JP6377894B2 - 半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6377894B2 JP6377894B2 JP2013181919A JP2013181919A JP6377894B2 JP 6377894 B2 JP6377894 B2 JP 6377894B2 JP 2013181919 A JP2013181919 A JP 2013181919A JP 2013181919 A JP2013181919 A JP 2013181919A JP 6377894 B2 JP6377894 B2 JP 6377894B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- semiconductor device
- semiconductor element
- manufacturing
- resin layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 319
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 66
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 67
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 67
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 62
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 59
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 59
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 45
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 35
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 32
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 20
- -1 phenol compound Chemical class 0.000 claims description 20
- 229910007637 SnAg Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 13
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 9
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 9
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 8
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 6
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 6
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 6
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 5
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 claims description 3
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 139
- 239000010408 film Substances 0.000 description 88
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 10
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 6
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 4
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 238000011417 postcuring Methods 0.000 description 3
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000002560 therapeutic procedure Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- LJHFIVQEAFAURQ-ZPUQHVIOSA-N (NE)-N-[(2E)-2-hydroxyiminoethylidene]hydroxylamine Chemical class O\N=C\C=N\O LJHFIVQEAFAURQ-ZPUQHVIOSA-N 0.000 description 1
- LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethoxypropane Chemical compound COCC(C)OC LEEANUDEDHYDTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KUMMBDBTERQYCG-UHFFFAOYSA-N 2,6-bis(hydroxymethyl)-4-methylphenol Chemical compound CC1=CC(CO)=C(O)C(CO)=C1 KUMMBDBTERQYCG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-1-butanol Chemical compound COC(C)CCO JSGVZVOGOQILFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-3-methylbutan-1-ol Chemical compound COC(C)(C)CCO MFKRHJVUCZRDTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXYXQGQNLHWHPX-UHFFFAOYSA-N C(C)(=O)OC(COC(CCCCC)(C)C)C Chemical compound C(C)(=O)OC(COC(CCCCC)(C)C)C WXYXQGQNLHWHPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N Diazomethane Chemical class C=[N+]=[N-] YXHKONLOYHBTNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 229940043232 butyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007974 melamines Chemical class 0.000 description 1
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZJVVXCHJIQVOL-UHFFFAOYSA-N nitro(phenyl)methanesulfonic acid Chemical class OS(=O)(=O)C([N+]([O-])=O)C1=CC=CC=C1 IZJVVXCHJIQVOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- JAELLLITIZHOGQ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)(C)C JAELLLITIZHOGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- 150000003918 triazines Chemical class 0.000 description 1
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/568—Temporary substrate used as encapsulation process aid
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/04—Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
- H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/12105—Bump connectors formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bumps on chip-scale packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/82—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI]
- H01L2224/82001—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected by forming build-up interconnects at chip-level, e.g. for high density interconnects [HDI] involving a temporary auxiliary member not forming part of the bonding apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/181—Encapsulation
- H01L2924/1815—Shape
- H01L2924/1816—Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body
- H01L2924/18162—Exposing the passive side of the semiconductor or solid-state body of a chip with build-up interconnect
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Description
この方法によれば、ワイヤボンディングによる半導体素子と配線基板の接合を行わないが、半導体装置上に再配線を施し、ソルダーバンプを配置しなければならず、半導体装置の小型化に伴う再配線の微細化、ソルダーバンプの高密度化が必要となり、実際のところ困難に直面する。
積層される各半導体素子は、コア基材(150、250)と貫通電極(140、240)と配線層(157、257)を有する基板(110、210)上に半田バンプ(170、270)と半導体素子のパッド(182、282)を介して半導体素子(180、280)が接合されたものである。また、配線層(157、257)は実装パッド(165、265)、接続パッド(164、264)、配線(266)を有する。さらに、基板(110、210)の最表面と半導体素子(180、280)との間にはアンダーフィル(184、284)が充填されている。このような半導体素子を接合した基板を半田バンプ(174、176)を介して接合し積層する方法が特許文献2では示されている。
また、このような半導体装置の製造の際に、貫通電極、電極パッド部の開口などの加工を容易にできる半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
さらに、このような半導体装置を積層した積層型半導体装置、これを配線基板上に載置し封止した封止後積層型半導体装置、及びこれらの製造方法を提供することを目的とする。
これにより、半導体素子の高さが数十μmであっても半導体素子周辺に空隙などがなく埋め込まれた半導体装置となる。
これにより、反りが軽減された半導体装置となる。
(1)膜厚10〜150μmである光硬化性樹脂層が支持フィルムと保護フィルムで挟まれた構造を有し、前記光硬化性樹脂層がレジスト組成物材料からなる光硬化性ドライフィルムを準備する工程と、
(2)上部表面に電極パッドが露出した高さ20〜100μmの半導体素子を接着又は仮接着した基板上に、前記半導体素子を覆うように前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートすることで第1の感光性絶縁層を形成する工程と、
(3)前記第1の感光性絶縁層に対してマスクを介したリソグラフィーによってパターニングを行い、前記電極パッド上の開口と前記半導体素子の外部に設ける貫通電極を形成するための開口を同時に形成する工程と、
(4)パターニング後、ベークすることで前記第1の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(5)硬化後、スパッタリングによるシード層形成を行い、その後前記電極パッド上の開口と前記貫通電極を形成するための開口をメッキによって埋めて、それぞれ半導体素子上金属パッドと貫通電極とし、前記メッキによって形成された前記半導体素子上金属パッドと前記貫通電極をさらにメッキによる金属配線によってつなぐ工程と、
(6)金属配線の形成後、前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートする又は前記レジスト組成物材料をスピンコートすることで第2の感光性絶縁層を形成し、前記貫通電極上部に開口を形成するようにパターニングを行う工程と、
(7)パターニング後、ベークすることで前記第2の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(8)硬化後、前記貫通電極上部の開口にソルダーバンプを形成する工程、
を有する半導体装置の製造方法を提供する。
(A)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有する質量平均分子量が3,000〜500,000のシリコーン骨格含有高分子化合物、
(B)ホルムアルデヒド又はホルムアルデヒド−アルコールにより変性されたアミノ縮合物及び1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物から選ばれる1種又は2種以上の架橋剤、
(C)波長190〜500nmの光によって分解し、酸を発生する光酸発生剤、
(D)溶剤、
を含有してなる化学増幅型ネガ型レジスト組成物材料からなる光硬化性樹脂層を有する光硬化性ドライフィルムであることが好ましい。
これにより、半導体素子上の第1の感光性絶縁層の厚さを薄くすることや、均一化することができ、また第1の感光性絶縁層を平坦化することができる。
前記貫通電極上金属パッド上にソルダーボールを形成し、ソルダーバンプとする工程、
を有する方法で、前記貫通電極上部の開口にソルダーバンプを形成することができる。
前記工程(6)において、前記貫通電極上部に開口を形成するようにパターニングを行うことで、前記メッキされたSnAgを露出させる工程と、
前記工程(8)において、前記メッキされたSnAgを溶融することで前記貫通電極上部の開口において電極を隆起させてソルダーバンプを形成する工程、
を有する方法であれば、さらに容易かつ合理的に前記貫通電極上部の開口にソルダーバンプを形成することができる。
前記基板を除去した後、ダイシングすることで個片化する工程、
を行うことで、個片化された半導体装置を製造することができる。
前記基板に載置された積層型半導体装置を絶縁封止樹脂層で封止する工程、
を有する方法で封止後積層型半導体装置を製造することができる。
すなわち、基板上載置された半導体素子周辺を、レジスト組成物材料を光硬化性樹脂層に用いた光硬化性ドライフィルムによって埋め込む際、光硬化性樹脂層が膜厚10〜150μmであることから、半導体素子の高さが数十μmであった場合でも半導体素子周辺に空隙など生じさせることなく、光硬化性ドライフィルムを埋め込むことが可能となり、さらに容易である。
また、本発明の半導体装置の製造方法であれば、半導体素子上に微細な電極形成を施し、半導体素子外部に貫通電極を施すことで、配線基板への載置や半導体装置の積層を容易にでき、また貫通電極、電極パッド部の開口などの加工を容易にできる。
さらに、このようにして得られた本発明の半導体装置は、配線基板への載置や半導体装置の積層が容易であるため、半導体装置を積層させた積層型半導体装置やこれを配線基板に載置し封止した封止後積層型半導体装置とすることができる。
また、第1の感光性絶縁層は、光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートすることにより形成され、第2の感光性絶縁層は、光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートする又は光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層の材料であるレジスト組成物材料をスピンコートすることにより形成することができる。
本発明の積層型半導体装置は、図2に示すように、上述の半導体装置がフリップチップ化されて貫通電極5とソルダーバンプ9によって電気的に接合され、複数積層されたものであり、各半導体装置間には絶縁樹脂層13が封入されていてもよい。
本発明の封止後積層型半導体装置は、図3に示すように、上述の積層型半導体装置が電気回路を有した基板(配線基板14)上にソルダーバンプ9を介して載置され、絶縁封止樹脂層15で封止されたものである。
(1)膜厚10〜150μmである光硬化性樹脂層が支持フィルムと保護フィルムで挟まれた構造を有し、前記光硬化性樹脂層がレジスト組成物材料からなる光硬化性ドライフィルムを準備する工程と、
(2)上部表面に電極パッドが露出した高さ20〜100μmの半導体素子を接着又は仮接着した基板上に、前記半導体素子を覆うように前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートすることで第1の感光性絶縁層を形成する工程と、
(3)前記第1の感光性絶縁層に対してマスクを介したリソグラフィーによってパターニングを行い、前記電極パッド上の開口と前記半導体素子の外部に設ける貫通電極を形成するための開口を同時に形成する工程と、
(4)パターニング後、ベークすることで前記第1の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(5)硬化後、スパッタリングによるシード層形成を行い、その後前記電極パッド上の開口と前記貫通電極を形成するための開口をメッキによって埋めて、それぞれ半導体素子上金属パッドと貫通電極とし、前記メッキによって形成された前記半導体素子上金属パッドと前記貫通電極をさらにメッキによる金属配線によってつなぐ工程と、
(6)金属配線の形成後、前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートする又は前記レジスト組成物材料をスピンコートすることで第2の感光性絶縁層を形成し、前記貫通電極上部に開口を形成するようにパターニングを行う工程と、
(7)パターニング後、ベークすることで前記第2の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(8)硬化後、前記貫通電極上部の開口にソルダーバンプを形成する工程、
を有する。
以下、各工程について詳しく説明する。
本発明の半導体装置の製造方法に用いられる光硬化性ドライフィルムは、膜厚10〜150μmである光硬化性樹脂層が支持フィルムと保護フィルムで挟まれた構造を有し、光硬化性樹脂層がレジスト組成物材料からなる光硬化性ドライフィルムである。
(A)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有する質量平均分子量が3,000〜500,000のシリコーン骨格含有高分子化合物、
(B)ホルムアルデヒド又はホルムアルデヒド−アルコールにより変性されたアミノ縮合物及び1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物から選ばれる1種又は2種以上の架橋剤、
(C)波長190〜500nmの光によって分解し、酸を発生する光酸発生剤、
(D)溶剤
を含有してなる化学増幅型ネガ型レジスト組成物材料が好適に用いられる。
なお、これら変性メラミン縮合物及び変性尿素縮合物は1種又は2種以上を、混合して使用することができる。
なお、これらフェノール化合物は1種又は2種以上を、混合して使用することができる。
このような光酸発生剤としては、オニウム塩、ジアゾメタン誘導体、グリオキシム誘導体、β−ケトスルホン誘導体、ジスルホン誘導体、ニトロベンジルスルホネート誘導体、スルホン酸エステル誘導体、イミド−イル−スルホネート誘導体、オキシムスルホネート誘導体、イミノスルホネート誘導体、トリアジン誘導体等が挙げられる。
このような溶剤としては、例えばシクロヘキサノン、シクロペンタノン、メチル−2−n−アミルケトン等のケトン類;3−メトキシブタノール、3−メチル−3−メトキシブタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール等のアルコール類;プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル等のエーテル類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、乳酸エチル、ピルビン酸エチル、酢酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、酢酸tert−ブチル、プロピオン酸tert−ブチル、プロピレングリコール−モノ−tert−ブチルエーテルアセテート、γ−ブチロラクトン等のエステル類等が挙げられる。
現像は、通常の方法、例えばパターンが形成された基板を現像液に浸漬すること等により行うことができる。その後、必要に応じて、洗浄、リンス、乾燥等を行い、所望のパターンを有する第1の感光性絶縁層の皮膜が得られる。
なお、第2の感光性絶縁層において、レジスト組成物材料をスピンコートする場合も、光硬化性ドライフィルムを用いる場合と同様な厚さで塗布することが好ましい。
ソルダーバンプの形成方法としては、例えば、図9に示すように貫通電極上部の開口cにメッキによって貫通電極上金属パッド10を形成する。次に、貫通電極上金属パッド10上にソルダーボール11を形成し、これをソルダーバンプとすることができる。
さらに、このようにして得られた本発明の半導体装置は、配線基板への載置や半導体装置の積層が容易であるため、半導体装置を積層させた積層型半導体装置やこれを配線基板に載置し封止した封止後積層型半導体装置とすることができる。
c…貫通電極上部の開口、
1…半導体素子、 2…基板、 3…第1の感光性絶縁層、
4…半導体素子上金属パッド、 5…貫通電極、 6…金属配線、
7…金属メッキ、 8…第2の感光性絶縁層、 9…ソルダーバンプ、
10…貫通電極上金属パッド、 11…ソルダーボール、
12…SnAgを隆起させた電極、 13…絶縁樹脂層、 14…配線基板、
15…絶縁封止樹脂層、 20、21…個片化した半導体装置、
50…半導体装置、 52…再配線パターン、 53…配線基板、 54…貫通孔、
55…Al電極パッド、 56…貫通電極、 57…配線基板上の再配線パターン、
58…半田バンプ、 59…デバイス形成層、
110、210…基板、 140、240…貫通電極、 150、250…コア基材、
157、257…配線層、 164、264…接続パッド、
165、265…実装パッド、 170、174、176、270…半田バンプ、
180、280…半導体素子、 182、282…半導体素子のパッド、
184、284…アンダーフィル、 266…配線、
301…有機基板、 302…半導体素子、 303…接着層、 304…貫通ビア、
305a…内部電極、305b…外部電極、 306…絶縁材料層、
307…金属薄膜配線層、 308…ビア部、 309…外部電極、
310…金属ビア、 316…感光性樹脂層、 317…開口。
Claims (6)
- 半導体装置の製造方法であって、
(1)膜厚10〜150μmである光硬化性樹脂層が支持フィルムと保護フィルムで挟まれた構造を有し、前記光硬化性樹脂層がレジスト組成物材料からなる光硬化性ドライフィルムを準備する工程と、
(2)上部表面に電極パッドが露出した高さ20〜100μmの半導体素子を仮接着した基板上に、前記半導体素子を覆うように前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートすることで第1の感光性絶縁層を形成する工程と、
(3)前記第1の感光性絶縁層に対してマスクを介したリソグラフィーによってパターニングを行い、前記電極パッド上の開口と前記半導体素子の外部に設ける貫通電極を形成するための開口を同時に形成する工程と、
(4)パターニング後、ベークすることで前記第1の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(5)硬化後、スパッタリングによるシード層形成を行い、その後前記電極パッド上の開口と前記貫通電極を形成するための開口をメッキによって埋めて、それぞれ半導体素子上金属パッドと貫通電極とし、前記メッキによって形成された前記半導体素子上金属パッドと前記貫通電極をメッキによる金属配線によってつなぐ工程と、
(6)金属配線の形成後、前記光硬化性ドライフィルムの光硬化性樹脂層をラミネートする又は前記レジスト組成物材料をスピンコートすることで第2の感光性絶縁層を形成し、前記貫通電極上部に開口を形成するようにパターニングを行う工程と、
(7)パターニング後、ベークすることで前記第2の感光性絶縁層のパターニングによって得られたパターンを硬化させる工程と、
(8)硬化後、前記貫通電極上部の開口にソルダーバンプを形成する工程と、
該工程(8)の後に、前記工程(2)で半導体素子に仮接着した基板を除去する工程と、
前記基板を除去した後、ダイシングすることで個片化する工程、
を有する方法であり、
前記工程(1)で準備される光硬化性ドライフィルムが、
(A)下記一般式(1)で示される繰り返し単位を有する質量平均分子量が3,000〜500,000のシリコーン骨格含有高分子化合物、
(B)ホルムアルデヒド又はホルムアルデヒド−アルコールにより変性されたアミノ縮合物及び1分子中に平均して2個以上のメチロール基又はアルコキシメチロール基を有するフェノール化合物から選ばれる1種又は2種以上の架橋剤、
(C)波長190〜500nmの光によって分解し、酸を発生する光酸発生剤、
(D)溶剤、
を含有してなる化学増幅型ネガ型レジスト組成物材料からなる光硬化性樹脂層を有する光硬化性ドライフィルムであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記工程(2)において、前記第1の感光性絶縁層を機械的にプレスする工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(8)において、前記貫通電極上部の開口にメッキによって貫通電極上金属パッドを形成する工程と、
前記貫通電極上金属パッド上にソルダーボールを形成し、ソルダーバンプとする工程、
を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記工程(5)のメッキによる前記貫通電極の形成において、SnAgによるメッキを行う工程を含み、
前記工程(6)において、前記貫通電極上部に開口を形成するようにパターニングを行うことで、前記メッキされたSnAgを露出させる工程と、
前記工程(8)において、前記メッキされたSnAgを溶融することで前記貫通電極上部の開口において電極を隆起させてソルダーバンプを形成する工程、
を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置の製造方法。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の製造方法でダイシングによって個片化された半導体装置の複数を、絶縁樹脂層を挟んで、前記ソルダーバンプによって電気的に接合し、積層することを特徴とする積層型半導体装置の製造方法。
- 請求項5に記載の製造方法で製造した積層型半導体装置を、電気回路を有した基板に載置する工程と、
前記基板に載置された積層型半導体装置を絶縁封止樹脂層で封止する工程、
を有することを特徴とする封止後積層型半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013181919A JP6377894B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | 半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013181919A JP6377894B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | 半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017010517A Division JP6291094B2 (ja) | 2017-01-24 | 2017-01-24 | 積層型半導体装置、及び封止後積層型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015050365A JP2015050365A (ja) | 2015-03-16 |
JP6377894B2 true JP6377894B2 (ja) | 2018-08-22 |
Family
ID=52700118
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013181919A Active JP6377894B2 (ja) | 2013-09-03 | 2013-09-03 | 半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6377894B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021261955A1 (ko) * | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 주식회사 심텍 | 캐비티 내에 실장된 칩을 구비하는 적층 패키지 및 이의 제조 방법 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6571585B2 (ja) * | 2015-06-08 | 2019-09-04 | 信越化学工業株式会社 | 半導体装置、積層型半導体装置、封止後積層型半導体装置、及びこれらの製造方法 |
JP6903961B2 (ja) * | 2017-03-10 | 2021-07-14 | 住友ベークライト株式会社 | 電子装置の製造方法 |
JP7205787B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2023-01-17 | 大日本印刷株式会社 | 電子部品搭載基板およびその製造方法 |
JP6962052B2 (ja) * | 2017-07-31 | 2021-11-05 | 大日本印刷株式会社 | 電子部品搭載基板およびその製造方法 |
CN111952201B (zh) * | 2020-07-14 | 2022-02-18 | 珠海越亚半导体股份有限公司 | 一种嵌入式封装基板的制造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3944898B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2007-07-18 | ソニー株式会社 | 半導体装置 |
JP4268560B2 (ja) * | 2004-04-27 | 2009-05-27 | 大日本印刷株式会社 | 電子部品内蔵モジュールおよびその製造方法 |
JP4726640B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2011-07-20 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JP5496445B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2014-05-21 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4972601B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2012-07-11 | 新光電気工業株式会社 | 配線基板の製造方法 |
JP4489821B2 (ja) * | 2008-07-02 | 2010-06-23 | 新光電気工業株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2010219489A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-30 | Toshiba Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2012114148A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Fujitsu Semiconductor Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2012114214A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
JP5600642B2 (ja) * | 2011-06-16 | 2014-10-01 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置の製造方法 |
JP2013030593A (ja) * | 2011-07-28 | 2013-02-07 | J Devices:Kk | 半導体装置、該半導体装置を垂直に積層した半導体モジュール構造及びその製造方法 |
JP5846110B2 (ja) * | 2011-12-09 | 2016-01-20 | 信越化学工業株式会社 | 化学増幅ネガ型レジスト組成物、光硬化性ドライフィルム、その製造方法、パターン形成方法、及び電気・電子部品保護用皮膜 |
JP5912616B2 (ja) * | 2012-02-08 | 2016-04-27 | 株式会社ジェイデバイス | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-09-03 JP JP2013181919A patent/JP6377894B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021261955A1 (ko) * | 2020-06-26 | 2021-12-30 | 주식회사 심텍 | 캐비티 내에 실장된 칩을 구비하는 적층 패키지 및 이의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015050365A (ja) | 2015-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6031059B2 (ja) | 半導体装置、積層型半導体装置、封止後積層型半導体装置、及びこれらの製造方法 | |
JP6031060B2 (ja) | 半導体装置、積層型半導体装置、封止後積層型半導体装置、及びこれらの製造方法 | |
JP6534948B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、フリップチップ型半導体装置の製造方法、半導体装置及びフリップチップ型半導体装置 | |
JP6377894B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、積層型半導体装置の製造方法、及び封止後積層型半導体装置の製造方法 | |
JP6571585B2 (ja) | 半導体装置、積層型半導体装置、封止後積層型半導体装置、及びこれらの製造方法 | |
JP6291094B2 (ja) | 積層型半導体装置、及び封止後積層型半導体装置 | |
JP7348857B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2018151475A (ja) | 電子装置の製造方法 | |
JP2018141945A (ja) | 電子装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150724 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160506 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160628 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161025 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170124 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20170201 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20170317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180316 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180726 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6377894 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |