３（Ｄ）を参照）、厚さ低下を生じる部分の幅が極めて狭いため、分断後のセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2が有する厚さが一様な幅領域、即ち、積層セラミックコンデンサを製造する際に使用できる有効幅領域が減少することは殆ど無い。つまり、分断後のセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2の有効幅領域が減少することを極力防止して、有効幅領域の減少に伴って生じる諸問題、即ち、部品取り数の低下や廃棄シート量の増加を確実に回避できる。

加えて、前記熱軟化によって隙間（切れ目）ＣＧに隣接した部分ＣＰのキャリアフィルム１１に対する粘着力が増すため、切断時に該部分ＣＰがキャリアフィルム１１から剥離することを防止できる。また、前記熱軟化によって切断時に発生する屑（主にセラミックグリーンシート１２の屑）の量を大幅に低減できるため、該屑が分断後のセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2上に残存して部品製造時の障害になる問題も防止できる。さらに、前記熱軟化によって切断刃２３の摩耗を大幅に低減できるため、切断刃２３の交換サイクルを長くしてランニングコストの低減に大きく貢献できる他、切断刃２３の交換のために稼働停止させる頻度を少なくして生産性の向上にも大きく貢献できる。

（Ｅ２）セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を加熱して熱軟化部位１２ａを形成してから、切断刃２３によって該熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２を切断するため、必要十分に熱軟化した部位１２ａを切断刃２３によって確実に切断できる。

（Ｅ３）キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過する過程で前記切断を行うため、切断時に巻取ガイドローラ１５の外周面からキャリアフィルム１１が浮き上がることやセラミックグリーンシート１２がぶれることを確実に防止して、セラミックグリーンシート１２の切断を良好に行えると共に切断面に平滑性を確保できる。

（Ｅ４）分断後のキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2を各々が幅方向に変位しないように第１巻取ローラ１６と第２巻取ローラ１７で個別に巻き取っているため、巻き取りの際にキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2、特にセラミックグリーンシート１２-1及び１２-2に歪みや皺等の変形を生じることがない。

《第２実施形態》
図４は本発明を適用した製造装置（第２実施形態）の構成を示すものであり、該製造装置が前記製造装置（第１実施形態）と異なるところは、
・加熱器２２を排除し、その代わりとして切断刃２３を加熱する加熱器２４を設けた点
にある。この加熱器２４としては、加熱器２２と同様に、電熱ヒータで加熱された空気を送風機によって吹き出し口から切断刃２３に吹き付けて該切断刃２３を加熱するようにした温風吹き出しタイプや、赤外線ヒータ（遠赤外線ヒータ及び近赤外線ヒータを含む）からの赤外線（遠赤外線及び近赤外線を含む）を直接切断刃２３に照射して該切断刃２３を加熱するようにした輻射熱タイプが選択的に使用できる。

また、図４に示した製造装置（第２実施形態）によって実現される製造方法（第２実施形態）が前記製造方法（第１実施形態）と異なるところは、
・切断刃２３をセラミックグリーンシート１２の被切断箇所を熱軟化できる温度（例えば １００℃）に加熱しておき、セラミックグリーンシート１２を支えるキャリアフィルム １１が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過するときに、加熱された切断刃２３によ ってセラミックグリーンシート１２の被切断箇所を熱軟化しつつ長さ方向に連続的に切 断すると共にキャリアフィルム１１も長さ方向に連続的に切断する点
にある。

この製造装置及び製造方法（第２実施形態）でも、前記（Ｅ１）、（Ｅ３）及び（Ｅ４）に記載した効果と同様の効果を得ることができる。

加えて、加熱された切断刃２３によってセラミックグリーンシート１２の被切断箇所を熱軟化しつつ該セラミックグリーンシート１２を切断するため、熱軟化と切断を同時に行える、といった効果も得られる。

《第３実施形態》
図５は本発明を適用した製造装置（第３実施形態）の構成を示すものであり、該製造装置が前記製造装置（第１実施形態）と異なるところは、
・切断刃２３を加熱する加熱器２４を追加した点
にある。この加熱器２４としては、加熱器２２と同様に、電熱ヒータで加熱された空気を送風機によって吹き出し口から切断刃２３に吹き付けて該切断刃２３を加熱するようにした温風吹き出しタイプや、赤外線ヒータ（遠赤外線ヒータ及び近赤外線ヒータを含む）からの赤外線（遠赤外線及び近赤外線を含む）を直接切断刃２３に照射して該切断刃２３を加熱するようにした輻射熱タイプが選択的に使用できる。

また、図５に示した製造装置（第３実施形態）によって実現される製造方法（第３実施形態）が前記製造方法（第１実施形態）と異なるところは、
・切断刃２３をセラミックグリーンシート１２の被切断箇所を熱軟化できる温度（例えば １００℃）に加熱しておき、キャリアフィルム１１上に作製されたセラミックグリーン シート１２が加熱器２２の下側を通過するときに、セラミックグリーンシート１２の幅 方向一部を加熱して帯状の熱軟化部位１２ａが長さ方向に連続的に形成し、そして、熱 軟化部位１２ａが形成されたセラミックグリーンシート１２を支えるキャリアフィルム １１が切断ガイドローラ１４の外周面上を通過するときに、加熱された切断刃２３によ って熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２を 長さ方向に連続的に切断すると共にキャリアフィルム１１も長さ方向に連続的に切断す る点
にある。

この製造装置及び製造方法（第３実施形態）でも、前記（Ｅ１）、（Ｅ３）及び（Ｅ４）に記載した効果と同様の効果を得ることができる。

加えて、セラミックグリーンシート１２の幅方向一部を加熱して熱軟化部位１２ａを形成してから、加熱された切断刃２３によって該熱軟化部位１２ａを幅方向に二分するようにしてセラミックグリーンシート１２を切断するため、必要十分に熱軟化した部位１２ａを切断刃２３によって確実に切断できる他、加熱された切断刃２３の保有熱を利用して熱軟化部位１２ａへの熱補充を切断時に行える、といった効果も得られる。

《他の実施形態》
（１）前記の第１実施形態欄、第２実施形態欄、及び第３実施形態欄では、キャリアフィルム１１上にセラミックスラリーを塗工する手段及び工程と、塗工されたセラミックスラリーを連続的に乾燥してセラミックグリーンシートを作製する手段及び工程を含む製造装置及び製造方法を示したが、各製造装置からスラリータンク１８、塗工ヘッド１９、ポンプ２０及び乾燥炉２１を除外して、別途製造されたキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２を繰出ローラ１３に巻き付けるようにしても、該キャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２を幅方向に分断して２つのキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2を同時に作製することができる。

（２）前記の第１実施形態欄、第２実施形態欄、及び第３実施形態欄では、１つのキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２を幅方向に分断して２つのキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2を同時に作製するものを示したが、製造装置の一部構成を変更すれば、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示したように、１つのキャリアフィルム１１付きセラミックグリーンシート１２から３つのキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2とキャリアフィルム１１-3付きセラミックグリーンシート１２-3を同時に作製することもできるし、４つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することもできる。

具体的には、第１実施形態欄で説明した製造装置にあっては、加熱器２２によってセラミックグリーンシート１２に２つ以上の熱軟化部位１２ａが幅方向に間隔をおき、且つ、長さ方向に連続的に形成されるようにし、該２つ以上の熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設ければ、１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

また、第２実施形態欄で説明した製造装置にあっては、セラミックグリーンシート１２に幅方向に間隔をおいて２つ以上の被切断箇所を設定し、該２つ以上の被切断箇所の位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設け、２つ以上の切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

さらに、第３実施形態欄で説明した製造装置にあって、加熱器２２によってセラミックグリーンシート１２に２つ以上の熱軟化部位１２ａが幅方向に間隔をおき、且つ、長さ方向に連続的に形成されるようにし、該２つ以上の熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設け、２つ以上の切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

（３）前記の第１実施形態欄、第２実施形態欄、及び第３実施形態欄では、２つのキャリアフィルム１１-1付きセラミックグリーンシート１２-1におけるセラミックグリーンシート１２-1の幅とキャリアフィルム１１-2付きセラミックグリーンシート１２-2におけるセラミックグリーンシート１２-2の幅とが略同じものを示したが、製造装置の一部構成を変更すれば、２種類の幅のセラミックグリーンシートを有する２つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することもできるし、３種類以上の幅のセラミックグリーンシートを有する３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することもできる。

具体的には、第１実施形態欄で説明した製造装置にあっては、加熱器２２によって形成される熱軟化部位１２ａの幅方向位置を変化させ、該熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を設け、且つ、切断ガイドローラ１４に円形溝１４ａを設ければ、２種類の幅のセラミックグリーンシートを有する２つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。加えて、加熱器２２によって形成される２つ以上の熱軟化部位１２ａの幅方向位置を変化させ、該２つ以上の熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設ければ、３種類以上の幅のセラミックグリーンシートを有する３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

また、第２実施形態欄で説明した製造装置にあっては、セラミックグリーンシート１２に設定される被切断箇所の幅方向位置を変化させ、該被切断箇所の位置に対応して切断刃２３を設け、且つ、切断ガイドローラ１４に円形溝１４ａを設け、切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、２種類の幅のセラミックグリーンシートを有する２つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。加えて、セラミックグリーンシート１２に設定される２つ以上の被切断箇所の幅方向位置を変化させ、該２つ以上の被切断箇所の位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設け、２つ以上の切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、３種類以上の幅のセラミックグリーンシートを有する３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

さらに、第３実施形態欄で説明した製造装置にあって、加熱器２２によって形成される熱軟化部位１２ａの幅方向位置を変化させ、該熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を設け、且つ、切断ガイドローラ１４に円形溝１４ａを設け、切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、２種類の幅のセラミックグリーンシートを有する２つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。加えて、加熱器２２によって形成される２つ以上の熱軟化部位１２ａの幅方向位置を変化させ、該２つ以上の熱軟化部位１２ａの位置に対応して切断刃２３を２つ以上設け、且つ、切断ガイドローラ１４に２つ以上の円形溝１４ａを設け、２つ以上の切断刃２３を加熱器２４によって加熱するようにすれば、３種類以上の幅のセラミックグリーンシートを有する３つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製することができる。

（４）前記の第１実施形態欄、第２実施形態欄、及び第３実施形態欄では、切断刃２３の好ましい例として従動回転型の円形刃を示したが、モータ駆動の回転機構から回転動力を該円形刃に伝達して強制回転型の円形刃としたものを切断刃２３として用いても良い。勿論、従動回転型の円形刃の代わりに固定型の円形刃や非円形刃を用いても所期の切断を行うことは可能である。

（５）前記の第１実施形態欄、第２実施形態欄、及び第３実施形態欄では、積層セラミックコンデンサを製造する際に用いられるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを例に挙げて説明したが、成分が異なるセラミックスラリーを用いれば、積層セラミックコンデンサ以外の積層型セラミック電子部品を製造する際に用いられるキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを作製することができる。

１１…キャリアフィルム、１１-1，１１-2，１１-3…分断後のキャリアフィルム、１２…セラミックグリーンシート、１２-1，１２-2，１２-3…分断後のセラミックグリーンシート、１３…繰出ローラ、１４…切断ガイドローラ、１５…巻取ガイドローラ、１６…第１巻取ローラ、１７…第２巻取ローラ、１８…スラリータンク、１９…塗工ヘッド、２０…ポンプ、２１…乾燥炉、２２…加熱器、２３…切断刃、２４…加熱器。

Claims (12)

1. １つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造する方法であって、
   切断刃を用いて前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートを少なくとも被切断箇所が熱軟化した状態で長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムを熱軟化していない状態で長さ方向に連続的に切断することより、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを幅方向に分断して前記２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製する工程を備える、
   キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
2. 前記工程は、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの幅方向一部を加熱して熱軟化部位を長さ方向に連続的に形成するステップと、前記切断刃によって前記熱軟化部位を幅方向に二分するようにして前記セラミックグリーンシートを長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断するステップを含む、
   請求項１に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
3. 前記工程は、前記切断刃を加熱するステップと、前記加熱された切断刃によって前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの被切断箇所を熱軟化しつつ長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断するステップを含む、
   請求項１に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
4. 前記工程は、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの幅方向一部を加熱して熱軟化部位を長さ方向に連続的に形成するステップと、前記切断刃を加熱するステップと、前記加熱された切断刃によって前記熱軟化部位を幅方向に二分するようにして前記セラミックグリーンシートを長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断するステップを含む、
   請求項１に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
5. 前記切断は、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートが切断ガイドローラの外周面上を通過する過程で実行される、
   請求項１〜４の何れか１項に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
6. 前記２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートは、互いが離れて配置された個別の巻取ローラによって、各々が幅方向に変位しないように巻き取られる、
   請求項１〜５の何れか１項に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造方法。
7. １つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートから２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを製造する装置であって、
   切断刃を用いて前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートを少なくとも被切断箇所が熱軟化した状態で長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムを熱軟化していない状態で長さ方向に連続的に切断することより、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを幅方向に分断して前記２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを同時に作製するための手段を備える、
   キャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。
8. 前記手段は、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの幅方向一部を加熱して熱軟化部位を長さ方向に連続的に形成する加熱機構と、前記切断刃によって前記熱軟化部位を幅方向に二分するようにして前記セラミックグリーンシートを長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断する切断機構を含む、
   請求項７に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。
9. 前記手段は、前記切断刃を加熱する加熱機構と、前記加熱された切断刃によって前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの被切断箇所を熱軟化しつつ長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断する切断機構を含む、
   請求項７に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。
10. 前記手段は、前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートにおける前記セラミックグリーンシートの幅方向一部を加熱して熱軟化部位を長さ方向に連続的に形成する加熱機構と、前記切断刃を加熱する第２の加熱機構と、前記加熱された切断刃によって前記熱軟化部位を幅方向に二分するようにして前記セラミックグリーンシートを長さ方向に連続的に切断すると共に前記キャリアフィルムも長さ方向に連続的に切断する切断機構を含む、
    請求項７に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。
11. 前記切断機構は、前記切断刃を有する他、切断時において前記１つのキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートをその外周面の一部で支持する切断ガイドローラを有する、
    請求項８〜１０の何れか１項に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。
12. 前記２つ以上のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートを各々が幅方向に変位しないように巻き取るための、互いが離れて配置された個別の巻取ローラを備える、
    請求項７〜１１の何れか１項に記載のキャリアフィルム付きセラミックグリーンシートの製造装置。

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