JP6382390B2 - ビジョン検査装置 - Google Patents
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Description
前記半導体チップと前記ボンディング対象回路基板に向けて光を提供する照明部;
前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージを反射する第1反射面,及び前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを反射する第2反射面が交差するように備えられるXキューブプリズム;
前記Xキューブプリズムの第1反射面で選択的に反射された,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージ,及び前記第2反射面で選択的に反射された前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを撮像するための単一ビジョンカメラ;及び
前記Xキューブプリズムで反射されて前記ビジョンカメラで撮像されたイメージの分析によって,ボンディングヘッドによってピックアップされた半導体チップとボンディング対象回路基板の上面のボンディング領域の位置誤差を判断する制御部を含み,
前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージは黒白イメージ又はカラーイメージであることを特徴とする(請求項1)。
前記Xキューブプリズムは,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージ及び前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを構成する波長別イメージのうち,特定の波長イメージを選択的に前記ビジョンカメラに反射させ,前記Xキューブプリズムの第1反射面及び第2反射面は互いに異なる波長のイメージを前記ビジョンカメラに反射させるよう構成することができる(請求項9)。
110 ビジョンカメラ
120 Xキューブプリズム
121 第1反射面
123 第2反射面
130 照明ユニット
150 マウント部材
160 移送ユニット
210 ボンディングヘッド
230 回路基板装置台
Claims (10)
- 作業のためにボンディングヘッドによってピックアップされた半導体チップと前記半導体チップがボンディングされるボンディング対象回路基板の上面のボンディング領域の位置誤差を検査するためのビジョン検査装置であって,
前記半導体チップと前記ボンディング対象回路基板に向けて光を提供する照明部;
前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージを反射する第1反射面,及び前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを反射する第2反射面が交差するように備えられるXキューブプリズム;
前記Xキューブプリズムの第1反射面で選択的に反射された,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージ,及び前記第2反射面で選択的に反射された前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを撮像するための単一ビジョンカメラ;及び
前記Xキューブプリズムで反射されて前記ビジョンカメラで撮像されたイメージの分析によって,ボンディングヘッドによってピックアップされた半導体チップとボンディング対象回路基板の上面のボンディング領域の位置誤差を判断する制御部を含み,
前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージは黒白イメージ又はカラーイメージであることを特徴とするビジョン検査装置。 - 前記Xキューブプリズムの前記第1反射面及び前記第2反射面は直交するように前記Xキューブプリズムの内部に45度に傾いた状態で備えられ,前記第1反射面及び前記第2反射面の交差線は前記第1反射面及び前記第2反射面のイメージ反射方向に垂直であることを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。
- 前記照明部は,
前記半導体チップとボンディング対象回路基板に対して斜線方向に光を照射する第1照明部;及び/又は
前記半導体チップと前記ボンディング対象回路基板に対して直角に光を照射する第2照明部を含むことを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。 - 前記第1照明部は,
前記Xキューブプリズムの上方に配置され,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップに光を照射する上部照明部;及び
前記Xキューブプリズムの下方に配置され,前記ボンディング対象回路基板に光を照射する下部照明部を含むことを特徴とする請求項3記載のビジョン検査装置。 - 前記Xキューブプリズムの上部と下部が開放した状態で前記Xキューブプリズムで反射されたイメージが水平方向に前記ビジョンカメラに入射するように,前記Xキューブプリズムと前記ビジョンカメラが装着されるマウント部材,及び前記マウント部材を移動させるための移送ユニットをさらに含み,
前記ボンディングヘッドが下降してボンディング作業を遂行する過程で,前記移送ユニットは前記マウント部材をボンディングヘッドの作業空間以外の領域に回避させることを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。 - 前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージが黒白イメージの場合,
前記半導体チップをピックアップするボンディングヘッドと前記回路基板のイメージが互いに重畳しないように前記ボンディングヘッドを前記回路基板から離隔させた状態で,前記半導体チップと前記回路基板のイメージを獲得し,前記ボンディングヘッドの離隔距離の分だけ位置補正を行って前記半導体チップと前記回路基板の位置を獲得することを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。 - 前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージが黒白イメージの場合,
前記ボンディングヘッドによってピックアップされた半導体チップと前記ボンディング対象回路基板の上面のボンディング領域が同軸上に位置する状態で,前記上部照明部から照射するとともに下部照明部からの照射は解除することによって,ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップを検査し,前記下部照明部から照射するとともに上部照明部からの照射は解除することによってボンディング対象回路基板を検査し,
前記ビジョンカメラは,前記上部照明部と下部照明部から選択的に照射する状態で連続的に撮影して,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップを検査したイメージと前記回路基板を検査したイメージをそれぞれ獲得することを特徴とする請求項4記載のビジョン検査装置。 - 前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージがカラーイメージの場合,
前記Xキューブプリズムは,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージ及び前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを構成する色相別イメージのうち特定の色相イメージを選択的に前記ビジョンカメラに反射させ,
前記Xキューブプリズムの第1反射面及び第2反射面は互いに異なる色相のイメージを前記ビジョンカメラに反射させることを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。 - 前記ビジョンカメラによって撮像されるイメージがカラーイメージの場合,
前記Xキューブプリズムは,前記ボンディングヘッドにピックアップされた半導体チップの下面イメージ及び前記回路基板の上面のボンディング領域のイメージを構成する波長別イメージのうち,特定の波長イメージを選択的に前記ビジョンカメラに反射させ,
前記Xキューブプリズムの第1反射面及び第2反射面は互いに異なる波長のイメージを前記ビジョンカメラに反射させることを特徴とする請求項1記載のビジョン検査装置。 - 前記Xキューブプリズムの第1反射面は赤色(R)光を反射するが残りの色相の光は透過させ,第2反射面は青色(B)光を反射するが残りの色相の光は透過させることによって前記ビジョンカメラに赤色イメージ及び青色イメージを反射するか,あるいは
第1反射面は青色(B)光は反射するが残りの色相の光は透過させ,第2反射面は赤色(R)光を反射するが残りの色相の光は透過させることによって前記ビジョンカメラに青色イメージ及び赤色イメージを反射することを特徴とする請求項8記載のビジョン検査装置。
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