JP6387664B2 - 異物侵入防止構造、これを有するアクチュエータ及び工作機械 - Google Patents

Description

本発明は、固定部に対して可動部を平面方向に移動させるアクチュエータの固定部と可動部との境界に異物が侵入することを防止する異物侵入防止構造、これを有するアクチュエータ及び工作機械に関する。

１軸テーブル、ＸＹテーブル等、移動対象である搭載部を平面上で移動させるアクチュエータがある。このアクチュエータは、駆動源を有する固定部と、搭載部を有する可動部と、を含み、固定部の駆動源で搭載部を固定部に対して移動させる。このようなアクチュエータには、固定部の駆動源が配置されている空間への液体、飛沫及び粉塵等の異物の侵入を抑制する機構を備えているものがある。

特許文献１には、支持体と、支持体に固定された案内部と、案内部に支持され、所定の移動方向に沿って直線移動する可動部と、可動部に固定され、可動部とともに移動方向に沿って移動する移動体と、可動部の少なくとも一部、又は可動部及び案内部の少なくとも一部を覆う第１のカバーと、第１のカバーを囲うとともに、第１のカバーとオーバーラップする構造を有する第２のカバーと、を備える直動機構（アクチュエータ）が記載されている。直動機構は、移動部の移動方向と直交する面に開口が形成され、開口が設けられる面に第２のカバーの形状に対応するスリット、又は第２のカバーの開口に対応する形状の凸部が設けられている。また、第１のカバーの移動方向と直交する断面の輪郭は、第２のカバーの移動方向と直交する断面の輪郭と交差しない構造となる。

特許文献２には、ワークを搬送するテーブルを、上部を開口したケース内に設けられたスライダに取り付け、このスライダの往復運動によって上記テーブルを操作する搬送装置（アクチュエータ）が記載されている。搬送装置は、ケース開口部を覆うカバーを設けるとともに、該カバーの両側と上記ケース開口部の両側に、互いに密着して該カバーとケース間をシールするシール材を装着し、かつ上記スライダに取り付けたテーブルの両側部を、上記シール材の相互間を押し開いて上記カバーの外側に延出し、該両側部に上記ワークを搬送するテーブル面を設けている。

特開２０１２−１４９６９１号公報 特開２００６−４３８５６号公報

特許文献１や特許文献２に記載のアクチュエータは、固定部の開口、つまり、固定部に挿入された可動部が摺動する範囲から固定部の内部への液体（異物）の浸入は一定程度抑制できるが、液体の浸入する恐れがある場合がある。例えば、搭載部やスライダが受ける負荷が高い場合での異物侵入防止性能（例えば、防水性能）の維持について課題がある。具体的には、特許文献１や特許文献２に記載のアクチュエータは、異物侵入防止性能（防水構造）を搭載部への高い負荷に対応するようにすると直動機構、つまりアクチュエータとしての機能が低下する恐れがある。また、異物としては、液体以外に塵、埃等の粉体がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、スライダが受ける負荷が高くなっても異物侵入防止性能を維持することができる異物侵入防止構造、これを有するアクチュエータ及び工作機械を提供することを目的する。

上述した課題を解決するために、本発明は、搭載部に連結されたスライダを有する可動部と、前記スライダを少なくとも１軸方向に移動させる駆動機構及び前記駆動機構を覆い、前記スライダと前記搭載部とを連結する連結部に対応する領域に開口部が形成された筐体を備える固定部と、を有し、前記搭載部を平面内で移動させるアクチュエータの異物侵入防止構造であって、前記連結部に固定された耳部と、前記耳部の前記筐体側の面に保持され、前記開口部の周りの全周に配置されて前記筐体の表面に摺動可能な状態で当接するシール材と、を有することを特徴とする。

上記構成により、搭載部やスライダが受ける負荷が高くなっても、構造上シール材にかかる負荷が高くなることを抑制することができる。これにより、搭載部やスライダが受ける負荷が高くなっても、シール材により異物侵入防止性能を維持することができる。

また、前記耳部は、前記筐体側の面に、前記開口部の周りの全周を囲った溝が形成され、前記シール材は、前記溝にはめ込まれていることが好ましい。

上記構成により、シール材を耳部により確実に保持することができる。

また、前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に、該筐体の板部の内表面に対向して設けられ、前記内表面と該内表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことが好ましい。

上記構成により、搭載部に付与される荷重をスライダで受けることができ、シール材にかかる負荷を少なくすることができる。このため、搭載部にかかる荷重によらず、シール材を摺動させることが可能となり、搭載部に大きな負荷が作用しても、異物侵入防止性能を維持することができる。

また、前記耳部は、前記搭載部と前記筐体との間に、該筐体の板部の外表面に対向して設けられ、前記外表面と該外表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことが好ましい。

上記構成により、搭載部に付与される荷重をスライダで受けることができ、シール材にかかる負荷を少なくすることができる。このため、搭載部にかかる荷重によらず、シール材を摺動させることが可能となり、搭載部に大きな負荷が作用しても、異物侵入防止性能を維持することができる。

また、前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に、該筐体の板部の内表面に対向して設けられる第１耳部と、前記搭載部と前記筐体との間に、前記板部の外表面に対向して設けられる第２耳部とを備え、前記板部の前記内表面と該内表面に対向する前記第１耳部の面との間に第１シール材を配置すると共に、前記板部の前記外表面と該外表面に対向する前記第２耳部の面との間に第２シール材を配置したことが好ましい。

上記構成により、搭載部に付与される荷重をスライダで受けることができ、第１シール材及び第２シール材にかかる負荷を少なくすることができる。このため、搭載部にかかる荷重によらず、第１シール材及び第２シール材を摺動させることが可能となり、搭載部に大きな負荷が作用しても、異物侵入防止性能を維持することができる。さらに、上記構成により、筐体の開口部を、第１シール材及び第２シール材で二重にシールすることができ、異物侵入防止性能をより強固にすることができる。

また、前記シール材は、弾性率が５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下であることが好ましい。

上記構成により、シール材と前記筐体の表面との接触を維持することができ、異物侵入防止性能をより高くすることができる。

また、前記シール材は、前記筐体との動摩擦係数が０．３以上０．８以下であることが好ましい。

上記構成により、シール材と前記筐体の表面との接触を維持することができ、異物侵入防止性能をより高くすることができる。

上述した課題を解決するために、本発明は、アクチュエータであって、前記可動部と、前記固定部と、上記のいずれかに記載の異物侵入防止構造と、を有することを特徴とする。

上記構成により、搭載部やスライダが受ける負荷が高くなっても、構造上シール材にかかる負荷が高くなることを抑制することができる。これにより、搭載部やスライダが受ける負荷が高くなっても、シール材により異物侵入防止性能を維持することができる。

また、前記異物侵入防止構造は、前記スライダの移動方向において、前記シール材と前記連結部の距離が、前記開口部の前記連結部がない空間の合計距離よりも長いことが好ましい。

上記構成により、シール材と前記筐体の表面との接触を維持することができ、異物侵入防止性能をより高くすることができる。

また、前記駆動機構は、前記スライダを１軸方向に移動させることが好ましい。

上記構成により、１軸方向のアクチュエータの異物侵入防止性能を高くすることができる。

また、前記駆動機構は、前記スライダを平面上で移動させることが好ましい。

上記構成により、平面移動のアクチュエータの異物侵入防止性能を高くすることができる。

また、前記固定部は、前記筐体の内部に配置され、前記駆動機構を前記１軸方向に直交する方向に移動させ、前記スライダを前記１軸方向に直交する方向に移動させる直交方向駆動機構をさらに備えることが好ましい。

上記構成により、１つの異物侵入防止構造で可動部と固定部との間をシールすることができる。

また、前記固定部は、前記筐体を前記１軸方向に直交する方向に移動させ、前記スライダを前記１軸方向に直交する方向に移動させる直交方向駆動機構をさらに備えることが好ましい。

上記構成により、筐体を小さくすることができる。

上述した課題を解決するために、本発明は、被加工部材を加工する工作機械であって、前記被加工部材を保持する保持冶具と、前記保持冶具に保持された前記被加工部材を加工する加工ヘッドと前記保持冶具または前記加工ヘッドを移動させる上記のいずれかに記載のアクチュエータと、を有する。

上記構成により、保持冶具または加工ヘッドを移動させるアクチュエータの異物侵入防止性能を高くすることができる。

本発明によれば、スライダが受ける負荷が高くなっても異物侵入防止性能を維持することができる。

図１は、第１実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す上面図である。 図２は、図１に示すアクチュエータの断面図である。 図３は、図１に示すアクチュエータの開口部と連結部との関係を示す模式図である。 図４は、防水構造の機能を説明するための説明図である。 図５は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。 図６は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。 図７Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。 図７Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。 図８Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。 図８Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。 図９は、工作機械の一例の概略構成を示す斜視図である。 図１０は、第２実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す上面図である。 図１１は、図１０に示すアクチュエータの断面図である。 図１２は、図１０に示すアクチュエータの開口部と連結部との関係を示す模式図である。 図１３は、防水構造の機能を説明するための説明図である。 図１４は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。 図１５は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。 図１６Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。 図１６Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。 図１７Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。 図１７Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。 図１８は、工作機械の一例の概略構成を示す斜視図である。 図１９は、第３実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す断面図である。 図２０は、防水構造の機能を説明するための説明図である。 図２１は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す上面図である。図２は、図１に示すアクチュエータの断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータの開口部と連結部との関係を示す模式図である。図１から図３に示すように、アクチュエータ１０は、テーブル、より具体的には、１軸テーブルであり、搭載部を所定の方向に移動させる機構である。アクチュエータ１０は、駆動機構として送りねじ機構を用いている。アクチュエータ１０は、所定位置に固定される固定部１２と、固定部１２に対して移動する可動部１４と、固定部１２と可動部１４との間を水密にする防水構造（異物侵入防止構造）１６と、を有する。

固定部１２は、筐体（防水カバー）２０と、駆動機構２２と、案内レール２４と、を有する。筐体２０は、固定部１２の各部と可動部１４の一部を収納する箱である。筐体２０は、上面板（板部）２１に開口部５８が形成されており、開口部５８以外の部分は水密である。つまり、筐体２０は、開口部５８以外から内部に水が浸入しない構造である。

駆動機構２２は、送りねじ機構であり、筐体２０に内蔵されている。駆動機構２２は、送りねじ軸５２と、モータ５４と、ジョイント５６と、軸受５９と、を有する。送りねじ軸５２は、可動部１４が移動する方向、つまり１軸方向が軸方向となる向きで配置されている。送りねじ軸５２は、少なくとも可動部１４の移動範囲にねじ溝が形成されている。モータ５４は、動力源であり、ジョイント５６を介して送りねじ軸５２と連結し、送りねじ軸５２を軸周りに回転させる。ジョイント５６は、送りねじ軸５２とモータ５４とを連結し、モータ５４の回転を送りねじ軸５２に伝達する。軸受５９は、送りねじ軸５２を軸方向に移動させず、かつ、回転自在な状態で支持する。案内レール２４は、可動部１４が移動する方向、つまり１軸方向が軸方向となる向きで配置されている。案内レール２４は、可動部１４の送りねじ軸５２の回転方向への移動を規制しつつ、可動部１４を１軸方向へ案内する。

可動部１４は、固定部１２の駆動機構２２によって、固定部１２に対して移動される機構である。可動部１４は、スライダ３０と、搭載部３２と、連結部３３と、締結機構３４と、を有する。スライダ３０は、固定部１２の送りねじ軸５２が挿入されている。スライダ３０は、送りねじ軸５２が挿入されている穴にねじ溝が形成されており、送りねじ軸５２に形成されたねじ溝と螺合している。また、スライダ３０は、表面の少なくとも一部が案内レール２４と接しており、案内レール２４によって送りねじ軸５２の回転方向への移動が規制されている。スライダ３０は、送りねじ軸５２が回転すると、案内レール２４で回転方向への回転が規制された状態で、送りねじ軸５２の軸方向にねじ溝の方向に沿って移動する。搭載部３２は、アクチュエータ１０が移動させる対象物が搭載される台であり、連結部３３を介してスライダ３０に固定されている。連結部３３は、搭載部３２と一体で形成された部材であり、搭載部３２のスライダ３０側の部分である。連結部３３は、筐体２０の開口部５８に挿入されている。すなわち、連結部３３は、筐体２０の開口部５８を貫通し、連結部３３に一体に形成された搭載部３２は、筐体２０に囲まれた空間の外側に配置されている。締結機構３４は、ねじ等であり、搭載部３２をスライダ３０にねじ止めする。

可動部１４は、以上のような構成であり、スライダ３０が送りねじ軸５２に挿入された状態で筐体２０の内部に配置され、連結部３３が開口部５８に挿入され、搭載部３２が筐体２０の外側に露出している。可動部１４は、固定部１２の駆動機構２２の送りねじ軸５２が回転されることで、スライダ３０とともに、スライダ３０に連結された搭載部３２、連結部３３及び締結機構３４が、送りねじ軸５２の軸方向に移動する。

図４は、防水構造の機能を説明するための説明図である。防水構造１６は、固定部１２の開口部５８と可動部１４との間を水密として、固定部１２の内部への水（異物）の浸入（侵入）を抑制する構造である。第１実施形態では、異物として水を例示しているが、防水構造１６は、水だけでなく油等の液体、飛沫、塵埃、紛体等を含む異物の侵入を抑制することができる。

防水構造１６は、耳部６０と、シール材６２と、を有する。耳部６０は、連結部３３に固定されて連結部３３及び搭載部３２と一体で形成されている。より具体的には、耳部６０は、搭載部３２とスライダ３０との間に設けられており、筐体２０の内側に配置されている。つまり、耳部６０は、スライダ３０と筐体２０との間に配置されている。耳部６０は、開口部５８よりも大きい板状の部材であり、開口部５８の全面を覆っている。第１実施形態では、耳部６０は、図２及び図４に示すように、開口部５８が形成された筐体２０の上面板２１と略平行に延在し、この上面板２１の内表面２１Ａと対向して配置されている。耳部６０は、筐体２０側の面、すなわち筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａと対向する上面（内表面に対向する耳部の面）６０Ａに溝６４が形成されている。溝６４は、耳部６０の端部近傍の全周に形成されており、開口部５８を囲っている。溝６４は、可動部１４の移動する方向において、形成されている部分の両端の距離が、開口部５８の距離と可動部１４の移動可能な距離とを加算した距離よりも長くなる。

シール材６２は、図４に示すように、耳部６０の溝６４に挿入されており、溝６４から一部が露出している。シール材６２は、露出している部分が筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａと摺動可能な状態で接触している。ここで、シール材６２は、筐体２０に一定の圧力で押し付けられており、摺動時も筐体２０と密着している。また、シール材６２は、図１に示すように、耳部６０の溝６４の全域に挿入されており、開口部５８を囲っている。また、シール材６２は、繋がったリング形状である。シール材６２は、耳部６０の溝６４に挿入され、かつ、筐体２０と接触することで、耳部６０と筐体２０との間をシールしている。シール材６２は、シール性に加えて低摩擦特性と耐磨耗性を備えている。具体的には、シール材６２は、弾性率が５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下とすることが好ましい。また、シール材６２は、筐体２０の表面との動摩擦係数を０．３以上０．８以下とすることが好ましい。シール材６２には、フッ素系、ＥＰＤＭ系、ＮＢＲ系等の耐水性ゴムを用いることができる。

防水構造１６は、スライダ３０と筐体２０との間に配置され、連結部３３に固定された耳部６０と、筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａと対向する耳部６０の上面６０Ａに保持され、開口部５８の周りの全周に配置されたシール材６２と、を有する。また、シール材６２は、筐体２０の内表面２１Ａに摺動可能な状態で当接し、筐体２０と耳部６０との間を水密とする。これにより、筐体２０と耳部６０との間の空間を耳部６０とシール材６２とで塞ぐことができ、筐体２０の内部を防水することができる。

図５及び図６は、それぞれ、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。次に、図５及び図６を用いて、アクチュエータの動作を説明することで、防水構造１６についてより詳細に説明する。上述したように、アクチュエータ１０は、固定部１２の駆動機構２２で可動部１４を送りねじ軸５２の延在方向に移動させることができる。具体的には、アクチュエータ１０は、可動部１４を、ステップＳ１２に示す可動範囲のモータ５４から最も遠い側から、ステップＳ１４に示す可動範囲の中央部に移動させることができる。さらに、アクチュエータ１０は、可動部１４を、ステップＳ１４に示す可動範囲の中央部からステップＳ１６に示す可動範囲のモータ５４から最も近い側に移動させることができる。ここで、アクチュエータ１０は、開口部５８が形成されている範囲内（図５中点線で示す範囲内）で、開口部５８に挿入されている可動部１４の連結部３３が移動できる範囲が、可動部１４の可動範囲となる。また、アクチュエータ１０は、可動部１４が筐体２０に対して水平移動するため、シール材６２が筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａに接している状態を維持して、移動される。

アクチュエータ１０は、図５に示すように、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、シール材６２が筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａと接している。つまり、アクチュエータ１０は、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても（可動部１４をフルストロークで移動させても）、シール材６２が開口部５８に露出しない。アクチュエータ１０は、以上のように、可動部１４の移動時にシール材６２と筐体２０との接触が維持し、かつ、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、シール材６２が筐体２０と接していることで、開口部５８と筐体２０の内部の空間が繋がることを抑制し、筐体２０の内部が外部に露出することを抑制することができる。これにより、筐体２０と耳部６０との間を水密にすることができ、筐体２０の内部を防水することができる。

また、アクチュエータ１０は、搭載部３２をスライダ３０に固定することで、搭載部３２に付与される荷重をスライダ３０で受けることができ、シール材６２にかかる負荷を少なくすることができる。つまり、スライダ３０で荷重を受けつつ、搭載部３２に一体で設けた耳部６０のシール材６２で防水性能を持たせることが出来るため、シール材６２で搭載部３２にかかる荷重を受ける必要がなくなる。これにより、搭載部３２にかかる荷重によらず、シール材６２を摺動させることが可能となり、搭載部３２に大きな負荷（高負荷）が作用しても、防水性能を維持することができる。

ここで、防水構造１６は、スライダ３０の移動方向において、シール材６２と連結部３３の距離が、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも長いことが好ましい。つまり、図６に示すように、スライダ３０の移動方向におけるシール材６２の端部から端部の距離をＬ１とした場合、距離Ｌ１の範囲のうち、空間となる領域が、開口部５８の連結部３３がない部分となる。このとき、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離は、防水構造１６と開口部５８との位置関係の場合、距離Ｌ２ａと距離Ｌ３ａの合計値となり、防水構造１６と開口部５８ａとの位置関係の場合、距離Ｌ２ｂと距離Ｌ３ｂの合計値となり、防水構造１６と開口部５８ｂとの位置関係の場合、距離Ｌ２ｃと距離Ｌ３ｃの合計値となる。ここで、アクチュエータ１０は、シール材６２と連結部３３と開口部５８，５８ａ，５８ｂの大きさが一定であるので、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離も一定となる。また、シール材６２と連結部３３の距離は、開口部５８，５８ａ，５８ｂの位置によらず距離Ｌ４、距離Ｌ５で一定である。ここで、防水構造１６は、距離Ｌ４、距離Ｌ５を、それぞれ、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも大きくすることで、シール材６２と開口部５８とが最も近づいた位置となっても、シール材６２が開口部５８に露出しない形状となる。これにより、防水構造１６は、スライダ３０の移動方向において、シール材６２と連結部３３の距離が、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも長くすることで、より確実に、筐体２０の内部を水密にすることができる。

また、上記実施形態のアクチュエータ１０は、筐体２０の内側に耳部６０を設け、筐体２０の内側の面とシール材６２とを接触させたが、本発明はこれに限定されない。アクチュエータは、筐体２０の外側に耳部６０を設け、筐体２０の外側の面とシール材６２とを接触させ、筐体２０と耳部６０との間を水密にした防水構造としてもよい。この防水構造については後述する。

ここで、上記実施形態では、アクチュエータ１０を１軸方向に移動する直動機構としたが、これに限定されない。以下、図７Ａから図８Ｂを用いて、アクチュエータの他の例について説明する。

図７Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。図７Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。図７Ａ及び図７Ｂに示すＸＹテーブル１００は、搭載部３２ａを平面方向に移動させるアクチュエータである。図７Ａ及び図７Ｂに示すＸＹテーブル１００は、Ｘ軸方向移動機構１１０と、Ｙ軸方向移動機構１１２と、を有する。ＸＹテーブル１００は、Ｘ軸方向移動機構１１０と、Ｙ軸方向移動機構１１２と、のそれぞれが、上述したアクチュエータ１０と同様の構成であり、Ｙ軸方向移動機構１１２の搭載部３２ｂにＸ軸方向移動機構１１０の筐体２０ａが固定されている。

Ｘ軸方向移動機構１１０は、耳部６０ａにシール材６２ａが設けられており、シール材６２ａを筐体２０ａに接触させることで、耳部６０ａと筐体２０ａとの間を水密にしている。また、Ｘ軸方向移動機構１１０は、スライダ及び連結部３３ａを開口部５８ａ内で矢印１９１の方向に移動させることで、搭載部３２ａを矢印１９１の方向に移動させる。

Ｙ軸方向移動機構１１２は、耳部６０ｂにシール材６２ｂが設けられており、シール材６２ｂを筐体２０ｂに接触させることで、耳部６０ｂと筐体２０ｂとの間を水密にしている。また、Ｙ軸方向移動機構１１２は、連結部を開口部５８ｂ内で矢印１９１に直交する矢印１９２の方向に移動させることで、搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させる。ここで、搭載部３２ｂは、Ｘ軸方向移動機構１１０の筐体２０ａが固定されている。したがって、Ｙ軸方向移動機構１１２は、搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させることで、Ｘ軸方向移動機構１１０を矢印１９２の方向に移動させる。

ＸＹテーブル１００は、以上のような構成であり、Ｙ軸方向移動機構１１２で搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させることで、Ｘ軸方向移動機構１１０を矢印１９２の方向に移動させ、Ｘ軸方向移動機構１１０で、搭載部３２ａを矢印１９１の方向に移動させる。これにより、ＸＹテーブル１００は、搭載部３２ａを、互いに直交する矢印１９１の方向と矢印１９２の方向に移動させることができる。つまり、ＸＹテーブル１００は、搭載部３２ａを、矢印１９１の方向と矢印１９２の方向で形成される平面上で移動させることができる。

図８Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。図８Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。図８Ａ及び図８Ｂに示すＸＹテーブル１００ａは、搭載部１３２を平面方向に移動させるアクチュエータである。図８Ａ及び図８Ｂに示すＸＹテーブル１００ａは、Ｘ軸方向移動機構１１０ａと、Ｙ軸方向移動機構１１２ａと、を有する。ＸＹテーブル１００ａは、Ｘ軸方向移動機構１１０ａとＹ軸方向移動機構１１２ａとが筐体１８０に内蔵されている。ＸＹテーブル１００ａは、Ｘ軸方向移動機構１１０ａの可動部の連結部１３３に搭載部１３２が固定されている。また、Ｙ軸方向移動機構１１２ａは、ボールねじ機構であり、Ｘ軸方向移動機構１１０ａの可動部の移動方向と直交する方向にＸ軸方向移動機構１１０ａを移動させる。

ＸＹテーブル１００ａは、搭載部１３２に耳部１６０が設けられ、耳部１６０にシール材１６２が設けられている。また、ＸＹテーブル１００ａは、筐体１８０に開口部１５８が設けられており、開口部１５８に搭載部１３２と一体に形成された連結部１３３が挿入されている。

ＸＹテーブル１００ａは、Ｙ軸方向移動機構１１２ａで、Ｘ軸方向移動機構１１０ａを移動させ、Ｘ軸方向移動機構１１０ａで、搭載部１３２を移動させる。ここで、開口部１５８は、Ｙ軸方向移動機構１１２ａとＸ軸方向移動機構１１０ａとで移動される連結部１３３の可動範囲に対応して形成されている。また、耳部１６０及びシール材１６２は、連結部１３３のいずれの位置に移動しても開口部１５８が露出しない大きさで形成されている。これにより、ＸＹテーブル１００ａは、搭載部１３２を、互いに直交する２方向に移動させることができる。このように、ＸＹテーブル１００ａは、Ｘ軸方向移動機構１１０ａとＹ軸方向移動機構１１２ａを筐体１８０に収納し、平面移動に対応した開口部１５８と耳部１６０とシール材１６２を設けるようにしても、上記と同様の効果を得ることができる。

次に、図９を用いて、アクチュエータを備える工作機械の一例について説明する。図９は、工作機械の一例の概略構成を示す斜視図である。図９に示す工作機械２００は、マシニングセンタであり、ＸＹテーブル２１０と加工ヘッド２１２と、を有する。ＸＹテーブル２１０は、耳部２６０と搭載部２３２とが設けられている。ＸＹテーブル２１０は、耳部２６０にシール材が設けられており、防水機構となる。ＸＹテーブル２１０は、上述したＸＹテーブル１００、１００ａと同様の構造とすることができる。加工ヘッド２１２は、加工工具を有し、搭載部２３２に固定された被加工部材を加工工具で加工する。加工ヘッド２１２としては、被加工部材を切削する機構である。加工ヘッド２１２は、ＸＹテーブル２１０の移動方向に直交する方向に加工工具を移動させる。

工作機械２００は、ＸＹテーブル２１０で被加工部材を平面移動させ、加工ヘッド２１２をＸＹテーブル２１０の移動方向に直交する方向に移動させることで、加工工具と被加工部材とを相対的に３次元に移動させることができる。この場合も、ＸＹテーブル２１０に耳部とシール材を備える防水構造を設けることで、上述したアクチュエータの効果を得ることができる。ここで、上記実施形態では、被加工部材を支持し、移動させるアクチュエータとして、本実施形態のアクチュエータを用いたが、加工ヘッド２１２を支持し、移動させるアクチュエータとして、本実施形態のアクチュエータを用いてもよい。また、工作機械２００は、マシニングセンタに限定されず、被加工部材と、被加工部材を加工する機構とを相対的に移動させる各種機械に適用することができる。

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。図１０は、第２実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す上面図である。図１１は、図１０に示すアクチュエータの断面図である。図１２は、図１０に示すアクチュエータの開口部と連結部との関係を示す模式図である。第２実施形態に係るアクチュエータ１１１は、固定部１２と可動部１４との間を水密にする防水構造（異物侵入防止構造）１１６を備える点で、上記したアクチュエータ１０と構成を異にしている。第２実施形態に係るアクチュエータ１１１について、上記したアクチュエータ１０と同一の構成については、図面に同一の符号を付して説明を省略する。

防水構造（異物侵入防止構造）１１６は、固定部１２の内部への水（異物）の浸入（侵入）を抑制する構造である。第２実施形態においても、防水構造１１６は、水だけでなく油等の液体、飛沫、塵埃、紛体等を含む異物の侵入を抑制することができる。防水構造１１６は、図１１に示すように、耳部７０と、シール材７２と、を有する。耳部７０は、搭載部３２と一体で形成されている。より具体的には、耳部７０は、搭載部３２と連結部３３との間に設けられており、筐体２０の外側に配置されている。耳部７０は、開口部５８よりも大きい板状の部材であり、開口部５８の全面を覆っている。第２実施形態では、耳部７０は、図１１及び図１３に示すように、開口部５８が形成された筐体２０の上面板２１と略平行に延在し、この上面板２１の外表面２１Ｂと対向して配置されている。耳部７０は、筐体２０側の面、すなわち筐体２０の上面板２１の外表面２１Ｂと対向する下面（外表面に対向する面）７０Ａに溝７４が形成されている。溝７４は、耳部７０の端部近傍の全周に形成されており、開口部５８を囲っている。溝７４は、可動部１４の移動する方向において、形成されている部分の両端の距離が、開口部５８の距離と可動部１４の移動可能な距離とを加算した距離よりも長くなる。

シール材７２は、図１３に示すように、耳部７０の溝７４に挿入されており、溝７４から一部が露出している。シール材７２は、露出している部分が筐体２０の上面板２１の外表面２１Ｂと摺動可能な状態で接触している。ここで、シール材７２は、筐体２０に一定の圧力で押し付けられており、摺動時も筐体２０と密着している。シール材７２は、第１実施形態で説明したシール材６２と同様な構成、性質を備えるため、ここでは説明を省略する。

防水構造１１６は、搭載部３２と筐体２０との間に配置され、連結部３３に固定された耳部７０と、筐体２０の上面板２１の外表面２１Ｂと対向する耳部７０の下面７０Ａに保持され、開口部５８の周りの全周に配置されたシール材７２と、を有する。また、シール材７２は、筐体２０の外表面２１Ｂに摺動可能な状態で当接し、筐体２０と耳部７０との間を水密とする。これにより、筐体２０と耳部７０との間の空間を耳部７０とシール材７２とで塞ぐことができ、筐体２０の内部を防水することができる。

図１４及び図１５は、それぞれ、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。次に、図１４及び図１５を用いて、アクチュエータの動作を説明することで、防水構造１１６についてより詳細に説明する。上述したように、アクチュエータ１１１は、固定部１２の駆動機構２２で可動部１４を送りねじ軸５２の延在方向に移動させることができる。具体的には、アクチュエータ１１１は、可動部１４を、ステップＳ２２に示す可動範囲のモータ５４から最も遠い側から、ステップＳ２４に示す可動範囲の中央部に移動させることができる。さらに、アクチュエータ１１１は、可動部１４を、ステップＳ２４に示す可動範囲の中央部からステップＳ２６に示す可動範囲のモータ５４から最も近い側に移動させることができる。ここで、アクチュエータ１１１は、開口部５８が形成されている範囲内（図１４中点線で示す範囲内）で、開口部５８に挿入されている可動部１４の連結部３３が移動できる範囲が、可動部１４の可動範囲となる。また、アクチュエータ１１１は、可動部１４が筐体２０に対して水平移動するため、シール材６２が筐体２０の上面板２１の外表面２１Ｂに接している状態を維持して、移動される。

アクチュエータ１１１は、図１４に示すように、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、シール材７２が筐体２０の上面板２１の外表面２１Ｂと接している。つまり、アクチュエータ１１１は、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても（可動部１４をフルストロークで移動させても）、シール材７２が開口部５８に露出しない。アクチュエータ１１１は、以上のように、可動部１４の移動時にシール材７２と筐体２０との接触が維持し、かつ、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、シール材７２が筐体２０と接していることで、開口部５８と耳部７０との間の空間が露出することを抑制し、開口部５８が外部に露出することを抑制することができる。これにより、開口部５８を水密にすることができ、筐体２０の内部を防水することができる。

また、アクチュエータ１１１は、搭載部３２をスライダ３０に固定することで、搭載部３２に付与される荷重をスライダ３０で受けることができ、シール材７２にかかる負荷を少なくすることができる。つまり、スライダ３０で荷重を受けつつ、搭載部３２に一体で設けた耳部７０のシール材７２で防水性能を持たせることができるため、シール材７２で搭載部３２にかかる荷重を受ける必要なくなる。これにより、搭載部３２にかかる荷重によらず、シール材７２を摺動させることが可能となり、搭載部３２に大きな負荷（高負荷）が作用しても、防水性能を維持することができる。

ここで、防水構造１１６は、スライダ３０の移動方向において、シール材７２と連結部３３の距離が、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも長いことが好ましい。つまり、図１５に示すように、スライダ３０の移動方向におけるシール材７２の端部から端部の距離をＬ１とした場合、距離Ｌ１の範囲のうち、空間となる領域が、開口部５８の連結部３３がない部分となる。このとき、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離は、防水構造１１６と開口部５８との位置関係の場合、距離Ｌ２ａと距離Ｌ３ａの合計値となり、防水構造１１６と開口部５８ａとの位置関係の場合、距離Ｌ２ｂと距離Ｌ３ｂの合計値となり、防水構造１１６と開口部５８ｂとの位置関係の場合、距離Ｌ２ｃと距離Ｌ３ｃの合計値となる。ここで、アクチュエータ１１１は、シール材７２と連結部３３と開口部５８，５８ａ，５８ｂの大きさが一定であるので、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離も一定となる。また、シール材７２と連結部３３の距離は、開口部５８，５８ａ，５８ｂの位置によらず距離Ｌ４、距離Ｌ５で一定である。ここで、防水構造１１６は、距離Ｌ４、距離Ｌ５を、それぞれ、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも大きくすることで、シール材７２と開口部５８とが最も近づいた位置となっても、シール材７２が開口部５８に露出しない形状となる。これにより、防水構造１１６は、スライダ３０の移動方向において、シール材７２と連結部３３の距離が、開口部５８の連結部３３がない空間の合計距離よりも長くすることで、より確実に、開口部５８を水密にすることができる。

ここで、上記実施形態では、アクチュエータを１軸方向に移動する直動機構としたが、これに限定されない。以下、図１６Ａから図１７Ｂを用いて、アクチュエータの他の例について説明する。

図１６Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。図１６Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。図１６Ａ及び図１６Ｂに示すＸＹテーブル１００ｂは、搭載部３２を平面方向に移動させるアクチュエータである。図１６Ａ及び図１６Ｂに示すＸＹテーブル１００ｂは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂと、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂと、を有する。ＸＹテーブル１００ｂは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂと、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂとのそれぞれが、上述したアクチュエータ１１１と同様の構成であり、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂの搭載部３２ｂにＸ軸方向移動機構１１０ｂの筐体が固定されている。

Ｘ軸方向移動機構１１０ｂは、耳部７０ａにシール材７２ａが設けられており、シール材７２ａを筐体２０ａに接触させることで、開口部５８ａを水密にしている。また、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂは、スライダ及び連結部３３ａを開口部５８ａ内で矢印１９１の方向に移動させることで、搭載部３２を矢印１９１の方向に移動させる。

Ｙ軸方向移動機構１１２ｂは、耳部７０ｂにシール材７２ｂが設けられており、シール材７２ｂを筐体２０ｂに接触させることで、開口部５８ｂを水密にしている。また、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂは、連結部を開口部５８ｂ内で矢印１９１に直交する矢印１９２の方向に移動させることで、搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させる。ここで、搭載部３２ｂは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂの筐体２０ａが固定されている。したがって、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂは、搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させることで、Ｘ軸方向移動機構１１０を矢印１９２の方向に移動させる。

ＸＹテーブル１００ｂは、以上のような構成であり、Ｙ軸方向移動機構１１２ｂで搭載部３２ｂを矢印１９２の方向に移動させることで、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂを矢印１９２の方向に移動させ、Ｘ軸方向移動機構１１０ｂで、搭載部３２を矢印１９１の方向に移動させる。これにより、ＸＹテーブル１００ｂは、搭載部３２を、互いに直交する矢印１９１の方向と矢印１９２の方向に移動させることができる。つまり、ＸＹテーブル１００ｂは、搭載部３２を、矢印１９１の方向と矢印１９２の方向で形成される平面上で移動させることができる。

図１７Ａは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す斜視図である。図１７Ｂは、ＸＹテーブルの一例の概略構成を示す上面図である。図１７Ａ及び図１７Ｂに示すＸＹテーブル１００ｃは、搭載部１３２を平面方向に移動させるアクチュエータである。図１７Ａ及び図１７Ｂに示すＸＹテーブル１００ｃは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃと、Ｙ軸方向移動機構１１２ｃと、を有する。ＸＹテーブル１００ｃは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃとＹ軸方向移動機構１１２ｃとが筐体１８０に内蔵されている。ＸＹテーブル１００ｃは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃの可動部の連結部１３３に搭載部１３２が固定されている。また、Ｙ軸方向移動機構１１２ｃは、ボールねじ機構であり、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃの可動部の移動方向に直交する方向にＸ軸方向移動機構１１０ｃを移動させる。

ＸＹテーブル１００ｃは、搭載部１３２に耳部１７０が設けられ、耳部１７０にシール材１７２が設けられている。また、ＸＹテーブル１００ｃは、筐体１８０に開口部１５８が設けられており、開口部１５８に搭載部１３２と一体に形成された連結部１３３が挿入されている。

ＸＹテーブル１００ｃは、Ｙ軸方向移動機構１１２ｃで、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃを移動させ、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃで、搭載部１３２を移動させる。ここで、開口部１５８は、Ｙ軸方向移動機構１１２ｃとＸ軸方向移動機構１１０ｃとで移動される連結部１３３の可動範囲に対応して形成されている。また、耳部１７０及びシール材１７２は、連結部１３３のいずれの位置に移動しても開口部１５８が露出しない大きさで形成されている。これにより、ＸＹテーブル１００ｃは、搭載部１３２を、互いに直交する２方向に移動させることができる。このように、ＸＹテーブル１００ｃは、Ｘ軸方向移動機構１１０ｃとＹ軸方向移動機構１１２ｃを筐体１８０に収納し、平面移動に対応した開口部１５８と耳部１７０とシール材１７２を設けるようにしても、上記と同様の効果を得ることができる。

次に、図１８を用いて、アクチュエータを備える工作機械の一例について説明する。図１８は、工作機械の一例の概略構成を示す斜視図である。図１８に示す工作機械２００ａは、マシニングセンタであり、ＸＹテーブル２１０ａと加工ヘッド２１２ａと、を有する。ＸＹテーブル２１０ａは、耳部２７０と搭載部２３２ａとが設けられている。ＸＹテーブル２１０ａは、耳部２７０にシール材が設けられており、防水機構となる。ＸＹテーブル２１０ａは、上述したＸＹテーブル１００ｂ、１００ｃと同様の構造とすることができる。加工ヘッド２１２ａは、加工工具を有し、搭載部２３２ａに固定された被加工部材を加工工具で加工する。加工ヘッド２１２ａとしては、被加工部材を切削する機構である。加工ヘッド２１２ａは、ＸＹテーブル２１０ａの移動方向に直交する方向に加工工具を移動させる。

工作機械２００ａは、ＸＹテーブル２１０ａで被加工部材を平面移動させ、加工ヘッド２１２ａをＸＹテーブル２１０ａの移動方向に直交する方向に移動させることで、加工工具と被加工部材とを相対的に３次元に移動させることができる。この場合も、ＸＹテーブル２１０ａに耳部とシール材を備える防水構造を設けることで、上述したアクチュエータの効果を得ることができる。ここで、上記実施形態では、被加工部材を支持し、移動させるアクチュエータとして、本実施形態のアクチュエータを用いたが、加工ヘッド２１２ａを支持し、移動させるアクチュエータとして、本実施形態のアクチュエータを用いてもよい。また、工作機械は、マシニングセンタに限定されず、被加工部材と、被加工部材を加工する機構とを相対的に移動させる各種機械に適用することができる。

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。図１９は、第３実施形態に係るアクチュエータの概略構成を示す断面図であり、図２０は、防水構造の機能を説明するための説明図である。第３実施形態に係るアクチュエータ２１１は、固定部１２と可動部１４との間を水密にする上記した防水構造（異物侵入防止構造）２１６を備える点で、上記したアクチュエータ１０，１１１と構成を異にしている。第３実施形態に係るアクチュエータ２１１について、上記したアクチュエータ１０，１１１と同一の構成については、図面に同一の符号を付して説明を省略する。

防水構造（異物侵入防止構造）２１６は、固定部１２の内部への水（異物）の浸入（侵入）を抑制する構造である。第３実施形態においても、防水構造２１６は、水だけでなく油等の液体、飛沫、塵埃、紛体等を含む異物の侵入を抑制することができる。防水構造２１６は、上記した防水構造１６，１１６を組み合わせた構造を有する。具体的には、図１９に示すように、防水構造２１６は、開口部５８が形成された筐体２０の上面板２１と略平行に延在し、この上面板２１の内表面２１Ａと対向して配置される第１耳部（耳部）６０と、上面板２１と略平行に延在し、この上面板２１の外表面２１Ｂと対向して配置される第２耳部（耳部）７０とを備える。さらに、防水構造２１６は、図２０に示すように、上面板２１の内表面２１Ａとこの内表面２１Ａに対向する第１耳部６０の上面６０Ａとの間に配置される第１シール材（シール材）６２と、上面板２１の外表面２１Ｂとこの外表面２１Ｂに対向する第２耳部７０の下面７０Ａとの間に配置される第２シール材（シール材）７２とを備える。

第１耳部６０の上面６０Ａ及び第２耳部７０の下面７０Ａには、それぞれ第１溝（溝）６４及び第２溝（溝）７４が形成され、これら第１溝６４及び第２溝７４に、それぞれ第１シール材６２及び第２シール材７２が挿入されている。第１溝６４、第２溝７４及び第１シール材６２及び第２シール材７２の各構成は、上記した溝６４，７４及びシール材６２，７２と同一であるので説明は省略する。

この第３実施形態によれば、筐体２０の上面板２１を挟んで上下に配置される第１耳部６０及び第２耳部７０を備えると共に、上面板２１の内表面２１Ａとこの内表面２１Ａに対向する第１耳部６０の上面６０Ａとの間に配置される第１シール材６２と、上面板２１の外表面２１Ｂとこの外表面２１Ｂに対向する第２耳部７０の下面７０Ａとの間に配置される第２シール材７２とを備える。これら第１シール材６２及び第２シール材７２は、それぞれ、上面板２１の内表面２１Ａ及び外表面２１Ｂに摺動可能な状態で当接し、筐体２０と第１耳部６０及び第２耳部７０との間を水密とする。これにより、筐体２０の開口部５８を、第１シール材６２及び第２シール材７２で二重にシールすることができ、筐体２０の内部をより強固に防水することができる。なお、第３実施形態では、図２０に示すように、開口部５８の縁部から第２シール材７２までの距離を第１シール材６２までの距離よりも長くしているが、この形態に限るものではなく、両シール材までの距離を同一としても良いし、第２シール材７２までの距離を第１シール材６２までの距離よりも短くしても良い。

図２１は、アクチュエータの動作を説明するための説明図である。上述したように、アクチュエータ２１１は、固定部１２の駆動機構２２で可動部１４を送りねじ軸５２の延在方向に移動させることができる。具体的には、アクチュエータ２１１は、可動部１４を、ステップＳ３２に示す可動範囲のモータ５４から最も遠い側から、ステップＳ３４に示す可動範囲の中央部に移動させることができる。さらに、アクチュエータ２１１は、可動部１４を、ステップＳ３４に示す可動範囲の中央部からステップＳ３６に示す可動範囲のモータ５４から最も近い側に移動させることができる。ここで、アクチュエータ２１１は、開口部５８が形成されている範囲内（図２１中点線で示す範囲内）で、開口部５８に挿入されている可動部１４の連結部３３が移動できる範囲が、可動部１４の可動範囲となる。また、アクチュエータ２１１は、可動部１４が筐体２０に対して水平移動するため、第１シール材６２及び第２シール材７２は、筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａ及び外表面２１Ｂにそれぞれ接している状態を維持して、移動される。

アクチュエータ２１１は、図２１に示すように、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、第１シール材６２及び第２シール材７２が、筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａ及び外表面２１Ｂとそれぞれ接している。つまり、アクチュエータ２１１は、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても（可動部１４をフルストロークで移動させても）、第１シール材６２及び第２シール材７２のいずれもが開口部５８に露出しない。アクチュエータ２１１は、以上のように、可動部１４の移動時に第１シール材６２及び第２シール材７２と筐体２０の上面板２１の内表面２１Ａ及び外表面２１Ｂとの接触が維持し、かつ、可動部１４が可動範囲内のいずれの位置にあっても、第１シール材６２及び第２シール材７２が筐体２０と接していることで、開口部５８が外部に露出することを抑制することができる。これにより、開口部５８を水密にすることができ、筐体２０の内部を防水することができる。

また、アクチュエータ２１１は、搭載部３２をスライダ３０に固定することで、搭載部３２に付与される荷重をスライダ３０で受けることができ、第１シール材６２及び第２シール材７２にかかる負荷を少なくすることができる。つまり、スライダ３０で荷重を受けつつ、搭載部３２に一体で設けた第１耳部６０の第１シール材６２及び第２耳部７０の第２シール材７２で防水性能を持たせることができるため、これら第１シール材６２及び第２シール材７２で搭載部３２にかかる荷重を受ける必要がなくなる。これにより、搭載部３２にかかる荷重によらず、第１シール材６２及び第２シール材７２を摺動させることが可能となり、搭載部３２に大きな負荷（高負荷）が作用しても、防水性能を維持することができる。

また、この第３実施形態においても、アクチュエータは１軸方向に移動する直動機構に限定されず、このアクチュエータ２１１を上記したＸ軸方向移動機構１１０，１１０ｂ、Ｙ軸方向移動機構１１２，１１２ｂに用いてＸＹテーブル１００，１００ｂを構成しても良い。また、第３実施形態に係る防水構造２１６を上記したＸＹテーブル１００ａ，１００ｃの開口部１５８にそれぞれ設ける構成としても良い。さらに、アクチュエータ２１１，防水構造２１６を備えたＸＹテーブル１００〜１００ｃを上記したマシニングセンタ（工作機械）２００，２００ａに設けた構成としても良い。なお、ＸＹテーブル及びマシニングセンタに関する構成については上記実施形態に記載のものと同一であるので、説明を省略する。

以上、実施形態を説明したが、前述した内容により実施形態が限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、案内レール２４によってスライダ３０の回転方向の移動を規制したが、案内レール２４に代えて、送りねじ軸５２にと平行に配置され、スライダ３０に挿入された軸を設けてもよい。また、駆動機構２２が可動部１４を移動させる機構としては、種々の機構を用いることができる。アクチュエータ１０，１１１，２１１は、例えば、駆動機構２２として、スライダ３０にベルトの一部を固定し、ベルトを回転させることでスライダ３０を移動させる機構、シリンダでスライダ３０を移動させる機構、リニアモータでスライダ３０を移動させる機構等を用いることができる。また、上記実施形態では、耳部６０，７０を搭載部３２及び連結部３３と一体、つまり１つの部材としたが、それぞれ別々の部材としてもよい。

１０、１１１、２１１ アクチュエータ（テーブル、１軸テーブル）
１２ 固定部
１４ 可動部
１６、１１６、２１６ 防水構造（異物侵入防止構造）
２０、２０ａ、２０ｂ、１８０ 筐体（防水カバー）
２１ 上面板（板部）
２２ 駆動機構（送りねじ機構）
２４ 案内レール
３０ スライダ
３２、３２ｂ、１３２、２３２、２３２ａ 搭載部
３３、３３ａ、１３３ 連結部
３４ 締結機構
５２ 送りねじ軸
５４ モータ
５６ ジョイント
５８、５８ａ、５８ｂ、１５８ 開口部
５９ 軸受
６０、６０ａ、６０ｂ、１６０、２６０ 耳部（第１耳部）
６０Ａ 上面（内表面に対向する耳部の面）
６２、６２ａ、６２ｂ、１６２ シール材（第１シール材）
６４ 溝（第１溝）
７０、７０ａ、７０ｂ、１７０、２７０ 耳部（第２耳部）
７０Ａ 下面（外表面に対向する耳部の面）
７２、７２ａ、７２ｂ、１７２ シール材（第２シール材）
７４ 溝（第２溝）
１００、１００ａ、１００ｂ、１００ｃ ＸＹテーブル（アクチュエータ）
１１０、１１０ａ、１１０ｂ、１１０ｃ Ｘ軸方向移動機構
１１２、１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃ Ｙ軸方向移動機構
１９１、１９２ 矢印
２００、２００ａ 工作機械（マシニングセンタ）
２１０、２１０ａ ＸＹテーブル
２１２、２１２ａ 加工ヘッド

Claims (16)

1. 搭載部に連結されたスライダを有する可動部と、前記スライダを少なくとも１軸方向に移動させる駆動機構及び前記駆動機構を覆い、前記スライダと前記搭載部とを連結する連結部に対応する領域に開口部が形成された筐体を備える固定部と、を有し、前記搭載部を平面内で移動させるアクチュエータの異物侵入防止構造であって、
   前記連結部に固定された耳部と、
   前記耳部の前記筐体側の面に保持され、前記開口部の周りの全周に配置されて前記筐体の表面に摺動可能な状態で当接するシール材と、
   を有し、
   前記耳部は、前記筐体側の面に、前記開口部の周りの全周を囲った溝が形成され、
   前記シール材は、前記溝にはめ込まれていることを特徴とする異物侵入防止構造。
2. 前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に該筐体の板部の内表面に対向して設けられ、前記内表面と該内表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の異物侵入防止構造。
3. 前記耳部は、前記搭載部と前記筐体との間に該筐体の板部の外表面に対向して設けられ、前記外表面と該外表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の異物侵入防止構造。
4. 前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に該筐体の板部の内表面に対向して設けられる第１耳部と、前記搭載部と前記筐体との間に前記板部の外表面に対向して設けられる第２耳部とを備え、前記板部の前記内表面と該内表面に対向する前記第１耳部の面との間に第１シール材を配置すると共に、前記板部の前記外表面と該外表面に対向する前記第２耳部の面との間に第２シール材を配置したことを特徴とする請求項１に記載の異物侵入防止構造。
5. 搭載部に連結されたスライダを有する可動部と、前記スライダを少なくとも１軸方向に移動させる駆動機構及び前記駆動機構を覆い、前記スライダと前記搭載部とを連結する連結部に対応する領域に開口部が形成された筐体を備える固定部と、を有し、前記搭載部を平面内で移動させるアクチュエータの異物侵入防止構造であって、
   前記連結部に固定された耳部と、
   前記耳部の前記筐体側の面に保持され、前記開口部の周りの全周に配置されて前記筐体の表面に摺動可能な状態で当接するシール材と、
   を有し、
   前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に該筐体の板部の内表面に対向して設けられ、前記内表面と該内表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことを特徴とする異物侵入防止構造。
6. 搭載部に連結されたスライダを有する可動部と、前記スライダを少なくとも１軸方向に移動させる駆動機構及び前記駆動機構を覆い、前記スライダと前記搭載部とを連結する連結部に対応する領域に開口部が形成された筐体を備える固定部と、を有し、前記搭載部を平面内で移動させるアクチュエータの異物侵入防止構造であって、
   前記連結部に固定された耳部と、
   前記耳部の前記筐体側の面に保持され、前記開口部の周りの全周に配置されて前記筐体の表面に摺動可能な状態で当接するシール材と、
   を有し、
   前記耳部は、前記搭載部と前記筐体との間に該筐体の板部の外表面に対向して設けられ、前記外表面と該外表面に対向する前記耳部の面との間に前記シール材を配置したことを特徴とする異物侵入防止構造。
7. 搭載部に連結されたスライダを有する可動部と、前記スライダを少なくとも１軸方向に移動させる駆動機構及び前記駆動機構を覆い、前記スライダと前記搭載部とを連結する連結部に対応する領域に開口部が形成された筐体を備える固定部と、を有し、前記搭載部を平面内で移動させるアクチュエータの異物侵入防止構造であって、
   前記連結部に固定された耳部と、
   前記耳部の前記筐体側の面に保持され、前記開口部の周りの全周に配置されて前記筐体の表面に摺動可能な状態で当接するシール材と、
   を有し、
   前記耳部は、前記スライダと前記筐体との間に該筐体の板部の内表面に対向して設けられる第１耳部と、前記搭載部と前記筐体との間に前記板部の外表面に対向して設けられる第２耳部とを備え、前記板部の前記内表面と該内表面に対向する前記第１耳部の面との間に第１シール材を配置すると共に、前記板部の前記外表面と該外表面に対向する前記第２耳部の面との間に第２シール材を配置したことを特徴とする異物侵入防止構造。
8. 前記シール材は、弾性率が５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下であることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の異物侵入防止構造。
9. 前記シール材は、前記筐体との動摩擦係数が０．３以上０．８以下であることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項に記載の異物侵入防止構造。
10. 前記可動部と、前記固定部と、
    請求項１から９のいずれか一項に記載の異物侵入防止構造と、を有することを特徴とするアクチュエータ。
11. 前記異物侵入防止構造は、前記スライダの移動方向において、前記シール材と前記連結部の距離が、前記開口部の前記連結部がない空間の合計距離よりも長いことを特徴とする請求項１０に記載のアクチュエータ。
12. 前記駆動機構は、前記スライダを１軸方向に移動させることを特徴とする請求項１０または１１に記載のアクチュエータ。
13. 前記駆動機構は、前記スライダを平面上で移動させることを特徴とする請求項１０または１１に記載のアクチュエータ。
14. 前記固定部は、前記筐体の内部に配置され、前記駆動機構を前記１軸方向に直交する方向に移動させ、前記スライダを前記１軸方向に直交する方向に移動させる直交方向駆動機構をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータ。
15. 前記固定部は、前記筐体を前記１軸方向に直交する方向に移動させ、前記スライダを前記１軸方向に直交する方向に移動させる直交方向駆動機構をさらに備えることを特徴とする請求項１３に記載のアクチュエータ。
16. 被加工部材を加工する工作機械であって、
    前記被加工部材を保持する保持冶具と、
    前記保持冶具に保持された前記被加工部材を加工する加工ヘッドと、
    前記保持冶具または前記加工ヘッドを移動させる請求項１０から１５のいずれか一項に記載のアクチュエータと、を有することを特徴とする工作機械。

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