JP2022168265A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一態様であるエキシマランプは、オゾンを生成する紫外線を放射可能なエキシマランプであって、放電ガスが封入された筒状の放電容器と、それぞれ放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、放電容器の両端部付近において放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、放電容器の軸方向長さが１０ｍｍ～３０ｍｍであり、放電容器の外径が３ｍｍ～１０ｍｍであり、一対の電極が、それぞれ、放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、放電容器の軸方向に関して放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じる。例えば、放電容器の肉厚が、０．２ｍｍ～４ｍｍの範囲内である。本発明の他の態様である紫外線照射装置は、上記エキシマランプを備える。本発明の他の態様であるオゾン発生装置は、上記エキシマランプを備える。
本発明の他の態様である放電ランプは、放電ガスが封入された筒状の放電容器と、放電容器の外周面に沿って、それぞれ軸方向に延びる一対の電極とを備える。例えば、放電容器の外径は、３ｍｍ～１０ｍｍの範囲であり、放電容器の軸方向長さが、１０ｍｍ～３０ｍｍの範囲であり、放電ガスが、０．１ｋＰａ～３０ｋＰａの範囲内に定められた希ガスで構成することが可能である。本発明の放電ランプでは、放電容器内において局所的に生じた放電から放射された紫外線が、少なくとも一方の電極により遮られる。ここで、「局所的に生じた放電」とは、電極軸に関して、両端部側などに偏った放電を示す。
Claims (4)
- オゾンを生成する紫外線を放射可能なエキシマランプであって、
放電ガスが封入された筒状の放電容器と、
それぞれ前記放電容器の中央部を挟んで軸方向に沿って対向配置される一対の電極であって、前記放電容器の両端部付近において前記放電容器の外周面に沿って配置される一対の電極とを備え、
前記放電容器の軸方向長さが１０ｍｍ～３０ｍｍであり、
前記放電容器の外径が３ｍｍ～１０ｍｍであり、
前記一対の電極が、それぞれ、前記放電容器の外周面と面接触する筒状電極で構成され、
前記一対の電極に対して高周波電圧が印加されることによって、前記放電容器内において、一方の放電容器端部付近から他方の放電容器端部付近にまで渡って放電が生じる誘電体バリア放電であって、前記放電容器の軸方向に関して前記放電容器内の両端部側に放電が偏っている誘電体バリア放電が生じることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記放電容器の肉厚が、０．２ｍｍ～４ｍｍの範囲内であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
- 請求項１または２に記載のエキシマランプを備えたことを特徴とする紫外線照射装置。
- 請求項１または２に記載のエキシマランプを備えたことを特徴とするオゾン発生装置。
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