JP6392049B2 - 内表面処理方法及び内表面処理装置 - Google Patents
内表面処理方法及び内表面処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6392049B2 JP6392049B2 JP2014190717A JP2014190717A JP6392049B2 JP 6392049 B2 JP6392049 B2 JP 6392049B2 JP 2014190717 A JP2014190717 A JP 2014190717A JP 2014190717 A JP2014190717 A JP 2014190717A JP 6392049 B2 JP6392049 B2 JP 6392049B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- processed
- electrode
- surface treatment
- plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Materials For Medical Uses (AREA)
- Media Introduction/Drainage Providing Device (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
図2(A)に示すように、被処理細管20の内部に導入した放電ガスを被処理細管20の放電ガス放出端部23から外部に放出する。
図2(B)に示すように、被処理細管20の外部において、放電ガス放出端部23から放出される放電ガス中に電極部40の先細り先端部41を配置する(電極部40を放電開始位置に配置する)。
図2(C)に示すように、放電ガス中に配置された電極部40に放電電圧を印加することにより、電極部40の先細り先端部41にプラズマを発生させる。
図2(D)に示すように、電極部40に放電電圧を印加したまま、電極部40を被処理細管20の外表面24に移動させる(電極部40を放電継続位置の初期位置に移動させる)ことで、プラズマを被処理細管20の外部から内部に移動させる。つまり、電極部40の先細り先端部41からプラズマが分離して、電極部40の先細り先端部41とプラズマとの間に被処理細管20が介在した状態となる。
図2(E)に示すように、電極部40に放電電圧を印加したまま、電極部40を被処理細管20の外表面24に沿って且つ放電ガス放出端部23よりも軸方向内部に位置する長さ方向に移動させる(電極部40を放電継続位置で移動させる)ことで、プラズマを被処理細管20の内表面21に沿って且つ放電ガス放出端部23よりも軸方向内部に位置する長さ方向に移動させる。これにより、被処理細管20の内表面21が周方向と長さ方向の両方に亘って万遍なく処理(表面改質処理や滅菌処理)される。また図2(E)の[第5ステップ]を、電極部40を被処理細管20の外表面24に接触させた状態で実行することで、電極部4と被処理細管20とが非接触の場合(両者の間に空気間隔が存在する場合)に比べて、放電電圧を低く抑えることができる。
20 被処理細管
21 内表面
22 放電ガス導入端部
23 放電ガス放出端部
24 外表面
30 放電ガス供給源(放電ガス供給部)
40 電極部(先端針状電極)
41 先細り先端部
45 一対の電極部
50 電極部移動機構(相対移動機構)
60 電源部
Claims (6)
- 被処理細管の内表面を処理する内表面処理方法であって、
前記被処理細管の内部に導入した放電ガスを前記被処理細管の放電ガス放出端部から外部に放出するステップと、
前記被処理細管の外部において、前記放電ガス放出端部から放出される前記放電ガス中に電極部を配置するステップと、
前記放電ガス中に配置された前記電極部に放電電圧を印加することにより、前記電極部にプラズマを発生させるステップと、
前記電極部に放電電圧を印加したまま、前記電極部を前記被処理細管の外表面に相対移動させることで、前記プラズマを前記被処理細管の外部から内部に相対移動させるステップと、
前記電極部に放電電圧を印加したまま、前記電極部を前記被処理細管の外表面に沿って且つ前記放電ガス放出端部よりも軸方向内部に位置する長さ方向に相対移動させることで、前記プラズマを前記被処理細管の内表面に沿って且つ前記放電ガス放出端部よりも軸方向内部に位置する長さ方向に相対移動させるステップと、
を有することを特徴とする内表面処理方法。 - 請求項1記載の内表面処理方法において、
前記電極部は、先端部に向かうに連れてその断面積を減少させる単一の先細り先端部を有しており、
前記電極部にプラズマを発生させるステップでは、前記単一の先細り先端部に局所的な電界集中を生じさせる内表面処理方法。 - 請求項1記載の内表面処理方法において、
前記電極部は、先端部に向かうに連れてその断面積を減少させる複数の先細り先端部を有しており、
前記電極部にプラズマを発生させるステップでは、前記複数の先細り先端部の全部または一部に電界集中を生じさせる内表面処理方法。 - 被処理細管の内表面を処理する内表面処理装置であって、
前記被処理細管の内部に導入した放電ガスを前記被処理細管の放電ガス放出端部から外部に放出する放電ガス供給部と、
前記被処理細管の前記放電ガス放出端部の外部に位置する放電開始位置と、前記被処理細管の外表面に沿って且つ前記放電ガス放出端部よりも軸方向内部に位置する長さ方向に相対移動する放電継続位置との間を相対移動可能な電極部と、
前記電極部が前記放電開始位置にあるときに、前記電極部に放電電圧を印加してプラズマを発生させ、さらに、前記電極部が前記放電継続位置にあるときに、前記電極部に対する放電電圧の印加を継続して前記プラズマを前記被処理細管の内表面に沿って且つ前記放電ガス放出端部よりも軸方向内部に位置する長さ方向に相対移動させる電源部と、
を有することを特徴とする内表面処理装置。 - 請求項4記載の内表面処理装置において、
前記電極部は、先端部に向かうに連れてその断面積を減少させる単一の先細り先端部を有しており、
前記電極部に放電電圧を印加してプラズマを発生させるときには、前記単一の先細り先端部に局所的な電界集中を生じさせる内表面処理装置。 - 請求項4記載の内表面処理装置において、
前記電極部は、先端部に向かうに連れてその断面積を減少させる複数の先細り先端部を有しており、
前記電極部に放電電圧を印加してプラズマを発生させるときには、前記複数の先細り先端部の全部または一部に電界集中を生じさせる内表面処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014190717A JP6392049B2 (ja) | 2014-09-19 | 2014-09-19 | 内表面処理方法及び内表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014190717A JP6392049B2 (ja) | 2014-09-19 | 2014-09-19 | 内表面処理方法及び内表面処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016062789A JP2016062789A (ja) | 2016-04-25 |
JP6392049B2 true JP6392049B2 (ja) | 2018-09-19 |
Family
ID=55796126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014190717A Active JP6392049B2 (ja) | 2014-09-19 | 2014-09-19 | 内表面処理方法及び内表面処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6392049B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020081227A (ja) * | 2018-11-21 | 2020-06-04 | 矢崎エナジーシステム株式会社 | 作物の放電殺菌方法および放電殺菌装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS587653B2 (ja) * | 1978-08-17 | 1983-02-10 | 工業技術院長 | プラスチツクチユ−ブ管内表面の処理方法 |
JP2001200369A (ja) * | 2000-01-21 | 2001-07-24 | Kobe Steel Ltd | プラズマcvd装置 |
JP5026169B2 (ja) * | 2007-07-04 | 2012-09-12 | 長野日本無線株式会社 | プラズマ処理装置 |
-
2014
- 2014-09-19 JP JP2014190717A patent/JP6392049B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016062789A (ja) | 2016-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4798635B2 (ja) | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 | |
JP4214213B1 (ja) | プラズマ滅菌装置及び方法 | |
JP2008034184A (ja) | 細線状大気圧放電プラズマの生成方法および生成装置 | |
KR102110637B1 (ko) | 플라즈마 조사 방법, 및 플라즈마 조사 장치 | |
WO2005070017A2 (en) | Capillary-in-ring electrode gas discharge generator for producing a weakly ionized gas and method for using the same | |
JP6392049B2 (ja) | 内表面処理方法及び内表面処理装置 | |
CN109310462B (zh) | 单极电外科器械、电外科系统以及制造电外科器械的方法 | |
JP2022168265A5 (ja) | ||
JP5336691B2 (ja) | プラズマ発生装置、表面処理装置、光源、プラズマ発生方法、表面処理方法および光照射方法 | |
JP5862187B2 (ja) | プラズマ光源 | |
JP6871038B2 (ja) | 放電ランプ、オゾン生成装置およびオゾン生成方法 | |
JPWO2019180839A1 (ja) | プラズマ装置、プラズマ生成方法 | |
JP6304645B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP2008047372A (ja) | プラズマ発生装置 | |
JP5185592B2 (ja) | オゾン発生装置 | |
KR102283376B1 (ko) | 치아 임플란트 표면 친수화용 플라즈마 장치 및 치아 임플란트 표면 친수화 방법 | |
JP2009262172A (ja) | 電子ビーム照射貫通孔内径表面改質装置 | |
JP4792604B2 (ja) | プラズマ滅菌装置 | |
WO2019180840A1 (ja) | プラズマ装置 | |
JP6249469B2 (ja) | 内表面処理装置及び内表面処理方法 | |
JP6230411B2 (ja) | 大気圧プラズマ発生装置、医療器具および大気圧プラズマ処理方法 | |
JP5193483B2 (ja) | プラズマ発生装置およびプラズマ発生方法 | |
JP2019061869A (ja) | プラズマ表面処理方法およびプラズマ表面処理装置 | |
JP6974678B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP6372571B2 (ja) | X線管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170913 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180731 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6392049 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |