JP6378936B2 - 光学装置 - Google Patents
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Description
前記第1の出射部は、入射する光をもとに第1のパターン画像を生成する第1の光変調素子を有し、前記生成された第1のパターン画像を出射する。
前記第2の出射部は、入射する光をもとに第2のパターン画像を生成する第2の光変調素子を有し、前記生成された第2のパターン画像を出射する。
前記投射光学系は、前記出射された第1及び第2のパターン画像を、前記光学系の合焦位置にて所定の位置関係となるようにそれぞれ投射する。
これにより焦点の合致を容易に判断することができる。
これにより例えば微小な領域や特定の形状を有する領域等に第1及び第2のパターン画像を投射することが可能となる。
このように第1及び第2の光変調素子において、第1及び第2のパターン画像を生成する第1及び第2のパターン画像用画素の位置をそれぞれ適宜変更することが可能である。従って合焦位置にて所定の位置関係となる第1及び第2のパターン画像の投射位置を適宜変更することが可能となる。
これにより例えば対象物の位置を移動させることなく対象物の異なる領域の焦点をそれぞれ合わせることができる。この結果、測定時間の短縮等を図ることができる。
例えば対象物の色に応じてパターン画像の色を適宜設定することで視認性を高めることができ、高精度に焦点を合わせることが可能となる。
これによりユーザの視認性を十分に向上させることができる。
前記載置部には、対象物が載置される。
前記結像光学系は、前記載置部に載置された対象物の像を結像する。
このように第1及び第2のパターン画像の位置関係に応じて高さ測定が行われてもよい。
図1は、本発明の一実施形態に係る光学装置としての顕微鏡の外観を模式的に示す図である。顕微鏡100は、載置台200と、顕微鏡本体300とを有する。載置台200は、台座部210と、支柱部220と、X軸移動部230と、Y軸移動部240と、ステージ(載置部)250とを有する。台座部210は、図示しない作業台等に載置されて固定される。支柱部220は、鉛直方向(Z軸方向)に延在するように、台座部210に接続されている。
上記の顕微鏡100に、本発明に係るフォーカス検出ユニット(以下、単に検出ユニットと記載する)が取付けられる。検出ユニットは、結像光学系により結像されるワークWの像の焦点を高精度に合わせることを可能とする。検出ユニットは、例えは図1に示すカメラポート340に取り付けて使用される。
本発明は、以上説明した実施形態に限定されず、他の種々の実施形態を実現することができる。
も可能である。また上記で記載した種々の効果は、あくまで例示であって限定されるもの
ではなく、また他の効果が発揮されてもよい。
100…顕微鏡
250…ステージ(載置部)
370…結像光学系
371…合焦位置
400、500…フォーカス検出ユニット
401、501…第1のパターン画像
402、502…第2のパターン画像
405…第1の出射部
406…第2の出射部
407…投射光学系
410、412…液晶パネル
420…合焦パターン
421…第1の中心部
422…第2の中心部
424…第1の画素
425…第2の画素
426…第1のパターン画像用画素
427…第2のパターン画像用画素
510、512…デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)
Claims (1)
- 対象物が載置される載置部と、
前記載置部に載置された対象物の像を結像する結像光学系と、
前記結像される対象物の像の焦点を合わせるフォーカス検出ユニットであって、
入射する光をもとに第1のパターン画像を生成する第1の光変調素子を有し、前記生成された第1のパターン画像を出射する第1の出射部と、
入射する光をもとに第2のパターン画像を生成する第2の光変調素子を有し、前記生成された第2のパターン画像を出射する第2の出射部と、
前記出射された第1及び第2のパターン画像を、前記結像光学系の合焦位置にて所定の位置関係となるようにそれぞれ投射する投射光学系と
を有するフォーカス検出ユニットと、
算出部と
を具備し、
前記第1の光変調素子は、複数の第1のパターン画像を生成し、
前記第2の光変調素子は、前記複数の第1のパターン画像に対応する複数の第2のパターン画像を生成し、
前記投射光学系は、前記結像光学系の合焦位置にて、前記複数の第1のパターン画像の各々と、これに対応する前記複数の第2のパターン画像の各々とが、異なる投射位置にてそれぞれ前記所定の位置関係となるように、投射を行い、
前記算出部は、前記複数の第1のパターンのうちの基準となる第1の基準パターン画像とこれに対応する第2の基準パターン画像とが前記所定の位置関係にて結像されている状態において、他の第1のパターン画像とこれに対応する他の第2のパターン画像との位置関係をもとに、前記第1及び前記第2の基準パターン画像が投射されている第1の投射面に対する、前記他の第1のパターン画像とこれに対応する前記他の第2のパターン画像とが投射されている第2の投射面の高さを算出する
光学装置。
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