JP2007225789A - 測定顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】被測定物の色に関係なく合焦検出を再現性良く行える測定顕微鏡を提供する。
【解決手段】測定顕微鏡100は、被測定物101を水平移動させるステージ102と、鏡筒部103と、鏡筒部103を上下移動させる上下動機構104と、鏡筒部103の位置を検出する位置検出部105とを有している。鏡筒部103は観察光学系110と落射照明光学系120と指標投影光学系130を有している。観察光学系110は対物レンズ111と結像レンズ112と焦点板113と接眼レンズ114とを有し、落射照明光学系120は照明光源121と照明用レンズ122と照明用ハーフミラー123とを有している。指標投影光学系130は、複数色の光を発する光源部131とコリメートレンズ133とスプリットプリズム134とリレーレンズ136と結像レンズ138とハーフミラー139とを有し、スプリットプリズム134は指標の領域のみ光を透過する。
【選択図】 図1
【解決手段】測定顕微鏡100は、被測定物101を水平移動させるステージ102と、鏡筒部103と、鏡筒部103を上下移動させる上下動機構104と、鏡筒部103の位置を検出する位置検出部105とを有している。鏡筒部103は観察光学系110と落射照明光学系120と指標投影光学系130を有している。観察光学系110は対物レンズ111と結像レンズ112と焦点板113と接眼レンズ114とを有し、落射照明光学系120は照明光源121と照明用レンズ122と照明用ハーフミラー123とを有している。指標投影光学系130は、複数色の光を発する光源部131とコリメートレンズ133とスプリットプリズム134とリレーレンズ136と結像レンズ138とハーフミラー139とを有し、スプリットプリズム134は指標の領域のみ光を透過する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定顕微鏡に関する。
被測定物の測定面の段差を測定する装置の一つとして測定顕微鏡が知られている。測定顕微鏡の従来例の概略構成を図8に示す。この測定顕微鏡は、被測定物1を観察する観察光学系10を有している。観察光学系10は、被測定物1に対向する対物レンズ11と、対物レンズ11と共に結像光学系を構成する結像レンズ12と、対物レンズ11と結像レンズ12からなる結像光学系による結像位置に配置された焦点板13と、焦点板13に結像される像を目視観察するための接眼レンズ14とから構成されている。
測定顕微鏡はさらに、対物レンズ11を介して被測定物1を照明する照明光学系30を有している。照明光学系30は、光源31と、照明用レンズ33と、リレーレンズ36と、スプリットプリズム34と、結像レンズ38と、ハーフミラー39とから構成されている。ハーフミラー39は結像レンズ12と対物レンズ11の間に位置し、結像レンズ38から入射する光を対物レンズ11に方向付ける。
観察光学系10と照明光学系30は、図示しない上下動機構の架台に設置されており、上下動機構によって光軸方向に移動されることにより、対物レンズ11と測定面1aまたは1bの相対位置を調整することにより合焦が行われる。
スプリットプリズム34は二枚の半円形くさび型プリズム34aと34bで構成されている。二つのプリズム34aと34bは左右(上下)に隣接して位置し、互いに逆方向に傾斜している。またプリズム34aと34bは、図9に示されるように、それぞれ指標34aaと34bbを有している。二つの指標34aaと34bbは、プリズム34aと34bの境界を基準にして線対称な形状を有している。
光源31から発せられた照明光は、照明用レンズ33、リレーレンズ36を通過したのち、スプリットプリズム34に入射し、指標34aaと34bbの領域に入射した一部を除いてスプリットプリズム34を透過する。スプリットプリズム34を透過した照明光はそれぞれ二本のビームとなり、光軸に対して逆方向に同じ角度で偏向される。その後、二本のビームは、結像レンズ38とハーフミラー39を経たのち、対物レンズ11によって被測定物1の測定面1aまたは1bに照射される。その結果、指標34aaと34bbの像が被測定物1の測定面1aまたは1bに投影される。被測定物1の測定面1aまたは1bに投影された指標34aaと34bbの像は、対物レンズ11と結像レンズ12と焦点板13と接眼レンズ14とからなる観察光学系10によって目視確認される。
被測定物1の測定面1aまたは1bが合焦位置に位置している状態では、図10に示されるように、指標像41aaと41bbは、中央に上下(左右)ずれなく投影される。一方、合焦位置から少しはずれている状態では、図11に示されるように、指標像41aaと41bbは、上下(左右)に少しずれて投影される。合焦位置からさらに大きくずれている状態では、指標像41aaと41bbは更に大きくずれてぼやける。
図8の測定顕微鏡において、測定面1aと測定面1bの段差Hを測定する場合、接眼レンズ14を介して目視観察しながら、測定面1aに対して、接眼レンズ14の視野内に見える指標像41aaと41bbが上下(左右)ずれなく投影されるように上下動機構により対物レンズ11と測定面1aの間の距離を調整し、そのときの対物レンズ11の位置をスケールなどの位置検出手段によって読み取る。測定面1bに対しても同様な操作を行い、そのとき対物レンズ11の位置を位置検出手段によって読み取る。これら二つの読み取り結果の差から段差Hが求められる。従って、被測定物の測定面の段差を再現性良く測定するには、測定面に対する合焦検出を再現性良く行える必要がある。
特許第3550580号明細書
英国特許第2076176号明細書
上述した測定顕微鏡では、照明光学系30は、指標34aaと34bbを投影する光学系と、測定面1aまたは1bを照明する光学系とを兼ねている。合焦検出は、測定面1aまたは1bに投影された指標像41aaと41bbの上下(左右)を合わせることによって行われる。このため、被測定物の色によっては、投影された指標像41aaと41bbが見えにくく、合焦検出を再現性良く行うことがむずかしい場合がある。
また、指標のコントラストを上げるために照明光の色を変更すると、観察像が実際の被測定物の色と違うために測定しにくくなる。たとえば、一般的に緑色は比視感度が高いため、指標を投影する色は緑色が好ましい。しかし、電気配線用の基板は一般的に緑色であるため、この基板に対して、照明光を緑色にした場合、被測定物と同色となるので、被測定物自体が見えにくくなり、指標のコントラストも悪くなり、合焦検出の再現性が悪くなる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、その目的は、被測定物の色に関係なく、合焦検出を再現性良く行える測定顕微鏡を提供することである。
本発明による測定顕微鏡は、対物レンズと、前記対物レンズを介して被測定物の測定面に合焦検出用の指標を投影する指標投影光学系と、前記指標投影光学系と前記被測定物の測定面との相対位置を調整する機構とを備え、前記指標投影光学系は、複数色の光を発する光源部を有している。
本発明によれば、被測定物の色に関係なく、合焦検出を再現性良く行える測定顕微鏡を提供される。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
<第一実施形態>
本発明の第一実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図1に示す。
本発明の第一実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図1に示す。
図1に示されるように、本実施形態の測定顕微鏡100は、被測定物101を水平移動させるステージ102と、光学系を内蔵した鏡筒部103と、鏡筒部103を上下移動させる上下動機構104と、鏡筒部103の上下方向の位置を検出するスケールなどの位置検出部105とを有している。
鏡筒部103は、被測定物101を観察する観察光学系110を有している。観察光学系110は、被測定物101に対向する対物レンズ111と、対物レンズ111と共に結像光学系を構成する結像レンズ112と、対物レンズ111と結像レンズ112からなる結像光学系による結像位置に配置された焦点板113と、焦点板113に結像される像を目視観察するための接眼レンズ114とから構成されている。
鏡筒部103はさらに、対物レンズ111を介して被測定物101を照明する落射照明光学系120を有している。落射照明光学系120は、照明光を発する照明光源121と、照明用レンズ122と、照明用ハーフミラー123とから構成されている。照明用ハーフミラー123は結像レンズ112と対物レンズ111の間に位置し、照明用レンズ122から入射する光を対物レンズ111に方向付ける。
鏡筒部103はさらに、対物レンズ111を介して被測定物101の測定面101aまたは101bに合焦検出用の指標を投影する落射型の指標投影光学系130を有している。指標投影光学系130は、複数色の光を発する光源部131と、コリメートレンズ133と、リレーレンズ136と、スプリットプリズム134と、結像レンズ138と、ハーフミラー139とから構成されている。ハーフミラー139は結像レンズ112と照明用ハーフミラー123の間に位置し、結像レンズ138から入射する光を対物レンズ111に方向付ける。
複数色の光を発する光源部131は、たとえば、異なる色の光を発する複数色のLEDを備えたLED光源132で構成される。LED光源132は、たとえば、RGB色で発光するLEDを有し、RGB色のいずれかの光を選択的に発したり、RGB色の発光強度を独立に調整することにより様々な色の光を作り出したりできる。もちろん白色光を作り出すことも可能である。また、ここではLED光源132がRGBの三色のLEDを有している例を述べたが、LED光源132は二色のLEDを有しているものや、四色以上のLEDを有しているものであってもよい。
スプリットプリズム134は二枚の半円形くさび型プリズム134aと134bで構成されている。二つのプリズム134aと134bは左右(上下)に隣接して位置し、互いに逆方向に傾斜している。またプリズム134aと134bは、図2に示されるように、それぞれ指標134aaと134bbを有している。二つの指標134aaと134bbはプリズム134aと134bの境界を基準にして線対称な形状を有し、所定のパターンを形成している。指標134aaと134bbは、プリズム134aと134bの表面に設けられた遮光膜に選択的に形成された透過領域で構成されている。従って、スプリットプリズム134は指標134aaと134bbの領域のみ光を透過し、それ以外の領域では光を遮断する。
図1の測定顕微鏡100において、落射照明光学系120の照明光源121から発せられた照明光は、照明用レンズ122と照明用ハーフミラー123と対物レンズ111を経て、被測定物101の測定面101aと101bを照明する。照明光源121から発せられる照明光は、観察に適した光量に調整される。
また、光源部131から発せられた光は、コリメートレンズ133、リレーレンズ136を通過し、スプリットプリズム134に入射する。スプリットプリズム134に入射した光は、指標134aaと134bbの領域に入射した一部だけがスプリットプリズム134を透過し、残りはスプリットプリズム134で遮断される。指標134aaと134bbを透過した光はそれぞれ指標134aaと134bbの形状を反映した断面形状の二本のビームとなる。これら二本のビームはそれぞれ二つのプリズム134aと134bによって光軸に対して逆方向に同じ角度で偏向され、結像レンズ138を通過し、ハーフミラー139で反射され、照明用ハーフミラー123を透過し、対物レンズ111によって集光され、被測定物101の測定面101aまたは101bに照射される。
スプリットプリズム134は、リレーレンズ136と結像レンズ138の間に形成される対物レンズ111の後ろ側焦点に共役な位置に配置されている。そのため指標134aaと134bbからの光は、結像レンズ138と対物レンズ111によってリレーされ、被測定物101の測定面101aまたは101bに結像される。その結果、指標134aaと134bbの像が被測定物101の測定面101aまたは101bに投影される。
被測定物101の測定面101aまたは101bに投影された指標134aaと134bbの像は、対物レンズ111と結像レンズ112と焦点板113と接眼レンズ114とからなる観察光学系110によって目視確認される。
光源部131から発せられる光は、被測定物101の測定面101aと101bの色と照明光源121から発せられる光とに対して、好適な光量と好適な色に調整される。ここで好適な色とは、照明光源121から発せられる光とは異なる色であり、しかも目視により認識しやすい色である。すなわち、指標投影光学系130は、落射照明光学系120の照明光とは異なる色の光で指標134aaと134bbを被測定物101に投影する。また好適な光量とは、被測定物101の測定面101aと101bの像と指標134aaと134bbの像の識別を容易にするに十分なコントラストを与える光量である。これにより、使用者は、被測定物101の測定面101aと101bに投影される指標134aaと134bbの像を容易に認識し得る。
被測定物101の測定面101aまたは101bが合焦位置に位置している状態では、図3に示されるように、指標像141aaと141bbは、中央に上下(左右)ずれなく投影される。一方、被測定物101の測定面101aまたは101bが合焦位置から少しはずれている状態では、図4に示されるように、指標像141aaと141bbは、上下(左右)に少しずれて投影される。合焦位置からさらに大きくずれている状態では、指標像141aaと141bbは更に大きくずれてぼやける。
測定面101aと測定面101bの段差Hを測定する場合、接眼レンズ114を介して焦点板113を目視観察しながら、たとえば、まず、測定面101aに対して照明光源121の光量を調整し、さらに光源部131の光を認識しやすい色に調整する。さらに、接眼レンズ114の視野内に見える指標像141aaと141bbが上下(左右)ずれなく投影されるように上下動機構104により調整し、そのときの鏡筒部103の位置を位置検出部105によって読み取る。また、測定面101bに対しても同様な操作を行ったのち、鏡筒部103の位置を位置検出部105によって読み取る。これら二つの読み取り結果の差から段差Hが求められる。
本実施形態の測定顕微鏡100によれば、指標投影光学系130の光源部131から発せられる光の色を、被測定物101の色に応じて認識しやすい色に設定できる。これにより、様々な被測定物に対して合焦検出を再現性良く行えるようになる。
<第二実施形態>
本発明の第二実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図5に示す。図5において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
本発明の第二実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図5に示す。図5において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
図5に示されるように、本実施形態の測定顕微鏡200は、第一実施形態の測定顕微鏡100の指標投影光学系130に代えて、指標投影光学系230を有している。指標投影光学系230は、第一実施形態の指標投影光学系130の光源部131に代えて、複数色の光を発する光源部231を有している。
光源部231は、一つの白色光源232と、回転板233と、回転板233を回転可能に保持しているモーター234とから構成されている。回転板233は、図6に示されるように、赤フィルター233rと緑フィルター233gと青フィルター233bと開口233wとを有し、これらは、回転板233の回転中心に対して同心の円周上にたとえば等間隔で配置されている。モーター234により回転板233の回転角度を調整することにより、赤フィルター233rと緑フィルター233gと青フィルター233bと開口233wの一つが指標投影光学系230の光軸上に配置されうる。つまり、回転板233とモーター234は、複数の色フィルター233rと233gと233bの一つを選択的に光路上に配置する機構を構成している。
赤フィルター233rが光軸上に配置された場合、指標投影光学系230は被測定物101の測定面101aまたは101bに指標134aaと134bbを赤色光で投影する。また、緑フィルター233gが光軸上に配置された場合には緑色光で、青フィルター233bが光軸上に配置された場合には青色光で指標134aaと134bbを投影する。さらに、開口233wが光軸上に配置された場合には、白色光で指標134aaと134bbを投影する。
本実施形態の測定顕微鏡200においても、指標投影光学系230の光源部231から発せられる光の色を、被測定物101の色に応じて認識しやすい色に設定できる。これにより、様々な被測定物に対して合焦検出を再現性良く行えるようになる。
<第三実施形態>
本発明の第三実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図7に示す。図7において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
本発明の第三実施形態の測定顕微鏡の概略的構成を図7に示す。図7において、図1に示された部材と同一の参照符号で指示された部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。
図7に示されるように、本実施形態の測定顕微鏡300は、第一実施形態の測定顕微鏡100の指標投影光学系130に代えて、指標投影光学系330を有している。指標投影光学系330は、第一実施形態の指標投影光学系130の光源部131に代えて、複数色の光を発する光源部331を有している。
光源部331は、青色LED332bと緑色LED332gと赤色LED332rとハーフミラー333とハーフミラー334とから構成されている。ハーフミラー333は、青色LED332bから発せられる青色光の光路と、緑色LED332gから発せられる緑色光の光路とを合成する。またハーフミラー333は、赤色LED332rから発せられる赤色光の光路と、ハーフミラー333によって合成された光路とを合成する。青色LED332bと緑色LED332gと赤色LED332rはそれぞれ独立に光の強度を変更可能である。
青色LED332bと緑色LED332gと赤色LED332rのいずれか一つが選択的に発光された場合、指標投影光学系330は被測定物101の測定面101aまたは101bに指標134aaと134bbを青色光と緑色光と赤色光のいずれかで投影する。また青色LED332bと緑色LED332gと赤色LED332rから発せられる光の強度を独立に調整することにより、指標投影光学系330は様々な色の光で指標134aaと134bbを投影しうる。
本実施形態の測定顕微鏡300においても、指標投影光学系330の光源部331から発せられる光の色を、被測定物101の色に応じて認識しやすい色に設定できる。これにより、様々な被測定物に対して合焦検出を再現性良く行えるようになる。
これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。
たとえば、複数色の光を発する光源部は、交換可能に装着される光源ユニットを含んでいて、この光源部に装着される光源ユニットが、異なる色の光を発する複数の光源ユニットの間で交換される構成であってもよい。
1…被測定物、1a…測定面、1b…測定面、10…観察光学系、11…対物レンズ、12…結像レンズ、13…焦点板、14…接眼レンズ、30…照明光学系、31…光源、33…照明用レンズ、34…スプリットプリズム、34a…プリズム、34aa…指標、34b…プリズム、34bb…指標、36…リレーレンズ、38…結像レンズ、39…ハーフミラー、41aa…指標像、41bb…指標像、100…測定顕微鏡、101…被測定物、101a…測定面、101b…測定面、102…ステージ、103…鏡筒部、104…上下動機構、105…位置検出部、110…観察光学系、111…対物レンズ、112…結像レンズ、113…焦点板、114…接眼レンズ、120…落射照明光学系、121…照明光源、122…照明用レンズ、123…照明用ハーフミラー、130…指標投影光学系、131…光源部、132…LED光源、133…コリメートレンズ、134…スプリットプリズム、134a…プリズム、134aa…指標、134b…プリズム、134bb…指標、136…リレーレンズ、138…結像レンズ、139…ハーフミラー、141aa…指標像、141bb…指標像、200…測定顕微鏡、230…指標投影光学系、231…光源部、232…白色光源、233…回転板、233b…青フィルター、233g…緑フィルター、233r…赤フィルター、233w…開口、234…モーター、300…測定顕微鏡、330…指標投影光学系、331…光源部、332b…青色LED、332g…緑色LED、332r…赤色LED、333…ハーフミラー、334…ハーフミラー。
Claims (8)
- 対物レンズと、
前記対物レンズを介して被測定物の測定面に合焦検出用の指標を投影する指標投影光学系と、
前記指標投影光学系と前記被測定物の測定面との相対位置を調整する機構とを備え、
前記指標投影光学系は、複数色の光を発する光源部を有している、測定顕微鏡。 - 前記光源部は、異なる色の光を発する複数の光源を有している、請求項1に記載の測定顕微鏡。
- 前記複数の光源のうちの一つが選択的に発光される、請求項2に記載の測定顕微鏡。
- 前記複数の光源から発せられる光の強度が独立に調整される、請求項2に記載の測定顕微鏡。
- 前記光源部は、一つの光源と、複数の色フィルターと、前記複数の色フィルターの一つを選択的に光路上に配置する機構とを有している、請求項1に記載の測定顕微鏡。
- 前記光源部は、交換可能に装着される光源ユニットを含み、前記光源部に装着される光源ユニットは、異なる色の光を発する複数の光源ユニットの間で交換される、請求項1に記載の測定顕微鏡。
- 前記被測定物を照明する落射照明光学系をさらに備えている、請求項1に記載の測定顕微鏡。
- 前記指標投影光学系は、前記落射照明光学系の照明光とは異なる色の光で前記指標を投影する、請求項7に記載の測定顕微鏡。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010005013A1 (ja) * | 2008-07-09 | 2012-01-05 | 株式会社ニコン | 測定装置 |
CN103080810A (zh) * | 2010-08-18 | 2013-05-01 | 佳能株式会社 | 显微镜 |
JP2015225238A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ミツトヨ | フォーカス検出ユニット、及び光学装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240765A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Nikon Corp | 自動焦点検出装置 |
JP2003140050A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型共焦点顕微鏡 |
JP2005085885A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Nikon Corp | レーザ光源装置および共焦点顕微鏡装置 |
-
2006
- 2006-02-22 JP JP2006045453A patent/JP2007225789A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08240765A (ja) * | 1995-03-02 | 1996-09-17 | Nikon Corp | 自動焦点検出装置 |
JP2003140050A (ja) * | 2001-11-02 | 2003-05-14 | Olympus Optical Co Ltd | 走査型共焦点顕微鏡 |
JP2005085885A (ja) * | 2003-09-05 | 2005-03-31 | Nikon Corp | レーザ光源装置および共焦点顕微鏡装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2010005013A1 (ja) * | 2008-07-09 | 2012-01-05 | 株式会社ニコン | 測定装置 |
JP5424064B2 (ja) * | 2008-07-09 | 2014-02-26 | 株式会社ニコン | 測定装置 |
CN103080810A (zh) * | 2010-08-18 | 2013-05-01 | 佳能株式会社 | 显微镜 |
JP2015225238A (ja) * | 2014-05-28 | 2015-12-14 | 株式会社ミツトヨ | フォーカス検出ユニット、及び光学装置 |
CN105301751A (zh) * | 2014-05-28 | 2016-02-03 | 株式会社三丰 | 焦点检测单元及光学设备 |
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